シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

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真空排気・引っぱります

真空容器・チャンバー、真空配管を真空ポンプで排気する真空排気セットをご用意いたします。 低真空排気セット(ロータリーポンプ、ダイアフラムポンプ、ドライポンプ、スクロールポンプなど)・高真空排気セット(RP+TMP、DRY+TMP、RP+CRYOなど)、超高真空排気セット(RP+TMP+ゲッターP、DRY+IONPなど)などご希望のご予算、仕様、用途に応じてそれぞれご用意いたします。

また各種真空ポンプの故障やオーバーホール、急な故障でお困りの際には、代替器のご用意をしております。ご相談ください。

ロータリーポンプ(RP)

「ロータリーポンプ」(RP) 真空ポンプで最もポピュラーなロータリーポンプは、機械的な不良など現状メーカー製では少なく、安価であるため汎用機として粗引き用・バックグラウンド用としてお使いいただいております。ただし、何でも使えるわけではありません。腐食系ガス、可燃性ガス、ヘリウムガス、水分を多く含んだ雰囲気の吸引、固形物(微粒子や砂など粒状のもの)には極めて弱く、特別仕様のRPを選択するなど費用対効果を検討する必要があります。

各種 商品詳細PDF
油回転ポンプ マグネットカップリングシリーズ
シングルステージ・ロータリーポンプUnoLine
ルーツポンプWKP

真空ポンプ排気セット

ターボ分子ポンプの補助引きであったり、チャンバーの雰囲気排気用であったり、組み合わせは多種多様です。RPに付属するバルブ・フレキホース・フィッティング・オイルミストフィルターやフォアライントラップ(チャンバー側へオイルのミストが逆流しない部品)・カットオフバルブ(RPと同期して大気開放する自動弁)などご相談ください。
真空ポンプの組み合わせはご希望のRP+TMP,RP+DP,RP+CRYO,DRY+TMP,DRY+CRYO,DRY+DP+CCTなどアッセンブリいたします。

各種メーカー対応 真空ポンプ オーバーホール

各種メーカー対応 真空ポンプ オーバーホール エドワーズ、アルカテル、ファイファー、ライボルト、アルバックなど各社ロータリーポンプの他メカニカルブースターポンプやスクロールポンプ、消耗品がメーカーから入手できればほとんどのポンプのメンテナンスやオーバーホールが可能です。

代替器もご用意しております。また、油まみれのポンプを現場までお引取りに伺います。お気軽にご相談ください。
※オーバーホールの詳細工程はこちらをごらんください。

ドライポンプ(DRY PONP)

RPの油のミストがチャンバー内に上がることを嫌う場合(あってはならない場合)、真空槽とオイルで触れることのないドライポンプがお薦めです。最近では500L空冷タイプや300L以下の多少の水分や粒状の固形物などが混入しても使用できる空冷ドライポンプなど商品化されております。
※水分、固形物には限界があります。都度用途に応じ、ご相談ください。

各種 商品詳細PDF
XtraDry

ターボ分子ポンプ(TMP)

バッキングポンプで差動排気雰囲気を作れば、高真空ポンプの出番です。
DP(ディフュージョンポンプ)が安価で排気量も稼げる汎用機です。オイルの蒸気がチャンバーに上がることを嫌う場合には、TMPが最適です。排気量も50Lクラスから3000Lクラスまでラインナップも豊富です。

各種 商品詳細PDF
ドライブ回路組込み型ターボ分子ドラッグポンプシリーズ
フリーマウント型ターボ分子ポンプシリーズ
駆動電源別置き型、ターボ分子ドラッグポンプ
耐腐食性ターボ分子ポンプ
磁気浮上型ターボ分子ドラッグポンプ
ターボ分子ドラッグポンピングステーション

クライオポンプ(CRYO)

RPやTMPと異なりポンプ本体での駆動部(ガスやガス分子を排出する回転翼など)はありません。ヘリウムガスの圧縮・膨張により冷却部をつくりガス分子をチャコールなどに吸着させ真空を作る構造です。最近は価格がお求め安くなっておりますので、大排気量の場合にはTMPなどよりも安価なシステムが構築できます。
右の写真は、クライオポンプに溜まったガスをヒーターで排出する自動再生ユニットです。

ゲッターポンプ

ゲッターポンプ TMPやCRYOでも高真空領域をつくるには限界があります。「それ以上」を目指すには、ゲッターポンプ、イオンポンプ、チタンサブリメーションポンプなどで極高真空を目指します。超高真空システムなど、コンポーネント部品(VG社製品)などお気軽にご相談ください。

真空機器

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