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液体を制御できるMFCが欲しい

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ Quantimシリーズ

ブルックスインスツルメント(株)社製
QMBC/QMBM IP40
精度±0.2% R
最高使用圧力:10MPa(コントローラ),30MPa(メータ)

ブルックスインスツルメント(株)社製
QMBC/QMBM IP65
精度±0.2% R
最高使用圧力:10MPa(コントローラ),30MPa(メータ)

ブルックスインスツルメント(株)社製
QMBC/QMBM IP65XP
精度±0.2% R
最高使用圧力:10MPa(コントローラ),30MPa(メータ)

概要

コリオリ式マスフローQuantimは、小型のコリオリ式流量計測器です。
流体の性質や状態に影響を受けずに、直接質量流量の計測や制御を行うことが可能な液体用マスフローです。
Quantimのコリオリセンサーと一体になったPIDコントロールモジュールによって、従来サーマル式で実現できなかった高精度計測や制御が可能になります。
NEMA1/IP40規格の他に、防水防塵規格NEMA4X/IP65適合仕様も御座います。
NENA4X/IP65XP仕様は、Explosion-Proof Class1、Div.1、Group C and Dに適合しています。

特徴

  • コンパクトな筐体ながら複数の変量(質量流量、体積流量、流体密度、温度)が計測可能な液体流量計です。
  • コリオリ式流量センサ、トランスミッタ、コントロールバルブ、制御基盤がコンパクトにパッケージングされているため、設置スペースの効率化を実現します。
  • 内部に可動部がないため、メンテナンスの必要性を最小限に抑えます。
  • 従来のサーマル式マスフローコントローラと異なり、測定流体を加熱しないため低沸点の液体も制御可能な液体流量計です。
  • 脈動が無く、流体の組成が変化しても正確な質量流量の計測が可能です。
  • 密度の電気信号出力が可能です。
  • メータのみ高圧30MPa仕様もオプションでご提供可能です。

主なアプリケーション

  • 化学触媒研究開発用
  • 精密コーティング用
  • 化学物質注入・添加用
  • 校正・分析機器の基準器用
  • 定量ポンプ制御用
  • 真空薄膜コーティング用
  • 超臨界二酸化炭素流量制御用

 

マスフローコントローラ

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