シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

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液体仕様マスフロー

ウルトラローフローレンジ用に開発された液体マスフローメータ/コントローラです。 計器の測定原理はサーマル式でスルーフロー型です。制御ループを構成するのにフローメータと調節弁が連結されます。

流量制御は液体流量計と調節弁を一つのボディーにインテグラルすることにより完成されます。 調節弁にはパージ機構が付いておりスタートアップ時トラップしているガスや空気を除去するのに使用されます。 制御機能がフローメータの標準回路に内臓されています。

特徴

稼動部無し(メーター)
スルーフロー(バイパス無し)タイプです
取付姿勢の影響なし
高速応答、高精度
非常に小さい内容積
調節弁とのコンビネーションで連続・安定制御提供
アナログ信号、デジタル(標準RS232)
ステンレススチールセンサー
新製品: 100MPa(1000 bar,又は5000 psi) LFM 、流量レンジ;100~450 mg/h FS (H2Oベース)

適用例

医薬品分野
食品分野 (フレーバー、添加剤等)
バイオ分野
分析計
液体ソース気化プロセス
HPLC分野

マスフローコントローラ

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