SiCl4
ｴﾋﾟ・CVDなどｼﾘｺﾝ系排ｶﾞｽ処理
2011年1月16日 17:27
エキタキシャル装置やＣＶＤ装置のシリコン系排ガスは、原料ガスが
そのまま真空ポンプ出口から排気されてきます。排ガスの除害方法は、
SiH4,SiH2Cl2,SiHCl3 は若干物性が異なるため、それぞれ単独での除害
として考える必要があります。
SiH4ガスは、400℃付近で分解をはじめ750℃以上になると完全に分解
します。それ以下の温度では大部分がそのまま排気されてきます。燃焼
濃度範囲の 0.8～98 vol % の高濃度の場合、空気との接触で自然発火し
粉塵を発生します。
SiH4 + 2O2 → SiO2 + 2H2O
低濃度の場合には比較的安定しており酸化分解のスピードは非常に遅く
なります。
SiH4 + 2H2O → SiO2 + 4H2
SiH4 + 2NaOH + H2O → NaSiO3 + 4H2
低濃度の SiH4 は、加熱して燃焼すると完全に分解し、薬液とはKMnO4
（過ﾏﾝｶﾞﾝ酸ｶﾘ）と酸化分解反応が速く進むようです。
エピタキシャル装置に使用される SiH2Cl2,SiHCl3,SiCl4 は高濃度で使
用されるので排出される量も多く、大気中の水分と接触して分解し、微紛
体と供に排出されると水分と反応します。
nSiH2Cl2 + nH2O → (H2SiO )n + 2nHCl（ﾌﾟﾛｼﾛｷ酸重合体）
SiCl4 + 3H2O → H2SiO3 + 4HCl（ﾒﾀｹｲ酸）
2SiHCl3 + 3H2O → (HSiO)2O + 6HCl（ｼﾘｺｷﾞ酸）
浮上性ﾉｼﾘｶ化合物が生成し、アルカリには容易に溶解します。しかし pH
の低下と共に再結晶化して浮遊します。
SiH2Cl2 + 4naOH → Na2SiO2 + 2NaCl + H2 + 2H2O（ｹｲ酸ｿｰﾀﾞ）
SiCl4 + 8NaOH + NaSiO4 + 4NaCl + 4H2O（ｵﾙﾄｹｲ酸ｿｰﾀﾞ）
SiHCl3 + 5NaOH → Na2SiO3 + 3NaCl + 3H2O（ﾒﾀｹｲ酸ｿｰﾀﾞ）
ｼﾗﾝ系の除害は、SiH4では前段の燃焼で酸化分解させます。前段の分解塔
に湿式小型ｽｸﾗﾊﾞｰを設け発火したときのため下部にｼｬﾜｰﾘﾝｸﾞを備えています。
容量は1～4m3/min に作られて室内設置が多いようです。低濃度の場合には
分解速度が遅いのでガスがそのまま排出され総合処理装置で洗浄及び希釈さ
れ大気開放されます。SiH4は分解率が低いので、乾式または強制燃焼式の処
理方法がメインになっています。
SiH2Cl2系のｶﾞｽは加水分解し易いので、先ず第一塔目で加水分解させ、第
二塔目でHCl,SiO2などの反応生成物を除去する方法が望ましいとされます。
充填物の無いｽﾌﾟﾚｰ塔を用いるとSiO2の粉塵によるﾄﾗﾌﾞﾙが少なく、またﾒﾝﾃﾅ
ﾝｽ時にも取り扱いがし易いようです。除害塔に導入するときには水素濃度を
爆発下限界である4%以下まで窒素や空気で希釈する場合と、装置から排気
されるｶﾞｽをそのままの濃度で処理する場合に分けられます。他にも濃度に
関係なく燃焼酸化方式、湿式除去方式、吸着除去方式などを複合的に組合せ
完全除去する方式もあります。
特殊材料ガスや毒性ガス・腐食系ガス・自然発火性ガス・可燃性ガスなど
除害に係る設備、除害装置、特殊材料ガス配管工事、漏れ検査など
川口液化ケミカル株式会社までご連絡下さい、
TEL 050-8881-7393
E-Mail:CutHere_info@klchem.co.jp
ありがとうございます
今日のさいたま市のお天気は？
2011年1月16日 日曜日
