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第38夜 親亀の上に小亀が乗って・・・バルブ編 (MFC/MFM)
週間「マスフロー」ともいえるこのコーナーも３８回目になります。
講師の Decoさんご自身も、後世に技術を伝承すべく、あつい想い
で投稿いただいております。それではいってみましょう！
第38夜 親亀の上に小亀が乗って・・・バルブ編
皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語 第38夜です。
原稿を書いている現在はWBCの話題で持ちきりです。やはり日本人
は野球が好きなのだな〜と実感しています。折も折、道頓堀川で行方
不明だったカーネルサンダース人形も発見されましたね。川の流れとは
いえ大きな流れ、たまらず流されていたようですね。
さて、大流量MFCと言いながら、今までは流量センシング(MFM)の部
分のみをお話してきましたが、今日はMFCのもう一つの要素であるバル
ブのお話です。
大流量MFCにとって、一番難しいのは制御バルブの部分になります。
前にMFCのバルブ構造に関してお話しましたが、MFCのバルブは基本
的に100SCCM程度のミクロンオーダーの流量でガスを漏らすように流す
構造ですので、大きな流量を供給するのにはかなり難しい構造です。
1000SLMといえば1万倍の流量になります。こういった流量では当然、
求められる構造も変わってくるのです。
MFCで100SLM以上の大流量制御に使用されるアクチュエータは、ほと
んどソレノイドタイプです。ピエゾはパワーもあり、分解能もいいアクチュエ
ータですが、残念ながらストロークが短く、何段も積み重ねても大流量に
使うには難しいのです。
その点、ソレノイドは電磁力で引っ張りあげるタイプですから、コイルの巻
き数を増やし、流す電流を増やせば、起磁力が大きくなり、なんとかなるの
です。
その方式は色々です。まず、スタンダードな方法では、上記の原理でソレ
ノイドバルブ自体の起磁力を増やします。通常のMFCでは電源から供給さ
れる±15VDCのうちマイナス側のみを使ってソレノイドの制御を行っていた
のを、大流量ではプラス側も使って、あわせて最大30Vの電圧でコントロー
ルしたりするメーカーさんもあります。消費電流量はかなり大きくなりますが・・・
もう1つはユニークな方法で、ソレノイドと空圧アクチュエータを組み合わせ、
流れるガスの圧力を使って空圧アクチュエータを開閉する方法です。ここで
ソレノイドは空圧アクチュエータの内圧を制御するパイロットバルブとしての
み動作し、流量制御は空圧アクチュエータが受け持ちます。その姿はまさ
に親亀の上に小亀が乗っているが如しで、よほどこの業界の設計者はこの
スタイルが好きみたいですね。本方式はかなり大きな流量に対応できます
が、半面応答速度の問題、ガス制限、メタルシール化不可、バルブの締め
切り性能低下などの問題も抱えています。
次回はそのあたりをDecoの恐怖体験を交えて、詳しくお話しましょう。
それでは。
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
MFC/MFMも設計者の思想が形になったものなんですね。
マスフローは、四角四面のただのガス機器ではなく、愛情
が込められた結晶なんですね。勉強になります。
ガス供給設備、ガス配管工事、高圧ガスのご用意のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月１８日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝９℃、昼１８℃、夜１４．５℃
です。
先日、JR福島駅に行きました。
新幹線ホームで待合していると、新幹線が通り過ぎていきました。
同じ感覚を昔の国鉄 浦和駅で感じたことがあります。
「県庁所在地に電車が止まらない！」
昔の話です。
武蔵野線も大雨でよく運休してましたからね。
投稿者: 管理人 日時: 2009年3月18日 20:43 | 固定リンク：第38夜 親亀の上に小亀が乗って・・・バルブ編 (MFC/MFM)