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第4275号 日立金属製マスフローコントローラー / マスフローメーター 200℃仕様

2017年8月28日 21:46

ガス及び液体の、正確な流量計であるマスフローコントローラーとマスフローメーターです!

2017.08.28High TemperatureMFC2.JPG
SAM製MFC/MFM FMT1780FX

こちらの製品は、日立金属製MFC / MFM ですが・・・

他社にはない、特徴をもっている機種です!


2017.08.28High TemperatureMFC3.JPG
日立金属製マスフローorマスフローメーター(高温仕様)

ガス配管の流路に対し継手の付いた本体は

上の写真ではシルバーのものですが・・・

その本体から何やらケーブルが伸びて黒い筐体に繋がっていますね!

2017.08.28High TemperatureMFC4.JPG

実はこの黒色物体は、中に実装基板が入っていて

流路がフルベーキングされても高温に曝されないよう別筐体にしているんです。


シルバー筐体の配管に接続された本体は、ヒーターなどで

200℃までキンキンに加熱されても平気です。
※流体温度は150℃Maxです


2017.08.28High TemperatureMFC1.jpg
出荷検査成績書

200℃まで加熱できるマスフローコントローラー・マスフローメーターは

日立金属製品の専売特許です。

・制御部別置き、センサー加熱温度低減、高温用圧電素子を採用しております
・ガスが圧縮・膨張し難いシンプルバルブ構造で、再液化が起こり難くなって
 います。

 高温マスフロー製品仕様

標準フルスケール流量(窒素換算)
 10SCCM,20SCCM,30SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,300SCCM,500CCM
 1SLM,2SLM,3SLM,5SLM,10SLM,20SLM,30SLM etc
バルブ動作
 ノーマリオープン
 ※ノーマリクローズについてはお問い合わせください
動作圧力
 入口:0.05~O.3MPa⇒出口:真空~大気圧
 入口:0.1~ 0.3MPa⇒出口:真空~大気圧
 差圧:1.3x10 e-3MPa以下も可能
流量制御範囲
 フルスケールの 2~100%
精度
 フルスケールの±0.5%
応答性
 フルスケールの±2%以内に1秒以内、設定値の±2%以内に1.5秒以内
耐圧
 1.0MPa
使用温度範囲
 5~80℃、5~150℃
精度保証範囲
 校正温度±10℃
ベーキング
 150℃以下、200℃以下
外部リーク規格
 1x10 e-11 Pa・m3/sec(He)以下
弁座材質
 SUS316L
ダイヤフラム
 YE101(Ni-Co合金)
センサー
 SUS316L
シール部
 メタルOリング(SUS316L-Niメッキ)、Niロウ付け
流量設定信号
 0.1~5VDC(絶対定格±15VDC以内)
流量出力信号
 0~5VDC(max:+15VDC,min:-15VDC)
所要電源
 +15VDC(±4%)100mA(max120mA)
 -15VDC(±4%)100mA(max120mA)
接ガス部表面仕上
 特殊電解研磨(標準9
外部接続コネクタ
 D-subminiature(9ピン)コネクタ
継手部
 1/4"HJM(UJRタイプ、オス)
 
2017.08.28High TemperatureMFC5.JPG 2017.08.28High TemperatureMFC6.JPG

他にも・・・

超高圧型、超微差圧型、超微量液体型、防爆仕様型など
MFC/MFM/APC のことなら
川口液化ケミカル株式会社へご相談下さい。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
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※★を@に代えてお知らせください。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 皇紀2677年(西暦2017年)
 8月28日 月曜日 宵月

 十四節気 処暑(しょしょ)) 
  四十一候 天地始粛(てんちはじめてきしむ)
  新暦8月28日~9月1日頃
  暑さがようやく落ち着き、空気が冷んやりと澄み切ってくる頃です。
  「粛」には引き締まるという意味もあります。

 ※東芝半導体子会社「東芝メモリ」の売却で、米半導体大手ウエスタンデジタル
  のスティーブ・ミリガン最高経営責任者が来日し契約する方向で大筋合意しました。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝24℃、昼28℃、夜30℃
 本日のPM2.5 10.58μg/m3 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
 本日の電力最大消費率は? 
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより)
 東電71%、北陸電70%、中部電68%、関西70%、中国電67%
 四国電63%、九州電64%、北海道電57%、東北電68%

 利根川上流域の関東8ダム貯水率は? 
 08/28 22:00 316,654m3 92.1% (国土交通省関東地方整備局HPより)
 (藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
  *Twitter ランキング ついっぷるトレンドより
 1位:#あなたっぽいどうぶつ、2位:.#大阪好きにしか分からない、3位:関西弁クイズ
 4位:コードブルー、5位:灰谷先生
です。

ミゾイキクコさん Twitterより
@kikutomatu 1934年生まれ 83歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。
70年前から見てきた人々の生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。

「羽振りが良い代の人が、立派な戒名を頂いたりいしたら
 のちの代まで代々負担がおおくなる。
 どの代も羽振りが良ければいいがそうでない代も出てこようというもの」


klchem blogs by との

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