シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。ガス・真空・低温機器供給のＲ＆Ｄ　川口液化ケミカル株式会社

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MFC/MFM

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その９

2012年2月 1日 20:27

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　
第２２夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その９

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第２２夜です。

　寒い冬が続きますね。雪が降り続く東北、信越地区の皆様にはお見舞い
申し上げます。関東地方でも毎朝、車庫に行くとそこは氷点下の世界で、
芯まで冷え切った自家用車が出迎えてくれます。最近の車はエンジンもデ
ジタル制御ですから、そんな状況でも一発でエンジンがかかって、水温も
みるみる上がってくるのを、すごいなぁ～という思いで寒さに震えながら
見つめているDecoでした。

　さて、今夜は長く続いたＭＧＭＲのお話の最終回です。冒頭の車の例に
もれずデジタル制御で進化の恩恵を被ったのは、ＭＦＣという機器も例外
ではありませんでした。デジタル化がもたらした最大の進歩が、お話しし
てきたＭＧＭＲ技術です。それだけではなく圧力上昇率を用いた流量検証
方式等で各メーカーさんが苦労して蓄えてこられた貴重な実ガスデータベ
ースに支えられて、今やＭＧＭＲはＭＦＣの花形として認知されています。
なによりもユーザーサイドでパソコンと通信ケーブルを用意すれば、誰で
も簡単な操作でガスと流量を変更できるのですから、便利この上ない製品
です。

(以下、日立金属株式会社殿　SFC1480FX/2480FXシリーズカタログより転載)

では、そんなＭＧＭＲタイプＭＦＣの最大の弱点はなんでしょう？

それは・・・ヒューマンエラーです。

今までのＭＦＣのガス種・流量は、メーカー出荷状態で固定されており、
よほどの事がない限りユーザーサイドで変更されることはありませんでし
た。ところが、ＭＧＭＲは、前述の通り誰でも簡単な操作でガスと流量を
変更できます。これは諸刃の剣でもあるのです。

「操作ミスで違うガスに変更してしまった・・・」
「在庫品のガス・流量を誰かが変更していたのを知らなかった・・・」

こんな状況でＭＦＣにガスを流してしまえば、場合によっては大きな問
題を引き起こしかねません。ＭＧＭＲを運用する上での人為ミスを嫌っ
て、「ＭＧＭＲ変更作業は自分たちでは行わない」という思想のお客様
も実際におられると聞いたこともあります。便利になったからこそ、そ
のことが招く負の部分をしっかり把握して、確実に運用するシステムを
構築していけばいいとDecoは考えます。いかにモノが進化しても、最後
にそれを使うのは人間ですから・・・

皆様は、どうお考えになりますか？

それでは、また来週！
【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

　by Deco

マスフローコントローラー・マスフローメーター・パージメーターのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 050-8881-7393
FAX 048-281-3987
E-mail :CutHere_info@klchem.co.jp
※ｱﾄﾞﾚｽ先頭のCutHereはｽﾊﾟﾑ対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2012年2月1日　水曜日
　※発達中の低気圧が北日本に接近した影響で、日本海側で大雪となっています。
　 積雪量は青森県酸ケ湯413センチ、新潟県関山330センチ、新潟県津南、山形県肘折
　 329センチ、新潟県十日町274センチなどとなっています。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　昼4℃、夜7℃
です。

　まわり(誰か)のせいにすれば、自分は変わらなくてすむ

　それはラクかもしれないが、いつまでも続けていたら

　大切な何かを失っていく

　大事なことは、与えられた持ち場で、自分のやるべきことを

　ちゃんとやること

　多くの場合、求められていることは、特別な難しいことではなく

　基本的なことのはず

　あとは自分の心にわき上がる

　
　「面倒くさいな」

　「もっとラクな道ないかな」

　「コレぐらいでいいや」

　と思う気持ちと向き合うだけ

（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）

　by　との

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その９

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その８

2012年1月25日 16:49

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　
第２１夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その８

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第２１夜です。

年明けから寒くなった日本列島ですが、晴天が続いた関東地方もついに今週になって
本格的な雪に見舞われましたね。豪雪地帯の方々からしたら、「それっぽちで本格的
な雪は無いでしょう」と苦笑いされそうなのですが、首都圏では数センチの積雪で交
通網は乱れに乱れ、街ゆく人は尻餅をつく・・・そういったものなのです。現に雪国
出身の筈のDecoも、出張用に長年愛用している滑り止め付革靴を引っ張り出して、自
信満々で歩いていて見事に転びました。お恥ずかしい限りです・・・

さて、今夜はMGMRのお話のまとめにするつもりでしたが、先夜の説明で触れたROR
＝圧力上昇率を用いた流量検証方式に関してのお問い合わせを頂きましたので、もう少
し詳しくお話ししたいと思います。

上図にあるようなフローが一般的な圧力上昇法を使った実ガス測定方法です。
（あくまで簡略化して書いていますので、念のため・・・）

簡単に手順をご説明いたします。

・ある一定の容積を持ったチャンバーを、恒温槽の中に入れ一定の周囲温度に安定
　させた状態で、ポンプで真空引きします。
・ＭＦＣに一定の流量設定値を入力し制御させてガスを流します。この時、導入し
　たガスでチャンバーの温度安定が乱されないよう熱交換器で適度な温度に昇温す
　る必要があります。
・チャンバーの真空度がある一定の値まで上昇するのに要した時間を計ります。
・同じMFCで同一の設定流量に制御して得られた圧力上昇に要した時間の比が、そ
　のままN2とガスＡの相対的な流量比率となります。

この方法は、半導体製造装置等の真空チャンバーを持つ装置で、よくＭＦＣの流量
検定等に使われており、「ビルドアップ法」等と呼ばれることもあります。実際に
Ｎ２と使用する実ガスを流して得られたデータですから、ちゃんと運用すればＭＧ
ＭＲのデータ取りには適役と言えます。

ただ、何点か難しい管理ポイントがあります。

①温度管理・・・チャンバーと流入するガスの温度管理を厳しくしないと、温度に
　　　　　　　　よるガスの体積変化がそのまま、圧力上昇時間に影響してしまい
　　　　　　　　ます。

②容積管理・・・チャンバーの容積は不変であるのは当たり前にですが、測定する
　　　　　　　　ＭＦＣの流量レンジで合ったチャンバーでないと、一瞬で圧力が
　　　　　　　　上昇してしまったり、なかなか圧力が上がらなかったり・・・
　　　　　　　　という問題が発生します。

③圧力管理・・・真空計の管理も当然必要ですが、そもそもチャンバー導入するN2
　　　　　　　　と測定N2ガスの圧力も制御されていないといけません。刻々変化
する二次側圧力の影響でＭＦＣが途中で暴れたら台無しです。

④安全管理・・・当然ですが、ガスを流す以上、高圧ガス保安法に準じた設備と管
理体制が必要です。

ここで一番やっかいなのは、やはり測定対象ＭＦＣの流量が一般的なものだけでも
F.S.5SCCM～50SLMと実に1万倍！もあるという事です。それぞれに対応する設備
を構築するのはなかなか難しいことですね。

今夜はMGMRのデータ取りに使用される圧力上昇率を用いた流量検証方式の説明でした。
それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2012年1月25日　水曜日
　※テニスの全豪オープン第１０日男子シングルス準々決勝で世界ランキング26位の
　　錦織圭選手は同4位のアンディ・マリー選手に3-6、3-6、1-6でストレート負けし
　　第4シードの相手に完敗しました。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１℃、昼３℃、夜５℃
です。

　不安定や不調が続くとき

　思うような成果につながらないとき

　それは

　部屋（自分の持ち場）が散らかっているか

　食が乱れていかのどちらか

　忙しいから片づけられないのではなく

　片づけていないから忙しくなっていく

　忙しいからちゃんと食事できないのではなく

　ちゃんと食事していないから忙しくなっていく

　まずは

　今、使わない不要なモノを捨ててみる

　炊きたてのごはんを味わって食べる

　心がスッキリして

　じわーっと満たされていけば

　自然と調子は戻り

　そのうち勢いがついてく
　
　
（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）

　by　との

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その８

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その７

2012年1月18日 22:56

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第２０夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その７

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第２０夜です。

実はこのブログ、旧・ＭＦＣ千夜一夜物語が８０夜で休止した後、再開した
新・ＭＦＣ千夜一夜物語が今回で２０夜を迎えますので、通算１００夜目に
あたります。千夜一夜のまだ１割しか書いてないのですが、一区切りを迎え
ることができましたのも、一重に皆様方のお陰と感謝いたしております。
これからもあまり知られることがないマスフローコントローラ＝ＭＦＣの世
界を、少しずつ紐解いていければと思っております。

　さて、今夜はMGMRを進める上での最大の難所ともいえる実ガスデータベ
ース構築のお話しです。デジタルＭＦＣ誕生から今日までの、ユーザーさん、
メーカーさんの技術の蓄積に加え、電子デバイスとそれを用いたデジタル制
御技術の進化でＭＦＣ自体はMGMRに対応できるハードとして熟成して来ま
した。つまり「器」は熟してきた訳です。

ところが、その「器」に入れ込むのに最適化されたガスデータが揃わなければ
MGMRは成り立ちません。ガス種・比熱・密度・流量レンジ・圧力・温度・・・
といったファクターをいくら計算式に当てはめても、それでは従来のコンバー
ジョンファクターと変わりない世界しか現れず、シビアなプロセスマージン
を要求する最先端の半導体製造装置用途では役不足であるという要求に対して、
メーカーさんが選ぶ選択肢は、「N2と実ガスをＭＦＣに流し、データを採る
こと」になていきました。

ですが、ほとんどのＭＦＣメーカーさんは、今まで実ガスをＭＦＣに流して、
それを何らかの手段で測定する設備を持っていませんでした。それどころか、
「特殊高圧ガス」を含めた消費するのに危険度が高いと定められている「特
殊材料ガス」を計測用途とは言え「消費」する限りは、シリンダーキャビネ
ット、除害装置・・・といった設備投資と、所在地の都道府県関係部署への
届出、許可等といった初歩の初歩から始めなくてはいけません。

更に測定そのものを行うのはROR流量検証方式（真空チャンバーにガスを導
入し規定の圧力に達するのに要した時間の比較により、ガスの相対的な流量
比を検証する方式）設備が必要であり、その検証精度を上げるためには、圧
力・温度・チャンバーの体積・・・といった様々なファクターを高い精度で
押さえていかなくてはなりません。更に「N2を基準に各ガスの流量比」と一
口で言っても、そのN2の「流量」は何で測定し、何をもって定義するか？と
いう基本中の基本もちゃんと見直して理論武装しておかなければ、MGMRの
根底が揺らぐことになってしまうのです・・・

こういった設備投資だけでも数千万円必要です。しかも、そのドンピシャな
答がどこかの書籍に載っている訳でも、「これを買えば明日からMGMR」等
といった設備がどこかで売られている訳ではありませんから、そこに至るま
での人・モノ・時は莫大な投資としてメーカーさんに押し寄せるのです。

そこで議論されるのは

「ここまで投資してMGMRは売れるの？利益になるの？」

という点です。
民間企業である限り、新製品には必ずこういう関門が出現します。果たして
MGMRはどうなのでしょうか？

そのお話はまた次回。
それでは、また来週！

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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2012年1月18日　水曜日
浜崎あゆみさんが17日、オーストリア人俳優のマニュエル・シュワルツ氏との離婚届を
　提出しまた。なんと！エイベックスの株価が、この日午前に一時下落するなど"あゆ離婚
　ショック"に揺れたようです。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝3℃、昼4℃、夜6℃
です。

スワミ・サッチーダナンダの著書
『インテグラル・ヨーガ(Integral Yoga)』からの一説です。

＝＝＝

　「心が私的な利害から自由であるとき、われわれは仕事を十全にすることができ、
　　楽しく感じる。

　　そのとき、われわれの人生は意味に満ちたものになる。

　　もし、われわれの心から利己性がなくなり、すべての人々の人生に犠牲的献身が
　　備わったならば、他ならぬこの世が天国となり平安と至福の住みかとなる。

　　この生にあっては全てのものが与えている。
　　献身的貢献は、生の掟なのだ。

　　（中略）

　　自然のすべて　――木々も鳥も動物たちも
　　全てが他のもののために生きている。

　　なぜ、ロウソクは燃えて溶けていくのか？
　　それは、光を与えるためである。

　　なぜ、香は燃えて灰になるのか？
　　それは、香りを与えるためである。

　　なぜ、樹木は伸びるのか？
　　それは、果実と花を与えるためである...。

　　およそこの世界に生物・無生物を問わず
　　自分だけのために生きているものなどあるだろうか？

　　ない。

　　ならば、自然のすべて犠牲だというのに
　　ひとり人間だけが利己的な生を送ってよいものだろうか？

　　われわれは与え、与え、かつ与えるためにここに在る。
　　われわれに与えられて然るべきもの

　　――それは

　　われわれが思い煩うまでもなく、与えられるべくして与えられるのだ。

　『犠牲的献身の人生を送るべきだというならば
　　私はどうやって食べていけばいいのだ？
　　どうやって衣服を得て、住むところを得たらいいのだ―？』

　 それらのものは他者に奉仕するための自分自身の備えとして持てばよいのである。

　　あなたにはまた明日の朝も元気で他者への奉仕に出かけられるように
　　ゆっくり休むためのベッドが要る。

　　他者に奉仕するための十分なエネルギーを得るためには
　　食べねばならない。

　　そのようになにをするときでも
　『私は他者に奉仕するために自分自身を整えているのだ』
　　という思いでもってやる。

　瞑想をするときでもそれは自分だけの平安のためではない。
　安らかな心で外に出て十分奉仕できるように、するのだ。

　他でもないそのことを念じながら、瞑想をする。
　そうだ、そのときにはヨガの瞑想さえもが無私の行為となる。

　そしてそれが、神に対してさえ執着するなかれ、の意味なのだ。
　このヴァイラーギヤすなわち無執着だけが
　あなたの全人生を喜びに満ちたものへと変えるに足るのである」

（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）

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ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その７

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その６

2012年1月11日 20:50

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１９夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その６

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第19夜です。

　今年の年始の休暇は長いところだと11連休だったようですね。ドル、ユーロの下落で
海外旅行を楽しまれた方もおられるかもしれません。反面、日本という国の産業構造に
対してこの状況を憂う産業界の方々の声を年始回りで少なからずDecoもお聞きしました
。今年は、今まで以上に厳しい年になるかもしれません。マスフローコントローラという
製品も例外ではないと思えます。それは単純に10年前とＭＦＣメーカーの数を比較するだ
けでもわかってきそうです・・・

　さて、今夜はMGMR第6夜目です。そろそろ飽きてこられたかもしれませんが、ここか
らが核心部分ですので、もう数夜のお付き合いをお願いします。前回「メーカーサイドで
はこの書き込むガスデータを採るのが大変な労力であり、またそのデータの精度がいかに
高いか？（実ガスを再現しているか？）がMGMRタイプの性能評価自体を左右するクリティ
カルな部分なのです。」とお話ししました。ガス毎にN2との流量比分の補正データを書き
込むことで、MGMRタイプはガスの変更が可能になります。このN2との流量比というとこ
ろが問題で、単純にN2以外のガスといってもAr,CO2,Cl2,Bcl3,SiH4,SF6,WF6・・・と多数
のガスがあります。その流量を一つ一つ「実測」しなくてはなりません。（計算値で出した
ら、それは詰まるところコンバージョンファクター(CF)と同じ轍を踏む事になります）中
には毒性、腐食性のあるガスもあり、一口に「実測する」と言っても、なかなか難しいと
ころです。

更に大きな問題があります。それはN2vs他のガス種の分だけ「実測」するだけでは、終わ
らないと言うことです。前にも触れましたが、N2との流量比が必ずしも一つの定数で表せ
ないガスが存在します。温度、圧力により変動するガスもあります。突き詰めて言えば、
前夜お話ししたMGMRタイプの流量サイズ毎に異なる＝ほとんどのガスでサイズ毎に実測
する必要があるというのが実情なのです。

実ガスでの直線性を忠実に再現しようとすればするほど、実測データはよりきめ細かく採
る必要があり、各サイズのフルスケール流量レンジ2～100％の中で何ポイントかを「実測」
し、更にそれを流量サイズ毎に、更にガス種毎に採ってデータベースとしていかなければな
らないのです。

これはメーカーにとって、大変な労力と大規模な投資を要求するものでした。かといって
この高いレベルの実ガスデータベース構築という作業を怠れば、MGMRタイプは今の世の
中では見向きもされません。確かにMGMRタイプが求められてきた背景には、「ガス/流量
が容易に変更できれば」という需要があります。ところが「容易に変更できるようになっ
たのですが、実ガス精度や直線性が悪くなっちゃいました！」では許して頂けない程、昨今
のＭＦＣに求められる実ガス精度、繰り返し性、直線性、そして器差に対する要求のハード
ルは上がってしまっていたのです。

次週は具体的に実ガスデータベース構築のための「実測」に要する苦労をお話ししたいと思
います。そこには「MGMRを推し進めることは、ＭＦＣメーカーにとって果たして是か非か？」
という、まるで「ガイアの夜明け」に登場しそうな大論戦が・・・

それでは、また来週！

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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2012年1月11日　水曜日
　※椎名林檎がボーカルを務めるバンド・東京事変が2月29日の日本武道館公演を
　　最後に解散すると発表しまた。
　「この周波数（バンド）をお楽しみくださったすべての方へ御礼申し上げます。
　　短い間ではございましたが、いままで本当に有り難うございました。事変は
　　来る閏日解散致しますが、我らの作品群は永久に不滅です。」
　天気　はれ
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝3℃、昼8℃、夜7℃
です。

北極流今日の開運ﾒｯｾｰｼﾞﾌﾞﾛｸﾞより

北極老人曰く・・・

「正しいか正しくないか、にこだわると、

　イエス・キリストのいう"愛"から遠ざかる。

　好きか嫌いか、にこだわると、

　儒教でいう"中庸"から遠ざかる。

　損か得か、にこだわると、

　禅でいう"あるがままの自分"から遠ざかる。

　勝つか負けるか、にこだわると、

　老荘思想でいう"道""無為自然"から遠ざかる」

また...

「多くの気づき、悟りは"日常生活"の中にあり、

　多くのヒントが友人知人の言葉の中にあるのだが、

　それらを単なる"人間"の言葉として聞いていると、

　未来からのメッセージは受け取れないよ」と。

～書籍「ドラゴンノート」より～

　by　との

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その６

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その５

2012年1月 4日 17:18

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１８夜　
ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その５

皆さん、明けましておめでとうございます。
新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第18夜です。

　昨年9月に「新・ＭＦＣ千夜一夜物語」として復活させていただいてから
初めての新年を迎えることができました。これもひとえに皆様方のおかげ
と感謝しております。昨年は未曾有の災害に見舞われた日本列島でしたが、
辰年の今年は、少しでも穏やかに、そして龍のようにたくましく被災され
た地区、そして日本という国が再起していけるような年にしたいですね。

さて、今回は、MGMRタイプＭＦＣの本題に戻ってのお話しです。
先夜の【MFC用語辞典】、マルチガスマルチレンジ（MGMR）の項で「だ
からといって1台で全てのガスと1SCCMから1000SLMまでをカバーできる
わけではない」と書いておきました。

実はここが今回の予告編だったのですね。

　MGMRと言っても、基本構造は従来のＭＦＣと同じフォーマットを踏襲
しており、その構造上の限界から、1台で全てのガス・流量に対応できるス
ーパーマン（スーパーＭＦＣ？）ではありません。実際はN2換算した流量
レンジ（メーカーにより異なりますが、だいたい5SCCM～50SLMというＭ
ＦＣにとっての一般的なレンジ）に対して十数種のMGMRタイプＭＦＣを
予めラインアップすることで対応しています。従って個々のタイプには流量
の守備範囲が存在し、これを超えてのガス/流量変更は出来ないことになりま
す。


＊本例はMGMRの概念をわかりやすく簡略化した図です。
　記載内容は特定の企業製品に関する記述ではありません。

上図で示しましたように、MFCMGMRでガス/流量変更する際にベースとなる
ＭＦＣは十数種あるのが一般的です。これらは、まだガス流量の値付けがすん
でない状態では、まさにネイキッド（裸の）ＭＦＣなので、まず変更したいガ
ス、流量にあったタイプ、例えば＃４を選んで、希望仕様にあわせたデータを
ＰＣから通信で送り、ＭＦＣ内部のメモリーを書き換えることで変更作業が行
われます。その間、数分程度です。こう書きますと、ユーザーサイドでの作業
は非常に簡単ですが、メーカーサイドではこの書き込むガスデータを採るのが
大変な労力であり、またそのデータの精度がいかに高いか？（実ガスを再現し
ているか？）がMGMRタイプの性能評価自体を左右するクリティカルな部分な
のです。次回は、その部分をお話ししましょう。

それでは、また来週！
【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

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今日の埼玉県さいたま市のお天気は？
　2012年1月4日　水曜日
　※エルピーダメモリと東芝が何らかの形での事業統合を交渉中と台湾紙電子時報が
　　間接情報として報じエルピーダメモリの株価が大幅続伸し、前営業日比9.5％高
　　となっているようです。
　天気　はれ
　気温　5℃(PM5:30)
です。

北極流今日の開運ﾒｯｾーｼﾞﾌﾞﾛｸﾞより

あなたの人生を〝ジグソーパズル〟にたとえると、元となる１枚の絵は、
あなたが最高に幸せになった未来像で、１枚の絵（未来像）を構成する
〝ピース〟と呼ばれる欠片(かけら)は、過去の出来事に相当します。

一つ一つの過去の出来事（ピース）は、いい思い出だったり、悪い思い
出だったりしますが、それらが人生にとって、どんな意味があるのかは
わかりません。

だから、人生に起きる出来事に、一喜一憂(いっきいちゆう)してしまう
のです。

この、ものごとに一喜一憂(いっきいちゆう)するという生き方（状況の
変化に従って、いちいち喜んだり心配したりすること）が、幸福を遠ざ
けるのです。

「今日は応援している野球チームが勝った！やった！」

などの適度な喜びは、ストレス発散にもなって良いのですが、
度を越して、はしゃいだり、落ち込みぎるのは、よくありません。

～書籍「ドラゴンノート」より～

　by　との

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その５

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　＜休憩時間＞

2011年12月28日 12:35

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　
第１７夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　＜休憩時間＞

　皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第17夜です。
早いもので、クリスマスも終わり、年の瀬となりました。あっという間に今年最後
の千夜一夜物語になってしまいましたね。本来MGMR技術の中核のお話しをする回
ですが、中途半端に年を越してしまうのもなんですし、一夜完結スタイルのこのブ
ログには珍しく長編構成になっているこのお話、ちょっとした頭の休憩という意味
も含めて、今までのおさらいでMFC用語辞典です。

【MFC用語辞典】

マルチガスマルチレンジ(MGMR)
・Multi-Gas/Multi-Range 複数のガス複数の流量レンジに変更可能なＭＦＣのこと
・たまにMRMGと表記することもあるが、同じ意味
・だからといって1台で全てのガスと1SCCMから1000SLMまでをカバーできるわけではない
・反対語はシングルガスシングルレンジ(SGSR)だが、要は今までのＭＦＣのこと
・メーカーにより、対応ガスやレンジは異なるので、よく調べて選びましょう
・ガスの変更を気軽に行えるが、操作ミスまではメーカーは保証しませんので、ご注意を！

ディジタル（デジタル）ＭＦＣ
・ディジタルか？デジタルか？英語を日本語カナ表記に全て変換などできないのでどっちでもいい
・従来のＭＦＣの制御回路をデジタルにしたものをデジタルＭＦＣと呼ぶ
・対義語はアナログＭＦＣだが、回路の一部がデジタルなものもあり微妙な呼称かもしれない
・勘違いされやすいが、流量検知部のセンサーはアナログのままであることが多い
・デジタルは高精度、高速応答という思想は「ＣＤ，ＤＶＤは高音質高画質」信仰に似ている
・Decoの私見では、「性能のピーク値向上より、平均値の向上と多機能化」が主な特長
・各種通信対応できるが、ＭＦＣを単機能部品として使用するなら、無理に通信する意味はない
・通信はむしろサブシステムでのデータロギング、ＭＧＭＲ等の保守メンテナンスで有意義化

コンバージョンファクター（CF）
・あるガスと基準となる窒素(N2)を1とした時の流量比率のこと
・つまりCF=0.5のガス用ＭＦＣにN2を流した場合、流量表示値の倍流れていることになるが・・
・ＭＦＣのセンサーの出力比であり、ガスによるバルブの特性変化は無視されていることが多い
・つまり本当にN2が倍流れるかは、バルブ設定を確認しないとわからないということ
・ガスによりCFは一つではなく、流量レンジや圧力、温度といったファクターで数種存在する
・メーカーとして公表しているＣＦは、1ガスにつき1つであることが多い
・メーカーの公表しているＣＦには、実測値と計算値によるものがある
・実測とは同じＭＦＣにガスを流して流量比を測定しなくてはならないということで・・・
・つまり「このガスを流すのは危険では・・・」というガスは、実測でない可能性が高い
・結論：あまり当てにしてはいけない係数・・・目安と考えた方がいい
・CFの議論で最後にでる台詞は「ＭＦＣには求められているのは再現性だから」である

それでは、また来年！皆様よいお年を！
【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年12月28日　水曜日
　※タレントの小倉優子さんが、第1子懐妊だそうです。
　「現在五カ月で体調も良く、来年の六月には赤ちゃんに会えそうなので、
　　本当に楽しみです！！」と来夏にママになる喜びをﾌﾞﾛｸﾞに綴っているそうです。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝3℃、昼6℃、夜3℃
　自然からのﾒｯｾーｼﾞ
　今日の風景は「朝日」　丙辰（ひのえたつ）
　はじまりの「気」に満ちた、朝の太陽。
　はじまりの「気」を集めるためのコツは、
　迷いなく飛び出すこと。
　はじめさえ良ければ、後は力を抜いて勢いに乗ること。
　これこそ、万事がうまくいく神髄です。
です。

　掃除する時間がないのは掃除をしていないから時間がなくなる

　しぜんとモノは増えていくから

　自分にとって何が必要で不要かはっきりしないと

　モノが捨てられなくなる

　片付かなくなる

　すると

　迷ってばかりになる

　次の流れが来なくなる

　そんなときは

　全部捨てるぐらいの覚悟で

　モノを半分に減らすぐらいじゃないと変わらない

　捨てるごとに

　何を大切にして毎日を過ごすのか明確になっていく

　片付けるごとに

　次の流れをお迎えしやすくなっていく

（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）

　by　との

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　＜休憩時間＞

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その４

2011年12月21日 23:36

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１６夜　
ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その４
皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第16夜です。

今年もあと10日余りとなりましたね。震災や水害、タイの洪水・・・
今年は本当に大荒れの1年でした。個人的には身体をこわして、しばらく
休載させて頂いていましたこのブログを新たに「新・ＭＦＣ千夜一夜物語」
として、リブートできたのが、苦境の続いた今年の小さな喜びです。

　さて、前回CF（コンバージョンファクター）を使ったMFCのマルチガス
対応が一筋縄ではいかない理由をお話ししました。鳴り物入りで登場した
第1世代デジタルＭＦＣも、CFを簡単に変更できただけで、そのCF自体が
F.S.90％の流量制御ポイントと、F.S.50、10％くらいの流量域では大きく
異なってしまうガスもあり、1ガス＝1CFでは全く対応できない場合もある
という問題をクリアできなかったのです。

大きな期待をもって迎えられたデジタルＭＦＣによる、マルチガス対応は
一部を除き落胆へと変わっていきました。でも、ＭＦＣメーカーの技術屋
さん達は、決して諦めた訳ではなかったようです・・・

この問題を当時のDecoなりに考察した結果、ＭＦＣの更なる進化が必要で
した。CFデータを1つしか使用できないデジタルＭＦＣのハード性能の改善
です。乱暴に言えば、「複数のCFで対応しなくてはいけないのなら、全部
ＭＦＣに憶えさせてしまえ！」ということです。実はこれ自体はそんなに難
しいことではありませんでした。既にデジタル制御に進化したＭＦＣであり、
低流量設定での応答性能向上のために、設定流量に応じてマルチPID制御化
するという技術は開発済みでした。そもそもデジタル化したことで、EEPROM
等に各種調整データを書き込めるエリアがあるわけですから、アナログ時代
のトリマー（可変抵抗ボリューム）を調整して一点決めの調整をしていた世
代とは比較になりません。

ところが・・・問題はそれ以外にあったのです。
次回からは、MGMR技術の中核となる部分のお話しです。

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

　by　Deco

各種流量計、積算流量計、ﾃﾞｰﾀｰﾛｶﾞｰなど
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 050-8881-7393
FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp
※ｱﾄﾞﾚｽ先頭のCutHereはｽﾊﾟﾑ対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年12月21日　水曜日
　※北海道北部の枝幸町歌登でこの冬一番の冷え込みとなり
　　氷点下２６．３℃を観測したようです。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝4℃、昼5℃、夜5℃
です。

　何かに取り組んで

　やる気が続かないとき

　うまくいかなくてへこむとき

　やっていない人が気になるとき

　それはどこかで

　義務感や

　やらされ感があるとき

　「させていただく」

　という気持ちで取り組めば

　しぜんとやる気と元気がわいてくる

　うまくいかないことから

　学びや気づきを得られる

　やっていない人がいるおかげで

　自分のお役目ができる

（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）

　by　との

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その４

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１５夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その３

2011年12月14日 18:43

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１５夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その３

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第15夜です。

　先日の皆既月食はご覧になりましたか？Decoも震えながら家の外で観察していましたが、
澄み切った夜空で月が欠けていき、小さくなっていく様は、大宇宙の偶然がもたらしてくれ
た素敵な天体ショーでした。皆さんは月食の生じる仕組み・・・ご存じですよね？（「月食っ
てなんで起きるか、ちゃんと知っている？」という会話が、ちょっとした我が社のトピック
でした。）

　さて、前回CF（コンバージョンファクター）を使ったMFCのマルチガス対応が一筋縄では
いかない、とお話ししました。1番目の問題点として、N2との流量比が必ずしも１対１の関係
に無いガスが存在すると説明させて頂きましたが、もう少し具体的にお話させて頂きましょう。
（敢えてこの説明では2番目の問題＝バルブ特性のファクターを除き、純粋な流量測定＝MFM
としての機能に絞ってご説明します。）

N2用に調整されたMFCに、あるガスAを流した場合、N2との流量比率がある1つの比で表され
る場合は、以下のグラフのような流量特性となります。この場合は1つのCFで算出される流量
比で補正することで傾きを調整し、N2用MFCをガスA用に調整できるように思えます。

ところが実際、ガスAが必ずしもN2と一つの流量比では無かった場合、一例として以下のグラフ
のような流量特性を示してしまいます。

これでは1つのCFでN2用のMFCセンサー出力を補正して実ガスを流した場合、見かけ上グラフ
の点線で示した流量出力が得られていても、実際のガスは実線で示している分の流量になって
おり、斜線部分の流量誤差が生じてしまうということになります。これが一筋縄でいかない理由
です。

次回は、それをどう克服して今のＭＧＭＲが誕生したか？のお話しです。

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

　by Deco

ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ﾏｽﾌﾛｰﾒｰﾀｰ、などによるｶﾞｽ混合ﾕﾆｯﾄ、流量積算ｼｽﾃﾑなど
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年12月14日　水曜日
　※40年以上前から存在が予言されてきた"神の粒子"、ﾋｯｸﾞｽ粒子の
　　探索が大型ﾊｲﾄﾞﾛﾝ衝突型加速器（LHC）による2つの実験で、存在を
　　示す現象が初めて確認されたようです。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝5℃、夜6℃
　今日の自然からのﾒｯｾｰｼﾞ
　今日の風景は雲　癸卯（みずのとう）
　真っ白な雲
　何物にも縛られず自由気ままに空をゆく。
　自由に生きるとは、世の不自由・不条理と真剣勝負をする覚悟で
　いきるということです。
　不自由は消えずとも・・・
　体ごと戦う腹が完全に決まった時、何物にも縛られない
　真っ白な心が現れます。
　それが本当の自由です。
です。

　みんなそれぞれ、自分を正当化する言い分を持っている

　状況が悪くなるほど、自分を守ろうとして言い分が強くなり

　個人プレイに走って、余計に状況が悪化していく

　この世の中は団体戦、チームプレイだから、

　不調のとき

　不運に見舞われたとき

　不幸を感じるときほど

　手をあげて周りに相談して、声をあげて助けを求めたらいい

　復活と飛躍の最大のカベは、自分自身への言い訳と自分の都合の正当化

　自分に逃げ込みたくなったときほど

　人様のお力とお知恵を素直にお借りしよう

（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）

　by　との

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１５夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その３

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１４夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その２

2011年12月 7日 20:54

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１４夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その２

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第14夜です。

今年も幕張メッセでセミコン・ジャパン2011が開催されますね。
ここ数年、病気が原因でセミコンに参加することも、見て歩くこともかなわなかったDecoですが、
今回は久しぶりに各MFCメーカーさんを始め、出展されている企業さんのブースを回ってきたい
と思います。

　さて、ＭＦＣのニューウェーブ　ＭＧＭＲのお話しの2回目です。そもそもＭＦＣという機器は
注文を頂く時点で「ガス種」「F.S.流量」を決定して発注頂く製品でした。いわゆる「受注生産品」
なのです。よく「ＭＦＣの在庫ありますか？」というお問い合わせを頂きますが、ある型式のＭＦ
Ｃでも「ガス種」Ar,N2,O2,CO2,CL2,BcL3・・・・「F.S.流量」1SCCM～100SLMの組み合わせだ
けでもすごい数の組み合わせになります。これに更に継手の種類というファクターも入れると、
N2/100SCCMのような比較的オーダーされる可能性が高い組み合わせがメーカーさんでたまたま
在庫されていたりする以外は、その全てを網羅した在庫がメーカーや販売店にあるわけもありませ
ん。

