マスフローコントローラ
マスフローコントローラ MFC （Mass Flow Controller）とは、流体固有の物理特性を利用して、熱式センサ等を用いて流量を測定するマスフローメータ ＭＦＭ（Mass Flow Meter ）で得られた流量信号を元に比例制御バルブを制御し、一定の流量に自動制御する機器のことです。
マスフローコントローラの構造
なぜマスフローと呼ばれるの？
Mass Flow=質量流量 ＭＦＣはある条件下では、温度圧力変化に影響を受けない流量制御（疑似質量流量制御）が可能です。
その為、通称マスフローコントローラと呼ばれています。
配管機器として果たす役割をわかりやすく表現すると Automatic Flow Controllerと呼ぶ方がわかりやすいかもしれません。
どんな用途で使えるの？
温度圧力の影響をある程度受けず、繰り返し性能が良く、遠隔自動制御するシステムを簡単に構築できるので便利です。
その為、半導体（ＣＶＤ、エッティング、拡散）、液晶、真空装置（蒸着、スパッタ）、エネルギー（太陽光発電、燃料電池、原子力）、分析、燃焼制御・・・等に広く使用されます。
どんな流体に使用できるの？
気体が主ですが、液体材料対応に特化した製品もございます。
特ガス、高温、高圧、大流量等の用途に応じた製品がございますので御紹介いたします。
欲しい機能で選ぶ
- 安い組み合わせを紹介して欲しい
- 液体を制御できるＭＦＣが欲しい
- 新技術、新製品を知りたい
- 流量ではなく圧力を制御したい
- 特殊なガスを検討したい
- 流量を積算計測管理したい
- ＰＣやＰＬＣとデジタル通信して使いたい
- 流量上限／下限警報を出したい
- 1台で何種類ものガスを流したい
- 数系統のガスをミキシングして使いたい
- 締め切り性能がいいＭＦＣが欲しい
- ガスユニットにして欲しい
- 高温で使えるＭＦＣが欲しい
- 使っているＭＦＣの予備が欲しい
- 大きな流量を計測、制御したい
- 修理したい
- 高圧で使えるＭＦＣが欲しい
- その他の事で聞きたい