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MFCガス供給系

2011年9月17日 23:34

 真空装置や成膜装置などのガス供給系には、微量流量をコントロールする流量計が
必要なことが多いです。

Cl2 MFC.jpg
Cl2用オールメタル仕様MFC

真空領域の空間に陽圧であるガスを導入するのは、機種選定さえしてしまえば簡単な
ことのように思えますが、一概に言えるものではありません。

導入するガスの流量は毎分何ccなのか? 微流量か、大流量か?

ガス種は何か? 純粋なガス体か、圧力によっては液体に変化するものか?

不活性ガスか? 腐食性があるか、可燃性があるか?

どのような制御をするのか? 二次側の圧力を一定にするか、一定流量を正確に導入するのか?

応答速度が求められるのか? 速答性が求められるのか、キャリアーガスとして流れ続ければいいのか?

全体のガス供給システムとの連動が必要なのか? 完全マニュアル運転か、インタロックにより自動運転を行うか?


などなど・・・。


さまざまなファクターを確認しながら問題を潰しながらMFCの機種選定および一次側と二次側
機器との整合性を取っていくのです。


最適なガス供給システムの構築や、大流量から微笑流量までの流量制御、特殊ガス配管工事まで
川口液化ケミカル株式会社へどうぞご相談ください。
TEL 048-8881-7393
FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は?
 2011年9月17日 土曜日
 ※SMAPが北京公演を行いました。
  国営新華社通信などは好意的な論説で受け止め中国語の歌のレベルも完全点を出したようです。

 天気 はれ
 気温 26℃(PM11:00)

です。

お食事「ゆにわ」店長村田聡美さんブログより


お客様と電話をしていた時のこと。


店の営業が終わって、今から打ち合わせだというとびっくりしていました。

しますよ~

自営業って、そんな感じだと思います~

何時から何時までが仕事、というようなONOFFの区切りをつけるほうが、

逆にちぐはぐになるというか。

目の前の人に合わせて、生きると、計画も計画ではなくなることが多々。

それが嫌と思ったらできないし、焦ったらつぶれますし、続かないし、根本的に違います。

私たちの場合、料理にぜぇんぶ映りますね。

それができるような体作りもしているので(笑)、

調整しながら前に進めます。

少なくとも、私が知っている方々はそんな感じです。

生活と仕事のバランスをすごく近い距離で自分で組み合わせるのだと思います。

(どの仕事もそうですけど。特にそうかな、と。)


子育てをするお母さんも計画が計画ではなくなることがたくさんあります。

子どもという目の前の人に合わせて一緒に生きるから。

でも、そうやって、目の前の人やものを含んで生きるってそういうことだと思います。

(含まないと、計画は計画どおり、やっていけます。ある意味恐ろしい行為ですけど。)

結果的には仕事、は関係ないですね~

打ち合わせと言っても、そのまま店で打ち合わせすることもあるし、

気分を変えて、別のミーティングルームに行くこともある。

同じところにいると、気が停滞してくるので、

ぱっと切り替えるようにしていますよ。

自宅の部屋なんかも停滞してくる前に、本を整理したり、

配置を変えたりします。


創意工夫も大事。

 by との


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