改造・保守
真空装置へのガス導入系統の追加、
排気系ドライ化への更新、真空ポンプのオーバーホール、
既設装置の洗浄、改造作業をいたします。
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| ＭＦＣによる新たなガスの導入系統の追加 |
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| As,P,B に汚染されたチャンバーの無害化処理廃棄 |
シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。ガス・真空・低温機器供給のＲ＆Ｄ 川口液化ケミカル株式会社
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