真空用語解説（真空計関連）
- 気体の圧力計 Pressure gauge
- 気体・蒸気の圧力を測定する計器
- 真空計 Vacuum gauge
- 気体・蒸気の圧力より低い圧力を測定する計器
多くの場合、測定子と制御計測部とからなる
普通用いられる真空計には、この規格に規定する意味の「圧力」を直接には測定せず、特定の条件下で圧力に関連した他の物理量を測定しているものが多い - 測定子 Gauge head
- 真空計において、感圧機能を備え、真空系に取付けられる真空計の構成部品
- 裸真空計 Nude gauge
- 真空系に直接挿入される感圧素子を備えた、外囲器がない測定子
- 制御測定部 Gauge control
- 測定子を作動させ計測する真空計の構成部品
- 絶対真空計 Absolute vacuum gauge
- 他の真空計を参照することなく、また気体の種類に無関係に物理量の測定だけから圧力が求められる真空計
- 差圧真空計 Differential vacuum gauge
- 可とう膜または液柱のような圧力差を感知する隔離媒体を用いて、その両側にかかる圧力差を測定する真空計
- 全圧真空計 Total pressure vacuum gauge
- 気体の全圧を測定する真空計
- 分圧真空計 Partial pressure vacuum gauge
真空分圧計 Partial pressure analyzer - 混合気体の成分の分圧を測定する真空計
現用されている分圧真空計のほとんどは質量分析計の一種です - 感度 Sensitivity
- ある圧力のとき、真空計に指示された読みの変化と相当する圧力変化の比
- 比感度 Relative sensitivity factor
- 真空計のある気体に対する感度と、その真空計の同一条件下における同一圧力の窒素に対する感度との比
量記号 ｒ - 電離真空計の感度係数 Ionization gauge coefficient
- 与えられた気体に対して、電離真空計の定められた動作条件下でのイオン電流を、イオン化のための電子電流と圧力との積で除したもの
量記号 Ｋ 単位記号 Pa-1 - 窒素相当圧、窒素換換算値 Equivalent nitrogen pressure
- 真空計の読みと同じ指示を与える窒素の圧力
- 液柱差真空計 Liquid level manometer
- 隔離媒体として液柱を用いる差圧真空計
- Ｕ字管真空計 U-tube manometer
- Ｕ字管を用いる差圧真空計
- 弾性真空計 Elastic element gauge
- 弾性体(板、管など)を隔離媒体とした差圧真空計
- 隔離真空計 Diaphragm gauge
- 可とう隔膜としてブルドン管を用いる弾性真空計
- ブルドン管真空計 Bourdon gauge
- 可とう隔膜としてブルドン管を用いる弾性真空計
- 圧縮真空計 Compression gauge
- 気体を既知の比率で圧縮し、その圧力を測定して圧縮前の圧力を求める真空計
ボイルの法則が適用できる場合だけ用いる - マクラウド真空計 McLeod gauge
- 水銀柱を動かすことによって気体を圧縮し、その気体の圧力を液柱差によって求める圧縮真空計
- 粘性真空計 Viscosity gauge
- 低圧気体の粘性力が気体の圧力に依存することを利用して、物体の表面に働く粘性力の変化を測定して圧力を求める真空計
- 熱伝導真空計 Thermal conductivity gauge
- 低圧気体の熱伝導が気体の圧力に依存することを利用し素子の温度変化を計測して圧力を求める真空計
- ピラニ真空計 Pirani gauge
- 加熱されている素子が金属細線で、その電気抵抗が温度によって変化することを利用する熱伝導真空計
- サーミスタ真空計 Thermisutor gauge
- 加熱されている素子がサーミスタで、その電気抵抗が温度によって変化することを利用する熱伝導真空計
- 熱電対真空計
- 加熱されている素子の温度を熱電対によって測定する熱伝導真空計
- クヌーセン真空計 Knudsen gauge
- 気体分子の平均自由工程に比べてかなり小さい間隔を保って配置され、かつ異なった温度に保たれている２面間での運動量輸送速度を測定することによって圧力を求める真空計
- 電離真空計 Ionaization vacuum gauge
- 電離によって気体中で生成されたイオン電流を測定して圧力を求める真空計
- 冷陰極電離真空計 Cold cathode ionization gauge
- 冷陰極放電による気体の電離を利用する電離真空計
- ペニング真空計 Denning gauge
- 一対の平行平板陰極間に環状陽極を置き、それらの軸に平行に磁界をかける冷陰極電離真空計
- ガイスラー管 Discharge tube indicator
- 一対の電極を持ち、その間の真空放電の色及び形状によって気体の圧力及び種類の概略を示す透明なガラス管球
- 熱陰極電離真空計 Hot cathode ionization gauge
- 熱陰極から放出された電子によって気体を電離する電離真空計
- ベヤード、アルパート真空計 B-A 真空計 Bayerd-Alpert gauge
- 円筒状グリッドの外側に熱陰極を、また軸上に細線の集イオン電極を配置して、Ｘ線限界を低下させる超高真空用の熱陰極電離真空計
- モジュレーター真空計 Modutator gauge
- モジュレーターとして補助電極を設け、その電位変化によって集イオン電極電流の変化を測定し、残留電流の影響を見積もることができるようにしたベヤード、アルパート型の真空計
- エキストラクタ真空計 Extractor gauge
- シールドに囲まれた集イオン電極を円筒状グリットの軸に沿い、その外側に置くことによってＸ線限界を低下させる超高真空用の熱陰極電離真空計
- 高周波（質量分析計）形分圧真空計 Radio frequency mass spectrometer
- 一連のグリッドのよって正負交互に形成された高周波電界によって、イオンを選択的に加速して分離する質量分析計形分圧真空計
- 四極子（質量分析計）形分圧真空計
- 四重極（質量分析計）形分圧真空計 Quadrupole mass spectrometer
四本の柱状電極によって形成された直流分を含む高周波双曲電流界によってイオンを分離する質量分析計型分圧真空計 - 磁界偏向(質量分析計)形分圧真空計 Magnetic deflection mass spectrometer
- 静磁界で加速されたイオンの軌道を磁界で偏向することによってイオンを分離する質量分析計型分圧真空計
- トロコイド(質量分析計)形分圧真空計 Trochodal focusing mass spectrometer
- 直交した静磁界および静磁界の中でイオンの軌道がトロコイド形になることを利用してイオンを分離する質量分析計形分圧真空計
- オメガトロン(質量分析計)形分圧真空計
- 直交した高周波電界および静磁界の中でのイオンのサイクロトロン共鳴現象を利用してイオンを分離する質量分析計形分圧真空計