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10mL/hr , 10g/hr 液体微少流量制御 Part 1

2009年7月29日 19:22

 10g/hr (10ml/hr) もしくは、それ以下の液体の流量を制御する場合
一般的には測定や制御をサーマル式マスフローコントローラーで行い
ます。

しかし・・・

これほどの微少流量レンジになりますと、サーマル式での検出限界です。

完全にキャリブレーションのコンディションと同じ環境であり雰囲気を作る
ことができればそこそこの精度が出るものと思われますが、比熱、熱伝
導率、密度などが変化してしまうと、サーマル式では精度保証が難しくな
ってきます。

そこで、圧力や温度変化に影響しない

「コリオリ式センサー」

の出番となりますが・・・


10g/h, 5g/h など非常に流量の少ない微少流量となると、コントロールに加え
流量計測まで可能なコリオリ式センサー内蔵のマスフローはなかなかござい
ません。

では、この流量域をカバーするにはどうすればよいのでしょうか?


つづく・・・。




ガス流量制御機器のことなら川口液化ケミカル株式会社まで

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は?
 7月29日 水曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝26℃、昼32℃

です。
 ラグビーのワールドカップが日本で開催されることに決定したそうです。
今まで、南半球がメイン会場でアジアはラグビー後進国ということもあり
開催された例がなかったそうですが、この度、日本が初のアジア開催会
場となるようです。
 大学ラグビーを観戦しても、肉弾戦を生で見ると白熱した雰囲気が伝わり
熱くなるものです。かなり先ですが、また将来の楽しみができましたね。

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