高圧用マスフローコントローラ (日本エマソン製)
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汎用型マスフローコントローラー(高圧用) | |
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| Eシリーズ | 258,300～ |
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| 半導体ウエハプロセス、LCDプロセス、光ファイバプロセス、一般研究用など、あらゆるプロセスに対応しています。コストパフォーマンスを徹底追及したスタンダードモデルであり、汎用ガスラインに適しております。 | ||
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スマートシリーズマスフローコントローラ(高圧用) | |
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| Sシリーズ | ￥212,400～ |
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| スマートシリーズは、アナログとデジタルの両方のインターフェイスを有しております。 | ||
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液体用マスフローコントローラ | |
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| フローメガシリーズ | ￥412,200～ |
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| フローメガは新しい熱力学的原理センサ設計(国際特許)に基づいた製品です。スルータイプのセンサーをを採用しております。 | ||
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液体用マスフローコントローラ | |
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| QUANTIMシリーズ | ￥お問合せ下さい |
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| QUANTIMシリーズは計測が困難とされる小流量の液体分野において、比類ない高精度とゼロ安定性を提供します。QUANTIMの心臓部は画期的設計(特許)のコリオリ式質量流量センサであり、流体の種類やプロセス変量(粘度、密度等)の影響を受けることなく流量を測定することが出来ます。 | ||
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