ＭＦＣの流量校正は、N2をベースにした各ガスの流量比率（センサーの感度比）であるコンバー
ジョンファクター(以下CF)を使用して、実際に指定されたガス種を流さず、N2を流した際の換算
値で調整される事が多いです。なぜなら半導体製造用で使われるような腐食性、毒性のあるガス種
の場合、それらを安全に流す設備を準備するだけでも大変ですし、そういったガスを一度流したＭ
ＦＣをそのまま梱包して出荷する等と言うことはナンセンスだからです。

こういったメーカーサイドの生産の仕組みを知ったお客様が思いつかれたのが、「じゃあ、全部N2
ガスでMFCを注文してしまい、CFの分だけＭＦＣを制御する装置側で補正して使えば、色んなガス
種に対応できるし、いいじゃないか？」というアイデアです。同時にディジタルＭＦＣの出現でCF
やその他の設定を従来のアナログトリマを回して調整する方式から、EEPROMへの値の書き込みに
進化したことから、出荷後にパソコンからのRS232C通信でその数値を書き換えることができるＭ
ＦＣが出現しましたので、「N2ガスで買った製品を、後からCFを書き換えて別のガスで使ったら
いいじゃないか？」という考えもでてきました。

でも、そのやり方ではあまり上手くはいきませんでした。なぜでしょうか？

まず1番目にあげられるのは、N2との流量比が必ずしも１対１の関係に無いガスが存在することです。
流量により直線性が出ない性質を示すガスがあったり、また温度、圧力によりN2との流量比が変動
してしまう性質のものもありまして、N2ガス用で作られたＭＦＣをそのガス用CFで補正して使って
も、必ずしも実ガス流量が正しく制御されないという問題が生じました。

2番目は、CFという観念が一般的にＭＦＣの熱式センサーの感度比のことに着目し、ガス種による
流量制御バルブの制御特性の変化というファクターを無視していた事です。(メーカーさんは無視し
ていたわけではなく、社内的にバルブ定数を決定するファクターはあったのですが、あまり公にさ
れていませんでした。)　そのために、例えばN2用に調整されたMFCに、H2を流しますと、CFは近
似値ですが、バルブのオリフィス径は全く異なるので、思いっきりハンチングしたりしてしまうの
です。

一筋縄ではいきませんね。

「これでは使えない・・・」という結論から、ＭＦＣはＭＧＭＲタイプへの進化を促されることに
なります。

そのお話はまた次回。

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

by Deco

MFC／MFM／APGのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年12月7日　水曜日
　※19日付で就任する大阪市の橋下徹新市長が、副市長に中田宏・前横浜市長
　　の起用を検討しているようです。政令市長経験者が副市長に就任すれば極
　　めて異例で、大阪都構想実現に向けた動きを加速させることになりそうです。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝5℃、昼8℃、夜9℃
　自然からのﾒｯｾーｼﾞ
　今日の風景は春の陽気　丙申（ひのえさる）
　人のハートの奥には、太陽があります。
　太陽が目覚める条件とは、生き様に嘘がないこと。
　本音から逃げないこと。
　常識を超え、恐怖を超え、本音と向き合い、尽くしたとき
　心がだんだんと晴れ、春の陽気が訪れます。
　春（わだかまり）は溶け、春の草木（天の恵み）が顔を出します。
です。

大学受験塾ﾐｽﾀーｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師村田明彦氏ﾌﾞﾛｸﾞより

受験生が使ってはいけない言葉９

「やっぱり、この大学（学部）に行きたいかどうかわからなくなりました。」

目指していた大学（学部）に対して、急に気持ちが冷めたり、心変わりをしたり
することがあります。

でも、そもそも最初から、「ここは運命の大学だ！」

とか

「絶対にこの職業が私には合っている！」

とか

「これをするために生まれてきた！」

とか言えるのでしょうか？

きっと言えないはず。（無理やり思い込めば、言えますが。）
最初から人生の答えなんてわかりません。

大学受験でも同じ。一度志したらなら、自分の本気度を自分で試すしかない。
どれだけ本気で行動（＝勉強）できるか。
そこに「本心でそこに行きたいのか」があらわれるはず。
徹底的にやってみるしかないということです。
やらないうちから、「やっぱり違う。」と答えを出したくなるのは、ただ逃げたい
だけなのかもしれません。
どうせやるなら、トコトンやってみよう。

　by　との

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１４夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その２

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その１

2011年11月30日 23:35

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１３夜　ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その１

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第13夜です。

　実は今週、Decoは久しぶりに最新ＭＦＣの技術講習会に立ち会わせて頂く機会がありました。
マルチガスマルチレンジタイプ(以下ＭＧＭＲ)のＭＦＣという物をご存じでしょうか？

弊社のＨＰで　ホーム＞マスフロー＞「1台で何種類ものガスを流したい　」を見て頂けますか？
http://www.klchem.co.jp/mfc/mfc_09.php

ここに日立金属さんのSFC1480FXマルチガスマルチレンジ・デジタルマスフローが掲載されてい
ますが、このタイプのＭＦＣはＰＣのソフトでガス・流量をある程度の範囲で書き換えることが
できるのです。ＭＦＣという製品は、基本的にガス・流量・継手等の仕様が決定してから、メー
カーさんで製造する受注生産品です。そして、一度決定した仕様を変更する・・・例えばN2のMFC
をAr用にする・・・といった対応は、メーカーさんに送り返して改造して頂くしかありませんでし
た。

ところがMGMRタイプが世の中に出現してからは、ある程度の範囲でこの書き換えが、ものの数
秒で可能になったのです。でも、勘違いしないでくださいね。F.S.1SCCMのMFCを100SCCMに
したり、F.S.50SLMのＭＦＣを100SCCMに変えるようなマジックはできません。なぜならMＦＣ
の基本構成となる流量計測するセンサー、バイパスの組み合わせと、流量制御するバルブのオリ
フィス径の選択というハードウエア的にカバーできる限界があり、一つの組み合わせでガスと流
量のマトリックスを全て網羅はできないのです。

ここで「ガスと流量のマトリックス」という言葉を使いましたが、元来ＭＦＣはガス種という
観念を、流量の相対比で考えています。N2　100SCCMのＭＦＣにN2を流すと当然100SCCM、
Ar　100sccmのMFCにN2を流すと71SCCM程度という形で、実は流量比率だけで定義することが
可能なのです。もちろんガス同士の関係は、単純な一定比率ではなく流量レンジによって微妙に
変化する傾向があり、N2を基準としたときに重いガスになればなるほど、その偏差が大きくなる
ようです。そういったガスの特性差による比率変動幅までデータベース化することで、このＭＧ
ＭＲタイプのＭＦＣが生まれました。一言でデータベースと言いましたが、実はこの背景にはメ
ーカーの賢明な努力があるのです。詳しくは次回に。

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

　by Deco

MFC/MFM/MGMR/APCのことなら
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年11月30日　水曜日
　※東芝は発光ダイオードや光センサーなどの半導体をつくる北九州市、静岡県御前崎市
　　千葉県茂原市にある国内計３工場を来年9月末までに閉鎖すると発表されました。
　　大分県の半導体工場の生産も縮小する予定とのことです。
　天気　はれ
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝10℃、昼13℃、夜13℃
です。

大学受験塾ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師村田明彦氏ﾌﾞﾛｸﾞより
受験生が使ってはいけない言葉6

「今の自分ではムリかなと思って」

今の自分ではムリかなと思って、やるべきことを先延ばしにする。

それは、一つの言い訳だ。

受験期間に何度か壁を訪れるだろう。

偏差値の壁。
苦手教科の壁。

しかし、その壁すらやってこずに、受験期間を終えてしまう受験生がいる。

なぜ壁にぶち当たらないのか？

それは挑戦していないからだ。
今を先延ばしにして逃げているからだ。

今の自分より少しレベルの高いことに挑戦することで、

成績アップも心の成長も訪れる。

自分のキャパ（許容量）を超えることで、成績が上がる。

挑戦するのは、未来の自分じゃない。

ダサくても、かっこ悪くても、今の自分で勝負しよう。

　by　との

ＭＧＭＲはＭＦＣ進化の証！？　その１

MFCのライバルは誰だ？

2011年11月23日 18:17

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１2夜　

MFCのライバルは誰だ？

皆さん、こんばんは。
新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１2夜です。

　国賓として来日されたブータンのジグメ・ケサル・ナムゲル・ワンチュク国王と
ジェツン・ペマ王妃が、日本列島にさわやかな風を起こしていかれましたね。相馬
市の桜丘小学校で子供たちと交流された際に国王は、ブータン国旗にも描かれてい
る竜について触れ、「みなさんの中に人格という竜がいます。年を取って経験を積
むほど竜は大きく強くなります。竜を養ってください」と児童らに語りかけられた
そうです。「竜を養う」、なるほど人格は生き物であり、自分で育てるものなのだ
なぁと強く感じ入りました。

　先週はMFCを育てた国として日本を取り上げました。四半世紀をすぎ、半導体プ
ロセス用途から、エネルギー関係、分析関係などに広く使われるようになったＭＦ
Ｃですが、ではそのライバルとなる機器は、いったいなんでしょうか？今夜はその
お話です。

　黎明期の半導体プロセスガス制御で、ＭＦＣより前に使われていたのは、フロー
ト式流量計（フローメーター）でした。皆さんの中にも馴染みの深い方がおられる
かもしれません。簡単に表現しますとガラス管に流量目盛りがきってあって、下か
ら上にガスが流れて、浮き上がった玉（浮き子）の位置で流量を指示するタイプの
流量計です。両者の違いを眺めてみましょう。

ＭＦＣ
・熱式センサーで質量流量を計測できる（ある温度圧力の範囲に限定される）
・センサー信号をバルブへフィードバックすることで、温度圧力変化に影響されず
　流量制御が可能
・流量制御は電気信号で遠隔操作化が可能、流量信号を色々な表示方法や記録に加
　工できる
・メタルシールタイプは、腐食性・毒性ガスに対応可能
・DC電源、流量表示器、設定器を別に必要
・比較するとコストは高い

フローメーター
・ガラス管と浮き子の組み合わせで体積流量を表示
・体積流量なので温度・圧力による補正が必要
・流量制御は付属するニードルバルブで手動可変、接点スイッチのようなオプショ
　ンを除き、目視でしか流量を確認できない
・ラバーシール構造の為、腐食性・毒性ガスに対応不可
・電源を必要とせず、単独で使用可能
・比較するとコストが安い

こう眺めてきますとどちらが優れている、という論点でこの2者を論じる事に意味は
ないかと思えます。その証拠にＭＦＣが台頭した今でもフローメーターは流量表示・
制御の一線で使われているのですから。通信による遠隔操作、危険なガスへの対応
といった分野ではＭＦＣに軍配が上がりますが、コスト・電源不要というフローメ
ーターの強みは、高く評価される用途があるのです。

MFC（ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）とフローメーターのご質問、ご相談、機種選定、お見積など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

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今日の埼玉県さいたま市のお天気は？
　2011年11月23日　水曜日　勤労感謝の日
　※今日は勤労感謝の日は、勤労を貴(たっと)び、生産を祝い、国民たがいに感謝しあう一日です。
　　そもそも、この「勤労感謝の日」は、祭祀（お祭り）がその原点にあります。
　　日本では、古くから神々に五穀(ごこく)の収穫をいわう風習がありました。
　　飛鳥時代の皇極天皇(こうぎょくてんのう)のころに、その年の収穫物に感謝する大事な行事
　　としてはじまったのが11月23日・新嘗祭（にいなめさい）です。
　　新嘗祭（にいなめさい）は宮中祭祀(きゅうちゅうさいし)のひとつ。
　　天皇が五穀(ごこく)の新穀を、すべての神々に勧（すす）め、また、自らもこれを食して、
　　その年の収穫に感謝するものです。
　　今なお、新米を収穫しても、「神様より先に頂くなんて、とんでもない！」として、
　　新嘗祭で神様に奉納するまで、人は口にしない風習が残っている地域もあります。
　　今日、１１月２３日は新嘗祭（にいなめさい）。
　　心から感謝して、お米（食事）をいただいてみてください。
　　その一粒一粒に、大自然の神々の光が込められていると、感じながら‥。
　　
　　人間、忙しくなると、食事前に手をあわせて、感謝の祈りを捧げるということを、忘れて
　　いくものです。その生命（いのち）を心から感謝していただく儀式ではなく、
　　ただお腹を満たすためだけに、食べるようになってしまうもの。
　　食事前に唱える「いただきます」
　　食事後に唱える「ごちそうさまでした」
　　この２つの言葉は江戸時代の国学者・本居宣長(もとおりのりなが)の詠んだ
　　つぎの和歌が元になっていると言われています。

　「たなつもの　ももの木草を　天照らす　日の大神の恵み得てこそ」
　（たなつもの　もものきぐさも　あまてらす、ひのおおかみの　めぐみえてこそ）

　「朝夕に　もの食ふごとに　豊受の　神の恵みを　思へ世の人」
　（あさゆうに　ものくうごとに　とようけの　かみのめぐみを　おもえよのひと）

　　先の和歌は食事の前に感謝する意味の、「いただきます」の歌。
　　「天照」は伊勢神宮の内宮の神様です。
　　後の和歌は食事の後に感謝する意味の、「ごちそうさま」の歌。
　　「豊受」は伊勢神宮の外宮の神様です。
　「いただきます」も「ごちそうさま」も伊勢の神様（太陽と地球の神様）に対する感謝
　　の気持ちの言葉でした。
　　心の中だけでも構いません。
　　食事前に、上の和歌を詠(よ)んでから食事をしてみると、
　　普段、気づかなかった食事のありがたみに気付けるかもしれません。
　　ただ、お腹を満たすために食べるのでなく、
　　その生命に心から感謝をして、手を合わせてから食べてみてください。
　天気　晴れ後雨
　気温　13℃(PM6:30)
です。

お釈迦様の説話の中に「貧者の一灯」というのがあります。
その日その日を慎ましく暮らしていた婦人が、苦しい中からお灯明の油をようやく少し
手に入れて、お供えした。そこへ一陣の風が吹いてきて、他のお灯明は消えてしまっても
この婦人のお灯明だけは消えなかったというお話です。

これは何をいっているのかといえば、真心の大切さであります。
喜び込め、たとえ一灯をともすだけの油しか仏に供養できなくても、真心なく万灯をともす
油を供養した功徳よりも大きいということです。また、それと同時に、この話からは、無理
をしてはいけないということも教えられます。
　無理をして、たくさんの財を布施する。このことの中には、えてして自分の欲が潜んでいる
ことがあります。ですから、そういう人は、その欲に自分がひっかかって、とんでもない値段
の壷や石を買わされてしまったりもするわけです。
　一方、自分は大きいことはできないけれど、細く長く神仏につながっていくんだ、という
真心を持ち続けている人の信仰は、消えることなく長く続くものです。無理をしないからです。
　どんな背伸びをしても、神仏は全てお見通しです。自分が無理なく喜んでできることを行う
ことで、それが正しく光りになるわけで、決して無理をしない、それがまことの教えであります。
　たとえば、自分の兄弟に、これだけしてやったんだから報われるだろう、という想いの中には
無理があります。欲があります。

無理をしない心というのは、自然の流れに即していて、摩擦がありません。全てが調和して
共存していく、そういう姿です。
（21世紀の風　大徳寺昭輝 著より）
　
　by　　との

MFCのライバルは誰だ？

MFCメーカーはなぜ日本に多いの？

2011年11月16日 19:57

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１１夜　MFCメーカーはなぜ日本に多いの？

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第１１夜です。

　日本の理化学研究所と富士通が共同開発しているスーパーコンピュータ「京（けい）」が、
11月14日に発表された世界のスーパーコンピュータの性能ランキ ング「TOP500」で首位の
座を維持したようですね。コンピューター、そしてそれを構成する半導体は日本のお家芸。
理不尽な「仕分け」に耐えて世界一にこだわり続けて欲しい分野です。

　さて、先週のＭＦＣの故郷を探すお話で、アメリカで生まれ、日本で成長したＭＦＣとご
紹介しました。では、なぜＭＦＣは日本で大きく花開き、多くのＭＦＣメーカーが生まれた
のでしょうか？

１．日本の半導体産業がＭＦＣを育てた
　Decoがこの業界に営業で入った頃、NHKの「電子立国日本の自叙伝」というドキュメンタ
リー番組のビデオを会社で見せられたものでした。営業研修の一環として用いられるくらい
ＭＦＣのお得意様として半導体産業は大きな存在(一説には総出荷額の80%)だったのです。
そして当時の日本の半導体デバイスメーカ－、半導体装置メーカーさんは、プロセスガス制
御の重要パーツとしてＭＦＣの国産化による安定供給、高機能化を強く望んでいました。装
置のたかが一部品であるＭＦＣを、その装置の最終ユーザーさんが気にかけて、わざわざ評
価試験を行い、メーカー、機種選定をするというのは、他の部品産業ではなかなか見られな
い光景です。そんなお客様と一体になった切磋琢磨の環境が日本のＭＦＣメーカーを成長さ
せていったのだと思われます。

２．日本の先端材料がＭＦＣを育てた
　半導体だけにとどまらず日本の先端材料開発力は目を見張る物がありました。そんな中で
開発された素材（ピエゾ素子、メタルシール、メタルダイヤフラム、デジタル化、MEMSセ
ンサー・・・）を、ＭＦＣメーカーは、産みの苦しみを味わいながら製品化することで、自
社製品のストロングポイントとしてアメリカ製ＭＦＣをの差別化を図っていきました。それ
ぞれのメーカーが看板となる技術でしのぎを削る、華々しい戦いが、切磋琢磨してメイドイ
ンジャパンのＭＦＣの地位を押し上げていったのでした。

３．日本の職人がＭＦＣを育てた
　華やかな材料開発と比べて取り上げられることが少ないのですが、むしろ本当の意味で日
本の強みというのはMFCの接ガス部の主要素材となったSUS316Lの加工、研磨を支えて頂い
た日本の加工職人さん達の奮闘であったと思えます。
　ステンレスという決して加工しやすいわけでもなく、工具の消耗も早い材料を相手に、ひ
たすらコンパクトに、デットボリュームの少ない構造にするために難しい加工を要求するＭ
ＦＣのボディやフランジパーツを削りだしてくれたのは、関東関西の決して企業規模は大き
くない金属加工会社さんでした。日本でなくてはできない緻密な、レベルの高い加工技術に
Decoも何度も救って頂いたことがあります。

日本の半導体生産高がアメリカを上回り、「ただ模倣して成り上がった」と陰口をたたかれた
時代に、実は決して真似だけではない「日本の力」があったのと同様に、ＭＦＣも日本の材料
や職人さんに支えられ大輪の花を咲かせていったのでした。

言い忘れましたが、そんなＭＦＣの販売に情熱的に取り組んまれた営業の先輩諸氏がおられ
ます。皆さん個性的で、でもお客様とＭＦＣという製品に愛情と誇りをもった素晴らしい方々
です。今夜のお話の最後は、そんな方々に改めて敬意を表したいと思います。

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

　by Deco

高圧ガスのご用命、高圧ガス配管工事のご相談のことなら
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL 050-8881-7393
FAX 048-281-3987
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※ｱﾄﾞﾚｽ前のCutHereはｽﾊﾟﾑ対策ですので削除願います。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年11月16日　水曜日
　※しし座流星群が今週ピークを迎えます。18日の夜明け前も東の空で観測できそうです。
　　ピーク時には1時間に約20個飛ぶそうです。
　天気　はれ
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝11℃、昼18℃、夜12℃
です。

吉田松陰名言集より

「栄辱窮達、毀誉特喪に至りては 命のみ天のみ。
　吾が顧みる所に非ざるなり。」

訳）
　自分にかかる名誉と恥辱、悪口と褒め言葉 成功と不成功など
　に至っては すべて天命である。
　私が問題とするものではない。

　by　との

MFCメーカーはなぜ日本に多いの？

MFCの生まれ故郷はどこだろう？

2011年11月 9日 19:45

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第10夜　MFCの生まれ故郷はどこだろう？

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第10夜です。

タイ中部アユタヤ県のロジャナ工業団地で団地内を覆った水の排水作業がスタートした
ようですね。日本企業を含め一刻も早い復旧を祈るばかりです。

　さて、今夜のお話はMFCの生まれ故郷はどこなの？　というお話です。
連載開始時にMFCはNASAのアポロ計画のスピンオフ技術で作られた、という説があるこ
とはお話ししました。となると流れ上当然、アメリカの企業がまず製品化したわけで、
先週紹介したBrooks、そしてTylan、Unitといったメーカーが先駆けに位置します。つま
りMFCの生まれ故郷はアメリカということになりますね。

そしてＭＦＣのもう一つの故郷、それは我らの日本です。アメリカで開発された製品を、
改良してより高い品質と、安いコストで提供するのは、高度成長期の日本のお家芸でし
た。MFCでもまさにこれと同じ現象が起きたのです。米国Tylanの日本法人から分派した
アエラ、堀場STEC、日立金属（サム・リサーチ）、リンテック、最近では山武、フジキ
ンといった企業が、アメリカで生まれたMFCに、ピエゾバルブ、メタルシール化、ウル
トラクリーン対応等の日本独自技術を付加することで、MFCを大きく成長させたのです。

つまり日本はMFCにとって第2の故郷なのですね。

この2つの国でほとんどのMFCが開発されました。
(一部、ドイツ、オランダを生まれ故郷とするMFCもありまが・・・)　
なぜでしょうか？この答はまた来週の連載で。

＊今回のブログに記載した企業名は、当時の社名、略称で記載しております。

【用語辞典】
ソレノイドバルブ
・「ソレノイドバルブ」というのは説明不足で、「ソレノイドアクチュエータで駆動するバルブ」
・海外MFCメーカーに多い構造
・コイルにかける電圧で、電磁力を調整することで伸縮させる方式
・ノーマリクローズに適した構造だが、ノーマリオープンも対応可
・ピエゾバルブのMFCより応答が遅いというのは誤り　（MFCに搭載した場合、部品単体のでは
　なく、あくまでパッケージとしての応答性比較となるため）

ピエゾバルブ
・「ピエゾバルブ」というのは説明不足で、「ピエゾアクチュエータで駆動するバルブ」
・国産MFCメーカーの十八番技術
・圧電素子に電圧をかけることで、結晶構造体が変位させ伸縮させる方式
・ノーマリオープンに適した構造だが、反転機構でノーマリクローズ化
・ソレノイドバルブよりもストロークが短いので、大流量には適さない
・推力が大きいという事で金属ダイヤフラムバルブを形成しやすいという最大の利点を持つ

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年11月9日　水曜日
　※民主党が９日夕方、経済連携プロジェクトチーム（ＰＴ）の総会を衆院議員会館で開き
　　環太平洋連携協定（ＴＰＰ）交渉参加をめぐる政府への提言を決めるための最終協議に入りました。
　　この国は、アメリカの言いなりになってしまったら、どうなってしまうのでしょうか？
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　昼17℃、夜14℃
です。

ピーター・ドラッカー氏は

「経済至上主義は、人を幸せにしない。本当の幸せをもたらさない。」

と言ってこの世を去りました。

これは実に、重要な視点でありこれから経済至上主義の問題と弊害が次々に表面化してきています。

実際、経済至上主義の最大の波が、今、日本を飲み込もうとしています。

それが「TPP（Trans-Pacific Partnership：環太平洋戦略的経済連携協定）」です。

これが実現すれば、事実上日本国２６００年の歴史の中で最大規模の経済的侵略（支配）を受けること

になります。

「TPP」については中野剛志さんの２つの動画などを見ていただければだいたい分かると思います。

１．どうなるTPP交渉参加？メリットとデメリットは（１６：２１）
２．中野剛志先生のよくわかるTPP解説（１２：３４）

TPP亡国論 (集英社新書)中野 剛志 氏著
国力とは何か―経済ナショナリズムの理論と政策 (講談社現代新書) 中野 剛志 氏著

TPPが実現すれば

「国家（国民の生命財産）の繁栄」よりも
「経済（企業の損得利益）の支配」が上位にくる

経済至上主義の果ての世界が訪れます。

そうなれば日本には様々な問題が起きることは間違いないでしょう。

２０１２年以降今まで以上にグローバリズムや経済至上主義は加速し

会社も個人も強制的に変化（イノベート）することを迫られるでしょう。

先のドラッカーは２００５年１１月この世を去る直前に

・今は、三世紀（３００年）ぶりの大変化のとき
・歴史がまだ見たことのない未来がやって来る
・２０２０年頃までにその変化が起きる
・世界の未来は、日本にかかっている

と述べています。

では、私たちはどうすればいいのか？

それはマクロな大きな規模での解決策ではなくミクロのひとりひとりの働き方と生き方がカギと

なるでしょう。

２０１２年以降に大切になってくる働き方と生き方が３つあると思っています。

ひとりひとりが

１）共感する仲間と手を取り合うこと

２）自分の強み（長所、武器）を発揮して仲間の弱み（短所、欠点）を補うこと

３）与えられた持ち場（役割）を守ること

この３つを愚直に行うことで、今いる、自分の周りを明るく照らすことだと思います。

あらゆるものは、他のあらゆるものとの相互の関係で成り立っていて全ては影響しあっています。

ですからなにがあっても誰も責めることができないのです。

そのひと本人の意思で起きたわけではありません。

誰一人として自分の意図したとおりの人生を生きる人はいないのです。

天台宗を開いた仏教大師・最澄は理想的人間像をこのように言っています。

　「国宝とは何ものぞ。　宝とは道心なり。　道心ある人を名づけて、国宝となす。

　　ゆえに古人いわく　径寸十枚、これ国宝にあらず。

　　一隅を照らす、これ即ち国宝なり」　と。

これは今自分がいる場所や置かれている立場で求道心(ぐどうしん)を持ち

自分が切りひらいていくという気概で精一杯努力しその場所を明るくすることのできる人になること。

そのような人こそが何ものにも代えがたい国の宝である。　　ということです。

もっとカンタンに言えば

自分が輝けば、周りも輝く。

周りが輝けば、世界も輝く。

まさに"宝石の網"のようにまず自分が光り輝くことで触れる全ての人たちも光を放つ。

世界を変えるには各人が、与えられた持ち場を守り与えられた役割を全うしていくことです。

大きな波がやってくる今こそが目の前の小さいなことを大きな心で取り組むこと

それが、これからの時代ますます大切になってくる働き方と生き方だと思うのです。

（小田真嘉氏ﾌﾞﾛｸﾞより抜粋）

　by　との

MFCの生まれ故郷はどこだろう？

もしもＭＦＣに水がかかったら？・・・その２

2011年11月 2日 20:14

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第9夜　もしもＭＦＣに水がかかったら？・・・その２

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第9夜です。

「川口液化ケミカルさんって、ＭＦＣはどこのメーカーともお付き合いがあるの？」

なんて事を良く聞かれます。

基本的にＭＦＣの百貨店というより、コンビニエンスストアを目指していきたいな～と
は思っていますが、だからといって節操のないことをするつもりはありません。メーカ
ーさんも得意不得意があったりしますし、それを理解した上で、あくまでお客様の需要
にあわせた「我々が自信を持ってお薦めする一品」というスタンスだけは崩したくない
な、と思っております。

　さて、前回「防水」というお題目から、JIS(日本工業規格) 電気機械器具の外郭による
保護等級（JIS C 0920）及びIEC(国際電気標準会議) エンクロージャによる保護等級
（Degrees of protection provided by enclosures (IP Code)/IEC 60529）で定めるところ
の規格「ＩＰコード」をご説明しました。

「じゃあ、現在このＩＰコードに対応したＭＦＣってあるの？」

というご質問が当然あるかと思います。どちらかというと半導体装置がメイン用途なＭ
ＦＣにとっては、ちょっとニッチな分野になるのですが、本日はそんなＭＦＣのご紹介
です。

ブルックスインスツルメントさんのSLAMf50シリーズは、IP66&NEMA 4Xに対応した耐
候性能を持つ一風変わったＭＦＣです。流量のフルスケールレンジはN2換算で3CCMか
ら2500LPM(L/min)という広い範囲から選択して頂けます。

また、このＭＦＣのもう一つの特徴は、産業機器に使用される電源としてはメジャーな
DC24Vに対応していることです。つまり従来のようなＭＦＣ専用±15VDC電源を準備
頂く手間がありません。流量信号も0-5VDC電圧信号だけでなく4-20mA電流信号、RS485
DeviceNetなどの通信対応できるモデルも選択できます。

使用圧力に関しても国産モデルでは、数少ない高圧対応が可能です。（100bar/1500psi
まで対応できるモデルも製造可能　＊注釈1psi=6.895kPa）ただし、残念ながら国内の
高圧ガス保安法に基づく認定品ではありませんが・・・ここをクリアしてくれると、更
にうれしいのにな～と思うのはDecoだけではないと思いますよ！ブルックスさん！

最後に個人的なお願いも入ってしまいましたが、今夜はブルックスインスツルメントさん
の製品SLAMf50シリーズをご紹介しました。

資料提供を頂きましたブルックスインスツルメント株式会社関係各位には、この場を借り
て御礼申し上げます。

ブルックスインスツルメント株式会社
http://www.brooksinstrument-jp.com/

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年11月2日　水曜日
　※先月５日に死去した米アップル社共同創業者、スティーブ・ジョブズ氏の評伝
　　「スティーブ・ジョブズ」1 , 2巻が、合わせて100万部を早くも突破したそうです。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝14℃、昼18℃、夜18℃
です。

親から愛されて、出会った人全てに愛されて、お金もあって...

何もかも満たされた人生を歩むことが最良とは限らない。

満たされない思いを抱えながらも、真理や道を求めて、

日々、祈るような気持ちで生きて、本当の幸せに至る人もいる。

不満足だからこそ、道を成就できるんだ。

（北極流今日の開運ﾒｯｾｰｼﾞﾌﾞﾛｸﾞより）

　By　との

もしもＭＦＣに水がかかったら？・・・その２

もしもＭＦＣに水がかかったら？・・・その１

2011年10月26日 21:11

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第8夜　もしもＭＦＣに水がかかったら？・・・その１

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第８夜です。

タイの洪水被害は拡大の一方で、痛ましい限りですね。
日系企業が多く入居するアユタヤ県を中心とした工業団地が冠水し、工場が操業停止に
追い込まれ大きな影響が出ています。今年は自然災害の猛威に晒されることが多い日本
を含むアジアですが、我々の知恵と勇気でなんとかこの難局を乗り切って行きたいです
ね。

　さて、今週からは「もしもＭＦＣに水がかかったら・・・」というトピックでお話を
しましょう。ＭＦＣは空圧弁などの純粋なメカで構成された配管部品と違い、電子部品
を搭載した流量制御機器ですから、当然水がかかった箇所により、ショートしたりして
機能を喪失する場合があります。また、「水」と書きましたが、全てが無色透明な液体
でも純水とは限りません。もし腐食性の強い液体で、ボディのSUS316LやSUS304、ケ
ースの樹脂を侵す性質ならば、なおのこと大変です。そういった場合は、慌てず騒がず
・・・まずＭＦＣへのガスと電源供給を絶ちましょう。その状態で、できる限りのパー
ジを行い、水がかかってしまった状況、箇所などを克明に記したメモを付けて、メーカ
ーの修理・サービス部門に送ってくださいね。

たまに「防水ＭＦＣってないの？」というお問い合わせを頂くことがあります。

時計や携帯の宣伝で使う「防水」をイメージされているのかと思います。しかしながら、
外部からＤＣ電源を供給しなくてはいけない機器であるＭＦＣで「完全防水」という定
義の製品は存在しません。防水性能を段階的な等級表記で表し、ある程度の性能を謳った
製品はあります。JIS(日本工業規格) 電気機械器具の外郭による保護等級（JIS C 0920）
及びIEC(国際電気標準会議) エンクロージャによる保護等級（Degrees of protection
provided by enclosures (IP Code)/IEC 60529）で定めるところの規格で「ＩＰコード」
と呼称します。IP65などという表記を見たことがある方もおられるかもしれません。
この表記で数字の十の位は、人体、及び固体に対する保護等級（外来固形物いわゆる防
塵）、一の位が水の浸入に対する保護等級（防水）ですので、防水だけを表記する場合
はIPXという防塵の等級表示をXに置き換えて使用することもあります。簡単に紹介しま
すと、以下の内容になっています。

＊米国のNEMA（National Electrical Manufacturers Association）が定めた等級もあります。
　NEMA 4X等と表記されます

水中型・・・MSM-07ズゴックはIPX8か・・・という冗談はさておき・・・

実際水がかかるような環境で使用できるＭＦＣとは、どんな物なのでしょうか？

そのお話はまた次回に・・・
それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】
　
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年10月26日　水曜日
　※ロンドン外国為替市場で円相場が上昇、一時１ドル＝75円71銭と、前日
　　に付けた戦後最高値（75円73銭）を更新しています。
　　世界的に不安定要素が多過ぎ円が強くなり過ぎてますね。　
　天気　くもり
　ボンベ庫の温度　朝16℃、昼18℃
です。

　自由になるとは

　好きなことを

　好きなときに

　好きなだけできるようになること...

