ガス導入・大気に戻します
真空を知り、ガスを知る、弊社ならでは得意とする領域です。真空チャンバーを真空から大気に戻すのにもガスのことを知らなければチャンバー内部を汚したり壊してしまうことにもなります。
チャンバー内へプロセスガスを流すガス導入系も、ガスの物性と、ガス機器（バルブ、MFC、レギュレーターなど）を知らないと、真空排気系を壊したり、真空計フィラメントを切ったり、真空度を安定させたいのに乱高下するなどハンドリングが難しいことになります。
実績あるガス導入系システムをベースにお客様のお使いになりたいガス機器マテリアル、真空機器マテリアルのご提案を致します。もちろんユーティリティガスの新規配管取り回しを、ガスボンベからご相談ください。水素化合物ガスの特殊材料ガスにも対応いたします。
特殊ガス用ＭＦＣガスパネル
実験用真空装置のガス導入部近傍にパネルマウントして集積したものです。ガス種が腐食性・可燃性ガスのため、ＭＦＣやバルブなどオールメタルダイヤフラムタイプを使用しています。この種の機器はバリエーションが多く、機種選定が容易ではありません。お気軽にご相談ください。
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制御系19”ラック対応グラフィックパネル
ガス機器のマスフロコントローラやエア駆動バルブなど、計装によりシーケンス制御もしくは手動操作を制御盤で行うためのガス制御部です。ご要望どおりいかかようにもエンジニアリング対応いたします。
製膜装置用プロセスガス シリンダーキャビネット
可燃性ガス、毒性ガス、腐食系ガス、自燃性ガスなど高圧ガス保安法やお客様の社内基準によりボンベ収納ボックスに収める必要があります。手動、オートパージ仕様いずれの設計、製作、試験、申請書類、立ち上げ作業まで対応いたします。
フローメーター、レギュレーター
装置やケーシングに綺麗にマウントされたガス流量制御機器だけでは、新たな取り組みや装置の拡張に間に合わないケースが多いと思います。そんな時はお気軽にご相談ください。任意の場所にフローメーターを追加したり、メインガス配管ラインから分岐してラインレギュレーターを付加したりいたします。
ガス制御フローライン
ガスボンベからプロセスガスをパージしたラインに流し、液化ガスは再液化しないよう注意しながら装置のガス導入部までＭＦＣなどを経由し導きます。漏れがない、法的にクリアーした、ユニットの施行などお任せください。
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ガスピュリファイヤー・ガス精製機
インラインタイプから定置式まで多くの商品があります。対象とするトラップしたいガスの種類や使用頻度、流量などにより機種選定されます。お気軽にご相談ください。
マスフロコントローラー
サーマル式流量計である通称：ＭＦＣ（マスフロコントローラー）は、半導体や真空装置のプロセスラインに欠かせないガス制御機器です。ガス種により、ガス流量により、ガスの物性によりかなりな数の機種が用意されております。
選定にわずらわしさを感じたり、訳が解らなくなりましたら是非ご相談ください。最適なご希望の機種をお勧めさせていただきます。
ＭＦＣは温度の微小な変化を読み取る機器であるため、設置場所が高温になるような場合にはご注意ください。
スパッタプロセスモニター SPM200
スパッタ蒸着（メタル成膜等）や反応性、プロセス中のガス組成をIn-situモニター。
標準で最大測定圧力が1Pa、さらにオプションとして1000Paまで対応。
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真空バルブ・ガス流量制御システム
Pfeiffer Vacuum社APCユニットはお客様の真空アプリケーションに合った、真空制御システムをご提供させていただきます。
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各種真空バルブ (PDF)