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SiCl4

2014年1月24日 22:11

特殊材料ガスに該当する四塩化珪素 SiH4 とはどのようなガスなのでしょうか?


物理的性質
 沸点    57.3℃
 融点     -70℃
 臨界温度   234℃
 臨界圧力   37 atm
 溶解度   水と反応して分解します。
       ベンゼン、エーテル、クロロホルム、石油エーテルに溶けます。

化学的性質
 ・四塩化珪素の熱安定性は高い。
 ・常温では空気(酸素)と反応しませんが、高温ではシリコンオキシ化合物
  を作ります。
 ・-23℃の低温で F2 とは反応しませんが、40℃の弱い光照射下では反応して
  SiF4 を生成します。液体塩素とは混合してヨウ素を溶解します。
 ・水より激しく加水分解されます。湿った空気中で水と反応し発煙します。
 ・カリウム、ナトリウムなどの金属で還元されて硅素を生成します。
 ・アルコール類とは珪酸エステルを作ります。

燃焼爆発危険性
 不燃性です。

毒性
 ACGIH TWA  規定されておりません。
 腐食性    毒性の強いガスで、皮膚や粘膜を激しく侵します。
        眼に入った場合失明の恐れがあります。気道や肺を激しく侵す
        ため吸引すると死に至る危険性を持ちます。


特殊ガスのご用意から、特殊ガス機器(流量計、マスフロ-コントロ-ラ-、マスフロ-メ-タ-)
特殊ガス配管工事までご相談下さい。
TEL 050-8881-3987
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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2014年1月24日 金曜日
 ※日本と台湾は台北で24日、沖縄県・尖閣諸島周辺の漁業権をめぐる取り決め(協定)
 で定めた水域の一部で、昨年4月の協定調印以来の課題となっていた操業ルールを策定
 し協定に基づく「漁業委員会」で文書に調印しました。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝2℃、昼3℃、夜5℃
 本日の電力最大消費率は?
 東電81%、北陸電88%、中部電88%、関西電83%、中国電93%、四国電90%、九州電92%
 北海道電95%、東北電85%

  *Twitter ランキング 
  1位:怪物くん、2位:進撃、3位:アイマス
  4位:巨人、5位:ZIP
です。

やはり、意思がどこにあるのかで決まる 

 相手や、環境や、状況はどうであれ


 自分は、どうしていきたいのか?

 自分は、どうなりたいのか?


 その気持ちが、何より大事。

 その意思の強さが


 自らの瞳を輝かせ

 相手に響き

 環境を作り

 状況を変えていく。

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との

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2011年1月16日 17:27

 エキタキシャル装置やCVD装置のシリコン系排ガスは、原料ガスが
そのまま真空ポンプ出口から排気されてきます。排ガスの除害方法は、
SiH4,SiH2Cl2,SiHCl3 は若干物性が異なるため、それぞれ単独での除害
として考える必要があります。

 SiH4ガスは、400℃付近で分解をはじめ750℃以上になると完全に分解
します。それ以下の温度では大部分がそのまま排気されてきます。燃焼
濃度範囲の 0.8~98 vol % の高濃度の場合、空気との接触で自然発火し
粉塵を発生します。
 SiH4 + 2O2 → SiO2 + 2H2O

低濃度の場合には比較的安定しており酸化分解のスピードは非常に遅く
なります。
 SiH4 + 2H2O → SiO2 + 4H2
 SiH4 + 2NaOH + H2O → NaSiO3 + 4H2

低濃度の SiH4 は、加熱して燃焼すると完全に分解し、薬液とはKMnO4
(過マンガン酸カリ)と酸化分解反応が速く進むようです。

 エピタキシャル装置に使用される SiH2Cl2,SiHCl3,SiCl4 は高濃度で使
用されるので排出される量も多く、大気中の水分と接触して分解し、微紛
体と供に排出されると水分と反応します。
 nSiH2Cl2 + nH2O → (H2SiO )n + 2nHCl(プロシロキ酸重合体)
 SiCl4 + 3H2O → H2SiO3 + 4HCl(メタケイ酸)
 2SiHCl3 + 3H2O → (HSiO)2O + 6HCl(シリコギ酸)

浮上性ノシリカ化合物が生成し、アルカリには容易に溶解します。しかし pH
の低下と共に再結晶化して浮遊します。
 SiH2Cl2 + 4naOH → Na2SiO2 + 2NaCl + H2 + 2H2O(ケイ酸ソーダ)
 SiCl4 + 8NaOH + NaSiO4 + 4NaCl + 4H2O(オルトケイ酸ソーダ)
 SiHCl3 + 5NaOH → Na2SiO3 + 3NaCl + 3H2O(メタケイ酸ソーダ)


