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ダイヤフラムとは何ですか？ (MFC)
マスフロコントローラーの解説シリーズも第二十一回目を
数えます。ここまで教えをいただいたら実践に移したいところ
です。さて、今夜はどんな話でしょうね？
では、Decoさんよろしくお願い致します。
第21夜 ダイヤフラムとは何ですか？
皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語 第21夜です。
朝夕本格的に寒くなってきましたね。昨夜、出張先から帰宅し
ようと、新幹線のホームに立ったら、あまりの寒さに震えてしま
いました。インフルエンザも早々に流行りそうですし、体調は要
注意ですね。
「力持ちなピエゾを使うことが、MFCのバルブ構成でメリットにな
るのは、「金属ダイヤフラム」型のバルブを形成できることです」
と前夜お話ししましたが、「ダイヤフラム」って何？？とおっしゃる
向きもあると思います。「ダイヤフラム」（「ダイアフラム」とも表記
されます）は「あるものと別のあるものを分離する為の薄膜」とい
う意味です。
ＭＦＣが関係する配管関係では、ポンプ、閉止弁、圧力センサー
等に幅広く使用されています。これは「分離する」という特性が、
特に腐食性ガスや毒性ガスを使用する際に、「空気、水分との
反応を防ぎ機器を長持ちさせる」「接ガス面積を少なくして外部
への漏れを無くす」「容積を小さくして、ガスパージ（ガス排出、
不活性ガスへの置換）を速くする」という非常に安全な方向へ活
用できるからです。
「ダイヤフラム」は、その役割で大きく2つに分けられるとDeco
は考えます。１つは「分離目的のみで固定した状態で使用され
るもの」と、もう1つは「分離目的とともに、可動しある役割をはた
すもの」です。MFCでピエゾアクチュエーターと組み合わせて使う
場合は、後者の役割になります。図を見て頂けると「ダイヤフラム」
が、紫色のガス部と白色の大気の部分を分離するとともに、アク
チュエータの伸縮で開閉（可動）しガスの流れる量を制御する役割
をはたしているのがおわかり頂けるかとお思います。
ところでMFCのバルブは流量センサーの出力と、設定流量信号
入力が一致するように、バルブの開度を制御するわけですから、
常にバルブは動いています。動くと言うことは柔軟でなくてはいけ
ないのですが、腐食性と耐久性などを考慮すると、ゴムなどの樹脂
製は使用できず、やはり金属製、それもステンレス等の材料を使用
したいところです。
しかし、そういった金属ダイヤフラムは一概に堅いものです。これを
押して、変形させ、更にソレを維持し続ける、更に開度を変えるため
高速で動かなくてはいけない・・・
これにはかなり力持ちで。しかも瞬発力もないとだめですね。そこで
活きてくるのがピエゾの「力持ち」特性です。まさに適役であったと言
えますね。「ダイヤフラム」を活かすのはピエゾであり、逆に言えばピ
エゾの能力を最大限に生かしたバルブを作るには「ダイヤフラム」が
かかせないわけですね。
では、また来週。
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
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ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
今日の埼玉川口のお天気は？
１１月１９日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝８℃、昼10℃、夜8.5℃
です。
今日は冷えましたね！
インフルエンザが関西で流行し始めたようです。
手荒い、うがいの励行を習慣にしたいですね。
投稿者: 管理人 日時: 2008年11月19日 23:23 | 固定リンク：ダイヤフラムとは何ですか？ (MFC)