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ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ Cryo Pump
クライオポンプとは？
気体分子を極低温に冷却して運動エネルギーを奪い、固体として捕捉
する仕組みの溜め込み式の真空ポンプです。
冷却パネルが 10K (-263℃) まで冷やされて気体のほとんどが氷となり
ポンプの内部に捕捉されます。10K では凝縮しないH2 , He , Ne は多孔
質の活性炭に吸着させます。排気したｶﾞｽが固体になって溜まるとﾁｬﾝﾊﾞｰ
との間にある排気ﾊﾞﾙﾌﾞを閉じてﾎﾟﾝﾌﾟを停止し、ﾎﾟﾝﾌﾟ内部を窒素ﾊﾟｰｼﾞ
して溜まったｶﾞｽ（固体）を再び気化させてﾎﾟﾝﾌﾟの外に排出するのです。
構造としては、ﾎﾟﾝﾌﾟの容器と2段式冷凍機ﾕﾆｯﾄと冷却ﾊﾟﾈﾙからなり、冷
凍機は別ﾕﾆｯﾄでｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰが必要です。ﾍﾘｳﾑｶﾞｽを冷媒として断熱膨張を繰り
返し、約80K （一段目）、10～15K （二段目）の極低温を作ります。ﾎﾟﾝﾌﾟ
容器内、冷凍機2段目冷却ｽﾃｰｼﾞと接するように外側にｺﾝﾃﾞﾝｾｲｼｮﾝﾊﾟﾈﾙ、内
側にｿｰﾌﾟｼｮﾝﾊﾟﾈﾙが配置され前者が N2 , Ar , O 固化、後者が H2 , He , Ne
を吸着捕捉します。材質はﾎﾟﾝﾌﾟ容器がｽﾃﾝﾚｽ製、冷凍機は熱伝導率の高い
ｱﾙﾐと銅製、冷却ﾊﾟﾈﾙ類は無酸素銅をﾆｯｹﾙ鍍金しています。排気性能は8"
ﾌﾗﾝｼﾞ仕様で 1,500L/sec(N2) 、22"ﾌﾗﾝｼﾞ仕様で 17,000L/sec にもなります。
主にｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞやｲｵﾝ注入、真空蒸着器などに搭載されております。
クライオポンプなど真空ポンプのお問い合わせのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
TEL 050-8881-7393
FAX 048-281-3987
E -mail : CutHere_info@klchem.co.jp
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
2011年3月7日 月曜日
天気 雪
ボンベ庫の温度 朝5℃、昼7℃
です。
3月に入ってからの雪ですね！
＜小田真嘉氏 成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより＞
エネルギー切れしていたら
不要なことをして余計エネルギーがなくなっていく
まずはエネルギーをためよう！
エネルギー充電のための５つのポイント
１．ちゃんとした食事、睡眠、掃除をする
２．不要なモノを捨てる
３．ごちゃごちゃ考え過ぎない
４．しゃべらないひとりの時間をつくる
５．朝の太陽の光を食べる
by との
投稿者: 管理人 日時: 2011年3月 7日 19:28 | 固定リンク：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ Cryo Pump