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イオンポンプ+ゲッターポンプ All in One タイプ 

2010年10月19日 17:31

イオンポンプとゲッターポンプがドッキングました。

イオン+ゲッター外観.jpg
新型 イオン+ゲッター ポンプ

そもそも、それぞれのポンプはどんなポンプかというと?

イオンポンプ
 磁場中の冷陰極放電を起こすことにより、電離された気体分子が
陰極に埋め込まれると、また陰極との衝突の際に陰極材料(Ti)を
スパッタして、活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気する
超高真空ポンプです。ただし、ポンプ本体が大きく重いことがネッ
クになります。

ゲッターポンプ
 広いゲッター表面積を持ったカートリッジのゲッター材をヒーター加熱により活性
化させゲッター表面に入射する気体分子を化学吸着させ、ゲッター材内部に
拡散して排気を行う非蒸発型ゲッターポンプです。ゲッター材にはZr-Al合金
Zr-V-Fe合金を使用しH2やCOの活性なガスを高い排気速度で排気しま
す。

以上のポンプをドッキングさせることで、イオンポンプの早い排気75L/sec
と、ゲッターポンプの超高真空へ到達能力1x10-10torrが融合する
ことにより、理想的な超高真空ポンプが出来上がりました。

ゲッター+イオンポンプ.jpg
各種ガスの排気量

イオン+ゲッターポンプ グラフ.jpg
Pump down + Rate of rise data

最先端の電子顕微鏡容器内を超高真空の環境にする超真空ポンプとして
利用されております。


超高真空機器、イオンポンプ、ゲッターポンプ、イオン+ゲッター複合ポンプのご用命は
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
TEL 050-8881-7393
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は?
 10月19日 火曜日
 天気 くもり
 ボンベ庫の温度 朝16℃、昼19℃、夜20℃

です。


昨晩から今朝の早朝にかけ、結構冷えましたね!
毛布だけでは寒くて起きてしまい、掛け布団が必要でした。

そうなると、だんだん布団の中がヌクヌクしてきて
朝がいままで以上にキツクなってくるんですよね。

冷たい水で顔を洗って、気合を入れましょう、押忍!

 by との

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