 シラン系の除害は、SiH4では前段の燃焼で酸化分解させます。前段の分解塔
に湿式小型スクラバーを設け発火したときのため下部にシャワーリングを備えています。
容量は1~4m3/min に作られて室内設置が多いようです。低濃度の場合には
分解速度が遅いのでガスがそのまま排出され総合処理装置で洗浄及び希釈さ
れ大気開放されます。SiH4は分解率が低いので、乾式または強制燃焼式の処
理方法がメインになっています。 
 SiH2Cl2系のガスは加水分解し易いので、先ず第一塔目で加水分解させ、第
二塔目でHCl,SiO2などの反応生成物を除去する方法が望ましいとされます。
充填物の無いスプレー塔を用いるとSiO2の粉塵によるトラブルが少なく、またメンテナ
ンス時にも取り扱いがし易いようです。除害塔に導入するときには水素濃度を
爆発下限界である4%以下まで窒素や空気で希釈する場合と、装置から排気
されるガスをそのままの濃度で処理する場合に分けられます。他にも濃度に
関係なく燃焼酸化方式、湿式除去方式、吸着除去方式などを複合的に組合せ
完全除去する方式もあります。

特殊材料ガスや毒性ガス・腐食系ガス・自然発火性ガス・可燃性ガスなど
除害に係る設備、除害装置、特殊材料ガス配管工事、漏れ検査など
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ありがとうございます

今日のさいたま市のお天気は? 
 2011年1月16日 日曜日
 天気 はれ
 気温 2℃(PM8:00)

です。


プロ野球日本ハムの新人合同自主トレが千葉・鎌ヶ谷市
斎藤佑樹投手がダッシュらと、遠投など行いました。

小雪交じりの極寒の中、いまだかつて無い大勢の見物目的の
ファン達が練習場に詰めかけ、先行販売された斎藤グッズの
Tシャツ200枚、タオル200枚、ストラップ500枚は
販売開始前から長蛇の列があっという間にに出来上がり1時間
で完売したそうです。

さいたま市でもかなり寒かったのに、グラウンドはさぞかし
寒かったことでしょう。それさえも吹き飛ばす斉藤選手人気は
プロ野球を元気づけること間違いありませんね。

 by との

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2007年7月19日 21:10

 最近お問い合わせの多い四塩化ケイ素 SiCl4
ご紹介いたします。

 物性としては、湿った空気中で発煙し水と触れると加水分解が容易に
進んでHClガスを発生させます。HClガスは許容濃度5ppmの正真正銘
の毒性ガスです。
 熱分解するときに水と反応すると塩酸とポリシロキサンの煙を発生します。
この煙はとても毒性が強く腐食性もあります。ハロゲン化ケイ素は加水分解
して、皮膚、粘膜などを刺激して細胞を破壊するそうです。症状としては重い
結膜炎や上軌道炎、流涙、咳など起こします。四塩化炭素に似た中毒
が考えられます。
 燃焼・爆発性に関する危険性は文献がないものの少ないと考えられている
そうです。

 化学的な性質は、アルコール、エーテルなど有機溶剤には、付加化合物
や縮合化合物をつくって溶けます。熱安定性が高く、酸素などの酸化剤との
反応は遅く、酸素とは常温で反応しません。高温ではシリコンノキシ化合物
をつくり、0Pa、600℃以下では反応は進みません、
 600℃以上で2段階に反応が進み、シリコンノキシ塩化物を生成します。
1000℃以上になりますとSiO2と塩素を生成します。
 ハロゲン・ハロゲン化水素とは−23℃の低温ではF2と反応ししませんが
40℃で弱い光照射の下でSiBを発生します。塩化水素とは混合してヨウ素を
溶解します。カリウム、ナトリウム金属で還元反応すると珪素を生成します。
アルコール類とはケイ酸エステルを生成します。
 水分のある湿った条件で塩酸を生成するため強い腐食性があります。
使用できる金属は、低合金鋼、ニッケル鋼、銅ニッケル合金です。プラスチック
ですとテフロン、ケルーF、ポリエチレン、ポリ塩化ビニルの使用が可能です。

 製法は、ケイ素・二酸化ケイ素に塩素もしくは塩化水素のような塩素化合物
を作用させ生成させます。

適用法規は・・・
・船舶安全法(危規則第三条危険物等級八腐食性物質)
・航空法(規則第百九十四条危険物腐食性物質)
・港則法(規則第十二条危険物腐食性物質)

四塩化ケイ素 : Silicon tetrachloride (英文)
※別名 四塩化シラン(Terachlorosilane)、塩化シリコン(Silicon
chloride)、テトラクロロシラン(Tetrachloroshilane)
CAS No,10026-04-7
国連番号 1818
NIOSH No,VW 0525000
既存化学物質番号 1-258

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。


今日の川口のお天気は?
 7月19日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝19℃、昼20℃、夜21℃

です。
ここ数週間すごし易いというより夜寒いくらいの陽気が続いてます。
八月に入ると灼熱の夏休みお天気がはじまりそうです。
体力を蓄えて暑さ全開の夏を元気いっぱいで迎えましょう!!

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