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大流量タイプのマスフロー

2009年10月28日 23:56

 ガスの流量を正確に測定する質量流量計のマスフローには

分子量の小さな、軽いガスを測定する場合気を付けたい注意

点があります。

水素やヘリウムガスなど、流量制御自体に問題は無いのですが

流量が大きくなっていくと流量計のキャパシティーとコントロール

バルブのキャパシティーに開きが出てきてしまいます。

2009.10.28MFC.jpg
大流量型MFMと多少小さな口径のコントロールバルブ

要は、マスフローの流量センサーとコントロールしている制御バ

ルブが一体型のマスフローコントローラーの場合には、流量計

のサイズで合わせてしまうと、バルブのCv値が微妙に合わない

制御しない事態になるのです。

本来は、バルブのサイズに合わせて流量計が最大流量域まで

流れるよう、おのおのサイジングして選択することがベストなの

です。

外観こそ、マスフロー部とコントロールバルブ部が別筐体になり

スマートではありませんが、お互いのキャパシティー内に収める

ことができるので、見かけは別でも、一体型よりも調子よく動作

してくれるのです。


流量制御機器のことなら川口液化ケミカル株式会社まで

どうぞ宜しくお願い致します。

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