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シリンダーキャビネット

真空装置

実験装置から産業用生産装置まで製作致します。
また、真空紫外分光装置は光研工業(株)とタイアップし、
ご要望の真空装置を数多く製作しお使いいただいております。

 


MBE装置

大型高真空分光装置

高真空真空紫外装置+クライオスタット立ち上げの様子

超高真空仕様蒸着装置