特殊ガス
一般高圧ガスに比べ純度を高めた高純度ガス、半導体産業に使用される特殊材料ガス、特殊な環境、新たな取組み使用される反応性の高い毒性ガス、腐食性ガス、自燃性ガス、安定性の高い標準ガス、等まだまだ用途は広がります。
| 取扱い特殊ガス品目 | ||
|---|---|---|
| 高純度酸素ｶﾞｽ | O2 | 純度 99.9～99.99995%up |
| 高純度窒素ｶﾞｽ | N2 | 純度 99.9995%～99.99995%up |
| 高純度ｱﾙｺﾞﾝｶﾞｽ | Ar | 純度 99.999～99.9999%up |
| 高純度空気 | Air | 大気組成 CO,CO２,THC＜1～0.1vol.ppm |
| 高純度水素ｶﾞｽ | H2 | 純度 99.999～99.99999%up |
| 高純度ﾍﾘｳﾑｶﾞｽ | He | 純度 99.999～99.99995%up |
| 高純度炭酸ｶﾞｽ | CO2 | 純度 99.995%up |
| 高純度一酸化炭素ｶﾞｽ | CO | 純度 99.95～99.995%up |
| 高純度ﾒﾀﾝｶﾞｽ | CH4 | 純度 99.9～99.999%up |
| 高純度ﾈｵﾝｶﾞｽ | Ne | 純度 99.999%up |
| 高純度ｸﾘﾌﾟﾄﾝｶﾞｽ | Kr | 純度 99.999%up |
| 高純度ｷｾﾉﾝｶﾞｽ | Xe | 純度 99.999%up |
| 高純度一酸化窒素ｶﾞｽ | NO | 純度 99%up |
| 高純度硫化水素ｶﾞｽ | H2S | 純度 99.99%up |
| 重水素ｶﾞｽ | D2 | 純度 99.6%up |
| 高純度ｴﾁﾚﾝｶﾞｽ | C2H4 | 純度 99.9%up |
| 高純度ｴﾀﾝｶﾞｽ | C2H6 | 純度 99.7%up |
| 高純度ﾄﾘﾒﾁﾙｼﾗﾝｶﾞｽ | SiH(CH3)3 | 純度 99.99%up |
| 高純度四ﾌｯ化ｹｲ素ｶﾞｽ | SiF4 | 純度 99.9995up |
| 高純度六ﾌｯｶﾀﾝｸﾞｽﾃﾝｶﾞｽ | WF6 | 純度 99.999%up |
| 高純度四塩化ﾁﾀﾝｶﾞｽ | TiCl4 | 純度 99.99999%up |
| 高純度ｱﾝﾓﾆｱｶﾞｽ | NH3 | 純度 99.999%up |
| 高純度亜酸化窒素ｶﾞｽ | N2O | 純度 99.99～99.999%up |
| 高純度三ﾌｯ化窒素ｶﾞｽ | NF3 | 純度 99.9～99.99%up |
| 高純度ﾌﾛﾝ116ｶﾞｽ | C2F6 | 純度 99.995%up |
| 高純度ﾍｷｻﾌﾙｵﾛﾌﾟﾛﾋﾟﾚﾝｶﾞｽ | C3F6 | 純度 99.5%up |
| 高純度ﾌﾛﾝ218ｶﾞｽ | C3F8 | 純度 99.9%up |
| 高純度ﾍｷｻﾌﾙｵﾛ1,3ﾌﾞﾀｼﾞｴﾝｶﾞｽ | C4F6 | 純度 99.9%up |
| 高純度ﾌﾛﾝC318ｶﾞｽ | C4F8 | 純度 99.99%up |
| 高純度ｵｸﾀﾌﾙｵﾛｼｸﾛﾍﾟﾝﾃﾝZFL58 | C5F8 | 純度 99.99%up |
| 高純度ﾌﾛﾝ14ｶﾞｽ | CF4 | 純度 99.99～99.999%up |
| 高純度ﾌﾛﾝ23ｶﾞｽ | CHF3 | 純度 99.995%up |
| 高純度ﾍﾟﾝﾀﾌﾙｵﾛｴﾀﾝｶﾞｽ | C2HF5 | 純度 99.6%up |
| 高純度ﾌﾛﾝ32ｶﾞｽ | CH2F2 | 純度 99.99%up |
| 高純度ﾌﾛﾝ41ｶﾞｽ | CH3F | 純度 99.9%up |
| 高純度三ﾌｯ化塩素ｶﾞｽ | ClF3 | 純度 99.9%up |
| 高純度六ﾌｯ化硫黄ｶﾞｽ | SF6 | 純度 99.999%up |
| 高純度塩素ｶﾞｽ | Cl2 | 純度 99.999%up |
| 高純度三塩化ﾎｳ素ｶﾞｽ | BCl3 | 純度 99.9999%up |
| 高純度臭化水素ｶﾞｽ | HBr | 純度 99.999%up |
| 高純度塩化水素ｶﾞｽ | HCl | 純度 99.999%up |
| 高純度三ﾌｯ化ﾎｳ素ｶﾞｽ | BF3 | 純度 99.8～99.99%up |
| 高純度三ﾌｯ化ﾘﾝｶﾞｽ | PF3 | 純度 99%up |
| 高純度ﾖｳ化水素ｶﾞｽ | HI | 純度 99.999%up |
| 高純度ﾌｯ化水素ｶﾞｽ | HF | 純度 99.9%up |