　ではない！

　本当の自由とは

　自分の由来を知ること

　自分がどこから来て、どこへ向かっていくのか？

　何のために生まれて、どんな役割を授かったのか？

　誰のために生きて、どう幸せを広げていくのか？

　それを深く、強く、鮮明に知ることが

　本当の自由になるということ

（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）

　by　との

もしもＭＦＣに水がかかったら？・・・その１

ＭＦＣの流量制御は簡単なようで・・・　その４

2011年10月19日 19:39

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　
第７夜　ＭＦＣの流量制御は簡単なようで・・・　その４

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第７夜です。

プロ野球　日本ハムの次期監督に元ヤクルトの栗山秀樹さんが取りざた
されています。選手としての実績、コーチとしての経験の無さから懸念
する声も聞きますが、同じ病気が原因で、ある時期に一線を引かなくて
はならなくなった"病気仲間"として、個人的に応援しています。

今日のお話は、先週の続きで、注意しなくてはいけない点＝２．ＭＦＣ
の制御バルブの出流れはしていないか？です。ＭＦＣのバルブの出流れ
＝閉塞不良が生じていると、いったいどんな問題があるのでしょうか？
最近おなじみの図で見ていきましょう。

ＭＦＣのバルブと下流側バルブの間に貯まったガスは、ＭＦＣでは制御
できないというのが、先週お話しした1番目の問題でした。それを解消
するためにはＭＦＣの二次側を真空に引いて残留ガスを抜いてしまうこと
でしたね？ところがＭＦＣの流量制御バルブのオリフィス部に異物が付着
したり、使用しているＭＦＣが第1世代のサーマルバルブタイプの場合、
完全にＭＦＣの流量制御バルブではガスを閉じきる事ができず、チョロチョ
ロとガスが出流れしてしまいます。（注意！そもそもＭＦＣのバルブは流
量制御性能を重視していますから、最新型ＭＦＣで正常動作していても、
空圧弁や手動弁のように完全に締め切ることはできません）

そうなりますと、せっかく真空に引いたＭＦＣと下流バルブまでの部分
（図中の赤い太線）に、また気がつかないうちにガスが貯まっていき・・・
ガスを流し始めたときに、またまた制御できない突入ガスが・・・という
現象が起きてしまいます。

この対策としては、流量制御開始時にいきなりチャンバーへガスを導入せず、
排気ラインにいったん流して、安定してから切り替える「捨てガス」という
手法が従来から採られています。経時変化や、なんらかのトラブルでＭＦＣ
の流量制御バルブが出流れを起こしてしまう可能性がある以上やむを得ない
ことですが、高価な稀少ガスを捨てることや、プロセスで無駄な時間要する
ことが、最近では問題視されています。

この現象で生じる突入ガスの量は

①ガスの供給圧力 × ②ＭＦＣ流量制御バルブと下流側バルブの間の配管容積（配管径と長さ）

で決まります。

ということは、このボリュームを極力小さくするのが、問題解決のキーポイ
ントということになりますね？ここ数年、ＭＦＣメーカーさんが工夫を重ね
た結果、本体に流量制御バルブに加え、シャットオフバルブを内蔵すること
で、極限までこのボリュームを減らしたモデルが市場に提案されています。
なかなかもって素晴らしい技術が織り込まれていますので、折を見てこのコ
ーナーでご紹介させて頂きますね。

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣ千夜一夜物語】

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　2011年10月19日　水曜日
　※中国の航空機メーカーの工場で、中国産無人偵察機「翔竜」の試験飛行が
　　行われているそうです。いよいよ経済面から軍事面でも頭角を現しだしましたね。
　天気　くもり
　ボンベ庫の温度　昼17℃
です。

「不安な気持ちを育てない」

（大学受験塾ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師村田明彦氏ﾌﾞﾛｸﾞより）

落ち込んでしまうのは、期待しすぎてしまうから。

模試や過去問の点数で、一喜一憂ばかりしていると

心の燃料がなくなってしまうよ。

参考にはしても、落ち込まないこと。

今はできなくても、次に活かすように考えよう。

１０月からのこの時期は具体的な点数が、どうしても気になってしまう時期。

でもね。

気にして、立ち止まると、ますます怖くなる。

考えれば考えるほど、足がすくむ。

だからネガティブな思考や感情がどんどん育っていってしまうんだ。

次から次へとやるべきことを、パッバッとこなしていると

ネガティブな思考も感情も育たなくなる。

時間を与えるから、ネガティブは育つんだよ。

だから、次から次へやるべきことを進めていこう。

きっと、不安な気持ちも根腐れするだろう。

※社会人にも通じる考え方ですよね。
　 by との

ＭＦＣの流量制御は簡単なようで・・・　その４

ＭＦＣの流量制御は簡単なようで・・・　その３

2011年10月12日 18:33

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第６夜　ＭＦＣの流量制御は簡単なようで・・・　その３

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第６夜です。

すっかり秋めいた日々ですが、先日我が家の近所でいきなりセミの鳴き声が
聞こえました。夏に地中から出損ねたか？それとも少し暖かくなったのを勘違
いしたのか？そのセミは短時間で泣き止んでしましましたが・・・う～ん、出
るタイミングを間違えた？ガスの場合、流れるタイミングを間違えると、セミ
どころではない大問題です。

ＭＦＣでの流量制御を始める際の手順

①ＭＦＣの流量制御バルブを全閉にする
（強制閉信号を使うか、ゼロシャット機能があるＭＦＣでしたら流量設定を０
にする）
②バルブ１→２の順番でゆっくり開ける
③ＭＦＣに必要な流量設定を入力して、流量制御を始める

前回説明した際に、「少し落とし穴があります・・・」という捨て台詞を残して
しまいましたが、それはどういった場合でしょうか？

注意しなくてはいけないのは、以下の2点です。

１．ＭＦＣを含む配管内部のガス排気＝真空引きは終わっているか？
２．ＭＦＣの制御バルブの出流れはしていないか？

何のことだろう？と思われるかもしれませんが、まずは下の図を見てください。

ＭＦＣと、その下流のバルブに注目してください。
この部分は、ＭＦＣの継手→配管→バルブの継手という形でつながれているかも
しれませんし、直接ＭＦＣの下流側継手がオスタイプで、バルブの上流側継手が
メスになっていて、相互を接続している場合もあります。この部分(図では赤い
太線矢印)の体積が大きければ、大きいほど、（つまり両者の距離が離れていれば、
いるほど・・・）ここに残留するガスの量は多いということになりますね？そし
て問題は、「ＭＦＣはこの部分を流量制御することができない！」という事なの
です！

ＭＦＣの流量制御開始前に、ここにガスが残留していた場合、手順②でバルブを
順番に開けていくと、ＭＦＣの流量制御信号は０で、内部の制御バルブも全閉な
のに、なぜかガスが一気に流れる！という現象が起こります。もちろんＭＦＣが
制御を始めるまでのわずかなタイミングですが、そこで起きるガスサージ(おかし
な喩えですが、ガスの津波みたいなものです。)　は、分析用の微少流量制御が必
要な場合や、チャンバー内部のワーク周辺の真空度保持が重要な案件では深刻な
トラブルを起こす可能性もありますし、またチャンバー内部のパーティクルを巻
き上げて、ワークへ付着等という歓迎されない現象も引き起こしかねません。

この対策は、ＭＦＣ二次側のガスを完全に排気しておくことで改善されます。
ところが、もう一つのポイント　ＭＦＣの流量制御バルブに出流れがあった場合は、
これまた大きなゴタゴタに発展する可能性があります。そのお話は、また次回に。

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣー千夜一夜物語】

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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年10月12日　水曜日
　※フェラーリのミッドシップのオープンカー「４５８スパイダー」が日本上陸しました。
　　アルミ製の電動ハードトップを採用するなど軽量化に努め、ベルリネッタ（屋根つき
　　モデル）の「４５８イタリア」に匹敵する動力性能を誇り価格は３０６０万円です。
　　いかがですか？
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝19℃、昼21℃
です。

　人には誰しも

「何かを残したい」という衝動（根源的欲求）があり

　人生をかけて何かを残そうとする

　しかし

　そうして残したモノは

　それほど重要ではない

　
　その残したモノが消えて

　残るモノこそ尊く

　それが

　人が生きる本当の意味

　語り尽くして、伝わるものは何か？

　やり尽くして、超えたものは何か？

　何も残さずして、残るものは何か？

　そのために

　みんな今日を生きている

（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）

　by との

ＭＦＣの流量制御は簡単なようで・・・　その３

ＭＦＣの流量制御は簡単なようで・・・　その１

2011年9月28日 19:20

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第４夜　ＭＦＣの流量制御は簡単なようで・・・　その１
皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第４夜です。

　中国上海でまた痛ましい電車事故が発生したようです。
まだ事故原因は詳しくわかりませんが、こういった事故が発生しますと、分
刻みで運営される電車の流れを、安全に制御し定刻で管理するというのは難
しいことだと実感しますね。

ＭＦＣが身を置く流体制御の世界も同じです。ある手順を間違えた、例えば
バルブの開閉順番を誤っただけでも大きなトラブルが発生する可能性があり
ます。以前の連載でもお話ししましたが、おさらいの意味を含めて、今日は
簡単なフローを見ながらお話ししていきましょう。

真空排気されたチャンバーにあるガスを一定流量流し込む簡単なフロー図です。
（今回の説明に関係のない機器は省略してあります。）

真空にひかれたチャンバーで、バルブ１、２は閉、ＭＦＣには流量設定器を
通じて閉のコマンドが入ってバルブは全て閉止状態です。チャンバーには真
空度の急激な変化で破損してしまうような繊細なワークが入っています。

さて、ここからガスを導入するとき、どういう手順で操作しましょうか？

【回答１】
①ＭＦＣに必要な流量設定を入力
②バルブ１と２を一気にあける

判定：×

【回答２】
①ＭＦＣになるべく小さな流量設定を入力する
②バルブ１→２の順番でゆっくり開ける
③ＭＦＣの設定信号を必要な流量までゆっくり上げていく

判定：やっぱり×

なぜ両方とも判定は×なのでしょうか？

特に回答２は繊細なワークの性質に合わせて、丁寧に作業しているように
思えますが・・・

この解説は次週の連載で（ヒントは下の用語辞典と過去の連載にあります。）

【用語辞典】
設定信号
・ＭＦＣに対して制御させたい流量値を入力する信号
・計装の世界で言う　ＳＶ（Set point Variable）目標値
・大部分のＭＦＣはＤＣ０～５Ｖを使用する（フルスケール流量＝５Ｖ）
・設定信号をいれたから、必ずその通りＭＦＣが動くわけではない

流量信号
・ＭＦＣの流量制御している値を出力する信号
・計装の世界で言う　ＰＶ（Process Variable）測定値
・この信号が実際のＭＦＣが流している実流量値だと思ってはいけない
・流量信号が０ならば、そのＭＦＣのバルブ開度も０だというわけではない
それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣー千夜一夜物語】

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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年9月28日　水曜日
　※那覇発羽田行きの全日本空輸機が6日夜、浜松市沖上空で急降下し客室乗務員
２人がけがをしたトラブルで、機体が降下中、左側に最大約130度回転して、
　　裏返しに近い状態になっていたのだそうです。
　　恐ろしい・・・。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝18℃、昼23℃、夜21℃
です。

「他人の評価を気にしてしまう受験生へ」

他人の評価なんてすぐに変わる。

だから、他人の評価が悪くても

気にならないぐらい必死で勉強することだ。

他人の評価なんてすぐに変わる。

だから、他人の評価が悪いのなら、

他人の評価が変わるぐらい必死で勉強しよう。

ある時はほめられ、

ある時はけなされ、

でも、どちらもあなたであることは間違いない。

自分に対する自分の評価は最高になるぐらい必死に勉強しよう。

（大学受験塾ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師柏村真至氏ﾌﾞﾛｸﾞより）

　 by との

ＭＦＣの流量制御は簡単なようで・・・　その１

地震が来たらMFCをどうしたらいい？その２

2011年9月21日 17:10

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　
第3夜　【マメ知識】地震が来たらMFCをどうしたらいい？その２

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第3夜です。

地震の次は台風の水害が心配される今年の日本列島です。皆様、危機回避の原則は
「君子危うきに近づかず」です。水害で危険そうな場所には近づかない、台風が来
る日には無理に外出をしないなど・・・一見消極的ですが、大事な自衛策を実施し
ておられますか？台風による被害時も今回お話している地震と同じです。どちらの
場合でも二次的な被害として長時間の停電が懸念されます。

「ＭＦＣは通電してこそ動作する、停電したら全く機能していない」

ということを忘れないでくださいね。
では、先週の続きです。復旧が進んだ状況での簡単なＭＦＣのチェック方法をお話し
します。

・ＭＦＣ本体のダメージを確認するには
　ＭＦＣ、特に内蔵している流量制御バルブは精密な構造です。大きな揺れで密か
に一番ダメージを受けやすい箇所でもあります。復旧が進み、ＭＦＣ周辺のリーク
がないことが確認され、ガスが再投入される際に、もし可能ならばMFCにF.S.0％と
100%の信号を入れてみてください。（ＭＦＣを搭載した装置の復旧、再起動プロセ
スに障害がないかは個々に確認してからにしてください)

①　0％設定でちゃんとガス流量表示は０表示になりましたか？
　０にならなかったら、ガス供給圧が復旧前よりかなり高くなっているか？または
　ＭＦＣのバルブが衝撃で変位してしまい、締め切りが悪くなり出流れが生じてい
　る可能性があります。
②　F.S.100%設定でちゃんと100%の表示が出ましたか？
　流量がいつまでもF.S.100%に達しない場合は、ガス供給圧が復旧前よりかなり低
　くなっているか？または衝撃でＭＦＣのバルブのリフト量が衝撃で小さくなって
　しまっている可能性があります。

それぞれの症状が確認された場合、ガス供給圧力表示でＭＦＣへの供給圧を再確認し、
事前と変化がないようでしたら、ＭＦＣに不具合が生じている可能性があります。
一度メーカーさんで点検してもらった方がいいかと思います。MFCの一番振動に弱
い箇所をチェックするだけでも、復旧後のＭＦＣ動作不良によるプロセスの二重停
止を事前に避けることができます。

【MFC用語辞典】
出流れ
・バルブが何らかの原因で閉まりきらない状態で、流体が漏れ流れている状態
・ＭＦＣの場合、制御範囲は2～100％を謳うメーカーが多く、2%未満は出流れもあ
　り得る
・NC/NOに関係なく出流れは起きる　ただし非通電時のNOは出流れではなく、そも
　そも全開状態
・出流れは生成物がバルブオリフィスに付着した場合に起こりやすい
・「その生成物がどこで生じたか？」はＭＦＣメーカーとユーザーの間でクリティ
　カルな問題を起こしやすいので、簡単に片付けてはいけないお話

それでは、また来週！
【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣー千夜一夜物語】

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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年9月21日　水曜日
　※非常に強い台風15号はPM2:00ごろ、浜松市付近に上陸しました。
　　今後、東海地方を風速25m以上の暴風域に巻き込みながら進み、関東から東北を
縦断して22日AMには太平洋に抜ける見込みです。
　　ご注意ください。
　天気　台風
　ボンベ庫の温度　昼21℃、夜22℃
です。

（大学受験塾ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師柏村真至氏ﾌﾞﾛｸﾞより）

「重大な決断とは？」

大学を続けるか大学を止めるか

現実的には、重大な決断なのかもしれない。

しかし、もっと大事なことは、

自分の選択に対して迷い・後悔が無いかどうか。

迷い・後悔たっぷりの状態で、

大学を続けようが、大学を辞めようが、

大差はない。

現実的な選択に対してあれこれ口出しする気はないけれど、

決断に至るまでの自分の心、

自分にウソをつかないこと、

これだけは忘れないようにいつも言い続けています。

もちろん、受験生に対しても同じ姿勢です。

　by との

地震が来たらMFCをどうしたらいい？その２

MFCｶﾞｽ供給系

2011年9月17日 23:34

　真空装置や成膜装置などのｶﾞｽ供給系には、微量流量をコントロールする流量計が
必要なことが多いです。

Cl2用オールメタル仕様MFC

真空領域の空間に陽圧であるｶﾞｽを導入するのは、機種選定さえしてしまえば簡単な
ことのように思えますが、一概に言えるものではありません。

導入するｶﾞｽの流量は毎分何ccなのか？　微流量か、大流量か？

ｶﾞｽ種は何か？　純粋なｶﾞｽ体か、圧力によっては液体に変化するものか？

不活性ｶﾞｽか？　腐食性があるか、可燃性があるか？

どのような制御をするのか？　二次側の圧力を一定にするか、一定流量を正確に導入するのか？

応答速度が求められるのか？　速答性が求められるのか、ｷｬﾘｱｰｶﾞｽとして流れ続ければいいのか？

全体のｶﾞｽ供給ｼｽﾃﾑとの連動が必要なのか？　完全ﾏﾆｭｱﾙ運転か、ｲﾝﾀﾛｯｸにより自動運転を行うか？

などなど・・・。

さまざまなファクターを確認しながら問題を潰しながらMFCの機種選定および一次側と二次側
機器との整合性を取っていくのです。

最適なｶﾞｽ供給ｼｽﾃﾑの構築や、大流量から微笑流量までの流量制御、特殊ガス配管工事まで
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今日の埼玉県さいたま市のお天気は？
　2011年9月17日　土曜日
　※SMAPが北京公演を行いました。
　　国営新華社通信などは好意的な論説で受け止め中国語の歌のレベルも完全点を出したようです。
　天気　はれ
　気温　26℃(PM11:00)
です。

お食事「ゆにわ」店長村田聡美さんﾌﾞﾛｸﾞより

お客様と電話をしていた時のこと。

店の営業が終わって、今から打ち合わせだというとびっくりしていました。

しますよ～

自営業って、そんな感じだと思います～

何時から何時までが仕事、というようなＯＮＯＦＦの区切りをつけるほうが、

逆にちぐはぐになるというか。

目の前の人に合わせて、生きると、計画も計画ではなくなることが多々。

それが嫌と思ったらできないし、焦ったらつぶれますし、続かないし、根本的に違います。

私たちの場合、料理にぜぇんぶ映りますね。

それができるような体作りもしているので（笑）、

調整しながら前に進めます。

少なくとも、私が知っている方々はそんな感じです。

生活と仕事のバランスをすごく近い距離で自分で組み合わせるのだと思います。

（どの仕事もそうですけど。特にそうかな、と。）

子育てをするお母さんも計画が計画ではなくなることがたくさんあります。

子どもという目の前の人に合わせて一緒に生きるから。

でも、そうやって、目の前の人やものを含んで生きるってそういうことだと思います。

（含まないと、計画は計画どおり、やっていけます。ある意味恐ろしい行為ですけど。）

結果的には仕事、は関係ないですね～

＊

打ち合わせと言っても、そのまま店で打ち合わせすることもあるし、

気分を変えて、別のミーティングルームに行くこともある。

同じところにいると、気が停滞してくるので、

ぱっと切り替えるようにしていますよ。

自宅の部屋なんかも停滞してくる前に、本を整理したり、

配置を変えたりします。

創意工夫も大事。

　by　との

MFCｶﾞｽ供給系

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第2夜　【マメ知識】地震が来たらMFCをどうしたらいい？ その１

2011年9月14日 19:49

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第2夜　【マメ知識】地震が来たらMFCをどうしたらいい？その１

皆さん、こんばんは。新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第2夜です。

今年3月に起きた東日本関東大震災の被害は凄まじいものでした。
当日、我が家も少なからず大きな揺れに見舞われました。個人的におつきあいの
深かった東北各県の惨状には言葉もありません。半年が経過した今、改めて被害
に遭われた方々へ心からお見舞い申し上げます。

さて、MFCを使用している最中に大規模な地震が発生した場合、どうしたらいい
でしょうか？
（自分自身の安全確保が最優先です。また、所属されている団体により避難誘導、
緊急時の設備への対処方法が定められていると思いますので、それを遵守して頂
くのが大前提です。また、ＭＦＣは、装置の一部品である事が多く、緊急時は装
置側からのインターロックが働き、制御が安全方向に行われ、停止しているはず、
ということも前提にお話させていただきます。）

・最悪を想定して対処をはじめよう
トルク管理された組み立て工程で製造されているＭＦＣですが、あくまで内部圧
力が1MPa～真空に耐えるための構造であり、今回の地震のような激しい外部から
の衝撃が長時間続くことは想定されていません。どこが緩んで、どこが破壊されて
ガスが漏れ出しているかわからない状況・・・という最悪の状況を想定して、対処
を始めましょう。

・リークチェック前に下手にさわらない、取り外そうとしない
ガスは目には見えません。つまり、停止しているＭＦＣがどういう状態なのか？
見た目ではわからないと言うことです。こういった状況で一番恐いのはガスリーク
です。残留しているガスが、地震で緩んだ配管継手やシール部から漏れ出す可能性
があり危険です！リークチェックが最優先です。　　　　　

・安易に電源投入、再始動したり、ガスを再注入しない
多くの場合ＭＦＣや周辺のバルブは緊急時に閉止します。（ＮＯ＝ノーマリオープ
ンタイプの場合は全開になります）つまりガスは閉じ込められた状態にあります。
その状態で前述のようにガスリークの有無を確認せずに、再起動をかけるのは二次
災害の元です！　　　　　　　　

・日頃から使用しているＭＦＣがＮＯか？ＮＣか？を理解しておく
ＮＣ＝ノーマリクローズは非通電時に閉止しますが、ＮＯ＝ノーマリオープンは逆
に全開になります。使用されているＭＦＣがどちらなのか？により安全確認、復旧
の対処も異なってきます。ラベル・型式などで予め確認しておかれるのがよいでしょ
う。わからない場合はシリアル番号でメーカーに製造履歴を問い合わせる方法もあり
ますよ。

【MFC用語辞典】
ＮＯ
・ノーマリオープン＝Normally Openの略語
・ＭＦＣの場合、非通電時に流量制御バルブが全開状態となることをいう
・電気回路の故障でバルブへの通電が断たれた場合も全開となるので要注意
・反面、バルブが全開ならばパージはしやすいため、周辺の空圧弁との組み合わせ次第
・ある種類の装置以外では、使用されることは少ない

ＮＣ
・ノーマリクローズ＝Normally Closeの略語
・ＭＦＣの場合、非通電時に流量制御バルブが全閉状態となることをいう
・「故障したら閉」は安全に思えるが、MFCのバルブに締め切り性能が無いからガスシャ
　ットオフは保証されていない、パージラインがないと残留ガスを抜けないという盲点
　がある
・MFC出荷数の8割以上がNC

次回に続きます。それでは、また来週！
【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣー千夜一夜物語】

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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年9月14日　水曜日
　※フジテレビ系「クイズ！ヘキサゴン２」（水曜午後７時）が終了するそうです。
　　今月２８日放送の「クイズ！ヘキサゴン２卒業式　超クイズパレード！２時間
　　スペシャル」（午後７時）が最後の放送になります。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝28℃、昼33℃、夜31℃
です。

＜北極流・今日の開運メッセージ＞

人生の旅路では多くの出会いと別れがある。

一か所に立ち止まらず（現状に満足せず）、

来た道を振り返らず（過去を振り返らず）、

目的地を掲げ、進みだした時が、旅の本当始まり。

志や目標を定めると、

遠ざかっていく人や離れていく人もいる。

しかし、共に歩む仲間は、やがて現れる。

　 by との

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第2夜　【マメ知識】地震が来たらMFCをどうしたらいい？ その１

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第1夜　帰ってきたMFC千夜一夜物語

2011年9月 7日 20:45

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第1夜　帰ってきたMFC千夜一夜物語

　皆さん、こんばんは。そして、ご無沙汰しておりました。

　長年の不摂生からか？体調を崩しまして、ずいぶん長く連載をお休みさせて頂いていました。
なんとか復帰できましたので、本日からMFC千夜一夜物語を再開させて頂こうとと思います。
本来は第81夜から始まるのですが、ここは心機一転タイトルを「新・MFC千夜一夜物語」とい
たしまして、また第1話から始めたいと思います。

　前の連載ではMFCの原理＝基礎編から、徐々に応用編へ移行してきていたところだったと思
います。ただ、しばらく間が空いていますので、今週からおさらいの意味で【MFC用語辞典】
として過去の連載で使った言葉に再度簡単な説明をつけて取り上げてみます。

また、役に立つ【マメ知識】的なものを織り交ぜてみようかな？とも思っていますのでご期待
ください。

ウォーミングアップ的な内容からになりますが、よろしくお願いします。

【MFC用語辞典】
ＭＦＣ
・Mass Flow Controllerの略語。
・訳すと「質量流量制御器」
・内蔵する熱式センサーが、ある条件下では疑似質量流量を計測できる事を利用した流量制御器
・日本ではよく「マスフロー」と呼称される
・スタンドアロン機器に見られがちだが、電源&ガス供給条件に性能を左右される
・トラブルの原因としてやり玉に挙がることが多いが、実は無実なこともあるかわいそうな機器
・あくまで流量を制御するだけであり、ポンプのように流量を作り出すことはできない

ＭＦＭ
・Mass Flow Meterの略語
・訳すとそのものずばり「質量流量計」
・内蔵する熱式センサーが、ある条件下では疑似質量流量を計測できる事を利用した流量計
・「マスフロー」と一般的に呼称された場合、MFMではなくMFCであることが多く、マイナーな存在
・流量表示だけならば、電源不要なフロート式流量計が依然として強く、マイナーな存在
・MFCには仕様圧力条件があるが、MFMでそれを明記してい無いことが多い。だからといって真空から
　耐圧限界までで性能保証できているかは微妙な所

ＡＰＣ
・Automatic Pressure Controllerの略語　MFCとは似て異なる物
・訳すと「自動圧力制御器」
・MFCの流量センサーを圧力センサーに置き換え、流量制御バルブで作り出せる範囲の流量ベースで
　圧力を調整するMFCの従兄弟みたいな機器
・MFCメーカーならどこでも開発できるが、必ずしも性能がいいとは限らない
・レギュレータとの違いは、電気とメカではなく、ガスを流さない状態で調圧できるかできないか？

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る～新・ＭＦＣー千夜一夜物語】

　By Deco

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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年9月7日　水曜日
　※スマートフォンの利用実態調査でAndroid端末「Xperia arc SO-01C」が
　　アップルの「iPhone 4」を抑えてトップに立ったそうですよ。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝24℃、昼27℃、夜27℃
　本日の東京電力最大消費率　75％(PM2:00～4:00)
です。

「ころものたてはほころびにけり」

前九年の役（１０５６年）のシーン。

寄せ手の八幡太郎義家公が背を向けて退却をはかる安倍貞任にむかって、

歌を読みかけるシーンだ。

義家公は炎上した衣川の館（たて）と衣類の縦糸をかけて、

「衣のたてはほころびにけり」

と下の句を詠み掛ける。

これを受けた馬上の貞任は、

「年を経し糸の乱れの苦しさに」

と、即座に上の句を詠み返した。

劣勢に立たされ、バラバラになっていく

部下たちの心をまとめきれなかった自分に対する無力感...

そして、上に立つ人間だけが知っている、孤独感。

しかしながら、

そういった重苦しさを感じさせることなく、

そっとひとひらの歌に思いを載せて返すとは、
なんとも粋（イキ）な男です。

弓を射る前に、歌をなげかけた義家公もまた同じく。

最終的に、義家公は

「あれほどの男であるならば、矢で射殺すには惜しい」と、

その場で弓を収めて追跡を打ち切ったと言います。

（古今著聞集より）

生か死かという次元ではなく、
もっと高い次元に生きているからこそ、

血生くさい戦場でも、そんなやりとりができるのでしょう。

　by との

ちなみに...

新・ＭＦＣ千夜一夜物語　第1夜　帰ってきたMFC千夜一夜物語

積算流量計

2011年2月17日 20:20

とある大学の実験室。

うっかりしたことで末端のバルブが「開」になってしまい、ボンベ集合装置
のガス残量が０（ゼロ）になってしました。

工学部の研究室は数多く、また、同じ研究室ですら数箇所の実験室で、たく
さんの学生さんがいるので、どこのバルブから垂れ流しになってしまってい
たか定かでなく、結局分からずじまい。

そんなときどうするか？

某大学実験室　Ar,N2,Air ガス配管（手前：末端ﾊﾞﾙﾌﾞ、奥手：実験室ﾕｰﾃｨﾘﾃｨ元ﾊﾞﾙﾌﾞ）
※写真とお話は関係ございません。

実験室に繋がっている配管の大元に、どれだけ使ったかが分かるメーターを
付けるのです。例えば1ヶ月間でどれだけ使ったかの使用量をデーター集め
すれば、漏水のようにジャジャ漏れした疑いのある実験室を特定できます。
また、使ってもいないのにガスが流れているのであれば配管の漏れか、若し
くは装置への接続部や装置の内部バルブで漏っている箇所を特定できるかも
しれません。

実験室にあるｶﾞｽﾕｰﾃｨﾘﾃｨﾕﾆｯﾄ（下段：積算流量計）

流れたガスの量を自動で積算してくれるのがマスフローメーターの積算流量計
です。

積算流量計（ﾏｽﾌﾛｰﾓﾆﾀｰ）

このデジタルデーターを集計し、パソコンなどにプールしておけば無駄遣い
を省く効率化にお役立ていただけるかもしれません。
※尚、使用圧力、温度変化、流量の変化などにより、必ずしも積算流量計の
　流量＝ガスボンベの充填量とは限りません。ご了承ください。

ガスの積算流量計、瞬時流量計、流量調整機能付き流量計など
ガス流量計のことなら
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年2月17日　木曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝5℃、昼8℃、夜11℃
です。

大学受験塾　ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師ﾘﾁｬｰﾄﾞ村田氏ﾌﾞﾛｸﾞより

役割意識を持つテーマ

受験生なら受験生の役割がある。

その役割をまっとうしようとしたときに、自然と守られる。

受験生の役割とは？

当然勉強することだ。

その役割をまっとうして勉強しているときは、ネガティブにならないから。

ネガティブになっているときは、立ち止まっているとき。

役割からはずれたことをしているときだ。

お母さんならお母さんの役割を

先生なら先生の役割を

アルバイトならアルバイトの役割を

まっとうしようとしたとき

そのときは守られているんだ。

そして、役割とは人から言われてやる以上に

自分で気づくことが大事だ。

大河ドラマ「江」では、明智光秀が本能寺の変で主君である織田信長を打ちます。

その後に、織田家の家臣に追い詰められ圧倒的に不利になり、誰も自分について
きてくれないことに気づきます。

そのときに初めて、織田信長の家臣であるという役割に守られていたことに気づ
きます。

そのことに気づき、明智光秀は信長の大きさを

感じるわけですが...

