K-Cell

K-Cell

有機蒸着セル
・ICF70 のコンパクト設計
・２層ヒーター構造でルツボの温度勾配設定可能
・ルツボを変更し２源蒸着セルへ変更可能
・シャッター標準装備
・± 0.1 ℃　による温度設定可能
・素材の温度村防止の熱電ボール付属
ルツボ容量　　　：　8cc (1源) / 4cc (2源)
加熱制御温度　：　100 ～ 500 ℃
ルツボ材質　　　：　PBN/石英/高密度カーボン
取り付けﾌﾗﾝｼﾞ　：　ICF70
電源ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　 ：　主電源 AC100V (PID制御)

金属蒸着セル
・ルツボ容量１０ｃｃで手軽に使用可能
・均一なルツボ温度
・メンテナンスが容易
・安定性、操作性に優れています
応用蒸着材料
・Al , As , Ga , In , P , Si
仕様
常用加熱温度　：　1200 ℃
最高加熱温度　：　1400 ℃
ルツボ材質　　　：　PBN (Pure Boron Nitride)
ヒーター　　　　　：　Ta ( Tantalum)
熱電対　　　　　：　W 5% / WRe 26%
熱シールド　　　：　Ta 多層シールド法
取り付けﾌﾗﾝｼﾞ　：　ICF70

オプション
・ガス導入機構２系統
・Kセル、ターゲット間コーン型シールド
・イオンフローコントロールシャッター
・外部コントロール(各種パーツ）

*販売価格は、弊社までお問い合わせ下さい。