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ﾚｰｻﾞｰｱﾌﾞﾚｰｼｮﾝ(Pulsed Laser Ablations)
古くから真空中で加熱蒸発させて、これを基板をあて付着させるという
もっとも簡便な薄膜づくりの方法が蒸着法です。光でいえば点光源に相当
し、蒸着の当たる中心に近いところの膜厚が厚くなるので基板の配置を工
夫します。
ターゲットを板状にして、酸化物高温超電導膜や強誘電体などのように膜
の組成をきちんと保つ必要がある場合に有効とされるのがﾚｰｻﾞｰｱﾌﾞﾚｰｼｮﾝ
蒸着です。
薄膜にしたい板状の材料にパルスレーザー光を集光してあてると、プルーム
と呼ばれる発光が見られます。これが基板上の薄膜を形成させます。レーザ
ーの高密度エネルギーが1発ごとにあたったところだけを蒸発させるのでフ
ラッシュ蒸着に似ており、数 kHz のパルスで連続的に成膜できるのです。
パルスレーザーはターゲットの微小平面から蒸発しているのではなく、1点
に穴の中で蒸発が起き蒸気が集中して吹き出す特徴を持ちます。
ﾚｰｻﾞｰｱﾌﾞﾚｰｼｮﾝ:PLA のメカニズムとして
１、レーザー光吸収により試料の局所が急激に温度上昇します。
２、局所が急激に液化し、気化すると、局所の表面は放射冷却や試料の気化熱
によって内部よりも低い温度になります。
３、すると、表面より温度の高い内部が爆発するか、そのとき面も含めて
吹き上げられると考えられています。
残念ながら PLA 装置は高価ですが、レーザーの１パルスごとに爆発的に
蒸発させ、組成変化のほとんどない、ピンホール等のない薄膜を蒸着法で
作るにはレーザーアブレーションが有効です。
真空装置、蒸着装置などの実験装置に関する設計、製作、修理、改造
ガス導入系、真空排気系の変更や改造、材料ガスのご用意まで
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
TEL 050-8881-7393
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp
ありがとうございます
今日のさいたま市のお天気は？
2011年2月13日 日曜日
天気 はれ
気温 6℃(PM6:30)
です。
人はエネルギー切れになると
食事が乱れ、家が散らかり
周りから奪おうとして
多くを失う悪循環となる
食事で心のエネルギーを充電し
掃除でパワースポットをつくり
エネルギッシュな自分で
周りに与えることをすれば
自分も周りもエネルギー増大の好循環となる
（小田真嘉氏ﾌﾞﾛｸﾞ 成長のﾋﾝﾄより）
by との
投稿者: 管理人 日時: 2011年2月13日 18:08 | 固定リンク：ﾚｰｻﾞｰｱﾌﾞﾚｰｼｮﾝ(Pulsed Laser Ablations)