グローブボックス
各種分析システムや製造工程での前処理用として、従来よりグローブボックス（GLOVE BOX）が幅広い分野で使用されております。
酸素２１％、高い湿度で水分が存在する空気中では、不安定な物質や不純物、微量酸素濃度の下でないと管理が出来ないアプリケーションでのグローブボックスの利用が重要度を増しております。
どうしても手作業でないと出来ない高度な分析や製造工程には欠かせないものです。運転方法が手動タイプと自動タイプの２種類をご紹介いたします。
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特徴
- 装置本体部および真空配管、ガス配管系は全てＳＵＳ３０４もしくはＳＵＳ３１６Ｌ製です。
- 本体と予備室は独立しており、真空排気とガス置換が容易に可能です。
- 真空ガス置換により、雰囲気ガスの完全置換が可能です。
- 雰囲気の置換に要するガスが少なくてすむため、経済的です。
- 各装置、分設系や製造工程のラインなどに直接接続・配管できます。（他の装置類との接続は、ＪＩＳ１００ＡおよびＩＣＦ１５２フランジいずれかの
標準ポートとなります。） - トランスファーロッド（オプション仕様）の接続により措置内の試料の移動を容易にすることが出来ます。（標準ポート付属）
- 本体内部に各電流導入、水冷導入を行うことが可能です。（標準ポート付属）
- デジタル真空計により、圧力が全面パネルで確認できます。（標準付属）
- ＬＮ２コールドトラップの接続により、放出ガス・放出物質など吸着でき真空ポンプＲＰの保護にも役立ちます。
- ターボ分子ポンプの接続も出来ます。その他高度な真空排気システムのアッセンブリも可能です。（オプション）
- 自動型はスタートボタン一つで、ガス置換、真空引き、微量酸素濃度の濃度管理が可能です。
- 微量酸素濃度計の接続により ０～１、１～１００ppm O2 の濃度管理が可能です。（各レンジ切替式：オプション）
オプション仕様
- 専用架台（キャスター、レベルアジャスター付属）ＳＵＳ３０４製角パイプ
- O2 ガス分析計（0～1、0～5、0～10 ppm O2 ）レンジ切り替え測定可能
- ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、ドライポンプ仕様への変更可能
- コールドトラップ
- 自動リークバルブ（ＲＰ用）
- ピラニ真空計（パネルタイプ）
- ポンプ用真空配管およびフレキシブルチューブ
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標準仕様
| 手動型 | 自動型 | |
|---|---|---|
| 外形寸法 | 本体 900×500×700H | 手動形と同一 |
| 外形寸法 | 予備室 300×300×300 | 手動形と同一 |
| 真空度 | 本体 13.3pa(1×10-1 Torr) | 手動形と同一 |
| 真空度 | 予備室 6.65pa(5×10-2 Torr) | 手動形と同一 |
| 材質 | 本体・予備室 SUS-304 | 手動形と同一 |
| 内容積 | 本体 約350L 予備室 約27L |
手動形と同一 |
| 観察窓 | 本体 250×700 （硬質アクリル） |
手動形と同一 |
| 試料導入 | 有効径 250φ | 手動形と同一 |
| 蛍光灯 | 照明用 20w１本 | 手動形と同一 |
| 真空計 | 丸型連成形 70φ | LED式デジタル表示 2ポイント表示 (オートチューニングモードタイプ) |
| 真空計 | 形式 ＋１～-760mmHg | 形式 ０～-760mmHg |
標準仕様 付属品
| 手動形 | 自動形 | |
|---|---|---|
| バルブ真空系 | 手動式ハンドル形 | エアー圧力駆動形 |
| バルブガス系 | 手動式ハンドル形 | エアー圧力駆動形 |
| RP自動リーク弁 | なし | AC-100V、AC-200V （いずれかオプション） |
| ガス系、流量計 | 一系統 Ar～N2ガス 真空用ニードルバルブ付 形式3～30L/min |
|
| 外部試料移動用ポート | JIS-100A（ブランクフランジ付）本体後部 １ヶ所 | |
| 予備ボックス用取付けポート | JIS-200A（ブランクフランジ付）本体側面 １ヶ所 | |
| （各導入口）外部接続用ポート | NW-25付、NW-40付（ブランクフランジ付） 側面、後面、各１ |
|
| 安全弁 | 配管型手動調整式 | 配管型 設定式 |
| 圧力センサー | なし | 電子式 設定型 |
| 真空センサー | なし | 電子式 設定型 |
| グローブ | 耐溶剤形（バイトン系）１組 | |
| コンセント | AC-100V15A ２連接地形 | |
| 計装ユニット（自動システム用） | なし | 本体上面側面取付式 |