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Title:(38話)半導体材料ガスってなんだろ(その2)(特殊ガス)

2010年9月17日 18:47

毎週金曜日がなんだか早く感じるのは、なぜでしょう?
「特殊ガス」ブログがあるからでしょうか?

さあ! 今週もいってみましょうか!!


(38話)半導体材料ガスってなんだろ(その2) 10.9.17
こんばんは

さて半導体材料ガスのつづきです。

 半導体の製造プロセスは多くの段階・ステップに分かれています。
先週の記事で記した通り、極小電気基板を作るわけですが、平面で加工して、
一部を掘り進めたり、そして削って平面を出してまた製膜して、それからまた
削って・・・・と何度と無く"製膜して-削って-加工して"を繰り返します。

このいろいろな工程で使用される半導体材料ガスは多種多様です。

おまけに、作ろうとする半導体が異なればプロセスが異なり、使うガスも違っ
てくる。同様な物を作ろうとしても、微妙なプロセスの違いが各半導体製造メ
ーカーのノウハウになっている。

なんだか簡単にしようと思ってもなかなか難しいですね半導体。。

 さて、以上のようにプロセスによって、製造する物によって使われるガス
も違ってきますし使うガスの量や種類が異なります。この手の具体的なガス
の使い方について"レシピ"と呼ぶことがあります。

レシピ?


料理の世界でも使う言葉ですね。 レシピ。

そうなんです。
料理の作り方や味付けと同じなんです。
同じ料理もいろいろな作り方がある。
いろいろなスパイスの加え方がある。


半導体もこの"レシピ"という言葉を知ると少し身近になりました?


藤村Fさんが"排ガス処理装置"の記事を書かれています。
レシピって言葉は排ガス処理装置の選定にも結構大事な言葉です。

そうそう! 半導体材料ガスって言葉の通り"材料"として使われるんです
けど、半導体製造プロセスで消費されるガスは実は非常に少ないんです。

例えば・・・

あるプロセスでモノシランを使っている時、100流したモノシランは
どれくらい"材料"として消費され、どれくらいが"無駄"になって排
気されるのでしょう?

もちろんプロセスによって大きく異なりますが、概ね5~20が消費(
使われて)残りがそのまま排出されるんです。

何となくもったいない気がしますね。
でもこれも仕方無いんですよね。

半導体材料ガスの殆どが猛毒ガスでしかも燃焼や爆発というやっかいな
物性を持っています。従って、殆ど消費されずに排出されるガスは"無
害化"しなければなりません。忘れていましたが、供給する側にも安全
性に十分考慮しなければなりません。おまけのとても複雑なプロセスに
使われる為に"不純物"もキチンと管理されていなければなりません。

今までいろいろと特殊ガスの技術などに触れてきましたが、それら全て
の技術を結集しなければ、半導体材料ガスを使う環境を提供出来ないん
です。


半導体材料ガス・・・・

やっぱり難しい記事になってしまいましたすみません。
今日はこの辺で。

 by SGマイスター

深く、広い、半導体材料ガスの世界に突入しましたね!
ゆっくりと皆さんと一緒に、勉強して参りましょう!

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ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は?
 9月17日 金曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝20℃、昼28℃、夜26℃

です。


NHKの朝の連続ドラマ「ゲゲゲの女房」が、来週の最終週を迎えて
巷でも大盛り上がりだそうです。

そして、早くも新たな番組が9月27日からはじまるそうです。
関西の尾道や大阪を舞台に「食の大切さ」をテーマにして
お好み焼きを題材にした「てっぱん」がスタートします。

楽しみですね、お母さん。

 by との

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