シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

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スーパーアンモニア S-NH3

2008年4月14日 22:58

 半導体に必要な高純度ガスにはさまざまな種類のガスが
メーカーにより用意されております。

アンモニア(NH3)の製品規格は?

純度 99.999 vol.%
N2 < 5.0 vol.ppm
O2  < 2.0 vol.ppm
CH4 < 1.0 vol.ppm
H2O < 2.0 vol.ppm
容器 47L (25kg) or 10L (5kg/2kg)
容器バルブ JIS.W22-14R

となっています。

 化合物半導体の用途に更なる高純度アンモニアガスが
用意されています。
s-NH3.jpg

純度 99.9998 vol.%
N2 < 1.0 vol.ppm
O2  < 0.1 vol.ppm
CO  < 0.1 vol.ppm
CO2  < 0.1 vol.ppm
CH4 < 0.1 vol.ppm
H2O < 0.1 vol.ppm
SiH4 < 0.05 vol.ppm
GeH4 < 0.05 vol.ppm
H2S < 0.1 vol.ppm

容器 48L (19kg:1.5MPa/14kg:1.5MPa/8kg:1.5MPa)
9.4L (1.8kg:1.5MPa )
容器バルブ JIS.W22-14L

と優れたクオリティを保証しております。

高純度アンモニアガスのお問い合わせは
川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご相談ください。

TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。


今日の埼玉のお天気は?
 4月14日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝10℃、昼11℃、夜15℃

です。
プロパンガスの漏えいが大阪であったそうです。
ガス漏れのクサイ匂いがしたら、火の元に注意し、ガスの
元栓を閉じ、風上など安全な場所に速やかに非難しましょう。

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