しかし、歴史でいえば

光秀の「3日天下」すら

天から与えれた

「より大きな役割」だったのかもしれませんね。

　　by との

積算流量計

第80夜　MFCの消費電流量VS電源容量 MFC/MFM

2010年2月14日 18:26

　マスフローコントローラーのことをご存知でしょうか？
カタログ請求してちょっとわかったふうで注文できるような商品
ではありませんよ！
　とはいえ、いまさら一から教えてなんて、メーカーにも、代理店
にも聞けない。　そんなときお役に立てるのがこちらのコーナー
「ＭＦＣ（ﾏｽﾌﾙｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）千夜一夜物語」です。
　第八十回目にもなる連載コーナーですので、履歴をたどり一話
からお読みいただければ、ＭＦＣの何たるか？を触りだけでもご
理解いただけるのではないかと思います。
　それでは、今週も講師のＤｅｃｏさんにご登場いただきましょう！
宜しくお願い致します。

第80夜　MFCの消費電流量VS電源容量

皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第80夜です。

　いよいよ冬季オリンピックの開幕ですが、不思議なものでアメリカ
のワシントンD.C.など東海岸北部は豪雪により、交通機関はおろか
連邦政府の機能が損なわれてしまうダメージを受けているのに、同
じ北米大陸でも太平洋側のバンクーバオリンピック会場では、一部
雪が足りないという現象も起きているらしいですね。必要なところに
必要な雪がない・・・困ってしまいますね。

　さて、MFCの電源のお話をしてきましたが、まずはお手持ちのＭＦＣ
の所用電源をよく確認して準備しましょうね！というお話をしました。
手持ちのＭＦＣが±15VDCということなので、これを準備すればいいや！
となるのですが、もう一つ確認しなくてはいけないことがあります。
それは電源の容量、供給できる最大電流値なのです。

ＭＦＣの電源仕様をもう一度見てみましょう。

電源仕様　（例）
　電源電圧：±15VDC（±5%以内）　
　消費電流＋側　Ｍａｘ ５0mA　−側Ｍａｘ 150mA

では質問です。

Ｑ．　お手元に±15VDC　電源容量がそれぞれ100ｍA　3Wmaxの
　　電源があったとします。この電源は、上記仕様のMFCの電源と
　　して使ってもいいでしょうか？

Ａ．　答えは×です。

　これはMFCの消費電流を見ていくとすぐわかりますね。確かに＋側
は電源の容量100mAに対して、MFCは最大でも50mAしか消費しない
のですから、ＯＫです。ところが−側は電源の容量100mAに対して、
MFCは最大150mAも消費してしまいますから、オーバーしてしまいます。
ダメですね。
　具体的にどんな現象が起きるか？というと、こういう−側の消費電流量
が大きいＭＦＣは、一般的にソレノイドＭＦＣの可能性が高いので、ここで
はノーマリクローズのソレノイドバルブのＭＦＣだと仮定してお話しします。

ズバリ！　フルスケールに近い制御流領域がちゃんと流せなくなる可能性
が生じます。

　これはソレノイドに流す電流を増やすことで、磁力を増し、非通電時は閉
のバルブと組んで、それを　よっこいしょ！っと持ち上げて開けていくソレノ
イドアクチェータの特性上、たくさん電流が必要な状態というのは、大きくバ
ルブを開ける状態 ＝ 多く流量を流す状態だからです。現象としてMFCの
流量が、ある流量設定より上が全く流れず、頭打ちしてしまう・・・という事が
起きてしまうのですね。
　もし、上の例がノーマリオープンタイプだったら・・・バルブが非通電時全開
の状態から閉めていくバルブですから、先ほどとは逆で、より閉める方向に
対して電流が必要になります。今度は、ある程度下の流量設定でそれ以上
に絞れず、ガスが流れっぱなしになるという、これはまた困った問題が生じ
ます。
　必要なところに必要な電流量が供給されないと、ＭＦＣは正常に動かない、
このことを頭に置いて、よく電源の仕様もご確認くださいね。

それでは、また来週！
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

さァ、どちら様でしょうか？　
ガスのことなら分かるけど電気のことはからっきしダメだとおっしゃるのは？
ＭＦＣは電気のこともテスト範囲に入りますのでよく勉強しましょうね！

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今日の埼玉のお天気は？
　２月１４日　日曜日
　天気　はれ
　気温　７℃（PM6:30）
です。
　オリンピック女子モーグルの上村愛子選手、残念ながら４位でしたね！
日本の新潟ででトレーニングを積んでいるアルペンスキー回転の
オリンピック代表である皆川選手も我がことの様にドキドキしたと
コメントしてました。
里谷選手も、果敢に攻めて失敗したことですから仕方ないですね。
これからぞくぞくと日本選手が登場します。
メダルを目指しがんばってもらいたいですね！
　ｂｙ　との

第80夜　MFCの消費電流量VS電源容量 MFC/MFM

第79夜　ＭＦＣが変わり者になってしまった理由は・・・ ＭＦＣ／ＭＦＭ

2010年2月 7日 14:44

　サンデー兆治ならぬ、サンデー Decoさんの登板の日です。
マスフローコントローラーのことを懇切丁寧に解説いただくこの
コーナーも７９回目になります。そろそろ復習しないと忘れてい
ることも出てきそうですね。それではいってみましょう！

第79夜　ＭＦＣが変わり者になってしまった理由は・・・

皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第79夜です。

　日本海側を中心に豪雪ですね。ほんと暖冬という予報は・・・と文句を言って
もしょうがない。やはり自然というものは、人知の及ばぬ制御できない高みに
あるのですね。そういえば今週は、朝青龍の突然の引退にも驚きました。色々
あってもモンゴルから異国に渡って、努力してきたんだろうに、もっと周りの人
間が上手く制御してあげていたらな〜と残念でしょうがありません。

　さて、ＭＦＣが±15VDCという風変わりな電源仕様を使い続けている理由は・・・
というお話です。実はDecoも本当の理由を知りません！　
ごめんなさい！（　ドテッっと転けないでくださいね。）

　MFCのセンサー部分が、二対のヒーターで構成され、それがブリッジ回路を
構成している、というお話はこれまでに何度もさせていただいているかと思いま
す。「四半世紀以上前にＭＦＣが生まれた時代には、ブリッジ回路を作る上でバ
ランスを取りやすい±電源で、ＭＦＣに内蔵できるサイズの部品が無く、やむなく
外部に置く電源から±15VDCを供給した。」と、Decoは複数の古参の技術屋さん
達から教わってきました。確かに頷ける話です。ですが、「じゃあ、なんでこれだけ
数十年で電子部品が進化した現在に至ってもそんな仕様なのか？」という問いか
けへの答えには、なっていません・・・

　ここからはDecoの持論ですが、実は技術的な問題ではなく、マーケッティング
的要素が強かったからなのではないのでしょうか？以前、MFCの主要な顧客は
半導体製造装置メーカーさんだというお話をしました。そして製造装置に組み込ま
れたＭＦＣが使用されるのは、半導体製造工場です。半導体は日進月歩のハイ
テク技術産業であり、常に新しい技術が切磋琢磨されている・・・のですが、こと
製造となると、逆に非常に保守的な世界です。

"Ｃｏｐｙ　exactly（コピー イグザクトリー）"

とういう有名な半導体メーカー「インテル」が提唱する半導体製造に関する言葉が
あります。「マイクロプロセッサ製造は、開発段階で使用した製造装置、その部品を
含む全ての設備、製造プロセスはもちろんのこと、納入業者や物流のプロセスまでも、
量産工場にそのままコピーする。」という考え方です。（こういった考え方は、実は家
電などの民生機器の世界では無い考え方で、むしろカタログなどに「予告無き仕様
変更」があり得ることを謳っていた時代もありました。）

　そんな半導体の世界では、なかなか途中で思い切って電源の規格を変更するは難し
いことで、ある一社だけが、「うちは24VDCです！」と言い出しても、今まで±15VDCの
ＭＦＣを使ってきたお客さんには受け入れられません。そんな流れが続いたために、
ＭＦＣの電源は開発された当初の流れのまま±15VDCでここまで来てしまった・・・
のかもしれません。

ここにきて新しくDevice　NetTM通信規格を搭載したMFC等は電源規格が24VDC
であり、この普及でMFC総需要の8割近い半導体関連業界へ販売されるMFCが
24VDCになっていくと、また10年後には変わってくるのではないかな？と思います。

どうなるか？楽しみですね。

それでは、また来週！
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

最先端工場が、最も保守的だというのは面白い話です。
温故知新
変化なければ成長なしですから、ＭＦＣも変革するのかもしれませんね。
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　２月７日　日曜日
　天気　はれ
　気温　１１℃
です。
　晴れた空、そよぐどころか乾してある布団さえ吹き飛ばす
勢いのある強風ですね。
小学校のサッカーチームで卒業アルバム作製のために
グラウンドの選手の姿やチームでのスナップショットを残すべく
デジカメで写真を撮ると、なかなか空の青い色が残せないんですね。
昔のフィルムですと現像して再現できても、デジカメはなかなか
難しいようです。
もちろん、記憶は子供たちの心の中に残ってくれれば
写真はおまけですからそれなりでいいのですけどね。

第79夜　ＭＦＣが変わり者になってしまった理由は・・・ ＭＦＣ／ＭＦＭ

第78夜　ＭＦＣは変わり者？ ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

2010年1月31日 17:18

　日曜日のﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰに関する連載コーナー
「ＭＦＣ千夜一夜物語」の七十八回目です。講師のDecoさん
によりＭＦＣのスミからスミまで解説する解剖学です。さて今晩
はどんなお話になりますやら。それではイってみましょう！

第78夜　ＭＦＣは変わり者？

皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第78夜です。

　トヨタの北米でのリコールは空前の規模に達し、欧州、中国に
拡大しそうな勢いですね。アメリカのビッグ３はここぞとばかりに
トヨタ車からの買い替えキャンペーンを始めたとか・・・1年前に
虫の息だった彼らですが、そのなりふり構わぬ反撃には米国
らしいなぁ〜と思ってしまいます。

　しかし、元ＭＦＣメーカーの工場を面倒見ていたことがあるDeco
からしますと、メーカーとして身につまされる思いがします。メーカー
は製品が物を言います。どんな腕のいい営業さんや、マメな代理店
さんがいても製品がちゃんとしてなければ・・・

　さて、今夜はＭＦＣがＡＣアダプターで動くか？というお話ですが、
答えは「まず家庭用ＡＣアダプターでは無理」です。もちろん例外も
あります。そのことをご説明しましょう。

ＭＦＣという一つの機械を動かすのに必要な「電源」。

　カタログなどを読んでいだくと、仕様表、スペックシートと呼ばれる表
に、以下の記載があるかと思います。

電源仕様　（例）
[電源電圧：±15VDC（±5%以内）　消費電流＋側　Ｍａｘ ５0mA　−側Ｍａｘ 200mA]
[電源電圧：24VDC　消費電流Max 300mA]

電圧と電流のお話は・・・始めると長くなるので、忘れた方は理科の
教科書か、ネットで検索してみてくださいね。

　消費電流というのはメーカーによって異なります。制御方式、アクチュ
エータの種類が違いますから・・・　
電圧で大きく括りますと、?@±15VDCと?A24VDCとなります。
どちらかというと古いモデル、もしくは半導体製造装置用に使われてい
るMFCは?@が多く、一般工業用、もしくはDeviceNetTM通信対応モデル
等は?Aが多い傾向にあります。
（もう何種類か黎明期のMFCでは企画がありますが、割愛します。）

で、この?@、?Aでやっかいなのは、?@±15VDCという定格の電源です。
まず一般の家庭では使いません。ですから、家庭のＡＣアダプターには
無理とお答えしました。
（いや、家庭用でもあるよ！というご意見がありましたらご教授下さい。）

　以前、計装技術屋さんから「ＤＣで＋−電源を使う工業機器というのも
珍しいですよね。一般的に計測機器は24VDCじゃないのですか？」と聞
かれたことがあります。その通りなのです。ＭＦＣの親戚のような流量計、
圧力計はほとんど12〜24ＶＤＣです。ＭＦＣだけが、なぜか±15VDC・・・
その技術屋さんは「ＭＦＣの為だけに、装置の電気系に±専用電源を置
かなきゃいけないですね・・・面倒ですね・・・」と嘆息されていました。

すいません・・・変わり者で・・・　

なんでこんな変わり者になったか？は次週お話しします。

それでは、また来週！
【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

ＭＦＣ／ＭＦＭは、世の中の機器とはちょっと変わっているんですね！
装置の供給電源でそのまま動きませんのでご注意くださいね。

川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉のお天気は？
　１月３１日　日曜日
　天気　はれ
　気温　１２℃
です。
　エアコンの設定温度は２０℃が理想だそうです。
暖め過ぎると体温調整がし難い体となってします。
暖かい空気は上に溜まりますので
下のほうを暖める工夫をしましょう。
扇風機を上のほうにあてると空気が掻き混ぜられて
ムラ無く暖まります。

第78夜　ＭＦＣは変わり者？ ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

第77夜　ＡＣアダプターのようなもの？？　　　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

2010年1月24日 14:32

　今年より水曜日から毎週日曜日へ引越ししました定番コーナー
になりますMFC/MFM解説シリーズ第七十七回目になります。
それではDecoさま、よろしくお願い致します。

第77夜　ＡＣアダプターのようなもの？？

皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第77夜です。

　「この冬は暖冬」というＴＶの天気予報番組の予測は、昨年末
あたりで大きく外れてしまいましたね！中長期予報の難しさとい
うものです。ここだけの話、DecoもＭＦＣを売っていた頃、営業とし
ての受注予測をよく「販売計画」なるものに書いて上に出していま
したが、これがまぁ・・・当たらない迷予報でして・・・「この嘘つき〜」
とよく怒られていました。だから、予報士さんのご苦労もわかる気
がして、なんだか責められないDecoでした。

　さて、皆さんの家で天気予報やドラマを見るＴＶは何で動いていすか？
動力源は何でしょう？そう「電気」ですね。もっと具体的に書けば、家
庭内のコンセントから供給される電気ですね。TVに限らず家電製品
は、日本では皆コンセントからAC100Vの供給を受けて動いています。

ところで、ＭＦＣはどうでしょうか？

　先週のお話で「MFCはAC100Vで動いているのでなく±１５Ｖ、もしくは
ＤＣ２４Ｖですよ！」とお話ししました。「コンセントにはつなげませんよ！」
ともお話ししましたね？だから、ＭＦＣには専用の「電源」が必要で、その
「電源」のお話を今晩はさせていただく・・・と前振りしましたが、実は皆さ
んこの「電源」に似たものは既に実生活で使っているのです。
　そう、それは例えばノートパソコンであったり、PS3やWiiのような家庭用
ゲーム機であったりします。これらの機器は、見慣れたAC100V用の二極
の家庭用コンセントから電源ケーブルを直接機器に接続するのではありま
せん。コンセントと機器の中間には、なにやら黒っぽい筆箱のような物があ
ると思います。これは「ACアダプター」という名前で呼ばれているもので、
ＡＣ100Vでコンセントから供給される「電気」を、例えばDC19Vといった「電
気」に変換するのが仕事です。ACをDCに変換する＝AC-DCコンバーター
としての役割を担います。
　MFCでいう「電源」というものは、簡単に言えば身近な「ＡＣアダプター」
のようなものなのですね。

「な〜んだ、Decoさん、ＡＣアダプターがあれば、ＭＦＣは動くのですね？
　　　　　　　　確か余ったアダプターがあったような・・・（ゴソゴソゴソ・・・）」

ちょっと待ってください！確かに役割は似たような物ですが、ちょいとＭＦＣ
特有のやっかいなことがあるので！詳しいお話は次回！それまで、あわて
ないでくださいね。それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

MFCのことはガスの性質から電気の電源・信号に至るまで、ありとあらゆる
知識が必要なんですね！　勉強になります。
ﾏｽﾌﾙｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰやﾏｽﾌﾛｰﾒｰﾀｰのことなら
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今日の埼玉のお天気は？
　１月２４日　日曜日
　天気　はれ
　気温　６℃です。
　第15回全国都道府県対抗男子駅伝競走大会が
広島市の平和記念公園前発着の７区間48キロで行れていいます。
中学生、高校生、一般（大学生＋社会人）がそれぞれタスキを繋い
で走るマラソン大会なのだそうです。
今、社会人でも出身中学や高校の都道府県で出走できるのだそうです。
面白い大会ですね！

第77夜　ＡＣアダプターのようなもの？？　　　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

第76夜　MFCは電気がないと動かない・・・　　ＭＦＣ・ＭＦＭ

2010年1月17日 18:09

　皆さま、長らくお待たせいたしました。

マスフローコントローラーの伝道師 Decoさんが帰って参りました。
私からの無粋なお話は無しにして、さっそく本題に入っていきましょう！
それでは Decoさんよろしくお願い致します。

第76夜　MFCは電気がないと動かない・・・

皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第76夜です。

　謹賀新年・・・を申し上げるには、既に半月が経過しておりますが
本年も「MFC千夜一夜物語」を、よろしくお願いします。こちらの都合
で１ヶ月強の冬休みを頂いておりました。今週からまた連載を再開
したいと思っておりますので、よろしくお願いします。

　さて、今まで７５夜続けて参りましたこの物語、どちらかというとMFC
（マスフローコントローラ）の動作原理、構造を説明してきました。再開
した今夜からは、どちらかというとMFCを設置するとき、使用する際に
必要となる知識のお話をさせていただきましょう。いわば今までの「基
礎編」から「応用編」という趣きですね。

　では、皆さん、MFCを実際使用されるに当たって、用意したMFCの背
面や上面、側面にある型式・仕様記したシール部をよくご覧ください。
型式、流体（ガス）、フルスケール流量、継手は注文通りでしょうか？
今、設置しようとしている用途と合っているか？もう一度よく確認してくだ
さいね。どんなMFCでも必ず以上の情報は本体のどこかに記してありま
す。

　次に、MFCを動作させる電源やケーブルはありますか？MFCは電気製
品です。ニードルバルブや、パージメーターのように、設置したら動く訳で
はありません。MFCへ電気を供給してあげなくてはいけません。ここで、
やみくもに家庭用AC100Vに直接つないではいけません。（つなげません
が・・・）　カタログや取扱説明書をお読みいただければわかりますが、多く
のMFCの必要定格は、DC±15V、もしくはDC24Vです。つまり、AC100V
からMFCの必要とするDC電圧へ変換する機能をもった「MFC用電源」が
必要になるのですね。

　MFCをご購入される際は、必ずこの「MFC用電源」をどうするか？も検討
してください。装置に搭載されたMFCの場合は、既に装置側に電源が用意
されていますが、新しくＭＦＣだけを購入される場合は、必要ですね。各メー
カーで自社製品に適切な電源を用意していますので、販売店さんに確認
してみてくださいね。次回はこの「MFC用電源」選定のお話です。

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

基礎編から応用編にステップアップして新装開店です！
ご一緒に勉強して参りましょう。
宜しくお願い致します。

ＭＦＣ・ＭＦＭのことなら川口液化ケミカル株式会社へ
ご相談ご連絡ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　１月１７日　日曜日
　天気　はれ
　気温　７℃（ＰＭ6:00）
です。
　１５年前の今日、午前５時４６分阪神大震災が起き
６４３４名の尊い命が失われました。
関東では身近でないので、忘れがちかもしれません。
命は、あたりまえに与えられてあるものではありません。
だからこそ、命があることを大切にし、目の前のものごと
に対して精一杯生きていくことが、無くなった方への
お悔やみになると考えます。
阪神大震災は負傷者約４万人ですが
ハイチでは３００万人が被災する大地震が発生してます。
命を大切にしましょう。

第76夜　MFCは電気がないと動かない・・・　　ＭＦＣ・ＭＦＭ

第75夜　メタルシールって堅物？ 　　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ・ﾏｽﾌﾛｰﾒｰﾀｰ

2009年12月 2日 08:42

　手動でガス流量を設定する測定器は数多くありますが、任意の設定値に対し
自動で流量を制御してくれるガス流量制御機器にはＭＦＣが最適です。
ＭＦＣを初歩から応用まで解説する連載シリーズ第七十五回目となります。
それでは講師の Decoさん よろしくお願い致します。

第75夜　メタルシールって堅物？

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第75夜です。
今年も師走を迎えましたね。早いもので2009年も残り30日。12月はどうもDecoは
大忙しなことが多いのですが、この業界で仕事をして初めてというくらい、のんびり
した師走を迎えそうです。たまにはいいかなぁ〜と思いつつ、朝夕の寒さに震えて
います。皆さんもインフルエンザや風邪にはご注意を・・・

　さて、今夜はエラストマーシールに対して、もう一方のシールの雄、メタルシール
の登場です。名前の通りメタルですから硬そうなのですが、はたしてどういうものな
のでしょうか？そもそも、メタルシールのMFCが世に出たのは、そんなに古いこと
ではありません。半導体製造装置に種々使われるガスの中には、非常に毒性の
強いガス、腐食性の強いガスが多々あります。そういった強烈なガスに立ち向かう
には、残念ながらエラストマーシールでは限界があります。そこで採用されたのが
メタルシールという、名前の通り金属を材料とし、その弾性を利用したシールです。
メタルシールはエラストマーシールなどでは使用が困難な、超高温・極低温・腐食
・高圧力・真空 などの悪環境下で使用可能です。その為、今や半導体プロセスガ
ス用で使用されるMFCの殆どはメタルシールモデルだと言っても過言ではありませ
ん。

　メタルシールに使用される材料は、MFCのボディの接ガス部品材料であるSUS316L
インコネルなどがあります。ごく希に異なる金属を使用する場合もありますが、ボディ
材質とシール材質が同じな訳ですから、逆に言えばMFCのボディ材質が腐食するよう
なガス以外には使用できると言うことになります。そういう意味ではエラストマーシール
よりも、ガスの特性によるＯリング選択にナーバスにならなくて済む・・・とも言えます。
　ただ、その分メタルシールのMFCにはデメリットもあります。それはシール性能にでは
なく、そのコストにあるのです。最近ではかなり安くなってきましたが、メタルシールの
半導体プロセスガス用のMFCはエラストマーシールの汎用品より1．5〜2倍くらいは高
くなります。これはシールがメタルになったからだけではなく、製品パッケージとして表
面処理や接ガス部品構成まで異なるためですが、同型式・同構造でメタルシールモデ
ルとエラストマーシールモデルをラインアップしているメーカーの価格を見ても、数万〜
十万円レベルの差が出ます。これはなぜかというと、シールの単価そのものよりも、メタ
ルシールを使用する箇所の形状、仕上げ、手間によるものです。

　メタルシールは多くの場合、継ぎ手側フランジと、ボディに挟み込んで、決められたトル
クで四隅を締め付けるような形で運用されます。この時、シールを挟み込むフランジと面
とボディの面はきっちりと水平が出ているだけでなく、ピカピカの鏡面にラッピング（研磨）
されている必要があるのです。そこまでに仕上げた金属表面は合わせれば吸い付くよう
に合わさります。この間にメタルシールを挟むことで、そのラップ面に傷を付け食い込ま
せることでシールとして機能するのです。当然、組み立て作業も難しくなります。せっか
くのラップ面に傷を付けたらおしまいですから・・こういった加工費用、工数が乗ってくる
から、メタルシールのMFCは高価になるのです。なかなか言い仕事はするけど、高く付く。
メタルシールは一筋縄ではいかない職人気質の堅物なのかもしれませんね。

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

特殊ガス仕様のマスフローコントローラーのことなら
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今日の埼玉川口市のお天気は？
　１２月２日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝６℃、昼８℃、夜１０℃
です。
　都内の皇居周りの銀杏が綺麗に紅葉していて綺麗です。
カメラを手にした見物人もチラホラ見受けられましたね。

第75夜　メタルシールって堅物？ 　　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ・ﾏｽﾌﾛｰﾒｰﾀｰ

第74夜　エラストマーシールのMFCを扱う時は・・・ 　ＭＦＣ／ＭＦＭ

2009年11月25日 23:39

　半導体から液晶、太陽電池に至るまで、成膜装置の原料ガスや
液体が気化した流体を制御するのは、マスフロコントローラーが最
適です。そのＭＦＣを基礎から応用まで解説するシリーズ第七十四
回目の始まりです。

第74夜　エラストマーシールのMFCを扱う時は・・・

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第74夜です。三連休に
温泉宿に行ってきました。奮発してスイートを抑えたのですが、部屋
の調度から料理、お風呂に至るまでなかなか行き届いたサービスを
満喫してきました。もてなす側の隅々までの細心の心遣いが感じられ
ました。

　さて、今夜はエラストマーシールのまとめです。簡単にエラストマーと
言っても色々あり、注意を怠るとDecoの経験した怪談のように大変な
トラブルを招きかねません。流体とシール材の材質のマッチングは大変
重要な要素になりますね。
　ところで現場でたまに見かける光景ですが、エラストマーシールのMFC
の継手を、ユーザーさんで手軽に交換されているケースがあります。確か
にスパナやモンキーさえあれば、簡単に継ぎ手を外せるのがエラストマー
シールタイプのMFCの特長です。MFCのボディには例えばUNF9/16 サイ
ズの雌ネジが切ってあり、そこに市販の雄ネジをねじ込めばすぐ交換でき
ます。大学など研究室などで1台のMFCを複数の実験ラインへ流用される
こともあるかと思います。その際に「わざわざメーカーに交換を依頼しなくて
も、ＤＩＹ的に・・・」と考えられるのはわかりますが、ちょっと待ってください！

　MFCメーカーでは出荷前に必ずＨｅリークディテクター等でリーク試験を
行っています。中には組み立て時に1回、出荷前の検査でも1回と念には
念をいれているところもあります。これはMFCからのガスリークがどれだけ
深刻な問題を引き起こすかを、メーカーは自覚しているからです。継手を交
換される際にＨｅリーク試験までされる方は少ないのではないでしょうか？
適正な締め付けが行われなかったが為に、水素が漏れ出したらどうなるで
しょうか？

うっかり仮締め状態でＰＨ３のような毒性ガスを流したら・・・

今回は窒素だから大丈夫・・・

と思っていたら、居室に窒素が充満して酸素欠乏になってしまうことだって
あるのです。

　もちろんそういった「改造」作業を施したMFCはメーカーからは何の保証も
受けられないことも、改めて認識いただく必要があります。気軽に使用される
エラストマーシールのＭＦＣですが、以下の事に注意しましょう。

１、使用する流体、用途を明確にし、適切なシール材質をメーカーに選定してもらう。
２、ガスの特性がよくわからない場合は、無難なメタルシールを使用した方がよい。
３、リーク性能はメタルシールタイプと比べると、低いので過信しない。
４、継手交換等は、些細な作業でもユーザーで行わず専門家に任せる。

皆さん、たかがMFC、されどMFC。選定にも気を使ってあげてくださいね。

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

ＭＦＣを侮るなかれ。原料の純度以上に肝心要なレシピに係ることも
多々あります。ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰのことなら
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今日の埼玉川口市のお天気は？
　１１月２５日　水曜日
　天気　雨のち晴れ
　ボンベ庫の温度　朝１０℃、昼１０℃、夜１２℃
です。
　鳩山総理大臣の政治資金規制法に反する行為かどうか？
巷を騒がせていますが、目の前の課題、宿題、緊急を要する
事件事故は待ってくれません。
党や議員自身の私利私欲もちろんも大切でしょうが
国民不在の国会運営は必要最小限にしてもらいたいものです。

第74夜　エラストマーシールのMFCを扱う時は・・・ 　ＭＦＣ／ＭＦＭ

第73夜　火を噴くマスフロー　後編 MFC/MFM

2009年11月18日 10:22

　ガスの流量制御に関する基礎から専門知識までを身につけられる
連載シリーズ第七十三回目になります。講師のDecoさんの現場での
多くの経験から語られることは、ほかでは知りえることはないかもしれ
ません。それでは Decoさんよろしくお願い致します。

第73夜　火を噴くマスフロー　後編

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第73夜です。
先日のDeco宅でのパワーストーンワープ事件ですが、どうやら一番小さい
1歳になったばかりの猫の仕業かもしれません。最近妙に人間の子供のよ
うに前足＝手で何かを拾い上げようとしている仕草が多いのです。で、つか
みきれず途中でポイっと投げ出してしまうようで・・・冬の怪談に発展しそうな
お話でしたが、どうやら犯人はいたようですね。

　さて、今夜はDecoの経験したMFCの夏の怪談の後編です。とあるお客さん
に販売したMFCが突然流量制御不能の全開状態になり、流していた燃焼ガス
の流量過多によりバーナーから大きな炎が！！それも必ず夏になると起きる・・・
という事件が多発したのですが、なかなか原因が掴めないDecoでした。今度
も、現品を回収して調べてみたのですが、ＭＦCの流量センサーの圧損が出荷
時より大きくなり、明らかに何かが詰まってしまっている為、流量が減少したと
感知したMFCはバルブを全開にしてしまい、大量のガスが流れてしまった・・・
というところは同じでした。

　こうなったら「センサー内面をＳＥＭ解析しようか？」との声も上がり、その方向
で進めるべく、夏の暑い日にこれまた人が多すぎてクーラーがまともに効かない
暑い会議室で、お客様とDecoは討論を続けましたが、全く結論が出ません。目
の前に分解したMFCのセンサー部のパーツが、金属トレイに引いた無塵紙の上
に鎮座していました。いつ終わるともしれない議論の中、苛ついたDecoは、気が
つくとセンサーのＯリングをボールペンの底で無塵紙に押しつける形で頬杖をつ
いていたのです。

「・・・この姿勢はまずいな・・・Oリングが潰れちゃうし・・・」と思って、ボールペンを
どけたDecoは「おや？」っと思いました。無塵紙にくっきりとＯリングの形でシミが
付いているではありませんか！触ってみるとOリング自体が塗れており、このシミ
はOリングを潰した為に、できたように思えました。そこで、無塵紙でＯリングをくる
み、万力で挟み込んだところ、先ほどより更に濃いシミが付いたのです。そのOリ
ングは、通常のバイトン®ではなく、EPDMだったので、今度は同じ大きさのバイトン®
のOリングを挟んでみたところ、大して濡れていません。更にドライヤーで熱してみ
ると、シミは大きくなったのです。解析の結果、シミの正体はオイルでしした。

　更にこの2種のOリングの線径を比較すると、製造ミスから微妙にEPDMの方が大
きかったのです！本来バイトン®のOリングでシールするように設計していたセンサ
ーチューブのOリング溝に、若干大きいEPDMのそれが入ることで、つぶし代が大き
くなってしまい、強く圧縮されていたのです。更に高い気温下では、より多くのオイル
をOリングから絞り出していたのですね。そのオイルは、重力でセンサーチューブ外
側を下に伝っていき、ガスが流入する際のエゼクターのような巻き込み効果を発生さ
せ、入り口周辺のオイルをセンサーチューブ内へと引っ張り込んで、センサーパイプ
内のガスの流れを阻害したのです。

　夏に発生し、秋になると収まってしまう怪事件の主犯はOリングの材質と、線径の
製造ミスにあったのでした。運転を再開したときに多いのは、夏で休暇が長く、その
間に多くのオイルが溜まっていたのでしょうか？なんとも不思議な事件でした。皆さん、
たかがOリングと侮らず、必ず使い方を守って使用して下さいね！

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

答えを聞いてしまうと、なんでもないのですが、答えを見付け出すことができないものです。
マスフローコントローラー、マスフローメーターのことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談下さい。
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ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は？
　１１月１８日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　昼１０℃、夜１０℃
です。
　久しぶりに燦々と太陽が顔を出した気がします。
雨が続くと、晴れが待ち遠しく
晴れが続くと、雨乞いをする
無いものねだりですね。
今、目の前にあるものを、大切に感じることが大切ですね。

第73夜　火を噴くマスフロー　後編 MFC/MFM

第72夜　火を噴くマスフロー　前編

2009年11月11日 18:52

　ガスおよび蒸気ガス、液体流量制御機器であるマスフローコントローラー
に関する考察シリーズ第七十二回目です。前振りが短いのですが、講師の
Decoさん今日もよろしくお願い致します。

第72夜　火を噴くマスフロー　前編

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第72夜です。
先日、Decoが自宅で朝早起きをしたところ、リビングの真ん中にパワーストー
ンが転がっていました。こぶし大の大きさで1kgはあるものですから、フローリ
ングに傷が？と心配しましたが、全く傷はなく、しかも不思議なのは棚の上で
パワーストーンを囲むように配置されていた物は全く何の乱れもなく並んでおり
パワーストーンだけがワープしたかのように、2m離れた現場に転がっていたの
です。飼い猫の仕業かと思いましたが、周囲の物をどけて、転がり落とさない
限り、猫の手ではつかみ出せるような大きさではなく・・・冬の怪談に発展しそ
うなお話です。

　さて、今夜はDecoの経験したMFCの夏の怪談のお話です。もう時効になるよ
うなお話ですのでここで書いても良いかと思うのですが、10年以上前の事です。
とあるお客さんに販売したMFCが突然流量制御不能で全開状態になり、流して
いた燃焼ガスの流量過多によりバーナーから大きな炎が！！という、一歩間違
えば大やけどを起こす危険な事件が派生したのです。それも1件や2件ではなく・・・
現品を回収して調べてみると、MFCの流量センサーの圧損が出荷時より大きく
なり、明らかに何かが詰まってしまっています。この状態でなぜMFCの制御流量
が全開になるか？この千夜一夜物語をお読みになってこられた方々はおわかり
になるかと思います。
　センサーが詰まって流れにくい、ほとんど流れない状態になるということは、セン
サー出力値はそうなる前より極端に低下することになります。ここでMFCの制御系
は、センサーからの流量信号＜設定流量信号という状態になった＝流すべきガス
流量が減少したと考え、流量信号＝設定信号とする為に、流量制御バルブを開く
方向に制御します。でも、詰まっているセンサーの出力はいっこうに増えないため、
結果としてバルブは全開になってしまうのです。ところで不幸なことに、この時MFC
に流れ込んでくるガスはセンサーとバイパス（層流素子）に分流されているわけで
すから、センサーには流れて無くてもバイパスには流れているのです。結果、全開
になったバルブから大量のガスが流れ出ることになった訳です。

では、なぜそんな事が発生するのか？

　Decoには全く原因がわかりませんでした。異物の混入というのが良くある事なの
ですが、その異物の正体がつかめません。MFCのセンサー管を切断して断面を調べ
ても何も見つかりません。しかも、その現象は1回でなく、前述のごとく複数のMFC
で発生するのです。いくら考えても原因不明で眠れない日々が続きました。ですが、
不思議なことにこの事件は、秋になると収まってしまったのです・・・
　ところが翌年の夏になるとまたこの現象が発生し始めたのです。しかも、夏休みなど
でMFCを休ませておいて、また運転を再開したときに限って・・果たしてこの事件の真
犯人は？迷探偵Decoはこの怪事件を解決できたのでしょうか？

この続きはまた来週！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

おお〜怖い話ですね！
お化けと一緒で、足が無い理由が分からない、原因がわからないこと
程怖いことはありません。
逆に、足があるお化けは怖くもなんとも無いんですよね、きっと。

ガス流量制御機器のＭＦＣ／ＭＦＭのことなら
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今日の埼玉川口のお天気は？
　１１月１１日　水曜日
　天気　雨
　ボンベ庫の温度　朝１７℃、昼１６℃、夜１６℃
です。
　久しぶりのまとまった雨模様です。
気温が１５℃を下回ると皮膚が冷たいぞ！と感じるそうです。
それが脳に伝わり刺激を与え、脳機能のはたらきが活発になります。
ＰＭ５時過ぎにもなると日が暮れてます。
秋の夜長に読書でもして物思いにふけってみましょうか。

第72夜　火を噴くマスフロー　前編

沢山種類があっても困ります　　MFC/MFM

2009年11月 4日 15:44

　ガスおよび液体の精密な流量制御のことなら、こちらの連載シリーズ
ＭＦＣ千夜一夜物語を見て検討しない手はありません。事細かな解説
からトラブルの原因に至るまで講師の Decoさんが懇切丁寧に説明して
いただいております。そでれは今日の講座をDeco様よろしくお願い致し
ます。

第71夜　沢山種類があっても困ります

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第71夜です。

　Windows7発売がPCの売上に少し寄与しているようですね。先日、所用が早く
終わったので秋葉原の大型店で見てきましたが、Vistaの発売時よりも環境も整っ
ているせいか、出足はまあまあのようです。Deco家にはVistaが3台、XPが1台です
が、特に不便を感じていないので、当面は継続だと思います。

