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微少流量MFCの世界へ ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
マスフロコントローラーってなんでしょう？
そんな素朴な疑問をも解決できるＭＦＣ解説シリーズ
第四十六回目の講義です。それでは講師のDecoさん
よろしくお願い致します。
第46夜 微少流量MFCの世界へ
皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語 第46夜です。
ハイブリッドカーの販売量が拡大してきたようです。ガソリンを
大量に消費して、大排気量エンジンでパワフルに走れるよう
な世の中ではなくなってきたのかもしれません。
さて、大流量MFCのお話から転じて圧力とMFCの関係のお
話をしてきました。今夜からは今度は小さい方、微少流量MFC
に関してのお話です。微少流量用途にMFCを使いたいという
お問い合わせは結構頂くのですが、一般的な熱線式センサー
方式MFCのフルスケールは1SCCM程度が下限になっていま
す。「もっと小さな流量を！」というご要望はあるのですが、残
念ながら色々な要素が阻害要因となり、実現できていません。
阻害要因＝犯人の一人は、大流量MFCの時と同じで、「セ
ンサー」です。「MFCの熱線式センサーはそれ自体で5〜10
SCCM程度の流量を流します」というお話を以前大流量MFC
のご説明でさせていただきましたが、実はここに答がありまし
て、センサー管に流れる流量をこれ以上は小さくできないので
す。
熱線式センサーで「流量を測定する上で「最適な状態」であ
る層流状態を作り出し、なおかつセンサー管の外周に巻かれ
たヒーターから与える熱を確実に流体に伝えるために、MFCの
センサー管は内径0.4〜0.8mm程度の細い筒に設計されてい
ます。この細い管を臨界レイノルズ数以下の状態に保てる流
速で流せる流量というのは、自ずと制限されてしまい、10SCC
M以下の微少流量しか流せません。」というご説明を「第31夜
「層流」を作らなくては、流量は測定できない！」でさせていた
だきました。これを逆に考えるならば、10SCCM未満のフルス
ケールのMFCならば、層流素子（バイパス）レスでセンサー管
だけで作れるのです。
では、フルスケール1SCCMのMFCはどう作られているので
しょうか？簡単です。センサー管だけのシンプルな構成である
ことは、フルスケール5SCCMレベルのMFCと変わりはありませ
ん。大きく分けると2通りあり、1つは全く同じ構造のセンサー管
で1SCCMならば1/5になるセンサーでの熱移動量を5倍に増幅
して使う方法と、もう1つはセンサー管内にある程度の抵抗を設
置し、センサー管に入ってくる流量そのものを1/5に制約してしま
う方法です。この2つの方法の限界が微少流量MFCを作る上で
の制約になるのですが、もう一つそれ以上に難しい阻害要因＝
犯人が隠れているのです。
大流量MFCよりもある意味難しいかもしれない微少流量MFC
の世界・・・次週からは本格的にご案内しましょう。それでは！
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
基本的なことでもＭＦＣに関して疑問があれば
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談
ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
５月１３日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２１℃、昼２６℃、夜２４℃
です。
母の日！
スーパーではカーネーションや花束のコーナーが
設けられており、買い物客に交じってお父さんたちが
恥ずかしそうに花を買い求める姿がチラホラありましたね。
そう、私もその一人でした。（恥ずかしい・・・。）
投稿者: 管理人 日時: 2009年5月13日 09:32 | 固定リンク：微少流量MFCの世界へ ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