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微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？ MFC/MFM
ガスの流量に関する解説シリーズ第四十七回目です。
だんだんと深いお話になってきています。理解できてます
か？解らなかったらお問い合わせください。 Deco先生が
MFCの教えを授けていただけることでしょう。それでは先生
よろしくお願い致します。
第47夜 微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？ Part１
皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語 第47夜です。
我が家に電動アシスト自転車がやって来ました。最近のエコ
ブームと不況の影響もあり大人気商品らしく、注文してから1ヶ
月以上待たされました。でも、待った甲斐のある性能です。自
転車と操作は同じですが、ただ通常の自転車と違って昔なが
らの「けんけん乗り」は厳禁とか・・・やはり使用方法はちゃんと
マニュアルを読んで理解しないといけないですね。
さて、微少流量MFCに関してのお話です。このお話はS/N比
（シグナル／ノイズ比）という言葉が絡んできます。微少流量
MFCは通常のMFCと同じ熱線式センサーを使用しています。
仮に本来5SCCM流れるべき構造のセンサー管で1SCCMを流
した場合は、当然センサー出力は5SCCM流したときの1/5に
なります。MFCのセンサーは、熱の移動をブリッジ回路で数mＶ
の電圧信号で取り出し、それを後段のアンプで増幅して5Vに
するというお話を以前いたしましたが、ここで仮に通常タイプの
センサー出力が5ｍVであったとしたら、1SCCMをフルスケール
とする微少流量MFCでは1/5の1mVです。つまり1SCCMのMFC
が使えるセンサー出力＝シグナルレベルは通常タイプの1/5に
なってしまうのです。
一方、MFCのセンサーは二対のヒーターのバランスで構成され
ていますので、その二対のバランスが崩れた場合、その出力の
基点となるゼロ点のズレが発生します。このズレ量はヒーターの
抵抗値であらかた決まっていますので、センサー構造が同じ固体
である限り大きく差はありません。そして、1SCCMフルスケール
の微少流量用に使おうと、通常タイプ用に使おうとこの値自体は
変わりません。つまりノイズレベルの大きさは変わらないのです。
この現象でシグナルとノイズの比率をS/N比は低くなってしまいま
す。これが低くなると一体どういう問題が生じるのでしょう？その
説明はまた次回。それではまた！
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
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どうぞご相談ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
５月２０日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２１℃、夜２７℃
です。
日陰に入ると風が涼しいものの
相当なギラギラした強い日差しが
一日中ふりそそいでいました。
プールに入れそうなくらいの陽気でしたね！
投稿者: 管理人 日時: 2009年5月20日 12:47 | 固定リンク：微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？ MFC/MFM