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クライオポンプ Cryo Pump

2011年3月 7日 19:28

クライオポンプとは?

気体分子を極低温に冷却して運動エネルギーを奪い、固体として捕捉
する仕組みの溜め込み式の真空ポンプです。

 冷却パネルが 10K (-263℃) まで冷やされて気体のほとんどが氷となり
ポンプの内部に捕捉されます。10K では凝縮しないH2 , He , Ne は多孔
質の活性炭に吸着させます。排気したガスが固体になって溜まるとチャンバー
との間にある排気バルブを閉じてポンプを停止し、ポンプ内部を窒素パージ
して溜まったガス(固体)を再び気化させてポンプの外に排出するのです。

 構造としては、ポンプの容器と2段式冷凍機ユニットと冷却パネルからなり、冷
凍機は別ユニットでコンプレッサーが必要です。ヘリウムガスを冷媒として断熱膨張を繰り
返し、約80K (一段目)、10~15K (二段目)の極低温を作ります。ポンプ
容器内、冷凍機2段目冷却ステージと接するように外側にコンデンセイションパネル、内
側にソープションパネルが配置され前者が N2 , Ar , O 固化、後者が H2 , He , Ne
を吸着捕捉します。材質はポンプ容器がステンレス製、冷凍機は熱伝導率の高い
アルミと銅製、冷却パネル類は無酸素銅をニッケル鍍金しています。排気性能は8"
フランジ仕様で 1,500L/sec(N2) 、22"フランジ仕様で 17,000L/sec にもなります。
主にスパッタリングやイオン注入、真空蒸着器などに搭載されております。

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ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は?
 2011年3月7日 月曜日
 天気 雪
 ボンベ庫の温度 朝5℃、昼7℃

です。


3月に入ってからの雪ですね!

<小田真嘉氏 成長のヒントブログより>

 エネルギー切れしていたら

 不要なことをして余計エネルギーがなくなっていく


 まずはエネルギーをためよう!


 エネルギー充電のための5つのポイント


 1.ちゃんとした食事、睡眠、掃除をする

 2.不要なモノを捨てる

 3.ごちゃごちゃ考え過ぎない

 4.しゃべらないひとりの時間をつくる

 5.朝の太陽の光を食べる

 by との

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