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真空計の構造 Part6

2006年10月27日 19:17

真空計の種類も6種類目のご紹介になります。
ちょっと聞きなれないものも出てまいります。

膜式真空計(弾性真空計)のご紹介です。

英文名は Diaphragm gauge(Elastic element gauge)です。
まだ、ピンとこないですね。
一般的には、キャパシタンス・マノメーターと呼ばれています。

MKS社さんで著名な真空計というか大気圧計というか
低真空領域の測定計です。

薄い円形の金属片やものによってはセラミック板の平板または
波板を隔膜として、真空側と大気側の圧力差によって生じる膜の
変位をインダクタンス変化や静電容量変化でセンシングしたり
歪センサーで検知する差圧計です。
この真空計は、原理が単純なためガス種によって値に影響を
受けない絶対圧を測定可能です。そのため他の種類の真空計の
校正基準機として用いられたりしているようです。
その反面、反応性ガスに対する耐性や、ヒーターつきガス種により
ヒーター付きの機種を選択しなければならない場合などがあります。
他の真空計と比較すると、高価な真空計です。


絶対圧真空計、キャパシタンスゲージのご用命、ご相談は
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TEL 048-282-3665

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よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。


今日の格言
女性にとっての人生観とは?

「子を育てることが覚えてから嫁に行く女がいるか」
(朝鮮のことわざ)
 不言実行こそ美徳といった意味。
実際にやってみもしないで、予想される結果だけをあれこれ
思い煩ってもなんにもなりはしない。先ず、なにはともあれ
やってみなければ事の良し悪しはわからない。

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