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ブルックスインスツルメント(株)社製
高圧・大流量タイプ
マスフローコントローラ/メータ
Eシリーズ

小中流量マスフローコントローラ/メータ
精度±FS
最高使用圧力 10MPa
流量範囲:5850E 3mL/min~30L/min
流量範囲:5851E 10L/min~100L/min(H2のみ~200L/min)

ブルックスインスツルメント(株)社製
大流量マスフローコントローラ/メータ
精度±1% FS
最高使用圧力 6.8MPa
流量範囲:100L/min~1,000L/min

マスフローコントローラ

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