　さて前夜は、MFCのシール材「ラバーシール（エラストマーシール）」には色んな材
質があるというお話をしましたが、それをどう使い分けたたらよいか？これはOSと違っ
て特に不便がないでは済まされません。色んな考え方はあると思いますが、ある一
般例としてご説明します。
　フッ素樹脂系のフッ素ゴムがMFCのシールでは好んで使用される理由は、比較的
高温に耐え、なおかつ化学薬品にも反応しない材料だからですが、その傾向には材
質による差があります。

例えば・・・

・バイトン®(Viton®) 　　
　　FPM / FKM　汎用性とコストからよく使用されるが、反面使用できない流体も多い
・カルレッツ®(Kalrez®) 　　
　　FFKM　　酸、アルカリ、アルコールを問わず高い耐薬品性を持つが、その分コストも高い
・ネオプレン® (Neoprene®)　CR　　
　　酸、アルカリ、アルコールに高い耐薬品性を持つが、トルエン等の溶剤系には弱い。
　　バイトン®の弱いNH3などに代用で使用される

　上記は一般的な傾向で、詳細はエラストマーシールのＯリング材質を選定する上では
各Ｏリングメーカーに確認が必要です。

その際は
１、流体名（液体or気体？）
２、使用温度
３、圧力条件
４、他の物質が混入する可能性の有無を検証し、明確にしておかないといけません。

　当然、エラストマーシールのMFCを購入される際も上記内容を必ずMFCメーカーに相談い
ただいてからでないと、とんでもない事故につながります。なぜなら、不適切な材質を使用
した場合、エラストマーシールＯリングの特性として膨潤が起こり、やがてはシール性能が
失われるからです。これすなわち外部へのリークを意味します。
　それにＯリングは永久に使用できる材質ではありませんし、傷も付きやすい物です。MFC
の場合はあり得ませんが、頻繁に脱着したりする場合などは、取り扱いに注意する必要が
あります。Decoの知っている限りでも、MFCの継ぎ手をお客様責任で脱着された後、リーク
を恐れて思いっきり締めたのはいいのですが、Ｏリングが所定の位置からずれていた為に、
挟み込まれてねじ切れる寸前になっていた事がありました。また、設計の悪いMFCですと、
Oリングのつぶししろの設定が悪く、通常に締めてもOリングが継ぎ手ネジ部に噛み込む不
具合が起きたこともあります。
　
　次週はDecoが遭遇した中でも、とても信じられないＯリングトラブルのお話です。夏の怪談
のような恐ろしい話です。それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　１１月４日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝６℃、昼９℃、夜１２℃
です。
　燃料ガス販売業を営む弊社ですが、今話題の太陽光発電を
目の当たりにするため屋上にソーラーパネルを設置してみました。

太陽光発電パネル　240W-TypeSHS-6L(sharp製）x3 set
夜間照明の150W LED電灯を約４時間ほど点灯させることができます。

沢山種類があっても困ります　　MFC/MFM

第70夜　エラストマーって何なの？ ＭＦＣ／ＭＦＭ

2009年10月28日 23:56

　ガスの流量計に関する解説シリーズ第七十回目になります。
そろそろ百回目が見えてきましたね。それでは講師のＤｅｃｏ様
宜しくお願い致します。

第70夜　エラストマーって何なの？

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第70夜です。

　11月も近づき急に寒くなってきました。Decoの家には猫が住んで
いますので、彼らは温度変化に正直で「暖房いれてくれよ〜」という
眼で見つめてきます。とうとうクシャミまで始める始末で、仕方ないの
で例年より早く暖房を開始しました。
　さて、MFCのシール材「ラバーシール（エラストマーシール）」のお話
をしておりますが、「エラストマーって一体何ですか？」というご質問
もあるかと思います。エラストマー＝elastic polymerの略語でして、
弾力性のある工業材料です。
　「じゃあゴムと一緒じゃないの？ゴムなら知っているよ。」とおっしゃる
向きもあるかっと思いますが、実は皆さんよくご存じの「ゴム」はエラス
トマーの一種で「熱硬化性エラストマー」の事を言います。熱硬化性と
いうのは、熱を加えて硬くなるのではなく、ある程度は熱を加えても柔
らかくならない、つまり耐熱性能があるという意味ですので誤解されま
せんように・・・それに対して、もう1種「熱可塑性エラストマー」は熱を加
えると溶けてしまう材料です。MFCですとい、常温から温度が上がって
いく用途での仕様も考えられるので、当然耐熱性のある材料を選びます。
　このエラストマーに含まれるゴム材料の中でも、フッ素樹脂系のフッ素
ゴムがMFCのシールでは好んで使用されます。これはフッ素ゴムが比
較的高温に耐え、なおかつ化学薬品にも反応しない材料だからです。
　フッ素ゴムですと、デュポン社の製品が一般的に知られています。以
下にMFCに使用される商品名を上げておきます。

・バイトン®(Viton®) 　　FPM / FKM
・カルレッツ®(Kalrez®) 　　FFKM

そのほかにクロロプレンゴム系のもので同じくデュポン社の

ネオプレン® (Neoprene®)　CR

更にはエチレン・プロピレンの合成ゴムであるEPDM等の使用実績
があります。
　これらの商品名のうち圧倒的に多く使われているのは、バイトン®
です。ただ、使用するガス、環境に応じてその他の材料もオプション
として選定されます。一般にエラストマーシールのMFCを「バイトン®
シールモデル」と表記する傾向がありますが、実際はバイトン®のみ
では無いのですし、商標であることを鑑みても一般呼称としては不
的確で、やはり「エラストマーシール」という呼称が総称としては適し
ているかもしれません。

次週はこの使い分けに関してお話しましょう。それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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今日の川口のお天気は？
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１４℃、昼１８℃、夜１７℃
です。
　寒かったり暑かったり。
学校はインフルエンザで連日休校の地域もあるようです。
注意しましょう！

第70夜　エラストマーって何なの？ ＭＦＣ／ＭＦＭ

第69夜　Ｏリングの　つぶししろ　って何ですか？ ＭＦＣ／ＭＦＭ

2009年10月21日 23:49

　ガスの制御機器の代表格であるマスフローコントローラーを
解説するシリーズ第六十九回目です。前振り無しですが Deco
さんよろしくお願い致します。

第69夜　Ｏリングの　つぶししろ　って何ですか？

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第69夜です。
すっかり日が暮れる時間が早くなってきましたね。気温が高いと思っても
上着がないとやはり肌寒い季節です。この季節になると「北風と太陽」と
いう童話を思い出しますが、何事にも強引な北風さんのやり方では、旅人
のコートは脱がす事は出来ませんでしたね。

今日のお話の主題も、強引なだけで道理を知らないとだめですというお話です。

　さて、MFCのシール材、今晩は樹脂系の「ラバーシール（エラストマーシ
ール）」のお話ですね。MFCで使用されるシール材は基本的に「ガスケット」
としてです。「ガスケット」とは、シール部分を挟み込んで、ボルト等で固定す
るタイプの静的な用途で使用するシールの事を言います。ただ、一部のバル
ブ周辺パーツに「パッキン」(シール部分が動く動的なシールのこと)として使
用されてもいます。
　総じてMFCに使用されるのは「Ｏリング」というＯ字型の断面が円形のシー
ルです。なぜならＯリングは、「ガスケット」としても「パッキン」としても大変使
いやすい汎用性の高い材料だからです。

　Ｏリングの規格はJISやISOで取り決められています。例えばJISですと、Oリ
ングのサイズ、ゴム材質、取り付け溝部の形状・寸法まで取り決められていま
す。特に「JIS B2406　Oリング−取り付け溝部の形状・寸法」「JIS B2410 Oリ
ング−ゴム材料の選定指針」はＯリングを用いたシールを設計する人にとって
は、必ず把握しておかないといけない基準です。なにせ間違えばガスがリーク
して、人の生死に関わるからです。

　内容の多くは割愛するとして、特に留意すべき点は「つぶししろ」です。Ｏリン
グは、挟み込んで、ある程度つぶしながらシールさせるものですが、このつぶ
して変形する寸法のＯリング断面円の直径に対する割合を「つぶししろ」とか「
つぶし率」と表現します。その割合は「密封に最低現必要な８％から、ゴム材料
の圧縮変形限界の３０％までの間」と決められていまして、実際に用いる際は用
途、材質、さらに流体特性や温度による膨張を考慮して決定する必要があるのです。

　こういった「つぶししろ」という考えに表されるように、Ｏリングは思いっきり締めれ
ば漏れない！というものではありません。そんな事をしたらＯリングに傷をつけ、使
用中にその傷が広がり、そこからガスが漏れてしまっては元も子もありません。
何事も道理を知ってから動かないといけませんね。次回は材質に関してです。

それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

Ｏリングは、ガスの世界でも、真空の世界でも、低温の世界でも
重要な構成部品です。慎重にいきましょう。

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今日の埼玉川口市のお天気は？
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１５℃、昼１９℃、夜１９℃
です。
　街路樹で落葉樹の葉っぱがすっかり黄色と言うか
茶色と言うか、紅葉しましたね。
紅葉の季節、インフルエンザで中止になった小学校、中学校
の修学旅行が、行楽シーズンで混むため、冬まで延期になる
ことが多々あるようです。冬の日光などは、本気で寒そうですよね！

第69夜　Ｏリングの　つぶししろ　って何ですか？ ＭＦＣ／ＭＦＭ

マスフローコントローラー

2009年10月20日 20:11

　マスフローコントローラーの外観をご紹介いたします。浮き子式（フロー式）の
パージメーター（フローメーター）しかご存じないお客さまにはMFC本体がどのよ
うなものか想像がつかないようです。

デジタル式マスフローコントローラー外観

見た目には、ただの箱です。
ですがこの中には、毎週水曜日に解説しているような、ガス流量センサーと
制御バルブ、解析したデーターを送受信する電気計装部が内蔵されておりま
す。

MFC設備の一般的な使用されている様子

材料ガスのボンベからガス調整器で減圧され一定の圧力でMFC入ります。
ガスの入口側と出口側をSUS316L 1/4" Ba管などで配管し、所定の装置
ガス供給口へと導入するのです。

　MFC本体のほか、流量を表示する表示部、電源、ガス流量を設定するコントロー
ラー部、それぞれの機器を電源や信号などケーブルで経由しガスの流量を制御す
るのです。

ガス流量制御機器、ガスのご用意から、現場の特殊ガス供給配管工事まで
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今日の埼玉川口のお天気は？
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１６℃、昼２１℃、夜２０℃
です。
　プロ野球のCSシリーズで熱戦が繰り広げられております。
インフルエンザで欠場したことで戦力が大幅にダウンした
ヤクルトは善戦したものの中日に勝利を譲ったようです。
体調管理にはくれぐれもご注意ください。

マスフローコントローラー

第68夜　樹脂系か？金属系か？　　MFC/FMF

2009年10月14日 14:45

　窒素や酸素やアルゴンガスを、正確に流量を測って、単位時間当たり
数cc/min から数十 L/min まで制御するのがガス流量計です。講師の
Decoさんが、親切丁寧に解説するシリーズ第六十八回目です。それでは
今週も流量計に関することを勉強してまいりましょう！

第68夜　樹脂系か？金属系か？

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第68夜です。
　台風が過ぎて一気に寒くなってきましたね。明日は日本海側で雷のようです。
夏は太平洋側で雷、これが冬の気圧配置になると日本海側になるのですね。ア
リスの曲で「冬の稲妻」という歌がありましたが、(古いですか？)　いよいよ冬到来
でしょうか？

　さて、MFCのリークポイント＝シールポイントというお話をさせていただきましたが、
MFCの?@ボディ?A継手?Bセンサー?Cバルブ、アクチュエータ　この４パーツの接続
部分をシールしている材料があります。皆さんの家の水道でも、ゴム製のパッキン
やＯリングなどのシール材を使っているのを、日曜大工DIYされる方なら見たことが
おありかもしれません。水道の場合、液体の漏れ止めですが、MFCの場合相手は
ガス＝気体ですから、更に漏れやすいものです。金属面同士をいくらトルクをかけて
ネジで締め付けても、漏れてしまいます。漏れては困りますから、漏れ止めとなるシ
ール材を間に挟みこませる必要があるのですね。

　このシール材ですが、MFCの場合、大きく分けると2種類あります。樹脂系の「ラバ
ーシール（エラストマーシール）」と金属系の「メタルシール」です。

　樹脂系の「ラバーシール（エラストマーシール）」は、シール材としては、流量計、圧
力計等流体関連機器でもポピュラーなものです。多くの業界ではこのシールタイプが
使用されています。原則的にはネジのエンドポイントに配置するＯリング的な使用法
と、平滑なフランジ面で挟み込むパッキン的な使い方になります。非常に多様な材質
がありまして、それぞれに強み弱みがありますので、よく理解してご使用いただく必要
があります。

　「メタルシール」は、金属系のシール材を磨き上げられた平滑な金属フランジ面に挟み
込み、潰しこむ、もしくはフランジ面に食い込ます形でシールするもので、半導体用の高
純度供給ラインに多く使用されるシールです。樹脂系のシールよりも高い漏れ止め性能
が期待できます。ただ、部品加工精度を求められるのと、組立難易度が高い傾向がどう
してもあり、製品は高価です。

　では、次週から各シールに関する詳細のお話をさせていただきます。まず次回は樹脂
系シールに試用される各材質に関してお話します。先ほどお話しましたように、ラバーと
言っても、決して1種類ではありませんから、ご注意下さいね。
それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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今日の埼玉県のお天気は？
　１０月１４日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝17℃、昼20℃、夜18℃
です。
　

ネットを経由してとあるご質問がありました。

質問
　「LGC」という容器と「ＥＬＦ：エルフ」という容器は同じものの
ことで良いのでしょうか？　頭文字ですか？　なんなのでしょうか？

答え
　同じです。
ＬＧＣは Liquid Gas Container　の頭文字になります。呼称はそのまま「エルジーシ―」と言います。これに対して「ＥＬＦ：エルフ」ですが
これはガス屋である弊社も即答できませんでした。
知っていることといえば、合併前の日本酸素さんがＬＧＣ容器を独自に「エルフ」と呼んで販売
していたという事実だけです。
そこでかつての日本酸素さんを良く知る社員の方に質問したところによれば
「エルフ」は、民話の世界の妖精を意味する言葉から取ったもので、充填工場で大型のタンクや
ローリー車などが小型トラックでも持ち運びできる小型の可搬型容器ができたということで
妖精→小さい→小型容器→エルフ　と名付けたようです。
へぇ〜〜って感じです。

ちなみに本家エルフとは？
　スカンジナビア（スウェーデン、デンマーク、ノルウェー）の伝承の妖精の意。
エッダの中ではアルファル Alfaｒという名で記され（語源）、デンマーク語でエルヴ、スウェーデン語
でエルフ Alf 、英語でエルフ elf と呼ばれる。

第68夜　樹脂系か？金属系か？　　MFC/FMF

第67夜　どこから漏れるの？ MFC/MFM

2009年10月 7日 18:25

　ガスの流量制御といえば？

マスフローコントローラーですね！
流量計のことをイロハから勉強できるシリーズ第六十七話です。
それでは講師の Decoさま、本日もよろしくお願い致します。

第67夜　どこから漏れるの？

皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第67夜です。

　台風18号が日本列島に向かいつつありますね。このままいくと明日にも近畿に上陸
の恐れがあるようです。それでなくても今年は西日本での水害、土砂崩れ等の被害が
あっただけに、上手くそれてくれる事を祈りたいです。皆様、極力リスクを避けて通勤、
通学なさってください。昔、Decoも台風で大荒れの中、客先を訪問すべく、飛んでくる
看板に恐怖しながらやっとの思いでたどり着いたら、当のお客さんは避難された後・・・
という出来事がありました。今から思えば、若かりしころの蛮勇ですね。

　さて、台風で雨漏りしてしまっても困り物ですが、MFCからガスが漏れるのはもっと困っ
た事態を引き起こします。最悪は人命を損なう事になりますから、MFCを設置、使用され
る方は、細心の注意を払って下さい。前夜も書きましたが、ガスは見えません。昔のスパ
イ映画のように、色がついた毒ガスの煙がモワモワと迫ってくるようなのん気な状況には
なりません。

　では、MFCそ使用する上でどこから漏れる可能性があるのか？というお話をしましょう。
もちろん一番可能性があるのは、MFCの両端にある「継手」部分です。継手には色んな
タイプがあり、MFCも対応しています。こういった継手の用途はMFCと他のバルブや圧力
計のような配管機器、または配管そのものを接続するためにあります。元々は別個体を
接続するのですから、当然漏れのリスクは存在する事になりますが、一般的に継手はオ
スとメスで構成され、その組み合わせで適切に使用すれば、あるレベルで漏れがでない
ように接続できる仕組みとなっています。ただ、これには当然その継手によっての施工方
法を守って取り付けた場合ですので、それを無視していい加減な接続をしていると、ここか
らガスが漏れる事になります。詳しくは各継手メーカーさんや、川口液化ケミカルさんのよう
なプロにご相談ください。絶対にあやふやな知識での施工は避けましょう！

　さて、ではMFC本体で漏れる箇所が無いのかと言いますと、先ほどの「元々は別個体を
接続する」定義で言えば、何箇所かMFCにもそういった箇所があります。

　上図でご説明していますように、大きく分けて、MFCの?@ボディ?A継手?Bセンサー?Cバルブ、
アクチュエータ　この４パーツの接続部分です。(中にはボディと継手は一つで、ボディ２パーツ
で構成される製品等、種々バリエーションがあります。)
　この部分は、普通にネジで固定しただけでは、ガスが容易に漏れるリークポイントです。かと
いって継手で止めるような部位でもないので、ここではシール材を間に挟みこませる事で漏れ
を止めることが出来るようになります。MFCのリークポイント＝シールポイントなのです。「この
MFCはメタルシールだ」とか「これはラバーシールだから、腐食性の強いガスは流せない」とい
う台詞は、このシールポイントに使われる、シール材の種類を表現しているのですね。次回は、
シール材の種類と用途に関してお話します。
それでは、また来週！

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今日の埼玉川口のお天気は？
　１０月７日　水曜日
　天気　あめ
　ボンベ庫の温度　朝１６℃、昼１６℃、夜１６℃
です。
　
如愚如魯　（ぐのごとくじょのごとし）
※中国唐代禅僧、洞山良价禅師

　この一節の前に、「潜行密用」という言葉がきます。
その意味は「密かに人にかかわらないように行う。」
です。愚も魯も「愚かな」意味ですので、目立たないように
本分を尽くし、愚直なまで謙虚に生きるのが良いという
教えです。
求めるものは、外ではなく、自らの内部にあるということを
教えてくれています。
　　

第67夜　どこから漏れるの？ MFC/MFM

第66夜　リークにご用心！ MFC/MFM

2009年9月30日 08:33

　ガスおよび高温蒸気（液体加熱）での流量制御・計測機器の解説シリーズ
第六十六回目です。今日もしっかり勉強してまいりましょう！では、講師の
Decoさんよろしくお願い致します。

第66夜　リークにご用心！

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第66夜です。
ゼロ点のお話も一段落つきましたので、本日は少し閑話休題です。

　Decoの家には猫がいまして、なかなか個性豊かな猫達なのですが、全て野良の
子猫を拾ってきて、予防接種や避妊手術をした上で、家族の一員として一緒に暮ら
しています。
　猫は妊娠から出産周期が短いのと、一度に数匹を出産するため、野良の子猫の出
生数はかなりのものです。ただ、自然の摂理で、身体が弱い個体は1歳までに淘汰さ
れていく事でバランスが取れています。（出産後の体力の落ちた母猫が、育てられず
に、弱そうな子を見捨てる事すらあるそうです。）ところが、ここで人間が興味本位で餌
を与え、中途半端に半野良で飼ってしまうと、本来自然淘汰される子猫が成長し、また
子供を産み・・・という現象が発生して、猫の人口爆発が起きてしまうのです。（猫は1歳
弱でもう交尾可能です。）

　こういった状況で、秋田県の保険所に引き取った猫を安楽死させる「スリーピングボッ
クス」が導入されたようです。保健所で引き取った犬猫は炭酸ガスを用いた処置室で殺
されるそうですが、猫はなかなか死なないためにこのボックスに入れて、麻酔を流し込ん
で殺すそうです。「スリーピング」というとイメージが良いですが、その実は「キリングボッ
クス」ですよね。こういった機械を導入しなくてはならないほど、飼い主に捨てられた猫の
数は増えているそうです。しかし、ガスで猫を殺す・・・どうもガス関係でご飯を食べさせて
もらっているDecoには嫌なニュースです。

　前置きが長くなりましたが、我々が取り扱うMFCもガスを制御する機械ですから、決して
「キリングボックス」と無縁ではありません。ガスの漏れによる事故。これはガスというもの
が見えないだけに、避難の遅れにつながり、重大な事故を起します。山口県のホテルで、
一酸化炭素中毒により修学旅行の一行が病院へ担ぎ込まれ、随行のカメラマンが亡くな
った事件は、まだ記憶に新しいところです。

　MFCで制御するガスは、かなり毒性や、反応性の強いガスですので、漏れれば人命に
かかわる事故に直結します。ですから、ガスリーク防止には、慎重な対処が必要です。
「いやいや、うちが使っているのは、窒素やアルゴンだけだから」と安心してはいけません。
窒素やアルゴンで部屋が満たされれば、酸素濃度が低下してやがては窒息してしまいま
す。瞬間的に大量の窒素が噴出した事で、人体の周りに一瞬、窒素の壁が出来てしまい、
呼吸困難になるという事例もあります。反対に酸素濃度が上がることでも、人体に深刻な
ダメージはもたらされます。

それでは空気なら大丈夫か？

、と言えば、空気（が含む酸素）と接触して爆発する金属系材料もありますし、圧空機器が
壊れて、高圧力の「空気銃」と化し、飛ばされた配管部品で怪我をすることだってあるのです。

　ある意味でMFCを使っていただく上で一番クリティカルな部分。それは「リーク」です。
来週からは、そのリークを防ぐMFCの工夫と、MFCの正しい設置方法等に関して、色々と
お話していきましょう。
それでは、また来週！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

ガス周辺機器にまでわたる機器の構成やその性能なども流量制御には大きな関係があります。
漏れもその一つですね。これらの漏れ解説も見逃せないところです。Decoさんよろしくお願い致
します。

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今日の埼玉のお天気は？
　９月３０日　水曜日
　天気　雨
　ボンベ庫の温度　朝１９℃、昼２０℃、夜１９℃
です。
　９月に入ってまとまった雨が降ったのは今日を含めて２日だけ。
尚且つ、外気温３０℃以上の夏日はたったの一日で、気象庁の
観測データーを取り始めて以来３番目に早く涼しくなった年となりました。
異常気象もだんだんと慣れてきて、何があっても珍しくなく
また、あたりまえにすらなってきましたね。

第66夜　リークにご用心！ MFC/MFM

第65夜　まとめ〜ゼロ点ズレはMFC最大の弱点と最大の誤解が元です MFC/MFM

2009年9月23日 21:18

　ガスをどれだけ流すか？

　その制御のためにはガス流量計が必要です。ガス流量計のなかでも
マスフロコントローラーは成膜技術に至る高精度の流量コントロールが
可能です。流量制御に関する毎週水曜日の解説シリーズ第六十五話
のはじまりです。

第65夜　まとめ〜ゼロ点ズレはMFC最大の弱点と最大の誤解が元です

皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第65夜です。
シルバーウィークという聞きなれない言葉で彩られた連休も最終日ですね。
我が家は家族が体を壊した事もあり、お墓参りだけでした。それでも普段より
渋滞が激しく疲れてしまいました。休みに疲れに行っては本末転倒ですね。
お手元のMFCも疲れていませんか？

　さて、前夜まででゼロ点ズレの容疑者達を全員逮捕できた訳ですが、彼らを
類別してみますと面白い事がわかってきます。今夜はそこをまとめて、本題の
区切りとしましょう。

　第一にゼロ点ズレには、MFCが採用している熱式センサーの特徴というか弱点
（SN比、熱影響）がはっきり出ていることです。前に微少流量用MFCをご説明した
ときのキーワードはセンサーのSN比でした。MFCのセンサーは、二対のヒーター線
のバランスで成り立っていて、そのわずかな抵抗値の経時変化によりゼロ点がシフ
トする構造になっている事と、センサーの生出力が数mVであり、これを後段のアン
プで増幅して０〜5Vの流量信号としている事により、決してSN比が良いセンサーと
は言えません。

　そして、もう一つ熱式センサーであるが故に、周囲温度や姿勢影響を受けやすい
事です。また、周囲より高温になるセンサー部分の外気影響を緩和すべく使用され
る材料の個体差、環境変動も原因となります。こういった弱点を持つMFCは、結構
神経質な機器です。ラフな環境設定で使っていただくには適さない製品だという事
をご理解ください。

　第二にはMFCが自ら流量制御を行う小型装置的な性格を持ちながらも、ガス、電
源、流量設定信号に至るまでの供給は外部からであり、その制御に関しては決して
スタンドアロンで成り立た無いことから生じる誤解です。即MFCの故障と考える前に、
MFCを取り巻く環境を一つ一つ切り分けていただく事で、迅速なトラブルからの復帰
が可能になるかもしれません。これは隣のラインのMFCとケーブルを付け替えてみた
り、別の電源を使って操作してみるだけでも簡単に実施できます。

　MFCに限りませんが、機器の特徴を把握し、弱点を知る事、不具合が生じた場合は、
慌てずに現象を切り分ける事ができるようになる＝機器を「使いこなす」というレベルに
到達することです。

　1年前からの世界不況で、MFCメーカーさんも人員縮小、サービス拠点の統廃合等
で、どうしても顧客様へのサポート力が低下しがちです。サポートというものはやはり
人の手、人の知恵、人の経験で行うものです。こういった環境下で、皆さんの手元にあ
るMFCを有効に活用して生産や研究に専念して頂くために、少しでもこの「MFC千夜一
夜物語」が手助けになればと思っております。それでは！また来週。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉のお天気は？
　９月２３日　水曜日
　天気　はれ
　気温　２３℃（PM9:30）
です。

　埼玉県杉戸市にある田んぼで稲の刈り取りのお手伝いを
してまいりました。刈り取り後の「落ち穂拾い」をはじめて経験
しましたが、手作業での田植えから雑草取りまで経験し、稲穂
になった稲を収穫する段階まで携わっているので、脱穀の際
取りこぼれた稲を拾う作業がどんなにか大切に思えました。

第65夜　まとめ〜ゼロ点ズレはMFC最大の弱点と最大の誤解が元です MFC/MFM

第64夜　ゼロ点ズレの最後の容疑者は？ 　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

2009年9月16日 08:58

　ガス、液体の流量制御および流量計測機器であるマスフローコントローラー
マスフローメーターに関する機能、原理、使用法用などを詳しく解説・解明する
「ＭＦＣ千一夜物語」第六十四話です。毎回深い話がなんと六十四話です！
流量制御、流量計測の知りたかったことが、スッキリするかもしれませんよ。
では、講師の Decoさんよろしくお願い致します。

第64夜　ゼロ点ズレの最後の容疑者は？

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第64夜です。
朝夕涼しくなりました。この時期は服装に悩みますね。クールビスでしばらく
着ていなかった上着をクロゼットから取り出したら、無くしたと思っていたボール
ペンが見つかりました。思わぬところに隠れていたものです。

　さて、今夜はゼロ点ズレ最後の容疑者達です。「その他　MFCの外部要因」
大きなくくり過ぎて、どこが悪いのかよくわからないのですが、MFCという製品
が、スタンドアロンで成り立つ訳では無く、配管システムや電装システムの一
部であるが故に、外部のちょっとした異常に左右される事もあるということです。
そこを丹念に消しこんでいかずにMFC本体にばかり目が行っていると、真犯人
を見過ごす事になりかねません。

　例えば、MFCの流量表示器がおかしい場合。この表示器には色んな種類が
ありますが、だいたいの構成は、MFCの流量出力信号DC0〜5Vを、3+1/2桁
程度の(表示のMaxは「1999」)LED表示で流量値や％値に読み替えて表示して
います。こういった機器にもゼロ点調整トリマーがあることをご存知でしょうか？
0VDCをちゃんと0000で表示する、ここがずれていてはMFCのゼロ点はずれて
いないのに、ゼロ点がずれて表示されてしまいます。目に見える現象は同じでも、
これは「表示機の異常」ですね。

　例えば、MFCの流量出力の信号ラインにノイズが乗ってしまった場合。MFCの
信号は先ほどお話しましたDC0〜5Vです。計測器の世界でメジャーな4-20mA
に比べると、長い距離ケーブルで引き回した際には、電圧降下が発生する可能性
があります。また、ケーブルの結線に問題があった場合や、強いノイズに晒された
場合、COMラインにノイズが乗る事で０の値がずれる可能性があります。MFCは
ちゃんと0Vを指示しているのに、その信号が伝わる過程でノイズ影響によりずれて
しまう。ここでもMFCのゼロ点はずれていないのに、ゼロ点がずれて表示されてしま
います。目に見える現象は同じでも、これは「ケーブルの異常、ノイズの影響」ですね。

　こういった周辺機器の不具合からくる問題を切り分ける方法は、MFCを一度切り
離してみることです。表示器の異常ならば、配線を正常なラインのものと入れ替え
てみて表示器の値がどうなるかを見てみましょう。MFCの不具合ならば、表示器を
交換してもやはり結果は同じです。でも、不具合が表示器に起因していれば、当然
不具合は消失します。

　ケーブルの異常の場合も対処は同じですが、ノイズが原因の場合は設置されて
いる部屋自体にノイズ影響が発生していて、隣接するラインも同じ現象が発生する
場合が多いので、MFCを取り外して、まずは問題の発生しているのとは別のAC電源
環境で評価してみるというのが確実な方法です。

　以上　MFCのゼロ点ズレの犯人を捕まえてみました。おかしいなと思ったら、まず
手始めに原因を切り分けてみましょう。ただ、おかしいというだけでメーカーに修理依
頼しても、「不具合は再現しません。」と返却され、結果調査に出した時間だけが無
駄になってしまいます。それでは！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

故障かなと思ったらなんでも機器メーカーの原因とは限らないのがＭＦＣ／ＭＦＭの
特徴です。複合的に周辺機器、環境を含めて検証する必要がありそうですね。
今回も勉強になりました。

マスフローコントローラーのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
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今日の埼玉川口のお天気は？
　9月16日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２１℃、昼２７℃、夜２６℃
です。
　いよいよ民主党鳩山政権のスタートです。
アメリカの政権同様、いままでの自民党による
変えられない体制を刷新することに国民が期待しての
政権交代です。
いずれにしても大きな変化の訪れになります。

第64夜　ゼロ点ズレの最後の容疑者は？ 　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

ゼロ点ズレの五人目の容疑者はもう1人いた？ 　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

2009年9月 9日 15:57

　流量計のことなら毎週水曜日 Decoさん講師によるこのコーナーは
見逃す手はありません。今日も第六十三回目の講座になります。
では、Decoさん　よろしくお願い致します。

第63夜　ゼロ点ズレの五人目の容疑者はもう1人いた？

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第63夜です。
　インフルエンザ流行により学校の始業式も、講堂やグランドに集合するスタイル
から、教室で座って放送を聞くスタイルに変更している学校もあるそうですね。あ
の校長先生の長話を聞くには残暑厳しいグランドや、蒸し蒸しした講堂よりは良い
かもしれません。

　さて、前夜はゼロ点ズレ五人目の容疑者、それはMFCの設置された環境温度の
急激な変化なのです！というお話をしましたが、実はここにもう一人容疑者がいます。
それは蒸し蒸ししていやな講堂を作る原因＝湿度です。これには大きく分けて２つあ
ります。１つはMFCを流れるガスの露点と、２つはMFC周辺の湿度です。

まず、1つ目の露点に関しては、実は殆どの場合問題になりません。

　なぜならばMFCで使用されるガスは殆どがなんらかの露点管理をされているというこ
とと、なおかつMFCのゼロ点ズレが生じるセンサー部は熱式センサーで構成されていま
すから、80〜100℃近辺の温度まで通過するガス温を一度暖めてしまうからです。MFC
をコンプレッサーエアーに使用される場合は、必ずMFCに入る前段階でドライヤーやフィ
ルターを使用される事をお勧めします。

　それに対して2つ目です。最近になって注目されているのが、MFCの周囲、というより
センサー管周囲の湿度です。もっと絞って言うならば、センサー管を取り巻く諸々の断熱
材料とその周辺の湿度です。

　MFCのセンサーは巻線ヒーターで常に100℃近い高温になっています。ところがその周辺
温度は、外気温により０℃だったり、40℃だったりする訳です。本来センサー管内部を通過
するガスに奪われる熱量のみを検出したいMFCのセンサーにとって、変動要素のある外気
に熱を奪われていては、再現性のある測定はおぼつかない事になります。そこで、殆どの
MFCメーカーではセンサーをグラスウールのような断熱材料で覆うことで外気温影響を受け
ない構造ににしています。ところがこの材料の断熱効果には、まだ見えていないところもあり、
その一つが周囲湿度変化による断熱効果への影響なのです。なかなかこの点は素材メー
カーさんに質問しても、定義がないようですが、実際にわざと断熱材料の湿度環境を変えた
ものを試験してみると、結果としてゼロ点の安定に影響があった、とうデータもDecoは見聞き
した事があります。

　メーカーサイドでの対策としては、もうこの断熱材を湿らすか？枯らすか？どちらか極端な
位置で仕上げることで定量化するしか、現状は方策がないかと思います。お客様でできる
対策としては、他の原因の対策と同じなのですが、湿度の急激に異なる環境にMFCを設置
した際は、十分な暖気運転後にゼロ点調整をしていただくことが必要です。