天気 はれ
気温 2℃（PM8:00)
です。
プロ野球日本ハムの新人合同自主トレが千葉・鎌ヶ谷市
斎藤佑樹投手がダッシュらと、遠投など行いました。
小雪交じりの極寒の中、いまだかつて無い大勢の見物目的の
ファン達が練習場に詰めかけ、先行販売された斎藤グッズの
Ｔシャツ２００枚、タオル２００枚、ストラップ５００枚は
販売開始前から長蛇の列があっという間にに出来上がり１時間
で完売したそうです。
さいたま市でもかなり寒かったのに、グラウンドはさぞかし
寒かったことでしょう。それさえも吹き飛ばす斉藤選手人気は
プロ野球を元気づけること間違いありませんね。
by との
四塩化ケイ素 SiCl4
2007年7月19日 21:10
最近お問い合わせの多い四塩化ケイ素 SiCl4を
ご紹介いたします。
物性としては、湿った空気中で発煙し水と触れると加水分解が容易に
進んでＨＣｌガスを発生させます。ＨＣｌガスは許容濃度５ｐｐｍの正真正銘
の毒性ガスです。
熱分解するときに水と反応すると塩酸とポリシロキサンの煙を発生します。
この煙はとても毒性が強く腐食性もあります。ハロゲン化ケイ素は加水分解
して、皮膚、粘膜などを刺激して細胞を破壊するそうです。症状としては重い
結膜炎や上軌道炎、流涙、咳など起こします。四塩化炭素に似た中毒
が考えられます。
燃焼・爆発性に関する危険性は文献がないものの少ないと考えられている
そうです。
化学的な性質は、アルコール、エーテルなど有機溶剤には、付加化合物
や縮合化合物をつくって溶けます。熱安定性が高く、酸素などの酸化剤との
反応は遅く、酸素とは常温で反応しません。高温ではシリコンノキシ化合物
をつくり、０Ｐａ、６００℃以下では反応は進みません、
６００℃以上で２段階に反応が進み、シリコンノキシ塩化物を生成します。
１０００℃以上になりますとＳｉＯ２と塩素を生成します。
ハロゲン・ハロゲン化水素とは−２３℃の低温ではＦ２と反応ししませんが
４０℃で弱い光照射の下でＳｉＢを発生します。塩化水素とは混合してヨウ素を
溶解します。カリウム、ナトリウム金属で還元反応すると珪素を生成します。
アルコール類とはケイ酸エステルを生成します。
水分のある湿った条件で塩酸を生成するため強い腐食性があります。
使用できる金属は、低合金鋼、ニッケル鋼、銅ニッケル合金です。プラスチック
ですとテフロン、ケルーＦ、ポリエチレン、ポリ塩化ビニルの使用が可能です。
製法は、ケイ素・二酸化ケイ素に塩素もしくは塩化水素のような塩素化合物
を作用させ生成させます。
適用法規は・・・
・船舶安全法（危規則第三条危険物等級八腐食性物質）
・航空法（規則第百九十四条危険物腐食性物質）
・港則法（規則第十二条危険物腐食性物質）
四塩化ケイ素 ： Silicon tetrachloride （英文）
※別名 四塩化シラン（Terachlorosilane）、塩化シリコン（Silicon
chloride）、テトラクロロシラン（Tetrachloroshilane）
CAS No,10026-04-7
国連番号 1818
NIOSH No,VW 0525000
既存化学物質番号 1-258
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今日の川口のお天気は？
７月１９日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１９℃、昼２０℃、夜２１℃
です。
ここ数週間すごし易いというより夜寒いくらいの陽気が続いてます。
八月に入ると灼熱の夏休みお天気がはじまりそうです。
体力を蓄えて暑さ全開の夏を元気いっぱいで迎えましょう！！