ドライエッチング装置 Part２
ドライエッチング装置は、ガスを導入して反応を開始する
前後でメインチャンバーやプリパレーションチャンバーを高
真空まで真空排気する必要がありますので、油拡散ポンプ
・クライオポンプ・ターボ分子ポンプなど高真空ポンプを使用
することとなります。
かたや装置の排気系で低真空ポンプ側には反応性生物や
活性なガスが直接回ってきます。油回転ポンプなどの場合
鉱物油オイルはあっという間に変質してしまいます。フッ素系
オイルのフォンブリンオイル仕様にすることも対策の一つですが
オイルフィルトレーションを利用してオイルの中の異物を取り除
いたり、活性アルミナなどで酸化したオイルを中性化したりする
ことでポンプの寿命やオイルの劣化を防ぐことも可能です。
油回転ポンプのオイル漏れ、到達真空度の劣化、故障など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
７月１４日
天気 雨
気温 ２１℃
です。
台風４号の九州上陸時の中心気圧は９４５ヘクトパスカルで
７月に上陸した台風としては１９５１年の観測開始以来最も
低く、過去最強級なのだそうです。
土曜、日曜と屋外に遊びにいけず
子供たちは親とゆっくり話ができる
良い機会になるかもしれませんね。