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ジクロロシラン SiH2Cl2

2009年5月 5日 03:23

 半導体工業での高速度エピタキシャル成長や
窒化シリコン膜の生成に利用されいているSiH2Cl2
ジクロロシラン(二塩化シラン)のご紹介です。

SiH2Cl2 分子量 101.010  可燃性・毒性ガス

物理的性質は?
 気体では無色透明で刺激臭がします。密度が
25℃、0Pa、空気を1とした相対密度で 3.52 です。
液体の場合には、白色で密度は、15℃、0.03MPa
において 1.247 kg/Lで、沸点 8.4℃、蒸発潜熱が
249 kJ/kg(沸点)、臨界点 176.3℃において4.28
MPaです。
 発火点は気体で、50〜100%、爆発範囲は4.1
〜99%、許容濃度の規定はありませんがクロルシラン
と類似した毒性と考えられ 5ppm 程度のようです。
クロルシランは、水と反応して塩酸とポリシロキサンと
なり、刺激、腐食作用を持っています。気道に吸入
すると皮膚や粘膜、気道に刺激を与えます。特に
目に対し飛翔暴露により 失明の危険があります。
症状として、皮膚、粘膜、呼吸器系の刺激、腐食
症状が主で、皮膚の重い化学性火傷や壊死、目
の粘膜炎などが起こります。気道に対する炎症は
重い肺水腫、肺炎などで呼吸困難、流涙、鼻汁など
です。非常に広い爆発範囲で、50〜100℃で自然
発火して塩化水素や塩素、水素、シリコンなどに変
化します。

化学的性質は?
 一般にシラン、ジシランに比べて熱安定性が高く
酸化剤との反応は穏和です。その反面、水とは激し
く加水分解し塩化水素を発生します。アルカリ、アル
コール、アセトンなどと反応し、危険な重合体生成は
水、アルコールと接触しない限り起きません。水分を
含まないものでも腐食性が強く、特にアルミニウム
銅などは使用できない材料ですので注意が必要です。
水分を含んでいると塩化水素や塩酸となりますので
更に材料の選択が難しくなります。

適用法規は?
・高圧ガス保安法
・労働安全衛生法(令別表第一危険物可燃性のガス)
・船舶安全法(危規則第三条危険物等級2.3高圧ガス)
・航空法(積載禁止)
・港則法(規則第十二条危険物高圧ガス)

英語名 Dichlorosilane 別名 二塩化シラン
CAS No,4109-96-0
国連番号 2189
既存化学物質番号 1-217


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ガスマニホールド・ガスボックス・流量制御機器)・現場での
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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は?
 5月5日 火曜日
 天気 くもり
です。
 こどもの日ですね。
大きな鯉のぼりが風にのっておよいでいると
気持ちがよさそうに感じますね。
新緑の緑も徐々に黄緑色から深緑へと変化
してきているようです。

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