第4670号 スパッタ装置改修及び再販
スパッタ装置の改修およびリユース装置販売
やっております！
例えば・・・
SPF430変更、仕様追加対象機
概要
・DC電源 2機追加（別電源）
・ﾄﾗﾝｼﾞｽﾀ製RF電源 1機追加（別電源９
・ﾀｰｹﾞｯﾄ3個に対しRF,DC同時放電及び制御の変更
・CRYO PUMP電極など冷却用ﾁﾗｰ及び別電源追加
・以上変更に伴うｶﾞｽ配管、電気配線の変更など
・各ｺﾝﾄﾛｰﾗｰはﾛｰｶﾙ選択において単独制御可能
・装置設置ﾀｲﾏｰにて制御する場合は引火制御ﾊﾟﾈﾙを使用
・No,1DC,No,2DC,No3,RFをｵﾙﾀﾈｰﾄｽｯﾁ選択で出力制御
・印加開始はON SW（ﾓｰﾒﾝﾀﾘｰ）にて、ﾀｲﾏｰｶｳﾝﾄｱｯﾌﾟで停止
またはSW OFFにて印加停止
電源
・装置本体 AC200V 三相 60A
・ﾁﾗｰ AC200V 三相 2.5kW
・RF電源 AC200V 20A
・1DC電源 AC200V 15A
・2DC電源 AC200V 15A
給水
・20℃ 10L/min
圧空
・φ6 ﾁｭｰﾌﾞｺﾈｸﾀｰ 0.6MPa
ﾌﾟﾛｾｽｶﾞｽ
・Ar SWL1/4 0.1MPa
・O2 SWL1/4 0.1MPa
ﾊﾟｰｼﾞｶﾞｽ
・N2 SWL1/4 0.1MPa
CRYO PUMP
・Max 900L/min
重量
・装置本体 約650kg
・RP 約60kg
・RF,DC電源 約200kg
・CRYOｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ 約90kg
・ﾁﾗｰ 約115kg
※真空ポンプ個別OH及び修理、ｴｸｽﾁｪﾝｼﾞ用貸出機対応可能
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mai : info★klchem.co.jp
※★を@に代えてお知らせください
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
皇紀２６７８年（西暦２０１８年）
９月２７日 木曜日 居待月
十六節気 秋分（しゅうぶん）四十六候 雷乃収声（かみなりすなわちこえをおさむ）
※貴乃花親方が相撲協会に引退届を提出し、協会からの圧力を訴えた問題で
協会のパワハラや体質への批判の他、貴乃花親方を心配する声や
「新団体」の設立を期待するユーザーもいるようです。
天気 雨
ボンベ庫の温度 朝19℃、昼℃、夜18℃
本日のPM2.5 6.86μg/m 環境省そらまめ君より（さいたま市城南）
本日の電力最大消費率は？
（エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより）
北海道電60%、東北電86%、東電83%、中部電61%、北陸電78%
関西80%、中国電64%、四国電58%、九州電53%、沖縄電力54%
利根川上流域の関東８ダム貯水率は？
09/28 00:00 88,202千m3 76.4% 11.58m3/sec
（利根川ダム管理管理事務所河川情報より）
（藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池）
＊Twitter ﾗﾝｷﾝｸﾞ ついっぷるトレンドより
１位：志水正義、２位：列島警察
３位：清水正義、４位：アメトーク、５位：千葉雄大
です。
ミゾイキクコさん Twitte
1934年生まれ 84歳 埼玉県在住。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。70年前から見てきた人々の
生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。
ミゾイキクコ
kikutomatu
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