　たとえクリーンルームでも最近は静電気対策で、湿度を以前より高めにされることもあると
聞いています。温湿度差が激しい環境は、MFCの苦手とするところ。それによるゼロ点ズレ
を起こしかねません。お気をつけください。

次週はゼロ点ズレ犯人逮捕の最終章です。それでは！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

マスフロコントローラーやガス流量制御システムなど
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今日の埼玉川口のお天気は？
　9月9日　水曜日
　天気　くもり
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝２３℃、昼２４℃、夜２３℃
です。
　2009年9月9日で「９」が３が三つ並ぶことにちなんで
西武鉄道では、松本零士さんの作品「銀河鉄道９９９」を
模した記念切符が販売されているそうです。
今から買いに行けば間に合うかな？

ゼロ点ズレの五人目の容疑者はもう1人いた？ 　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

第62夜　ゼロ点ズレの五人目の容疑者は温度と？

2009年9月 2日 19:54

　ガスを安定して一定流量流すためには、流量計が必要です。
流量計のなかでも精度よく、パージメーターよりも多くのガスで
対応できるのがマスフローコントローラーです。このマスフロー
コントローラーの解説シリーズ第六十二回目です。それでは
講師の Decoさん 宜しくお願い致します。

第62夜　ゼロ点ズレの五人目の容疑者は温度と？

　皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第62夜です。
台風関東直撃か！と思われた週の始まりでしたが、確かに雨は激しく、
気温も低かったものの、大きな被害が出なくてよかったと思っています。
1日明けた火曜日は、逆に晴れて気温も10℃も上がりました。こう極端な
環境変化があると、身体に堪えますね。

　さて、今夜のお話は、MFCもやっぱり温度、湿度の変化に影響されます
というお話です。ゼロ点ズレ五人目の犯人、それはMFCの設置環境変化
なのです。MFCのセンサーが熱式である事は、この連載で既に何度もお話
ししていると思います。「熱式センサーであるということ」＝「熱の移動をとら
えてセンシングしている」訳ですから、決して周囲温度の変化に無関係でな
い事は、おわかりいただけると思います。この事を端的に表すのは、MFCの
カタログや取扱説明書にある　「使用温度範囲」「精度保証温度範囲」という
表記です。例えば一般的には精度保証温度範囲：25℃±10℃といった記載
があります。この温度範囲って、実は結構狭いですね？夏暑ければ外気温は
40℃近いですし、冬の朝には0℃を下回る事もあるのが日本列島の気象条件
です。

　こういった温度条件の表記がある理由は、実はこの連載の冒頭「Mass Flow
Controllerなんて名称自体が間違っていると！！」（＝MFCは実は質量流量
を測定できていない）というDecoが指摘した内容の核心部につながります。質
量流量ならば温度圧力の影響を受けずに不変であり、当然質量流量計の名を
持つMFCには温度制限、温度影響は無いという解釈が正しいはずですが・・・
現実には温度影響はあるのです。このお話の詳細は、もう少し後でさせていた
だきます。

　ゼロ点に限ってお話しするならば、温度条件が変わるとゼロ点のバランスが
崩れる可能性が発生します。対策としては、温度条件が大きく、急激に変化し
た場合は、その環境条件変動が案定した段階でゼロ点調整をしていただくこと
です。クリーンルームや恒温室でMFCを使用されている場合は簡単で、室内に
MFCを含むガスシステム、装置を搬入して、通電を開始してから30分後くらいに
ゼロ点調整を行っていただければ、ほとんど温度変化の無いこれらの環境では
まずMFCのゼロ点が再度ずれる事はありません。

　問題は、そうでない通常の居室、実験室等で使用される場合です。夏暑く、
冬寒いこの環境にはMFCは敏感です。特に空調の吹き出し口の直下に置かれ
てしまうと、空調のON/OFF時の温度差が激しく、それによりゼロ点ズレを起こし
かねません。
　MFCを再現性良く使用したい場合、MFCの環境温度は実は結構シビアに見て
いただく必要があります。できれば安定した温度環境で使用いただくほうが望ま
しいですね。ご注意を！

次週はこのお話の続き、湿度の影響に関してのお話です。それでは！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　９月２日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２１℃、昼２３℃、夜２３℃
です。
　先日、子供のお付き合いで幕張メッセで開催されている
「恐竜展」を見に行きました。
近年、中国の発掘家がゴビ砂漠で世界最大級の羽毛をもつ
恐竜の化石を発見して脚光を浴びているそうです。
経済も考古学も、中国が元気が良いようです。

第62夜　ゼロ点ズレの五人目の容疑者は温度と？

第61夜　ゼロ点ズレの四人目の容疑者は貴方自身？ 　　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

2009年8月26日 17:50

　ＭＦＣ／ＭＦＭの解説シリーズ第六十一回目です。細かな理由で不具合にも
トラブルにもなりかねます。その要因をよ〜く観察してみましょう！それでは講師
のＤｅｃｏさまよろしくお願い致します。

第61夜　ゼロ点ズレの四人目の容疑者は貴方自身？

皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第61夜です。

　甲子園の熱闘が終了すると夏も終わりだな、と思えてきます。今年はNHK大河
ドラマにあやかってか「越後の爽やかな風」が吹きましたね。決勝戦9回2アウトか
ら粘りに粘るその姿に「あきらめない事の重要さ」を教えてもらった気がします。
この連載もがんばって1001回を目指して行きたいと思いますので、宜しくお願い
いたします。

　さて、ゼロ点ズレ四人目の容疑者は・・・そう貴方です！等と言うと推理ドラマの
クライマックスみたいですが、ヒューマンエラー、思いこみ、勘違い・・・これは案外
良くある事なのです。第58夜　ゼロ点の調整ってどうやってやるの？　で、お話し
ましたが、ゼロ点の調整を間違った認識でやってしまえば、即これは自爆行為です。

例えばアナログＭＦＣでゼロ点調整をしていただく際でしたらこんな事例があります。

・ゼロ点調整ボリュームを回したつもりが、別のボリュームを回してしまった！
・力を入れすぎてゼロ点調整ボリュームを壊してしまい調整不能になってしまった！
・流量表示機と調整するMFCが違う個体を調整していたのに気がつかなかった！
・MFCの電源ケーブルを抜いたままゼロ点調整をしていた！
・誤って工具を落下させMFCを破損させてしまった！

その点、デジタルMFCでは、ゼロ点をワンプッシュ／ワンコマンドで自動的に調整して
くれるので大丈夫・・・と思いがちですが、安心してはいけません。デジタルはゼロ調整
作業自体はとても楽になっていますが、その分操作者に見えていない部分があり要
注意です。

例えば・・・

・ガスが流れているのにゼロ点調整スイッチを押してしまった！
・ゼロリセットスイッチを強く押しすぎて壊してしまった！
・通信でゼロ点調整コマンドを間違えて送信した！
・コマンドを送ったつもりが、通信ケーブルがMFCから抜けていた！

　これらはDecoが現場で見た実話です。
こういったミスは誰にでもあります。それに対して、デジタルMFCならばゼロリセット
作動条件（ゼロ点が過大にずれている場合は、ガス制御中の可能性があるので、
リセットを受け付けない・・・等）を設け、誤動作防止の仕組みが入っていたりします。

　しかし、やはり限界はあります。それに怖いのはその場で発覚しないミスです。
前夜のお話のような内部リーク、もしくはフルスケール数％の微量制御を行っている
デジタルMFCにゼロリセットを入力してしまった。表示を確認したところきれいに０が
並んでいるので調整は上手くいったと思い込んで、その後ガスを流し続けた。1ヵ月
後できてくる製品の異常で調査したところ、MFCの真のゼロ点がずれて（ずらして）
しまっていた事を発見・・・大変な事態です！

　ガスの流れは目に見えないものです。それだけにMFC等はその流れを可視化する
デバイスとして有用なのですが、そこから得られる情報はMFCとしての特性があります。
デバイスを使う上では、そういった色んな前提条件を踏まえて、どれだけ正確に情報を
読み取り、使いこなしていくかが重要ですね。やはり「使う側の人間の正確な状況認識」
にかかっています。便利なものほど、逆にその傾向があることをご理解ください。

それでは、また。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

なにごとも経験して失敗しなくては、真の成功に至らないといいます。
とはいったものの、こちらで勉強していただき転ばぬ先の杖として
活用いただければ幸いです。よろしくお願い致します。

ＭＦＣ／ＭＦＭのことなら川口液化ケミカル株式会社
まで、よろしくお願い致します。
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今日の埼玉のお天気は？
　８月２６日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２３℃、昼２７℃
です。
　今週末は日本の政局を一変するかもしれない衆議院総選挙ですね。
街頭演説や駅前での応援合戦など、かなり熱くなってきています！

第61夜　ゼロ点ズレの四人目の容疑者は貴方自身？ 　　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

第60夜　ゼロ点ズレの三人目の容疑者はリーク？　　 ＭＦＣ／ＭＦＭ

2009年8月19日 19:16

　ガス屋さんでもなかなかマスフロコントローラーのことを理解している人は
少ないようです。知らないものは仕方がないですが、知ってしまったらこちら
の連載コーナーでぜひ勉強してみたらいかがでしょうか？当然、私も勉強中
です。それでは第六十回目のはじまりです。

第60夜　ゼロ点ズレの三人目の容疑者はリーク？

皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第60夜です。

　お盆休みにグラグラと大きな地震が連発した日本列島。Decoも正直あせって、
隠れるところを探したくらいの揺れでした。でも、こういうときには外にすぐに飛び
出さず、火の元を止め、机の下に逃げる、もしくは倒れそうな家具から離れる等の
確実な身の回りの安全確認と避難が重要ですね。

　さて、今夜のお話は引き続きゼロ点ズレのお話です。この問題はMFCの根源的
問題ですから、じっくり行きましょう。三人目の容疑者として、MFCの制御バルブで
の出流れを上げました。これは非常にわかりやすい問題です。MFC上流に圧力が
かかっている状態で、MFC制御バルブをシャットオフした状態、つまりMFC前後に
差圧がある状態で、MFCの内部制御バルブにゼロシャット機能や強制閉信号が入
っている場合です。

　この場合、例えMFCの二次側配管にある閉止バルブでガスを締め切っても、そこま
での空間がＭＦＣ1次側の圧力と同圧になるまでは、微量のガスが流れ続けることに
なります。
　それをMFCのセンサーが感知してしまい（本当に流れているのですから、感知しなく
てはおかしいです）流量出力が０にならず、あたかもゼロ点がずれているように表示し
てしまうのが、この現象です。MFCのセンサーは当然の事をしているだけです。ですが、
恐ろしいのは「ゼロ点がすれている」と誤解して、MFCのゼロリセットをしてしまった場合
です。実際正しいかもしれないゼロ点を、わざわざ調整して、ずらしてしまう事になるの
ですから・・・

　3人目の見分け方は簡単です。まず、絶対プラスの方向にしかずれないということと、
時間がたつにつれズレ量が小さくなる事です。手っ取り早く確認するには、MFC前後を
同圧にしてやればガスの流れがなくなるのでこの現象は消えます。同圧にする一番の
方法はMFCにバルブ強制開信号を入力する、もしくは2%以上の設定信号をわざと入力
して、ゼロシャット機能をキャンセルし、設定信号と流量信号を不一致状態にすることで
制御バルブを全開にするか、もし配管にパージラインが設けてあれば、そこを使ってMFC
前後を真空に引いてしまう事です。そうすれば現象は消滅します

まずは慌てず騒がず確認する事。災害を避けるためにも、MFCでトラブルを起こさないため
にも重要な事ですね。それでは、また。

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今日の埼玉のお天気は？
　８月１９日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２６℃、昼３０℃
です。
　甲子園の第四試合は熱戦でした。
常総学園に監督同士の師弟争いでみごと快勝した
九州国際大学附属高校が、試合終盤の７回まで
帝京大学を３−１でリードしていてこれで決まりかと
思いきや、最終回にさよなら逆転勝利を帝京高校が
手にしました。
劣勢に回っていたときの帝京は、円陣の中で何を話していたか？

「今、こちらが勝っているつもりで試合をしよう！」

そうしたら、本当に勝っちゃいました！

第60夜　ゼロ点ズレの三人目の容疑者はリーク？　　 ＭＦＣ／ＭＦＭ

第58夜　ゼロ点の調整ってどうやってやるの？ ＭＦＣ／ＭＦＭ

2009年8月 5日 12:27

　ガスの流量から最近はさまざまな液体の流量を計測・制御することが
求められるようになりました。センサーの計測方法はさまざまありますが
サーマル式マスフロコントローラーのことならこちらのコーナーでだいたい
のことは解説いただいています。初めての方もぜひ一度ご覧ください。
では、五十八回目のはじまりはじまり！

第58夜　ゼロ点の調整ってどうやってやるの？

皆さん、こんばんは。MFC千夜一夜物語　第58夜です。

　先日までDecoは大変困っていました。と、言うのは西日本を中心に長引く梅雨
各地での豪雨・・・で今年は「暑中お見舞い」を出すタイミングがなかなか上手く取
れなかったものですから・・・葉書というアナログライクな手段は、このタイミングを
見計らうのが難しいです。結局、諦めて「残暑お見舞い」にしようと思った瞬間に、
梅雨明け。ほんとタイミングが合わないものですね。

　さて、今晩はゼロ点ズレへの対処方法として、MFCでゼロ調整をする方法に関して
のお話です。ゼロ調整方法は大きく分けますと２つの方法があります。お手持ちのMFC
によって異なりますので、必ず各メーカーさんの取扱説明書を熟読していただいてから
の実施をお願いしたいと思います。間違った調整をすると、まずます流量がずれてしま
う原因になりますから。

　1つめはMFCにゼロ点調整用の小さなボリューム（トリマー）があるタイプです。アナロ
グタイプのMFCに多いのですが、MFCのカバー上面、もしくは側面に穴が空いていてそ
こに時計ドライバー（マイナス）を差し込めるようになっています。このボリュームを左/右
回転させることで調整が可能です。ところが、これが言葉で書くほど簡単ではありません。
表示器を見ながら、表示が０になるように調整するのですが、行きすぎたり、戻ったり、
「上手くいった！」と思ってドライバーを抜くと、またズレたり・・・Decoも苦労した覚えがあ
ります。

　これは非常に微細な抵抗値調整をこのボリュームが受け持っているためで、コツとして
はチビチビ動かさず、1回大きく調整したい方向に大きく回してから、一呼吸置いてジワジ
ワと戻していく方がいいみたいです。あと、道具なのですが、通常の金属製のドライバー
を使用するより、高価で脆いですがセラミックドライバーを使用した方が確実です。これは
金属ドライバーだと、ボリュームも金属なので接触している際に微妙な抵抗値変化がボ
リュームに生じてしまうから、と言われています。

　もう1つはMFCにゼロリセットスイッチが付いているタイプです。最近のデジタルタイプの
MFCに多い装備で、これは大変楽です。なんぜスイッチを押すだけですから、作業者の技
量差など関係ありません。便利になったものですよね。また、デジタルMFCでは、通信を通
じてゼロ点をリセットできるものもありますから、PCや装置操作パネルからの遠隔操作も可
能になります。

　ところでゼロ点調整時の共通した注意点ですが、当たり前のようですが「ガスの流れが
ゼロの時にやっていただくこと」です。ガスが流れている状態でゼロ点調整をしてしまえば、
そこが新しい流量の起点になってしまいますから、大変なことになってしまいます。特にデ
ジタルタイプはワンプッシュで調整できる手軽さから、「ガスラインが閉まりきっていない状
態やってしまった！」という事例が結構あります。シャットオフバルブを閉めたつもりが、そ
のバルブから微量の漏れがあり、それをMFCのゼロ点ズレと勘違いして調整されてしまい
・・・等という事もありがちです。十分ご注意くださいね！

それでは、次はゼロ点ズレ2人目の犯人を逮捕に行きましょう！

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今日の埼玉川口のお天気は？
　８月５日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２８℃、昼３２℃
です。
　訪朝していたクリントン元大統領が、北朝鮮当局に拘束されていた
２名の記者と平壌を出発しました。
政治的な交渉とはいえ、これだけ早い結果が出ると
驚いてしまいますね。

第58夜　ゼロ点の調整ってどうやってやるの？ ＭＦＣ／ＭＦＭ

第57夜　ゼロ点ズレの犯人〜MFCの寿命？ ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

2009年7月29日 19:22

目に見えないガス（気体）をどうやって計測するのか？

　浮子式のパージメーターが見た目にも流れを感じやすく、確認しやすいのですが
いかんせん精度が悪すぎます。正確な流量を計測するにはマスフロコントローラー
が最適です。それではマスフロコントローラーの解説シリーズ第五十七回目のスタ
ートです。

第57夜　ゼロ点ズレの犯人〜MFCの寿命？

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第57夜です。

　豪雨による被害が西日本で発生したり、関東では竜巻で車が横転したり、なにやら
大荒れな日本の夏ですね。

　さて、ゼロ点ズレの原因その１として「センサー線の抵抗値変化」からお話しましょう。
これはMFC自体の寿命を左右する一番大きなものになります。以前お話ししましたよう
に、MFCの流量センサーは、上流／下流の二対の巻線抵抗が、ヒーターと熱伝対の役
割を果たしており、ブリッジ回路を形成しています。この二対の抵抗値バランスがとれて
いる状態が＝流量０です。流体が流れ込んでくると、上流側の熱を奪って、下流側に運
んでいくことになり、熱バランスが変化します。この変化量が流量に比例する・・・というの
が、MFCのセンサーに使用されている熱式流量計の基本原理でしたね。

　ところがゼロ点ずれというのは、本来流量０でバランスしていなければいけないはずの
この巻線の抵抗値が、経時変化等によりで崩れてしまっている場合に発生します。

上図の?@流体が流れていない状態で?Aの状況になってしまっているのですね。
こういった現象は、一つにはMFCの寿命とも言えます。通電状態では常に100℃近い
温度に発熱しているヒーター部分ですから、何年も使用していただくうちに、どうしても
経年変化が生じます。その変化が両方の巻線に同時かつ均一に発生する事は、まず
考えられませんから、どこかで初期のバランスは崩れてくることになります。これにはメ
ーカー差や、巻線自体の個体差もあり、一概に何年とは申し上げにくい性質があります。
昔は１〜3年、最近の製品はメーカーさんの努力でかなり安定が良くなってきていますの
で5〜8年使えてしまいますが、機械物ですから永遠の寿命はありえません。

　この現象への対処方法としては、必ずMFCにはゼロ点調整用のボリュームや、ゼロリ
セットスイッチがありますので、それを用いて都度バランスを再調整してやればいいので
すが、ただ、寿命がきているとしたら継続的に劣化が起こり、「調整しても、調整しても、
またしばらく経過したらずれている！」という状況になります。その場合は、メーカーさんに
修理に出して頂いた方がいいですね。センサー交換され、新品にリフレッシュされて戻っ
てきますから。

それではまた！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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今日の埼玉のお天気は？
　7月29日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝26℃、昼32℃
です。
　ラグビーのワールドカップが日本で開催されることに決定したそうです。
今まで、南半球がメイン会場でアジアはラグビー後進国ということもあり
開催された例がなかったそうですが、この度、日本が初のアジア開催会
場となるようです。
　大学ラグビーを観戦しても、肉弾戦を生で見ると白熱した雰囲気が伝わり
熱くなるものです。かなり先ですが、また将来の楽しみができましたね。

第57夜　ゼロ点ズレの犯人〜MFCの寿命？ ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

MFCのゼロ点ずれが起きる原因はなんだろう？　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

2009年7月22日 19:17

　積み重ねて五十六回目のガス流量制御解説コーナーです。
なかなか続けることって難しいんです。ましてや一つの事を
やり続けることはもっと難しいんです。MFC解説を続けていた
だいている講師のDecoさんには、感謝しかありません。
ありがとうございます。では、五十六回目の始まりです。

第56夜　MFCのゼロ点ずれが起きる原因はなんだろう？

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第56夜です。

　ここ数年、Decoが心配しているのは夏のゲリラ雨による増水、河川氾濫
土砂崩れ等の被害なのですが、昨日も山口県で痛ましい災害が起きてしま
いました。日本列島の亜熱帯化に伴う新たな自然の猛威、それに対する対
策はその根本を理解した上での「的確な対策」が必要ですね。実はDecoの
知り合いも新幹線に16時間も閉じ込められてしまい電話口で憔悴しきった声
でした。全くお疲れ様です。

　さて、今晩からはMFCにとってある意味一番大きな問題である「ゼロ点ずれ」
の問題を解説していきます。ゼロ点がずれる事は、ただゼロがシフトしているだ
けではなく、MFCが制御する流量に影響を及ぼすことをお話してきました。見た
目は　設定信号＝流量信号となり、問題なく正常に制御できているはずのMFC
が、その実は流量異常が生じているという事態は、非常に厄介なものです。

ゼロ点ズレに関して以下の原因が考えられています。

１、センサー線の抵抗値変化
　　MFCの流量センサーに使用されている二対の巻き線の抵抗値バランスが崩れ
　てしまっている場合

２、ガスの熱対流現象
　　ガスに依存して発生。MFCのセンサー管内部、もしくはセンサーとバイパス部で
　熱対流現象が発生し、あたかもガスが流れているように表示される場合

３、流量制御バルブでの出流れ
　　MFCの流量制御バルブの前後に圧力差があり、制御バルブ閉状態でもわずかに
　ガスが漏れ出している状態を流量センサーが感知している場合　

４、ゼロ点誤調整
　　MFCのゼロ点調整ボリュームを調整する際に、誤った値に調整してしまった場合

５、設置環境要因の変化
　　MFCの設置場所の環境要因(温度、湿度)が変化した場合

６、その他　MFC外部要因
　　MFCの流量表示計のゼロ点ズレ、ノイズ影響、通信異常等の外的要因が存在する場合。

　一言に「ゼロ点ズレ」と言いましても、想定される原因は様々であり、当然その対策も
変わってきます。間違った対策は、事態を更に悪化させる可能性もありますので、MFC
の構造に対する一歩踏み込んだ理解が必要です。一言で言えば「万能なものはどこに
も無い」という事なのですね。

では次週からそれぞれの原因詳細と対策をご説明いたしましょう。

それでは、また！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

今日の内容は実践編として、ガスを生業にする人は必見の内容でしたね。
これからの「原因詳細と対策」は、目から鱗になること間違いなし。
来週もお楽しみに！

ガス流量計、ガスコントロール制御機器、ガスバルブ、ガス調整器など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご連絡ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　7月22日　水曜日
　天気　あめ後くもり
　ボンベ庫の温度　朝21℃、昼27℃、夜24℃
です。
　関東では、午前中の雨模様と言うか空模様では皆既日食は
観察できませんでしたね。次は二十数年後のことです。
次は晴れるかな？また、曇りかな？

MFCのゼロ点ずれが起きる原因はなんだろう？　ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

第55夜　前夜補足・・・バルブ強制開閉機能機能とは？ MFC/MFM

2009年7月15日 19:46

　ガスの流体制御に欠かせないマスフロコントローラーのことなら
講師 Decoさんの解説するこのコーナーを見逃す手はありません。
いままで解らなかったことや気付けなかった理由などが分かるかも
しれません。それでは第五十五回目の講座を宜しくお願い致します。

第55夜　前夜補足・・・バルブ強制開閉機能機能とは？

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第55夜です。

　梅雨も明けまして、本格的な暑さ到来ですね！
さて、今夜はゼロ点ズレが発生するメカニズムに関するお話のはずでしたが、前夜
の内容に関して「バルブ強制開閉機能ってなに？」というご質問が結構ありましたの
で、MFCをお使いになっているユーザーさんでも、案外ご存知ない機能なのか・・・と
我々のご説明不足を思い知らされました。そこで今夜は54夜補習でお話しますね。

　バルブ強制開閉機能の役割は強制開＝MFC内部のガスパーや、真空引き、強制
閉＝全夜お話したオーバーシュート防止や緊急時のガスライン閉用のモード切替ス
イッチです。と、申しましても、殆どのMFCでそういったスイッチがMFC本体のどこか
についているわけではありません。実際MFCは流量を遠隔制御するものですので、
設定信号と一緒で、なんらかの電気信号でこの機能を作動させています。MFCにあ
る電気接続用コネクタのどこかのピン端子にその信号を受けるところがあります。中
には既にそこにスイッチと配線がしてあり、MFC操作盤に開閉スイッチが別に設けて
ある場合や、MFCメーカーさん純正の表示設定器なら、この機能用のスイッチがパネ
ルにある場合もあります。問題は今まで、そういったスイッチが無い状況でMFCを使用
されていて、「バルブ強制開閉機能を使ってみようか？」とお考えになった場合です。
前もってお願いすれば、その際はご使用中の装置メーカーさん、もしくは川口液化ケミ
カルさんのようなMFCから装置まで取り扱っておられるようなエンジニアリング会社さん
のような「プロ」の方にご相談ください。

　バルブ強制開閉を使用される上でご注意いただきたいのは、メーカーさんによって
MFC側のコネクタ形状やピン配列、そして電気信号の取り合いやが異なる事です。
コネクタ形状、ピン配列はメーカーで色々とあるのは仕方ないと思いますが、問題は
電気信号の取り合いです。代表的な仕様は以下になります。

?@　バルブ開閉用ピンに+15Vを入力したら開、-15Vを入力すると閉
　　　　(ただし一部逆の仕様のメーカーあり)　
?A　バルブ開閉ピンとコモンを短絡して開、-15Vと短絡して閉
　　　　（これにも逆の仕様あり）

　どちらの場合も注意していただきたいのは、バルブ強制開閉信号と流量制御
信号のどちらが優先されるか？という事です。殆どのメーカーさんではバルブ強
制開閉信号を優先しますので、強制開閉信号が入っている間は、流量制御信号
は受け付けない事になります。MFCに設定を入力したつもりで、上流のシャット
オフバルブを開いても全然ガスが流れない・・・というような事態がありましたら、
一度確認していただいたらよいかと思います。
　そしてもう1つ、前にもお話しましたがMFCのバルブ閉は、完全なシャットオフ
性能を保証していないものが多いことです。MFCの強制閉機能はあくまで臨時
のもので、ガスの遮断は必ず専門のシャットオフバルブを使用してお願いいたし
ます。

それでは、また！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

　ガス流量計のことをここまで細かく、公の場で、皆さんにお知らせしている
コーナーは他にはないと断言いたします。マスフロコントローラーのことなら
マスフロー千夜一夜物語をご一読ください。

MFC/MFMのことなら、ガス、真空、低温機器まで
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　7月15日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝29℃、昼36℃、夜34℃
です。
　北陸自動車道から川口に帰ってきましたが
途中、快晴で風が強くあった為もあり、青空の下、日本アルプスが
鮮明に見通すことができました。
上信越道でも妙高山、黒姫山、戸隠山から長野市から飯網まで遠く
広く見渡すことができました。
最高のドライブ日和でしたね。（所要時間7時間強）

第55夜　前夜補足・・・バルブ強制開閉機能機能とは？ MFC/MFM

バルブ強制開閉機能とか、ゼロクローズ機能とか・・・

2009年7月 8日 20:00

マスフロコントローラーとは？

そんな問いかけに見事に答える解説シリーズ第五十四夜です。
それでは講師の Decoさまよろしくお願い致します。

第54夜　バルブ強制開閉機能とか、ゼロクローズ機能とか・・・

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第54夜です。
お台場のガンダム、Decoも見てきました。インターネットが普及して、組み上げ中の
動画まで見る事ができる便利な世の中ですが、やはり現物を見たときのインパクトは
大きかったです。潮風公園の広場にすっくと立った18mの巨人、そしてその背景に更
に大きなお台場の高層ビル。映画の世界に迷い込んだような錯覚と興奮を覚えました。

　さて、今週からゼロ点のお話に戻ります。ゼロ点がマイナスにずれた場合に、MFCの
バルブは最大開度＝全開で待機してしまい、次にガスを流し出した時に、大量のガス
が流れるサージ現象が起きてしまう・・・このガスによっては大変危険なモードに対する
対策のお話です。要はガスを止めた際に、MFCのバルブが開く方向に行かないように
するのが対策の肝です。

　この対策としては２つあります。1つはMFCのバルブ強制開閉モードを使う方法です。
たいていのMFCには、制御中でもそれを無視して、流量制御バルブを開閉する機能が
搭載されています。やり方は色々なので、お持ちのMFCの取扱説明書をお読みください。
電気信号で作動させるものですので、簡単な3点スイッチ等を設ければ使用できます。
　ガスを流さないときは、必ずこの機能で設定入力、流量出力に関係なく、MFCのバルブ
を閉めてしまえばいいのです。（プロセスによりますが、MFCと上下流の遮断弁との間の
ボリュームにガスが残らないような順番でバルブを閉めていく必要がありますので、ご注
意ください。）この状態からのガス導入は、?@再スタート時にMFCに設定信号を入力、?A
ガスラインの遮断弁を開ける、?BMFCの強制閉モードを解除する、の流れです。そうすれ
ばMFCは(その応答性能に依存はしますが)きれいな応答波形で立ち上がってくれます。

　もう1つは、バルブ開閉機能を何らかの理由で使用できない場合の方法ですが、ガスラ
イン閉止時に、必ずMFCの設定信号を想定されるゼロ点のマイナス側のズレ量より大きい
マイナス信号を入れるという方法です。例えマイナス側でも設定信号＜流量信号と常にな
るようにすれば、この現象が起きないわけです。ただ、この方法は、わざわざ0〜5ＶのDC+
の設定出力系に対して、DC−の信号が出せるようにしなくてはならないという制御側への
負担があります。

　そこで多くのMFCメーカーは「ゼロシャット機能」「ゼロクローズ機能」という機能を搭載して
います。MFCの「流量制御範囲」が概ね2〜100%F.S.であることを利用して、2%以下の信号
が入ってきた場合、上記のバルブ強制閉モードを自動的に作動させる機能のことです。これ
を利用すれば、わざわざ強制閉機能用の接点や、信号を出力する工夫は不要で、設定信号
の可変だけで簡単に制御できます。ご注意いただきたいのは、この機能が作動する閾値は
メーカーによって差があることです。2%以下といっても、1%だったり、0.5%だったり・・・使用され
る際はメーカーに確認いただくことと、信号系の伝送誤差も考慮してお使いください。

さて、来週からは、ゼロ点ズレが発生するメカニズムに関するお話です。それではまた。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

　流量計測の基礎からセンサーの特性まで、一から十まで学べるこのコーナーは
素人さんから最先端の玄人さままでご愛顧いただいております。
皆様、ありがとうございます。これからも勉強させていただきます。
Ｄｅｃｏさんよろしくお願い致します。

流量制御機器、ガス流量制御ユニット、ＭＦＣﾎﾞｯｸｽなど
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡ください。
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ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は？
　７月８日　水曜日
　天気　雨のち曇り
　ボンベ庫の温度　朝２４℃、昼２７℃、夜２６℃
です。
　昨晩の七夕、なおかつ満月。なおかつ今月は日食のツキ
なので最高のシチュエーションだったでしょうね。
よかったですね、ひこぼし様おり姫様。
　

バルブ強制開閉機能とか、ゼロクローズ機能とか・・・

インターミッション〜連載２年目を迎えるにあたって MFC/MFM

2009年7月 1日 22:01

　さあ！７月の始まり一年も後半を迎えました。マスフロコントローラー
の解説シリーズ第五十三回目のはじまりです。

第53夜　インターミッション〜連載２年目を迎えるにあたって　

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第53夜です。

　おかげさまでこの千夜一夜物語も、連載２年目を迎えることができました。
関係各位様、そして何よりこのブログをお読みいただいている方々に、この場を
お借りして御礼申し上げます。連載当初から色々と試行錯誤して現在に至ります
が、なかなか毎週1回、ブログという形態でマスフローの事をお話しするというのも
難しいもので、自分の文筆力にもっと力をつけなくては・・・と思う事も多々ありまし
た。

　思えばこの1年間というものは、マスフローコントローラを生業とする我々に予測
不能な変化が襲った1年でした。連載当初の北京オリンピックを迎えるころは、まだ
まだ半導体ビジネスを中心として明るい見通しの時期でしたが、10月のリーマンシ
ョックを契機に世界不況へ突入し、自動車産業では米国ビック３の崩壊、日本でも
派遣社員雇用打ち切り、ワークシェアリングによる収入大幅カット、リストラ、失業・・・
皆さんも身近に感じておられる事かと思います。

　こういった激動の中で、マスフローコントローラ業界の周囲環境は大きく変わり始め
ています。長年お世話になったお客様、苦労を共にしてきた同僚、ある時は痛い思い
をさせてくれた競合・・・今まで当然のように存在していた人、会社、仕事がある日突然
消えていく・・・そんな厳しい状況の中でも、なんとかこの連載を通じて「マスフローコント
ローラ」というDecoがめぐり合った「風変わりな機械」の事を、今までお世話になった方々
や、あとに続いていただける方々に少しでもお伝えできたらと思い、この連載を書き続け
ていきたいと思っています。

　来週からは連載2年目として、ここ数夜お話を続けている「ゼロ点」のお話を再びスター
トさせていただきます。2年目を「ゼロ」の話から始めるというのは、いささか芝居がかった
展開かもしれませんが、ある意味マスフローコントローラにとって一番重要な、そして多く
のリスクを内包した部分でありながら、正確にその事実が伝えられているとは言いがたい
ポイントです。その「ゼロ点」の周辺にしっかりとスポットライトを当てることで、皆様のお役
に立てばと思います。それではまた。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

