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第65夜 まとめ〜ゼロ点ズレはMFC最大の弱点と最大の誤解が元です MFC/MFM
ガスをどれだけ流すか？
その制御のためにはガス流量計が必要です。ガス流量計のなかでも
マスフロコントローラーは成膜技術に至る高精度の流量コントロールが
可能です。流量制御に関する毎週水曜日の解説シリーズ第六十五話
のはじまりです。
第65夜 まとめ〜ゼロ点ズレはMFC最大の弱点と最大の誤解が元です
皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語 第65夜です。
シルバーウィークという聞きなれない言葉で彩られた連休も最終日ですね。
我が家は家族が体を壊した事もあり、お墓参りだけでした。それでも普段より
渋滞が激しく疲れてしまいました。休みに疲れに行っては本末転倒ですね。
お手元のMFCも疲れていませんか？
さて、前夜まででゼロ点ズレの容疑者達を全員逮捕できた訳ですが、彼らを
類別してみますと面白い事がわかってきます。今夜はそこをまとめて、本題の
区切りとしましょう。
第一にゼロ点ズレには、MFCが採用している熱式センサーの特徴というか弱点
（SN比、熱影響）がはっきり出ていることです。前に微少流量用MFCをご説明した
ときのキーワードはセンサーのSN比でした。MFCのセンサーは、二対のヒーター線
のバランスで成り立っていて、そのわずかな抵抗値の経時変化によりゼロ点がシフ
トする構造になっている事と、センサーの生出力が数mVであり、これを後段のアン
プで増幅して０〜5Vの流量信号としている事により、決してSN比が良いセンサーと
は言えません。
そして、もう一つ熱式センサーであるが故に、周囲温度や姿勢影響を受けやすい
事です。また、周囲より高温になるセンサー部分の外気影響を緩和すべく使用され
る材料の個体差、環境変動も原因となります。こういった弱点を持つMFCは、結構
神経質な機器です。ラフな環境設定で使っていただくには適さない製品だという事
をご理解ください。
第二にはMFCが自ら流量制御を行う小型装置的な性格を持ちながらも、ガス、電
源、流量設定信号に至るまでの供給は外部からであり、その制御に関しては決して
スタンドアロンで成り立た無いことから生じる誤解です。即MFCの故障と考える前に、
MFCを取り巻く環境を一つ一つ切り分けていただく事で、迅速なトラブルからの復帰
が可能になるかもしれません。これは隣のラインのMFCとケーブルを付け替えてみた
り、別の電源を使って操作してみるだけでも簡単に実施できます。
MFCに限りませんが、機器の特徴を把握し、弱点を知る事、不具合が生じた場合は、
慌てずに現象を切り分ける事ができるようになる＝機器を「使いこなす」というレベルに
到達することです。
1年前からの世界不況で、MFCメーカーさんも人員縮小、サービス拠点の統廃合等
で、どうしても顧客様へのサポート力が低下しがちです。サポートというものはやはり
人の手、人の知恵、人の経験で行うものです。こういった環境下で、皆さんの手元にあ
るMFCを有効に活用して生産や研究に専念して頂くために、少しでもこの「MFC千夜一
夜物語」が手助けになればと思っております。それでは！また来週。
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
９月２３日 水曜日
天気 はれ
気温 ２３℃（PM9:30）
です。
埼玉県杉戸市にある田んぼで稲の刈り取りのお手伝いを
してまいりました。刈り取り後の「落ち穂拾い」をはじめて経験
しましたが、手作業での田植えから雑草取りまで経験し、稲穂
になった稲を収穫する段階まで携わっているので、脱穀の際
取りこぼれた稲を拾う作業がどんなにか大切に思えました。
投稿者: 管理人 日時: 2009年9月23日 21:18 | 固定リンク：第65夜 まとめ〜ゼロ点ズレはMFC最大の弱点と最大の誤解が元です MFC/MFM