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ターボ分子ポンプ Turbo-molecular-pump

2011年5月31日 21:52

 真空ポンプの高真空領域で多く利用されているターボ分子ポンプのご紹介です。

このポンプは回転軸に取り付けられ高速回転する多段タービン形の回転翼(rotor
brade)とその回転翼と交互にタービン形の固定翼(stator blade)を配置した構
造で、回転翼の回転(周速250~330m/sec)によりその表面に衝突した気体
分子に運動量を与え、気体輸送を行う運動輸送式真空ポンプです。その他の
溜めこみ式高真空ポンプと異なり、連続して同一状態で運転させることが可
能です。補助ポンプと組み合わせることにより10-5 ~ 10-8 Paの超高真空
まで到達可能なポンプです。

特徴は・・・

1、一般的に吸気側に高い排気速度、排気側に高い圧縮比を持つ翼列構造で
  翼の傾き角度が吸気口側で45度と大きく、排気口に向かって約10度と小
  さくなっています。
2、段数を多くすることで圧縮比を上げることが出来ます。
3、回転軸受構造はボールベアリングと磁気浮上ベアリングのタイプが一般的ですが
  エアベアリングを使用したタイプもあります。
4、磁気浮上タイプ+ドライポンプを使用することで簡単に完全オイルフリー超高真空
  真空排気セットを組むことが出来ます。
5、溜めこみ式ではありませんので再生の必要が無く、ポンプが稼働できない
  時間がありません。
6、起動時間が早く、あっという間です。

ズバリ欠点は・・・

1、水素やヘリウムなど軽い分子の気体に対して圧縮比が小さい。
2、振動に弱い。
3、異物の混入によりローターブレードの破損の可能性があります。
4、ローター破損時のエネルギーは膨大です。
5、補助ポンプが必須です。

1200L TMP.JPG
1200L/sec のTMP(取付方向:水平)


ターボ分子ポンプなど高真空ポンプ、ロータリーポンプなど低真空ポンプ
クリーンな排気特性を持つクライオポンプなど、真空排気セットのことなら
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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2011年5月31日 火曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝17℃、昼23℃、夜18℃

です。

北極流今日の開運メッセージブログより


ものごとの真髄は「中庸(ちゅうよう)」にある。


しかし、中庸は言葉にできない。


右に偏りすぎたら、「左へいけ」と言われ。

左に偏りすぎたら、「右へいけ」と言われる。


だから、言葉(部分)だけを捉えていては、

いつまで経っても真髄は会得(えとく)できない。

部分ではなく、

局面、状況、タイミング、空気...

すべてセットで、

全体(関係性)を掌握(しょうあく)すること。


 by との

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