真空部品
低真空(数Pa)から超高真空(10-9Pa以下)まで、
規格品から製作品(溶接・加工品)の各種真空機器をご用意致します。
川口液化ケミカル(株)は
VacGen社(丸文社)製品の正規代理店です。
| 真空ポンプ | 真空バルブ | 真空計 |
|---|---|---|
| ロータリポンプ RP 拡散ポンプ DP ターボ分子ポンプ TMP クライオポンプ CRYO ドライポンプ DRY 他 |
材質 SUS、AL他 形状 ストレート、アングル 弁体 ダイヤフラム、ベローズ、 ゲート |
ブルドン管 キャパシタンスマノメータ ピラニゲージ ペニングゲージ BAゲージ エクストラクタゲージ |
| 真空排気セット | 真空部品 | |
| RP+DP RP+TMP DRY+TMP DRY+CRYO 他 |
溶接加工部品(ヘリウムリーク検査品) JISxNW、NWxICF、ICFxVCR他 真空ブレージング加工品 |
|
| ←VacGen社のパンフ画像 | |
![]() |
|
既設装置の拡散ポンプからクライオポンプへの交換工事 |
|