ＭＦＣ・ＭＦＭのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
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ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は？
　７月１日　水曜日
　天気　曇り
　ボンベ庫の温度　昼２３℃、夜２１℃
です。
　サッカーのリアルマドリードにイタリアリーグＡＣミランから
カカ選手が移籍されました。
移籍金は６年契約の八十八億円です。
凄い！

　

インターミッション〜連載２年目を迎えるにあたって MFC/MFM

第52夜　ゼロ点のマイナス表示は要注意？ MFC/MFM

2009年6月24日 22:57

　ガス流量制御機器マスフロコントローラーの解説シリーズとして講師の
Decoさんに連載をスタートしていただいてからそろそろ1年を迎えようとし
ております。毎週水曜日、欠かさずに連載いただいたDecoさまには感謝
以外にありません。ほんとうにありがとうございます。そして、これからも
千一夜までながいお付き合いを宜しくお願い致します。
　それでは第五十二回目をイって見ましょうか！

第52夜　ゼロ点のマイナス表示は要注意？

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第52夜です。
　お台場に1/1スケール＝全長18mのガンダムが期間限定で出現してい
るようですね。これには日本だけでなく、世界的に大きな反響があるようで
す。自分の思うように操縦できるロボットというものにあこがれるのはDeco
だけではないのだな〜と感心しています。
　詳しくはGREEN TOKYO ガンダムプロジェクト〜「ガンダム　緑の大地に
立つ」〜http://www.greentokyo-gundam.jp/index.html

　さて、MFCの流量が勝手にずれてしまう現象が発生するゼロ点のズレですが
もっとやっかいな事も発生します。それはゼロ点がマイナスにずれた場合です。
マイナスにずれる・・・と言っても、本来ガスが逆流でもしない限り、センサーの
出力(流量)が０以下になるはずはありませんので、マイナスの表示自体、本来
MFCが正常ならあまりお目にかからない事態です。（ガスは止まっていても、M
FCのセンサーの中でガスが対流したりして、ずれる現象はありまして、これ自体
は不具合という訳ではありません。この現象のお話は、また別の機会に・・・）
　MFCは設定入力＝流量出力になるようにバルブの開度を調整しようとします。
ここでガスは閉止状態、MFCの設定入力＝０、流量出力がマイナス（＝ゼロ点が
マイナスへシフト）状態になったらどうなるでしょう？０＞マイナスですから、設定
入力＞流量出力と判断したMFCはもっとバルブを開けようとします。でも、もともと
ガスラインは閉止されているのですから、MFCがいくらバルブを開けても、ガスは
流れてこず、流量出力はマイナスのままです。そうなるとMFCのバルブは最大開
度＝全開で待機になります。そこに改めてガスを流すと、ガスの流れを感知してM
FCのバルブは全開状態から制御に入りますが、制御に入るタイムラグがあるので
大量のガスが全開状態のバルブを通り過ぎて流れていってしまった後になってしま
うのです。

　これこそ後の祭りですね・・・MFCを思うように制御できなくなること＝ガスが制御
できなくなることですから、ガスによっては大変危険な状態になる可能性があります。
ただ、ゼロ点がマイナスの表示をしているだけではなく、その事がMFCの流量制御
にどういった影響を及ぼすのか？ご理解いただいているに越したことは無いと思いま
す。どんなすごい機械でも、その特性を理解して人が制御して初めてこそ本当の力
を発揮するものですから・・・

さて、来夜はこの困った現象に対する対策です。それではまた。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は？
　6月24日　水曜日
　天気　雨のち晴れ
　ボンベ庫の温度　朝22℃、昼23℃、夜25℃
です。
　昨日の暑さから一転、今日は大雨でした。
電車の車内放送で傘を忘れるお客様が相当いらっしゃるようで
くれぐれも注意してくださいと投げかけられていました。
その声のトーンからすると、ハンパでない量ではないのでは
ないかと想像させました。
傘の置き忘れに注意しましょうね！

第52夜　ゼロ点のマイナス表示は要注意？ MFC/MFM

ゼロ点がずれると流量が狂う？ （ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

2009年6月17日 11:08

　マスフロコントローラーでガスの流量制御を行いたい場合、問題が起こっている場合
どうすればよいか？

　そんなときは毎週水曜日連載中の「マスフロー千夜一夜物語」をご覧いただけれ
ば、解決の糸口ぐらいはつかめるかもしれません。過去５０回の連載記事があります
のでどうぞご覧ください。それでは講師のDecoさまよろしくお願い致します。

第51夜　ゼロ点がずれると流量が狂う？

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第51夜です。早いもので今回51夜目。
もうすぐこの物語も開始して１年になろうとしています。1001夜には程遠いですが、がんば
っていきたいですね。

　さて、ゼロ点ズレのお話ですが、ことMFCにとってはこれが一大事です。MFCの設定信号
と流量出力が一致して、正常に動作しているように見えるにもかかわらず、実際は制御流量
がずれてしまう、という異常状態が発生する・・・厄介ですね！この現象を具体的にお話しま
しょう。
　例えばフルスケール100SCCMのMFCがあったとします。このMFCに設定5V(100%)を与え
て100SCCMの流量を制御させます。ここでMFCのゼロ点を-5%＝-5SCCMにずらすと、流量
の基点となる0SCCMを表すポイント＝ゼロ点がずれたのに対して、MFCの設定電圧は5V
（100%）＝100SCCMから変わらないわけですから、当然のように変わらず設定電圧5V＝流量
出力電圧5Vになるように制御を続けます。この結果、100SCCM-(-5SCCM)＝105SCCMの
流量が流れてしまうことになるのです。

　100SCCM流しているはずが105SCCM流れてしまう・・・精度±1%F.S.等と言っている場合
ではありませんね。しかも、ガスを流さない状態でチェックしない限り、ゼロ点がずれていること
はわからないわけですから、余計に厄介です。
　知らないうちにMFCの制御流量がずれる！これだけでも大問題なのに、ゼロ点がずれること
による問題は、更に別のやっかいな問題も引き起こします。そのお話はまた次回！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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今日の埼玉のお天気は？
　６月１７日　水曜日
　天気　くもり
　ボンベ庫の温度　朝18℃、昼20℃、夜24℃
です。
　国の借金が、国民の預貯金を上回る可能性が見えてくると
預けてある資産は、いつゼロになってもおかしくない状態に
なるので、世の中が劇的に変化しても自給自足できる
農地でも購入しておいたほうがよいという考え方もあるそうです。
先行きが見えないと、何でも言える世の中になり、正解も失敗も
ないので「なんでもあり！」になりがちです。

地に足をつけ、我を見失わないことが大切ですね。

ゼロ点がずれると流量が狂う？ （ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

装置内ガス供給系配管

2009年6月16日 19:31

　ガス供給系統の多いMOCVDなどの装置内配管には圧力作動弁や
流量制御機器（ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）など利用されております。

日立金属製ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗおよびﾀﾞｲﾔﾌﾗﾑﾊﾞﾙﾌﾞ

　ガスフローや装置内へのガス機器のマウントなどのご相談や、ＶＣＲ溶接
ガス配管の施工・改造・修理など、Ｈｅリークテストを行い施工いたします。

特殊ガス用オールメタル仕様のＭＦＣ、ダイヤフラムバルブ

　特殊金属メーカーである日立金属製のダイヤフラム材は、特殊ガス用バルブ
の重要部品として早くから各種バルブメーカーへ供給され、その技術はガス流量
制御部にダイヤフラム構造を持ち、液化しやすいガスや腐食系ガス・高温に昇温
して使用する有機系液化ガスや特殊ガスなどに優位性を持つ優れた商品です。

日立金属製ガス供給機器のことなら
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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　６月１６日　火曜日
　天気　曇りのち雨
　ボンベ庫の温度　朝１８度℃、昼２３℃、夜１９℃
です。
　ここ数日雨が続いています。
風邪などひかないよう体調管理に気をつけましょう。
十分な睡眠と食事は基本です。

装置内ガス供給系配管

第50夜　ゼロ点のズレは大問題？ （マスフロコントローラー）

2009年6月10日 19:47

　ガス流量計のマスフロコントローラーを解説するシリーズ
第五十回目です！　講師の Decoさまお疲れ様です。
そしてあの千夜！を目指してお互い頑張りましょう！
それでは参りましょうか。

第50夜　ゼロ点のズレは大問題？

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第50夜です。

　すっかり雨が多くなってしまった関東地方です。外出時に、荒川や多摩川
の水位を見るたびに、「ここで集中豪雨がきたらまずいよね・・・」と思ってしま
います。最近は特に夏場、ゲリラ的な局所豪雨が多くなったのを感じます。
どうやら東京は温帯から亜熱帯性気候にシフトしてしまったようですね。

　MFCでシフトして困るのは、ゼロ点です。前夜、「微少流量タイプは通常タイ
プよりゼロ点ズレが5倍大きい」というようなお話をしましたが、その実害に関し
て今日はお話しましょう。
　MFCのゼロ点とは「ガスを完全閉止して流さない状態での流量出力値」のこ
とであり、制御される流量が０ならば、当然ゼロ点はきれいに０になるべきもの
です。
　ところが様々な原因で実際の流量は０なのに、出力は０でない現象が発生し
ます。これらは「ゼロ点シフト」「ゼロ点ズレ」「ゼロ点ドリフト」という言葉で表され
ますので、お聞きになられた方もおられると思います。
これがMFCの性能に及ぼす減少を図にまとめて見ますと、以下になります。

　MFC以外でも、色んな測定器でゼロ点のズレは問題になります。ただ、MFC
の場合は、「ゼロ点のずれた状態の流量センサーから出力される流量信号に
よって、流体を制御してしまうこと」にあります。そして「MFCが通常に制御して
いる状態では、ゼロ点ズレが原因で実際制御されている流量が増減してしまっ
ていることがわからない。」ということなのです。
　MFCの設定信号と流量出力が一致しているにもかかわらず、制御している流
量がずれてしまうという異常状態が発生する・・・恐ろしい話ですね。次回はこの
続きをお話いたしましょう。それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

　ゼロがずれると大変なことにもなるし、ゼロを合わせるタイミングも
これまた微妙なことになりますよね。時計の標準時間もズレ難い
時計の平均値だとか聞いたこともあります。ズレちゃいけないが
実際ずれるものをどうするか？永遠の課題ですかね。

ガス流量測定・ガス流量制御機器のことなら川口液化ケミカル株式会社
までご相談ください。Deco先生の的確なコメントがいただけますよ！
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　６月１０日　水曜日
　天気　くもり
　ボンベ庫の温度　朝２１℃、昼２４℃、夜２２℃
です。
　どんよりとした湿気のある気候です。
夜になり、風が強くなってきましたね。
雨が降りそうで、降らないのか？それともザーッと降るのか？
日本列島梅雨入り宣言間近の今日この頃ですね。
　by との

第50夜　ゼロ点のズレは大問題？ （マスフロコントローラー）

微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？　Part3　　MFC/MFM

2009年6月 3日 16:52

　特殊ガス用のガス流量計に多用されているMFC/MFMについて、構造やセンサー特性
検出原理など海の底より深く解説するシリーズ第四十九回目です。かなり専門的になっ
てますが、皆さんまさか斜め読みで飛ばし読みしてませんよね？じっくり行きましょう！

第49夜　微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？　Part3

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第49夜です。

　前夜、S/N比（シグナル／ノイズ比）という言葉について、ご説明しました。これを第47夜の
Part1でご説明した内容に置き換えてましょう。Part1で示した図を再掲載します。


この図をSN比でご説明した際に使用した図に展開してみると、以下のようになります。

　SN比の説明で「信号の大きさが一定で、ノイズ(雑音)のレベルが大きくなるとSN比が悪く
なる」事例をお見せしましたが、微少流量MFCと通常タイプを比較すると、逆に微少流量用
センサーは通常タイプより信号（センサー生出力）は小さいので「信号の大きさが異なり、ノ
イズ(ゼロ点)は同じ」ということになります。通常タイプ並みの出力を得ようとすると、信号を
アンプで増幅してやる必要がありますね。そうすると同時にノイズ(ゼロ点ズレ)も増幅されて
しまうのです・・・
　仮に通常タイプの1/5の信号しか得られないなら、それを5倍に増幅します、そうするとノイ
ズも5倍になり、結果流量出力として見た場合、通常タイプよりSN比が悪くなってしまうこと
になります。これをMFC的に表現すると、「微少流量タイプは通常タイプよりゼロ点ズレが5倍
大きい」という事になります。

「ゼロ点ズレ」これはMFCにとっては、なかなか厄介な症状です。次回からはそのお話をいた
しましょう。それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　６月３日　水曜日
　天気　くもり
です。
　イチロー選手は凄いですね！
自己最多の２６連続ヒットを記録しました。
ときどき気付いたときに大リーグの記録を目にする程度ですが
世界最高峰のプロリーグで、ヒット一本打つことすら大変なこと
なのに、出場試合で連続して毎試合ヒットを打つ感じですから
間違いなく並ではありません。
神掛かる領域までイッちゃってますね！

微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？　Part3　　MFC/MFM

第48夜　微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？ MFC/MFM

2009年5月27日 23:45

　高圧ガス設備や真空装置のガス導入系に欠かせないガス流量制御機器
であるマスフロコントローラーですが、現在の安定した製品に仕上がるまでに
は、数多くの紆余曲折を経ております。その現場を肌で感じてきた講師 Deco
さんに今日も解説いただきましょう！それでは宜しくお願い致します。

第48夜　微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？　Part2

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第48夜です。

　MFC分野でのDecoの「お師匠様」は、音楽好きな人で自ら楽器を嗜む趣味を
持っている方です。Decoも音楽は好きで、若いころオーディオに投資したもので
す。CDが出現する前の、アナログレコードやカセットテープ時代には、ブチブチ、
シャーシャー雑音が入る中、音楽を聞いていました。ところがCD等のデジタルオ
ーディオの出現でノイズの小さい、きれいな音楽が、安価に楽しめるようになった
のはいいことだな〜と思います。

　さて、前夜登場した単語S/N比（シグナル／ノイズ比）という言葉について、ご説
明しましょう。S/N比、またはSN比とも記載されますが、この言葉のSはシグナル
＝signal（信号）、Nはノイズ＝Noise（雑音）です。つまりS/N比とは信号雑音比
(Signal-Noise Ratio)の事で、信号に対する雑音の割合を表します。このS/N比が
高ければ信号をやり取りする際の雑音の影響が小さく、S/N比が小さければ影響
が大きいとお考えください。

　S/N比が大きいことを「S/N比がよい」という表現をすることがありまして、特にオ
ーディオの世界ではよく言われます。冒頭のお話でレコードをかけた際に、レコード
針が盤上の埃を拾うと「ブチ！ブチ！」という音楽とは関係ない音が入ります。テー
プをかけると、再生したテープが送られる音（ヒスノイズ）が「シャーシャー」と聞こえ
ます。これらがノイズです。対して演奏される音楽が信号です。レコードに入っている
音楽信号は不変である限り、きれいな音楽を聴くにはノイズをいかに抑えるか？で
決まります。特にクラッシックやジャズのような1つの曲の中で音の強弱、大小がある
ジャンルでは、曲の静かな部分でノイズが入ると、下手すると曲がノイズに埋もれて
聞こえなくなってしまうこともあるくらいですから効果は大です。つまりノイズを抑える
ことは、S/N比が相対的に良くなり、オーディオでよく使うダイナミックレンジ（＝認識
可能な信号の最小値と最大値の比率）の拡大に繋がるのです。

　今回は脱線してS/N比のご説明になりましたが、次回では微少流量MFCのセンサ
ー構造に立ち戻ってご説明を続けましょう。それではまた！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

音楽のノイズの例えは、解り易かったですね！
マスフロコントローラーのことなら川口液化ケミカル株式会社
まで、どうぞご連絡ください。Deco先生に解説していただきけます。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の川口のお天気は？
　５月２７日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２１℃、昼２７℃、夜２３℃
です。
　麻生総理と鳩山代表が党首討論を行いました。
はたして国民は、裁判員制度ならぬ有権者として
どのような審判を下すのでしょう。

第48夜　微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？ MFC/MFM

微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？　MFC/MFM

2009年5月20日 12:47

　ガスの流量に関する解説シリーズ第四十七回目です。
だんだんと深いお話になってきています。理解できてます
か？解らなかったらお問い合わせください。 Deco先生が
MFCの教えを授けていただけることでしょう。それでは先生
よろしくお願い致します。

第47夜　微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？　Part１

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第47夜です。
我が家に電動アシスト自転車がやって来ました。最近のエコ
ブームと不況の影響もあり大人気商品らしく、注文してから1ヶ
月以上待たされました。でも、待った甲斐のある性能です。自
転車と操作は同じですが、ただ通常の自転車と違って昔なが
らの「けんけん乗り」は厳禁とか・・・やはり使用方法はちゃんと
マニュアルを読んで理解しないといけないですね。

　さて、微少流量MFCに関してのお話です。このお話はS/N比
（シグナル／ノイズ比）という言葉が絡んできます。微少流量
MFCは通常のMFCと同じ熱線式センサーを使用しています。
仮に本来5SCCM流れるべき構造のセンサー管で1SCCMを流
した場合は、当然センサー出力は5SCCM流したときの1/5に
なります。MFCのセンサーは、熱の移動をブリッジ回路で数mＶ
の電圧信号で取り出し、それを後段のアンプで増幅して5Vに
するというお話を以前いたしましたが、ここで仮に通常タイプの
センサー出力が5ｍVであったとしたら、1SCCMをフルスケール
とする微少流量MFCでは1/5の1mVです。つまり1SCCMのMFC
が使えるセンサー出力＝シグナルレベルは通常タイプの1/5に
なってしまうのです。

　一方、MFCのセンサーは二対のヒーターのバランスで構成され
ていますので、その二対のバランスが崩れた場合、その出力の
基点となるゼロ点のズレが発生します。このズレ量はヒーターの
抵抗値であらかた決まっていますので、センサー構造が同じ固体
である限り大きく差はありません。そして、1SCCMフルスケール
の微少流量用に使おうと、通常タイプ用に使おうとこの値自体は
変わりません。つまりノイズレベルの大きさは変わらないのです。
この現象でシグナルとノイズの比率をS/N比は低くなってしまいま
す。これが低くなると一体どういう問題が生じるのでしょう？その
説明はまた次回。それではまた！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

マスフロコントローラーのことなら、川口液化ケミカル株式会社まで
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今日の埼玉のお天気は？
　５月２０日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２１℃、夜２７℃
です。
　日陰に入ると風が涼しいものの
相当なギラギラした強い日差しが
一日中ふりそそいでいました。
プールに入れそうなくらいの陽気でしたね！

微少流量MFCではセンサーのS/N比が悪化する？　MFC/MFM

微少流量MFCの世界へ　　ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

2009年5月13日 09:32

　マスフロコントローラーってなんでしょう？

そんな素朴な疑問をも解決できるＭＦＣ解説シリーズ
第四十六回目の講義です。それでは講師のDecoさん
よろしくお願い致します。

第46夜　微少流量MFCの世界へ

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第46夜です。
ハイブリッドカーの販売量が拡大してきたようです。ガソリンを
大量に消費して、大排気量エンジンでパワフルに走れるよう
な世の中ではなくなってきたのかもしれません。

　さて、大流量MFCのお話から転じて圧力とMFCの関係のお
話をしてきました。今夜からは今度は小さい方、微少流量MFC
に関してのお話です。微少流量用途にMFCを使いたいという
お問い合わせは結構頂くのですが、一般的な熱線式センサー
方式MFCのフルスケールは1SCCM程度が下限になっていま
す。「もっと小さな流量を！」というご要望はあるのですが、残
念ながら色々な要素が阻害要因となり、実現できていません。

　阻害要因＝犯人の一人は、大流量MFCの時と同じで、「セ
ンサー」です。「MFCの熱線式センサーはそれ自体で5〜10
SCCM程度の流量を流します」というお話を以前大流量MFC
のご説明でさせていただきましたが、実はここに答がありまし
て、センサー管に流れる流量をこれ以上は小さくできないので
す。

　熱線式センサーで「流量を測定する上で「最適な状態」であ
る層流状態を作り出し、なおかつセンサー管の外周に巻かれ
たヒーターから与える熱を確実に流体に伝えるために、MFCの
センサー管は内径0.4〜0.8mm程度の細い筒に設計されてい
ます。この細い管を臨界レイノルズ数以下の状態に保てる流
速で流せる流量というのは、自ずと制限されてしまい、10SCC
M以下の微少流量しか流せません。」というご説明を「第31夜
「層流」を作らなくては、流量は測定できない！」でさせていた
だきました。これを逆に考えるならば、10SCCM未満のフルス
ケールのMFCならば、層流素子（バイパス）レスでセンサー管
だけで作れるのです。

　では、フルスケール1SCCMのMFCはどう作られているので
しょうか？簡単です。センサー管だけのシンプルな構成である
ことは、フルスケール5SCCMレベルのMFCと変わりはありませ
ん。大きく分けると2通りあり、1つは全く同じ構造のセンサー管
で1SCCMならば1/5になるセンサーでの熱移動量を5倍に増幅
して使う方法と、もう1つはセンサー管内にある程度の抵抗を設
置し、センサー管に入ってくる流量そのものを1/5に制約してしま
う方法です。この2つの方法の限界が微少流量MFCを作る上で
の制約になるのですが、もう一つそれ以上に難しい阻害要因＝
犯人が隠れているのです。

　大流量MFCよりもある意味難しいかもしれない微少流量MFC
の世界・・・次週からは本格的にご案内しましょう。それでは！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

基本的なことでもＭＦＣに関して疑問があれば
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談
ください。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　５月１３日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２１℃、昼２６℃、夜２４℃
です。
　母の日！
スーパーではカーネーションや花束のコーナーが
設けられており、買い物客に交じってお父さんたちが
恥ずかしそうに花を買い求める姿がチラホラありましたね。
そう、私もその一人でした。（恥ずかしい・・・。）

微少流量MFCの世界へ　　ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

ガスが変わるとなぜハンチングが起こる？　MFC・MFM

2009年5月 6日 20:46

　ガス流量制御機器の汎用機でもあるマスフーロコントローラー
を解説する第四十五回目のお話です。
それでは講師の Decoさま 宜しくお願い致します。

第45夜　ガスが変わるとなぜハンチングが起こる？

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第45夜です。

　このGWは高速料金1,000\の効果で、各地で例年以上の大渋滞
が発生しているようです。渋滞情報のHPがパンクするくらいのアク
セスだったとか・・・一方、こちらではMFCがパンクしそうになる状況
のお話が続いていますね。

　さて、今夜もMFCのハンチング現象に関してお話しましょう。前夜、
圧力条件のお話をしました。MFCは所定の差圧より大きな圧力で動
作させると、時に制御不良になる可能性があるのですが、これは仕
様にあるガス種と異なるガスを流した場合も同じような現象が起きる
ことがあります。例えば窒素(N2)用のMFCに軽いガスの代表である
水素(H2)を流した場合です。実はこのお話は、第14夜　流量センサー
ｖｓ 流量制御バルブ、続く第15夜　水素ｖｓ窒素　で既にお話している
内容の復習になります。これらのご説明では、主に流量センサーとし
てのCFは似通っていても、流量制御バルブの特性は全く異なるガス
として、この２種を例にご説明しました。ですが実際に「手持ちのMFC
を違うガスで使いたいけど・・・」はMFCに関するお問い合わせの中で
も非常に多いものですので、再度ハンチングの現象面からご説明して
おきます。

　一般にH2は非常に流れやすいガスですから、H2用のMFCはバルブ
オリフィスを同じ流量のN2用より小さい径にして製作されます。その逆
でN2用に製作されたＭＦＣにH2を流すと、同じバルブ開度でもかなり多
くガスが流れてしまいます。ここで下図のような差圧が大きい時の現象
と似通った現象がおきます。

　同じ流量を制御するには、H2だとバルブ制御電圧の分解能から考え
ると、かなりつらい条件になるのがおわかりいただけると思います。流
量信号と流量設定信号を比較し、同値になるよう開度を制御するはず
のMFCですが、図にあるようにガスの特性の差から、非常に狭いレンジ
での制御を強いられることになり、苦しくなってくるとやはりハンチングが
発生してしまいます。
　（図のバルブ制御電圧と流量の関係は、あえて直線で表しています。
　　実際はこのようなきれいな直線にはなりません。またN2とH2の比率
　　も正確な値ではなく説明用の観念図とお考えください。）

　こういった場合の対処は前夜と同じです。ガス供給圧を下げられると
ころまで下げてもらい、せめて差圧条件だけでも楽にしてもらえると、
MFCは制御を取り戻す可能性もあります。また設定流量を大きくして
もらうのも手ですね。もちろん本来は、ガス種にあった仕様のMFCを購
入して、使用していただくのがベストです。その場合は、まずは川口液化
ケミカル株式会社さんに、ご一報をお願いしますね。それでは！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

Deco先生、毎度毎度の専門的な講義をありがとうございます。
ガス屋としてもっと精進して参ります。

マスフローコントローラーに関するご質問、お問い合わせ
のことなら何でも知っている Deco先生に精査していただ
けますので、どうぞ弊社までご連絡ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　５月７日　水曜日
　天気　雨
　気温　１６℃（PM8:30）
です。
　しとしと雨が降り続いてます。
GW前半の快晴で屋外活動全快でしたし
後半のしめやかな雨でスローダウンして
安息日となりちょうど良かったかもしれません。

ガスが変わるとなぜハンチングが起こる？　MFC・MFM

差圧が大きいと、なぜハンチングは起こる？ （ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

2009年4月29日 17:54

　ガスの流量計といえば、パージメーターとマスフローコントラー
ですね。マスフローコントローラーのホームページといえば毎週
水曜日に連載中のこの「マスフロー千夜一夜」ですね。
　周知のことですが、今後ともぜひとも宜しくお願い致します。
では Deco先生にご登場いただきましょう！

第44夜　差圧が大きいと、なぜハンチングは起こる？

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第44夜です。
GW突入ですね。MFCが良く使われる半導体製造装置関連
企業では早々と16連休を発表された企業もありました。Deco
はそんな連休を取ったことが無いので、長期オフを取れたら何
をするかな？と考えると、あれこれ出てくるのですが、おそらく
いざとなると根が貧乏性なのか？なかなか踏み切れないでしょ
うね。

　さて、今夜は前夜の補足としてMFCがハンチングといわれる
現象を起こす原因をお話しましょう。MFCは流量センサーでセ
ンシングした流量信号と、与えられた流量設定信号を比較し、
制御バルブの開度を常に調整することで、2つの値を同値にす
るよう制御しているというお話は、何度かさせていただいたと
思います。ハンチングは、その制御が何らかの原因で成立し
ない場合に発生し、MFCの流量出力が激しく振れ、安定しな
い現象をいいます。この発生原因のうち結構多いのが、差圧
が大きくなったことでバルブ制御の分解能の限界から、うまく
制御できなくなって発生するものです。


　図を見ていただくとわかりやすいと思うのですが、バルブオリ
フィスサイズが固定で、流量制御バルブのリフト量＝バルブ制
御電圧で流量を調整している場合、リフト量が一定なら差圧が
大きいほど流量は多く流れることになります。したがって差圧が
大きくなるとMFCはどんどん小さいバルブ開度領域で流量制御
をしなくてはいけなくなります。リフト量全て＝バルブ制御電圧
全てを流量制御に使えなくなって、下の方の狭いレンジで制御
を強いられることになるのです。それでもMFCはがんばって制御
しているのですが、当然バルブ電圧を少し変動させた時に、流れ
る流量の変化は大きくなっているので、流量を安定させる微調整
がかなり難しくなります。その限界に至ると、調整不可能＝ハン
チングとなるのです。（図のバルブ制御電圧と流量の関係は、あ
えて直線で表しています。実際はこのようなきれいな直線にはな
りません。あくまで説明用の観念図とお考えください。）

　全力を発揮できない状態で、非常にナーバスなワークを続ければ、
人間も参ってしまいます。たまに爆発してしまうこともあるでしょう。
MFCもそれと同じだと考えてあげてください。ハンチングが発生した
ら、レギュレータからの供給圧を低くすることで解決できることが多
いです。図の差圧が小さい状態になれば、MFCは余裕を持って制
御できるのですから・・・こういった現象は、MFCに流すガスを変えた
場合も実は発生します。次回はMFCにとっての問題児？「水素」を
迎えて、今回の応用編のお話をしましょう。それでは！

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語

　なんでもかんでも流量制御機器自体の不具合や故障ではあり
ません。使用している条件を詳細にわたり確認するとこうした圧力
やガス種の変更による、おきるべくして起きている症状が現れて
いるだけのことも少なくないようです。ご注意くださいね。

ガス機器、ガス流量制御機器、ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　４月２９日　水曜日
　天気　はれ
　気温　１９℃
です。
　
「おもしろきこともなき世をおもしろく」

　上の句ができたが、下の句は息が切れてつづかない。
しかし下の句など晋作の生涯にとって不要にちがいない。
かれの情念も生活もこの上の句のなかに尽くされており
たとえどのように巧みな下の句をつけても蛇足になるに
相違なかった。が、歌人の野村望東尼は晋作の寿命が
すできつきようとしているのを見、いまいそぎ下の句をを
つけてやらないとせっかくの辞世が尻切れとんぼになる
ことをおそれ

「すみなすものは心なりけり」

と、つけた。
　おもしろくもない世の中をおもしろく凄み暮らしてゆくのは
心である、というのである。説教くさく道歌じみていて、上の
句の迫力が急にしぼんだような感じだが、歌としてまとまる
ことはまとまった。しかし、晋作はそれで満足したらしく

「・・・おもしろいのう」

と言って目をつぶり、ほどなく息をひきとった。

世に凄む日日　司馬遼太郎著より

差圧が大きいと、なぜハンチングは起こる？ （ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

アクチュエータの孤独な戦い　（ＭＦＣ／ＭＦＭ）

2009年4月22日 20:20

　マスフロコントローラーの業界関係者にご好評いただいている
ＭＦＣ解説シリーズです。これだけのことを知っている、解ってい
るのはただものではない・・・。
それでは講師の Deco さん よろしくお願い致します。

第43夜　アクチュエータの孤独な戦い

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第43夜です。
　さて、今夜は「差圧は取れていても、二次圧が大気圧以上になる
条件でMFCを使用される場合は、ハンチングによる制御不良、バル
ブが閉まらず出流れによる低設定域の制御不良等の問題が生じる
現象」に関して、掘り込んでお話しましょう。

　この現象の原因となるのは、実はバルブを動かすアクチュエータです。
MFCのアクチュエータはあらかじめリフト量(移動量)は決められていま
す。そのリフト量を全部使って流量制御するのは、ごく稀な事です。な
ぜならばMFCのバルブは想定される最低の差圧でもフルスケール流
量を流せるように調整されているからで、この差圧が大きくなればなる
ほど、同じリフト量でも流量は増加しますから、設定流量を保つために
はどんどんバルブを小さく閉めていく必要があります。当然これにはお
のずと限界がきてしまい問題を発生させるのです。では、差圧が最大
動作差圧内なら、この問題は起きないかというとそれは、実際のアク
チュエータにかかる圧力がどうか？によります。

　図を見ていただければ簡単なのですが、大きく分類すると2つありま
して、Type Aのような絵は、ソレノイドアクチュエータタイプのMFCをご
説明したときの絵に近似していると思います。このタイプは、差圧を生
むオリフィスの上流側にガスに接してアクチュエータが存在しています。
その為、一次圧が高くなっても二次圧がその分高くなり差圧が維持さ
れれば、アクチュエータにかかる圧力は一定です。
　ところがType Bですと、ちょっと様相が異なります。この絵はピエゾア
クチュエータをご説明したときに出てきていますが、オリフィスの下流に
ダイヤフラムに仕切られたアクチュエータがあることが特長です。ここで
はアクチュエータが常にダイヤフラムに仕切られて大気圧雰囲気に存
在していますので、二次圧がどれだけになろうと、単純に一次圧と大気
圧の差がアクチュエータの受ける圧力となってしまいます。図の例では
Aではアクチュエータが相対する圧力は0.3MPaに対して、Bでは同じ圧
力条件でも0.7MPaかかってしまうのです。
　アクチュエータにとって正面切って戦わなければいけない圧力が実際
にこれだけ違うと、同じ差圧条件でもMFCの動作に差が生まれるのは
当然ですね。カタログの圧力仕様だけではなく、MFCの構造にも目を向
けていただけると、MFCの使いこなし方がお分かりいただけるかと思い
ます。次週は補足でここで起きたハンチング、出流れといった不具合現
象をご説明します。それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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今日の埼玉のお天気は？
　４月２２日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝８℃、昼２２℃、夜１９℃
です。
　今日の首都高速（ＰＭ８時過ぎ）もオールグリーンで
渋滞なしです。
東名自動車道から首都高川口線まで１００ｋｍ／ｈ巡航
ですり抜け可能でした。
車が少ないですね！

アクチュエータの孤独な戦い　（ＭＦＣ／ＭＦＭ）

マスフローの動作差圧に関する誤解 (MFC)

2009年4月15日 23:42

　マスフローコントローラーの解説につき順次噛砕いた
説明をしている第四十二回回目の解説になります。
それでは講師の　Decoさんお願い致します。

第42夜　マスフローの動作差圧に関する誤解

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第42夜です。
春を通り越して、いきなり初夏の暑さが続く関東地方ですが、外
回りをしていると靄とも黄砂とも判断のつかない粉塵にさらされる
こととなり、花粉症とは無縁のDecoですら、喉の調子が悪くなった
り、服が埃っぽくなったり・・・と、あまりいい気分ではありません。
強い風で海まで吹き飛ばしてもらいたいものです。

