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汚い流体用マスフロー

2009年9月 2日 19:54

半導体や液晶など、クリーンな環境が当たり前の仕様もあれば

コンタミや、ズバリ言ってしまえばゴミなどが含まれる流体に対し

強いマスフローがあります!

2009.09.02MFC.jpg

見た目は、綺麗なマスフローですが、汚れに強いんです!

サーマルセンサーがインサーション(挿入)タイプで

「湿度の高い流体」「パーティクルの多い流体」

に対して、良い意味で鈍感なんです。


本来、マスフローメーターやマスフローコントローラでは、きれいな流体を

対象としておりますので、流体中にパーティクル(ゴミやチリ、湿気など)が

含まれていると、メーカーに関わらず、問題を起こす原因になります。

マスフローの測定原理故に、サーマルセンサー部分がバイパス式となって

いて、とても細いセンサーチューブになっています。

このセンサー部が、パーティクルの多い流体や湿度の高い流体だったりすると

もろに詰まってしまうためです。

気体ない流体では、たとえマスフロー直前にフィルターを入れたとしても・・・。

どんなもんでしょう。


とは言え、アプリケーションによっては、パーティクル測定装置の流量監視など

フィルターすら付けてはならない環境では、冒頭のよれに強いマスフローしか

ありません。

2009.09.02MFC1.png
汚れに強いマスフローセンサー部

大気の分析用途では、あまり良い流量計がありませんが、これならばタフに

利用ですね。

また、外部機器のコントロール機能もついておりますので、ブロアーやポンプ

などを直接制御することもできますので、ご検討下さい。


MFC / MFM / APCのことなら
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 9月2日 水曜日
 天気 はれ
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です。
 先日、子供のお付き合いで幕張メッセで開催されている
「恐竜展」を見に行きました。
近年、中国の発掘家がゴビ砂漠で世界最大級の羽毛をもつ
恐竜の化石を発見して脚光を浴びているそうです。
経済も考古学も、中国が元気が良いようです。

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