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第57夜 ゼロ点ズレの犯人〜MFCの寿命？ ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
目に見えないガス（気体）をどうやって計測するのか？
浮子式のパージメーターが見た目にも流れを感じやすく、確認しやすいのですが
いかんせん精度が悪すぎます。正確な流量を計測するにはマスフロコントローラー
が最適です。それではマスフロコントローラーの解説シリーズ第五十七回目のスタ
ートです。
第57夜 ゼロ点ズレの犯人〜MFCの寿命？
皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語 第57夜です。
豪雨による被害が西日本で発生したり、関東では竜巻で車が横転したり、なにやら
大荒れな日本の夏ですね。
さて、ゼロ点ズレの原因その１として「センサー線の抵抗値変化」からお話しましょう。
これはMFC自体の寿命を左右する一番大きなものになります。以前お話ししましたよう
に、MFCの流量センサーは、上流／下流の二対の巻線抵抗が、ヒーターと熱伝対の役
割を果たしており、ブリッジ回路を形成しています。この二対の抵抗値バランスがとれて
いる状態が＝流量０です。流体が流れ込んでくると、上流側の熱を奪って、下流側に運
んでいくことになり、熱バランスが変化します。この変化量が流量に比例する・・・というの
が、MFCのセンサーに使用されている熱式流量計の基本原理でしたね。
ところがゼロ点ずれというのは、本来流量０でバランスしていなければいけないはずの
この巻線の抵抗値が、経時変化等によりで崩れてしまっている場合に発生します。
上図の?@流体が流れていない状態で?Aの状況になってしまっているのですね。
こういった現象は、一つにはMFCの寿命とも言えます。通電状態では常に100℃近い
温度に発熱しているヒーター部分ですから、何年も使用していただくうちに、どうしても
経年変化が生じます。その変化が両方の巻線に同時かつ均一に発生する事は、まず
考えられませんから、どこかで初期のバランスは崩れてくることになります。これにはメ
ーカー差や、巻線自体の個体差もあり、一概に何年とは申し上げにくい性質があります。
昔は１〜3年、最近の製品はメーカーさんの努力でかなり安定が良くなってきていますの
で5〜8年使えてしまいますが、機械物ですから永遠の寿命はありえません。
この現象への対処方法としては、必ずMFCにはゼロ点調整用のボリュームや、ゼロリ
セットスイッチがありますので、それを用いて都度バランスを再調整してやればいいので
すが、ただ、寿命がきているとしたら継続的に劣化が起こり、「調整しても、調整しても、
またしばらく経過したらずれている！」という状況になります。その場合は、メーカーさんに
修理に出して頂いた方がいいですね。センサー交換され、新品にリフレッシュされて戻っ
てきますから。
それではまた！
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
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ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
7月29日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝26℃、昼32℃
です。
ラグビーのワールドカップが日本で開催されることに決定したそうです。
今まで、南半球がメイン会場でアジアはラグビー後進国ということもあり
開催された例がなかったそうですが、この度、日本が初のアジア開催会
場となるようです。
大学ラグビーを観戦しても、肉弾戦を生で見ると白熱した雰囲気が伝わり
熱くなるものです。かなり先ですが、また将来の楽しみができましたね。
投稿者: 管理人 日時: 2009年7月29日 19:22 | 固定リンク：第57夜 ゼロ点ズレの犯人〜MFCの寿命？ ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