真空計の構造 Part１５
真空計シリーズの最終回です。
高真空領域のゲージのご紹介です。
高真空ゲージ
・裸真空計
Nude gauge
・軸対称透過型電離真空計
Axial-symmtetric transmission gauge
A-T gauge
Hot cathoude ionization gauge
先ずは、「裸真空計」 からのご紹介です。
ヌードゲージと呼ばれる接続フランジからチャンバー側へ
フィラメント、イオンコレクタ、グリッドなどが裸の状態で
挿入されていることからそう呼ばれています。
ガラス球やコレクタシールドなど存在しないため
感度が優れています。その反面、真空装置系側で発生する
電子やイオン、ゲージ自体から発する電子、イオン、熱影響など
受けやすい真空計です。センサー部が露出しているので
取り扱いに注意を要するゲージです。
次は、「軸対称透過型電離真空計」 です。
名称自体の軸対称形のエネルギーフィルターをイオン化室と
集イオン電極との間に配置しており、気体のイオン電流を電子
励起脱離イオン電流から区別して、測定可能な圧力限界を
低減化し、極高真空の測定を可能にしています。
電子励起脱離イオンは、集電子電極に電子が入射したとき
表面に吸着していた原子、分子がイオン化し、中性子として
脱離する現象です。
集イオン電極に入射したイオンは、本来の気体イオンと
区別できず限定下限をきめる要素となっています。
以上、真空計シリーズ最終回でした。
いろいろな真空計があり、低真空から高真空、果ては極高真空まで
数種類の真空計を複合的に切り替えながら真空状態を測定する
ことが必要なことは、これまでの各種のゲージの紹介内容で
ご理解いただけるのではないかと思います。
更に、製品の改良や精度の向上など目に見えない
進歩も目覚しいものがあります。
最近では、非常に安価な残留ガス分析計も登場し
ディテクタ代わりに使用するなどといったことも可能になりつつあります。
真空計でチャンバー内の真空度を計測する際には
適した真空ヘッドを選択することが必要です。
真空計のご相談は、川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談ください。
TEL 048-282-3665
よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。
人生の格言
運命を切り開く言葉とは？
「運命に向かい喚き、罵しりてなんの利益ありや
運命はつんぼなり。」
（エウリピデス）