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マスフロー 1MPa以上申請用高圧MFC、高温MFC

2012年7月18日 18:58

2012,12,30高温MFC.jpg

高温MFCはいかがでしょうか?

使用温度150℃、ベーキング温度200℃
制御部別置、センサー加熱温度低減し高温用圧電素子を使用しています。
再液化が起こりにくい構造でガスが圧縮・膨張しにくいシンプルバルブ構造です。

製品仕様
・タイプ
  通常圧力タイプ、微差圧仕様タイプ
・標準フルスケール流量(N2換算)
  10 / 20 / 30 / 50 / 100 / 200 / 300 / 500 SCCM
  1 / 2 / 3 / 5 / 10 / 20 / 30 SLM
  ※微差圧仕様はガス種、圧力条件により別途お打ち合わせとさせていただきます。
・バルブ動作
  ノーマリオープン(ノーマリクローズについてはお問い合わせください)
・作動圧力
  入口側圧力 0.05~0.3MPa / 0.1~0.3MPa / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
  出口側圧力 真空~大気圧 / 差圧 1.3 x 10 -3MPa以下も可能
・流量制御範囲
  フルスケールの2~100%
・精度
  フルスケールの±0.5%
・応答性
  フルスケールの±2%以内に1秒以内 設定値の±2%以内に1.5秒以内
・耐圧
  1.0MPa
・温度条件
  使用温度範囲 5~80℃ / 5~150℃
  精度保証範囲 校正温度±10℃以内
  ベーキング    150℃以下 / 200℃以下
・外部リーク規格
  1 x 10 -11Pa・m3/sec(He)以下
・要部材質
  弁座:SUS316L、ダイヤフラム:YET101(Ni-Co合金)、センサー:SUS316L
シール部:メタルOリング(SUS316L-Niメッキ)、Niロウ付け
・流量設定信号
  0.1~5VDC(絶対定格±15VDC以内)
・流量出力信号
  0~5VDC(Max:+15VDC、min:-15VDC)
・所要電源
  +15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
  -15VDC(±4%) 100mA(Max120mA)
・接ガス部表面仕上げ
  特殊電解研磨
・外部接続コネクタ
  D-Subminiature(9ピン)コネクタ
・継手部
  1/4"UJRタイプ、オス


ガス流量計、液体流量計、ガス流量制御、液体流量制御のことなら
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TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
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※アドレス先頭のCutHereはスパム対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2012年7月18日 水曜日
 ※インターネット検索大手「ヤフー」のCEO(最高経営責任者)にマリッサ・メイヤー氏(37歳)が就任発表。
   メイヤー氏は、ライバル会社「グーグル」の幹部を務めていた経歴を持ち、グーグルの記者発表では、
   自らマイクを握りりながら、技術者としてストリートビューの開発で中心的な役割を果たす凄腕だそうです。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝29℃、昼36℃、夜34℃
 本日の電力最高使用率
 東電90%・北陸電91%・中部電92%・関電89%・中国電91%・四国電89%・九州電89%

です。


 言われてもやらないのは、論外

 言われてからやって、できないのが三流

 言われてからやって、できるのが二流

 言われる前に察して、できるのが一流

 言われてからやるようでは、人生を放棄しているのと一緒


 誰かがやってくれると待っている、受け身の姿勢では流れには乗れない


 言われた以上やるか

 言われる前にやるか


 それで

 直感力と察知力が磨かれ、勢いがついてようやく流れに乗れていく

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

by との 

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