　さて、今夜は引き続き圧力のお話です。前夜は耐圧のお話で
したが、今日のお話は「動作差圧」と呼ばれる性能表記のお話で
す。どうもMFCは圧力に関する性能表記では色々誤解を呼んでい
る部分があるようです。前回「MFCは自身の圧力損失を調整し、
結果流量を減らす量を制御しているものであり、自身で流量を創り
だすことはできない」というお話をさせていただきました。動作差圧
というのは、まさにその事をあらわしたスペックです。「これだけの
流量を制御するためには、MFCで最大ここまでの圧力損失を作ら
なくてはいけないので、他の配管抵抗を加味いただいた圧力設定
でガスを供給してあげてくださいね！」という意味です。

　例えば一般的なF.S.5SLM以下のMFCならば　「一次圧：49kPa
〜294kPa／二次圧：大気圧」という表記がカタログの仕様表にあり
ます。この場合このMFCの最低動作差圧は49kPaです、と言えます。
では、お客様からこのMFCの「最低動作差圧は？」と質問されたと
して、答えは「49kPaです。」と答えるだけで十分でしょうか？

　その答えは△です。最低動作差圧49kPaのMFCは、一次圧：49
kPa／二次圧：大気圧でも動作すれば、一次圧749kPa／二次圧7
00kPaでも使用できると思われがちですが、実はほとんどのMFC
では、同じ差圧でも両立できない圧力条件なのです。

　「どちらも（一次圧）−（二次圧）＝49kPaでMFCの制御する差圧
としては一緒だから、動くはずだろう？」という声をよく聞きます。
ところが最近のMFCは、動作条件で二次圧を真空から大気まで
の使用に制限しているモデルが多いのです。したがって差圧は取れ
ていても、二次圧が大気圧以上になる条件でMFCを使用される場合
は、ハンチングによる制御不良、制御バルブが閉まらず出流れによ
る低設定域の制御不良等の問題が生じる可能性がありますので、
前もってメーカーに確認いただく必要があります。
　これにはMFCのバルブ構造が密接に関係してきます。詳しいお話
は次回お話します。今夜のところは、MFCの動作差圧というのは、単
に絶対的な差圧の値だけではなく、特にMFC二次圧力どうなっている
か？に着目してくださいとお話しておきます。それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

　マスフロコントローラーは単なるガス流量計ではなく、技術の
粋を集めた最先端テクノロジーの集大成といってもよいですね。
ＭＦＣ／ＭＦＭに関するご相談ご検討は
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご連絡ください。

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今日の川口のお天気は？
　４月１５日　水曜日　
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１８℃、昼２３℃
です。
　昨日の雨は久しぶりの生き物への恵みの雨となりました。
久しぶりの雨で植物は嬉しかったでしょうね！

マスフローの動作差圧に関する誤解 (MFC)

マスフローの耐圧に関する誤解 （ＭＦＣ）

2009年4月 8日 11:53

　４月１日を過ぎトレーニングを終えると新入社員の方も
実務に携わることが出てまいります。ガス流量計のことも
一から勉強することも必要になることでしょう。
そんなときは、毎週一回水曜日にマスフロコントローラー
・マスフロメーターに関する解説をしているこのコーナーを
是非参考になさってください。よく理解すれば、先輩を凌ぐ
知識が満載ですから是非！ご一読くださいね。
　では講師の Decoさまよろしくお願いします。

第41夜　マスフローの耐圧に関する誤解

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第41夜です。
東京は桜満開です。桜の花には、なんとも人をいい気持ちにさ
せる効果があるのか？ついつい花見で深酒をして人に迷惑を
かけてしまうケースが多いかと思います。健康のためにはアル
コールはほどほどに、自分の耐えられる限界を超えて呑んでは
いけませんね。

　さて、今夜は大流量MFCのお話から少し離れて、（と、言いなが
ら実は密接な関係があるのですが）圧力のお話です。よくお客様
で「MFCはこちらが欲しい流量を必ず供給してくれるもの」という観
念で捉えておられる方がおられますが、これは間違いです。

「MFCはポンプに似た流量を作り出すもの」

という考え方ですが、実は「MFCは自身の圧力損失を調整し、結果
流量を減らす量を制御しているもの」であり、自身で流量を創りだす
ことはできません。故に大流量を流す必要がある場合は、MFCを含
むガス供給系のトータル圧力損失を上回る圧力で、ガスを供給して
いただく必要が生じます。また供給圧力はMFC（＝ガス供給系）の
出口圧力にも左右されます。大流量用途の場合、出口側が真空や
大気開放ではなく、ある程度の圧力になるケースもあります。そうす
ると当然その分だけ、ガス供給側の圧力を上げていただく必要が生
じます。

　このように圧力を上げていくと、MFCへの供給圧力が1MPaという
高圧の領域に入ってきてしまうことも多々あります。ところがMFCの
耐圧はどうかといいますと実は一般的な微少流量MFCはほとんど
1MPaです。大流量モデルを積極的に展開しているブルックスインス
ツルメント(株)製品になりますと、さすがに流量範囲：100L/min〜
1,000L/min で最高使用圧力6.8MPaというラインナップになっています。
　ここで気をつけなくてはいけないのは、微少流量をメインにしている
MFCメーカーさんにも100〜200LのMFCがありますが、耐圧は1MPa
という製品もありますので、機種選定では十分に気をつけていただく
必要があります。

　それとよく勘違いされているのが、動作圧力と耐圧の関係です。

「耐圧が1MPaだから、そこまで供給圧をあげても動作するという」

と誤解されている事があります。最大使用圧力（最大動作圧力とも
表記）は、「製品をそれ以上の圧力で使用するとカタログスペックを満
たす動作が保証されない圧力上限」の事です。それに対して耐圧は
あくまで純粋に「製品をそれ以上の圧力で使用すると破壊される可能
性がある圧力上限」という意味です。カタログで耐圧が最大動作圧力
より高く定義されているがメーカーもあれば、同値のメーカーもあります。
混同して使用されると、流量制御ができないばかりか、大きなトラブル
を起こす可能性もあります。くれぐれもMFCメーカーにご確認ください！
それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

それではまた、来週の水曜日にマスフロコントローラーについて
勉強しましょう！
高圧ガス設備、高圧ガス配管工事にともなうガス流量制御機器
マスフロコントローラーのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談ください。
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ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は？
　４月８日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１４℃、昼２１℃、夜１７℃
です。
　今日もいい天気ですね。
気分も晴れ晴れ、いい仕事ができますね。

マスフローの耐圧に関する誤解 （ＭＦＣ）

Decoの恐怖体験をお話しましょう〜後編　（MFC/MFM）

2009年4月 1日 12:53

　マスフロコントローラーのお話もこれで四十話目です。
年度改めの４月１日、気分一新で今日も Decoさんに
ご登場いただきましょう！

第40夜　Decoの恐怖体験をお話しましょう〜後編

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第40夜です。

　早いもので４月になりました。今朝早く電車に乗ったところ、
途中から普段よりも混み合ってきました。新入社員とおぼしき
集団が乗ってきたりしましたが、まだ満員電車中での勝手が
わからず、ドタバタしているのを尻目にDecoは寝不足から爆
睡していました。

　さて、今夜は前回の続きです。某メーカーさんに同僚の売った
水素（H2）1000SLMクラスのMFCの不調を確認に行ったDecoは
流し始めに水素が大量に流れて配管鳴りで地鳴りのような轟音
が居室に響き渡るという恐ろしい体験をし、MFCのバルブ強制閉
入力を使って、上流バルブを閉める際には、MFCのバルブも閉め
ることで応急処置したのですが・・・
　お昼になったので1半ほど休憩して、もう一度午後確認だけを
やって帰るつもりで、お客さんと再度水素を流したところ、なぜか
また轟音が・・・
　MFCの制御バルブを閉にする回路の操作は問題なく動作してい
ます。はて？とお客さんと首をひねり、バルブの構造図をにらむ事
数分・・・Decoの頭にあることがひらめきました。

「しまった！水素だからだ！」この大流量のMFCのバルブは、前々
回お話したソレノイドバルブと空圧アクチュエータを組み合わせで、
流れてくるガスを分岐して、空圧アクチュエータの圧力室に送り込
み、パイロットバルブであるソレノイドを開閉することで圧力室の圧
を調整してメインの制御バルブを開閉する方法です。メインの空圧
アクチュエータは圧力室のガス圧の高低でゴムダイヤフラムを介し
て制御バルブを動作させるのですが、今回のガスは水素。水素は
小さなガスなので、締め切った流量制御バルブのわずかな隙間か
らでも下流へ流れ出してしまいます。午前中バルブを閉じた実験を
した際は、短い時間だったのであまり漏れてなかったのが、お昼を
のんびり頂いた後の確認作業では、MFCのバルブから下流への漏
れが始まってしまったのです。通常のMFCでしたら、それでも制御
バルブが全開になることは無いのですが、このタイプは上流のガス
圧でバルブを動かしていますから、MFCの上流のシャット弁を閉めた
状態で、MFCの制御バルブから水素が漏れ出してしまえば、MFCと
シャット弁の間の圧力は低下してしまい、最後には圧力室の水素も
抜けてしまい、制御バルブを全閉状態で保つことができなくなってし
まったのでした。

　いやはや、Decoもまだまだ若くて、甘かったですね。このまま気づ
かずに水素が二次側に流れ続けるだけでなく、どこかで外部に漏れ
ていたらと思うとゾッとします。にわか兵法は事故の元です。皆さん
も配管制御機器の正しい扱い方、できること、できないことを理解い
ただいた上で、安全にお使いください！それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

今日のポイント
「正しい扱い方、できること、できないことを理解い
　ただいた上で、安全にお使いください。」
これは大事です！
目の前のガス機器、大丈夫ですか？

高圧ガスのご注文、配達、指定場所への搬入など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご連絡ください。
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　４月１日　水曜日
　天気　雨のち曇り
　ボンベ庫の温度　朝８℃、昼１１℃、夜９℃
です。
　新入社員さんが通勤電車に乗り込んで、社会勉強の
入口を楽しんでいる様子がそこここで見られました。
私も出勤初日は緊張したよなぁ〜。
新社会人のみなさん、お仕事がんばってくださいね！

Decoの恐怖体験をお話しましょう〜後編　（MFC/MFM）

第38夜　親亀の上に小亀が乗って・・・バルブ編　(MFC/MFM)

2009年3月18日 20:43

週間「マスフロー」ともいえるこのコーナーも３８回目になります。
講師の Decoさんご自身も、後世に技術を伝承すべく、あつい想い
で投稿いただいております。それではいってみましょう！

第38夜　親亀の上に小亀が乗って・・・バルブ編

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第38夜です。

　原稿を書いている現在はWBCの話題で持ちきりです。やはり日本人
は野球が好きなのだな〜と実感しています。折も折、道頓堀川で行方
不明だったカーネルサンダース人形も発見されましたね。川の流れとは
いえ大きな流れ、たまらず流されていたようですね。

　さて、大流量MFCと言いながら、今までは流量センシング(MFM)の部
分のみをお話してきましたが、今日はMFCのもう一つの要素であるバル
ブのお話です。
　大流量MFCにとって、一番難しいのは制御バルブの部分になります。
前にMFCのバルブ構造に関してお話しましたが、MFCのバルブは基本
的に100SCCM程度のミクロンオーダーの流量でガスを漏らすように流す
構造ですので、大きな流量を供給するのにはかなり難しい構造です。
1000SLMといえば1万倍の流量になります。こういった流量では当然、
求められる構造も変わってくるのです。

　MFCで100SLM以上の大流量制御に使用されるアクチュエータは、ほと
んどソレノイドタイプです。ピエゾはパワーもあり、分解能もいいアクチュエ
ータですが、残念ながらストロークが短く、何段も積み重ねても大流量に
使うには難しいのです。
　その点、ソレノイドは電磁力で引っ張りあげるタイプですから、コイルの巻
き数を増やし、流す電流を増やせば、起磁力が大きくなり、なんとかなるの
です。

　その方式は色々です。まず、スタンダードな方法では、上記の原理でソレ
ノイドバルブ自体の起磁力を増やします。通常のMFCでは電源から供給さ
れる±15VDCのうちマイナス側のみを使ってソレノイドの制御を行っていた
のを、大流量ではプラス側も使って、あわせて最大30Vの電圧でコントロー
ルしたりするメーカーさんもあります。消費電流量はかなり大きくなりますが・・・

　もう1つはユニークな方法で、ソレノイドと空圧アクチュエータを組み合わせ、
流れるガスの圧力を使って空圧アクチュエータを開閉する方法です。ここで
ソレノイドは空圧アクチュエータの内圧を制御するパイロットバルブとしての
み動作し、流量制御は空圧アクチュエータが受け持ちます。その姿はまさ
に親亀の上に小亀が乗っているが如しで、よほどこの業界の設計者はこの
スタイルが好きみたいですね。本方式はかなり大きな流量に対応できます
が、半面応答速度の問題、ガス制限、メタルシール化不可、バルブの締め
切り性能低下などの問題も抱えています。

次回はそのあたりをDecoの恐怖体験を交えて、詳しくお話しましょう。

それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

MFC/MFMも設計者の思想が形になったものなんですね。
マスフローは、四角四面のただのガス機器ではなく、愛情
が込められた結晶なんですね。勉強になります。

ガス供給設備、ガス配管工事、高圧ガスのご用意のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は？
　３月１８日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝９℃、昼１８℃、夜１４．５℃
です。
　先日、JR福島駅に行きました。
新幹線ホームで待合していると、新幹線が通り過ぎていきました。
同じ感覚を昔の国鉄 浦和駅で感じたことがあります。
「県庁所在地に電車が止まらない！」
昔の話です。
武蔵野線も大雨でよく運休してましたからね。

第38夜　親亀の上に小亀が乗って・・・バルブ編　(MFC/MFM)

大流量MFC/MFMはすごく場所をとるんです　（マスフロコントローラー）

2009年3月11日 20:26

　ガス、液体、蒸気など流体制御のことならMFC/MFM博士の
Decoさんにお任せしましょう！それでは毎週水曜日のお楽しみ
講座のはじまりはじまり。

第37夜　大流量MFC/MFMはすごく場所をとるんです
　
皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第37夜です。

　さて、これらの大流量MFMを実際に使用する際にはいくつか
注意事項があります。
　その一つは前後の配管方法です。大流量MFMは設置する際
にその前後に一定の直管部分が必要になるものが多いです。
つまりいきなり曲がりくねった配管で接続してはいけないという
お約束があるのです。

図は一例です。この例の大流量MFMは配管径 φD の ｎ 倍長さ
の直管を上流側と下流側に設けて設置されていますね。この n 倍
数はメーカーさんによっても若干異なると思いますし、諸条件も様々
ですので、設置時は必ず各MFCメーカーさんの取扱説明書を熟読
してください。（あくまで、この図は説明為の一例です。）

　ただでさえスペースをとる大きなものなのに・・・というため息が
聞こえてきそうですが、正確な流量測定にはこれはかかせません。
なぜならこの直管部分こそが、流れを層流化するMFM前段の層流
素子の役割を果たすからです。流れというものは曲がりがあると必
ず乱れます。乱流のままMFMに入ってくると、二段階分流の最初の
分流段階で既にうまく分流できないことになり、本来二段階の分流
が正確に行われているという仮定で分流比から流量を導き出してい
る流量計測自体に問題を生じるのです。

　これは二段階式分流方式のMFCに限ったことではなく、あらゆる流
量で本来は発生する問題です。ただ、大流量になればなるほど(正確
には配管径と流れる流量の相関になりますが)影響が大きいと考えて
いただいて良いと思います。それでは、また。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

マスフロコントローラーの取り付け配管を、取扱説明書もよく
読みもせず、梱包箱がまとめてそのままゴミに行くような状況
では？
IN、OUTのレイアウトまで考えて施行していますかね？
ＭＦＣ・ＭＦＭは、備付けの取扱説明書をよく読み正しく使いましょう！

ガス流量計、ガス圧力調整器、ガス遮断弁、ガス安全弁
ガス流量制御機器のことなら、川口液化ケミカル株式会社
まで、どうぞご相談ください。
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ありがとうございます

今日の川口のお天気は？
　３月１１日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝５℃、昼９℃、夜８℃
です。
　今日は、群馬伊勢崎で赤城下ろしを体感してました。
強風に冷たい風。
最強ですね！

夜空も雲が吹き飛ばされて、綺麗な月光を拝ませていただきました。

大流量MFC/MFMはすごく場所をとるんです　（マスフロコントローラー）

続・親亀の上に小亀が乗って　（MFC/MFM）

2009年3月 4日 12:00

　流量計というと浮子式（フロート式）のパージメーターが
一般的です。見た目にガスが流れているか分かりますし
ツマミを操作すれば流量が簡単に設定できるのが特徴です。
　ですが、装置などで自動化した制御系でプログラムコント
ロールされたガス制御が必要な場合には、流量を自動で
可変できる流量計が必要となります。その場合に適当な
ガス流量制御機器がマスフロコントローラーです。
　このマスフロコントローラー・マスフロメーターに関する細か
な説明を毎週一回お知らせしているのがこのコーナーです。
それでは講師の Decoさま よろしくお願い致します。

第36夜　続・親亀の上に小亀が乗って

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第36夜です。
3月に入って、受験シーズンも終了間際になってきたのではな
いでしょうか？受験勉強の時、「わからないことはそのままに
せず、よく復習し理解してから、次に進みましょう！」と言われ
ましたが、大人になるとすぐわかったつもりになって、進むこと
を優先してしまいがちですね・・・

　さて、今夜からは大流量MFCの取り扱い上の注意点をお話
させていただくつもりでしたが、その前に・・・先夜ご紹介した
「とあるメーカーさんの大流量MFC「親亀の上に小亀が乗って・・・」
タイプの構造が今ひとつピンとこない」というご質問をいただき
ましたので、再度図を使ってご説明しましょう。

　このタイプは、図のように太い配管の上に乗ったMFMで構成
されています。この太い配管は、ただの直管ではなく、中に層
流素子が仕込まれており、その前後に直角方向に配管が伸び
てMFMと繋がるようになっています。
　配管を流れてきたガスは、まずバイパス１手前で分流され、
大部分のガスはそのまま直管部分に流れます。分岐された一部
のガスは、次はバイパス2の前で分流され、大部分はバイパス2
を、そしてその一部がセンサー管を通過する形になります。つまり
「二段階分流」を行うことで、センサー管内を流れるガス量を制限
して、層流化し、正確な計測を行っているのでした。

　センサー管とバイパスで構成される熱線式タイプのMFC/MFMは、
「センサー管内を層流にする」という制約で縛られるため、大流量
になればなるほど大掛かりな分流構造が必要になります。でも、
大掛かりなのはMFCの構造だけではなく、その周辺もそうなのです。
次回からは大流量MFC取り扱い方法のお話です。それでは、また。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

流量制御のマスフロコントローラーに関することなら
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ありがとうごいます

今日の埼玉川口のお天気は？
　3月4日　水曜日
　天気　くもり後雨
　ボンベ庫の温度　朝２℃、昼６℃、夜６．５℃
です。
　野球の世界一を決める決戦が間近に迫っています。
選手の一挙手一投足が、良くも悪くも報道されています。
イチローさんは、騒がれてもいつも変わらない。
これはとても凄いことだと思います。
ブレない、動じないでいられれば、あとは試合をするだけです。

続・親亀の上に小亀が乗って　（MFC/MFM）

親亀の上に小亀が乗って （ﾏｽﾌﾛｺﾝﾛﾄｰﾗｰ）

2009年2月25日 18:40

　千夜一夜として始まったこのコーナーは、Decoさんの
想いと先輩諸氏の経験と血と汗の結晶なのだそうです。
一朝一夕には何事もいかないということでしょうかね。
さて今回はどんな話でしょうね。

第35夜　親亀の上に小亀が乗って

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第35夜です。
不景気の中、環境への公共投資が色々と積極的に議論され
る中で、最近あちこちで取り上げられている言葉に「直流給電」
があります。通信業界では以前からよく語られている言葉です
が、結構これが不況脱出のキーワードではないか？とDecoは
思ったりしています。

　今まで延々とMFCのバイパス周りのお話をしてきました。
「元々は大流量MFCの話ではなかったのかな？Decoさん、脱
線しすぎ？」と思われている方もおられるかもしれませんが、実
は「バイパス」「分流」は大流量MFCを理解する為のキーワード
なのです。

　今までのお話で「センサー管に流れる流量は、管内を層流に
保つため、微少流量に制限され、そこに流せない流量は分流し
バイパスへ流す。」というお話をしてきました。そしてその方法は
「センサー管と同じ径の管を並べる方法が理想論的だが、現実
は流量が大きくなると擬似的な役割を果たす手法で代替する。」
というものでした。
　この考え方でフルスケール500L/min程度のMFC/MFMはなん
とか作っていけます。(構造上難しいメーカーもありますが・・・)　
ところが、それ以上になってくると、なかなか厳しいものなのです。
特に「MFCが無理なら、計るだけのMFMでいいから！」という声
は現実に存在するのですが、それでもこのクラス以上の流量ライ
ンナップを持つメーカーが世界的にも数社しかないことからも、そ
の難しさが推して計れる気がします。

　あるメーカーさんは非常にユニークな発想でこの問題を解決され
ています。
　通常サイズのMFM、ここには当然センサーとバイパスがあり、
流量を分流しています。さらにそのMFMのガス入口、出口をエル
ボーで直角に下に出し、太い配管パーツと接続します。この太い
配管は通常の配管ではなく、バイパス＝分流素子を仕込んであり、
上に設置したMFMへある分流比で流体を流し込む仕組みになって
おり、それ自体が大流量MFMを構成するエレメントとなっているの
です。二段階に分流した結果、センサー管に流れる流量を微少に
抑え層流化することができました。その二段階分の分流比を計算
することで大流量を測定する手法ですね。半ば強引な発送ですが、
製品化を実現するところに敬服します。見かけはまさに「親亀の上
に小亀が乗って・・・」という絵柄なのですが、発想のストレートさと
バリエーション展開の容易さにアメリカの合理的な設計思想が読み
取れ、面白いと思いますね。

それでは、また。
(参考URL) http://www.teledyne-hi.com/products/200-series.htm
Teledyne Hasting Instruments のHP 型式HFM-200 with Laminar Flow Element

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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今日の埼玉のお天気は？
　２月２５日　水曜日
　天気　あめ
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝４℃、昼５℃
です。
　オバマ大統領のスピーチが、日本では昼飯前に
アメリカではゴールデンタイムに、放映されました。
経済再生と現状に負荷を残さない強い意志を秘めた
内容に感じました。
特権階級の聖域を認めず、銀行が自由に儲けることを
善しとせず、子供たちが生きる力になれる強いアメリカに
再生する。
とても強いメッセージです。

親亀の上に小亀が乗って （ﾏｽﾌﾛｺﾝﾛﾄｰﾗｰ）

MFCについているフィルターを当てにしてはいけません

2009年2月18日 19:50

　ガスの流量制御に欠かせない流量計でもマスフロコントロー
ラーは、精密機器です。ガス配管系統のIN,OUTと細心の注意
が必要なことがあります。それでは今日の解説をDecoさんお願
い致します。

第34夜　MFCについているフィルターを当てにしてはいけません

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第34夜です。
　風邪薬のせいか？呑みすぎか？呂律の回らない記者会見対応
で国民から｢日本の恥さらし！｣等と罵倒され、辞任に追い込まれた
大臣がいましたね。Decoもニュースで見ましたが、あれは誰か止め
なくちゃいけません。例え大臣であろうと、正すべきことは正す、それ
ができなくて、あのような映像を世界に晒してしまうことは、その場の
全員の責任です。

　さて、正すべきことは正すということで、センサー管とバイパスの
「分流」に絡んでMFCの使い方で一部に誤った認識があるようです
ので、ここで取り上げさせてもらいます。たまにお客様から「そちらの
MFCにはフィルターはついていますか？」という問い合わせを頂きま
す。「付いていますよ。」とお答えすると、「じゃあMFCの上流にフィル
ターは要らないね。」とおっしゃります。すかさずDecoは「いえ、付け
てください。」と切り返して、お客様は？？となってしまわれます。フィ
ルターは配管内のゴミをトラップして、下流に流さないようにするもの
・・・それがMFCに内蔵されているなら一石二鳥！となりそうなもので
すが、何がいけないのでしょうか？

　一部のMFCではMFCの入口継手の奥、センサー管とバイパスの
分流する前にフィルターが設置されています。このフィルターは確か
に1mmφ以下の細管であるセンサー管とバイパスに上流からゴミが
入らないようにする役割もあるのですが、あくまで補助的的なものな
のです。

　本来の設置目的は、配管状況や圧力の変動でMFCに入り込んで
くる流体の流れが乱流となっている際にも正常にセンサーとバイパス
に層流を作り出すためなのです。バイパスがセンサーに層流を作るた
めの第1層流素子なら、このフィルターは第2層流素子のようなもので
す。このフィルターに大きなゴミが付着してしまうと図のようにフィルタ
ーを通ってせっかく整流されるはずの流体が、逆に大きく乱れてしま
うことになりかねません。そうするとメーカー出荷時のセンサーとバイ
パスの分流比が崩れたり、センサー管内部に層流ができなくなってし
まいます。これでは正確な流量測定はおぼつかなくなり、いつの間に
かMFCの制御している流量が使い始めたころより外れてしまう・・・と
いった現象が起きてしまうかもしれません。それに一体型だとお得に
思えても、いちいちフィルター交換の都度、高額なMFCを交換するなん
てナンセンスですよね？

　なかなか柳の下に二匹目はいないものです。MFCをお使いになる際
は、配管ラインのトータル圧力損失と、想定されるゴミの粒径に応じた
フィルターを選定ください。お困りになられたら、川口液化ケミカルさん
にご相談を！
　では、次回はやっと大流量MFCのお話に戻れ・・・そうです(汗　それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

ガスフィルターのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　２月１８日　水曜日
　天気　はれ
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝１℃、昼６℃、夜６℃
です。
　今日の朝方の高速道路からの富士山は
とても綺麗でしたよ！
まだまだ真っ白な景色は、なにかスウィーツのようでもあり
おいしそうに感じるのは私だけです。

MFCについているフィルターを当てにしてはいけません

理想をとるか？現実をとるか？これが問題です 　ＭＦＣ／ＭＦＭ

2009年2月11日 17:26

　ガスの質量流量計であるマスフロコントローラーの解説シリーズ
第三十三回目です。また深いお話のようですが、ついていけるかな？
それでは、Decoさんよろしくお願い致します！

第33夜　理想をとるか？現実をとるか？これが問題です
　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第33夜です。
先日、静岡までドライブして来ました。清水市のとある施設に
寄った際に、駐車場の駐車券と駐車料金の清算を車載のETC
でできるシステムがあり、驚きました。登録制なので、旅行者の
車がすぐ使えるわけではないのですが、「ETCは高速用」という
観念を打ち砕かれた気分でした。

　前夜はセンサー管に流れる流量以上のMFCを作るには、セン
サー管と同じ太さのバイパスを何本か設ければいい、というお話
でした。じゃあ、それが何十万本になっちゃってもいいの？という
と、さすがに20万本近い細管を数えて詰める仕事をしなさい！と
言われたら実際の作業としてはつらいですね。

　そこはMFCメーカーも考えます。要はある流量を流す組み合わ
せで、センサー管に流れる流量とバイパス部に流れる流量の比
率が常に一定になればいいのだから、真正直に同じ太さの管を
たくさん用意しなくても、同じような性能を出せる代用品を探せば
いいじゃないか？という発想がでてきました。

　例えばそれは、焼結フィルターのような流体がある抵抗を受けて
通過するものであったり、または細かいピッチで凸凹の断面に折り
曲げた薄い板材を丸めたものだったり、複雑なＲ形状で構成された
SUSの削りだしブロックを使ったり・・・とにかく色々なものをメーカー
の工夫で開発して、採用しています。
　また、メーカーによっては、センサー管にも細工をして、微少流量
のものよりセンサー管を長くしたり、入り口を細くしたりしているとこ
ろもあります。センサー管を長くor細くすることにより、センサー管の
流路抵抗を増やし、バイパスとの「分流比」を変化させ、同じバイパ
スとの組み合わせでも、バイパス側にたくさん流量が流れる組み合
わせにするのが狙いです。

　ただ、こういった代替品や分流比をいじるやり方は、温度、圧力、
前後配管の状況等により流れ込んでくる流体の状況が異なる種々
の状況において、常に理想的なセンサーとバイパスの分流比を維
持できない場合もあり、精度、再現性で微少流量ほどのスペックを
発揮できない原因になることもあります。その為か？他の理由か？
こういった代替品やセンサー管への工夫を一切用いず、あくまで原理
原則に忠実にやっているメーカーさんもあります。どちらがいいとも言
いにくいのが本音ですね。

さて次回はセンサー管とバイパスの「分流」に関して、もう少しお話し
ます。それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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ありがとうございます

今日のさいたまのお天気は？
　２月１１日　水曜日（建国記念日）
　天気　曇り
　気温　７℃（PM5:30）
です。
　中国のビル火災の映像をご覧になった方も
多いでしょう。
春節の大型花火を建設途中のビル直近で
行政府の警告を無視してバンバン打ち上げた
挙句の大火事のようです。
着火から消失まで３０分とか・・・。
さながら映画のワンシーンのような様子でしたね。

理想をとるか？現実をとるか？これが問題です 　ＭＦＣ／ＭＦＭ

交通渋滞したらバイパスを作ればいいんですよ　（MFC/MFM）

2009年2月 4日 19:00

　ガス流量制御の機器をきめ細かく解説するシリーズ第三十二回目。
今回もどこまで深掘りするのか楽しみですね！では、Deco先生よろし
くお願い致します。

第32夜　交通渋滞したらバイパスを作ればいいんですよ

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第32夜です。
浅間山が噴火しましたね。なにやら騒がしい火山列島日本です。関東
で火山灰を心配することになろうとは、思いもよりませんでした。

　さて、「層流を作るための素子」である「層流素子（バイパス）」のお話
です。
　前のお話で「センサーの細い管を臨界レイノルズ数以下の状態に保て
る流速で流せる流量というのは、自ずと制限されてしまい、10SCCM以
下になってしまう」というお話をしました。つまりセンサー管だけでは、多
くてフルスケール10SCCM用のMFCしか作れなくなってしまう訳で、これ
では困りますね。

　そこで考え出されたのが、センサー管と同じ口径のパイプを設置して流
れを分岐し、そこに流量をバイパスさせる方法です。身近な例で考えると
道路幅が狭い国道＊号に車の流れが集中してくると、新しく広い車線の
多い国道＊号線バイパスってできて分岐しますよね？あんな感じで考え
てください。

　考え方を図でご説明しましょう。この図は、特定のメーカーの構造を示し
たものではなく、あくまで説明用の架空例であることをお断りしておきます。
図では計算を簡単にするために仮にセンサー管に流す流量を5SCCMと仮
定しています。
　図1の場合、20SCCMのMFCを構成する場合の組み合わせになります。
（センサー管5SCCM）＋（バイパス管5SCCM×3本=15SCCM）＝20SCCM
となります。

　では、100倍の流量である2SLM＝2000SCCMの場合はどうなるか？とい
うと図2になります。
（センサー管5SCCM）＋（バイパス管5SCCM×399本＝1995SCCM）＝2000SCCM　　　となるのです。

案外簡単なものですね？

じゃあ、この調子で1000SLMのMFCを作るとすると・・・
1000SLM＝1,000,000SCCMだから、センサー管の分5SCCMを引くと
999,995SCCMをバイパスさせればいいので、バイパス管の本数は
999,995SCCM／5SCCM＝199,999本か・・・え〜〜〜っ！１９万９９９９本！！
本当に1台のMFCにそんなに入っているのでしょうか？工場の製造
さんは層流素子の工程でバイパスの本数数えるだけで大変ですよね？
どうなっているのでしょう？

このお話の続きは次回。それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

さて、いったいどんな内部構造になっているのやら？
マスフロコントローラーはいろいろな試行錯誤のなかで
進化したスーパーガス機器マテリアルなんですね！

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　２月４日　水曜日
　天気　はれ
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝５℃、昼８℃
です。
　国会で論戦が展開されています。
民主党の菅さんも一生懸命くいさがってます。
いずれにせよ、緊急事態にどんな結果を議員さんたちは
導き出すのでしょう！

交通渋滞したらバイパスを作ればいいんですよ　（MFC/MFM）

「層流」を作らなくては、流量は測定できない！（ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

2009年1月28日 14:11

ガス流量を測定しコントロールする精度の高い流量計である
マスフロコントローラーは、一見するとただの箱です。これを
やさしく解説いただくシリーズ第３１回目です。今日は
難しかな？

第31夜　「層流」を作らなくては、流量は測定できない！

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第31夜です。
川口液化ケミカル?さんのHPがリニューアルされました。MFC
関連のコーナーも設けられ、これからますます充実していくよう
ですね。マスフロー千夜一夜物語も負けずにがんばりたいと思
います。

　さて、今晩のマスフロー千夜一夜物語は「層流素子（バイパス）」
に関するお話です。「層流素子」というパーツは、MFCの入り口側
流量センサーの下に位置していて、入ってきた流体をセンサー管
と分流しています。わざわざ分流する意味は、センサー管に流量を
測定するのに最適な状態で流体を流し込むためなのです。
では、流量を測定する上で「最適な状態」とはなんでしょうか？

　ここでマスフローに使われる熱線式流量センサーの原理に立ち
返っていただくことになるのですが、測定原理のお話をした際に

「・・・上流側ヒーターと下流側のそれとの間に生じた温度差は
　流れる気体の質量流量に比例することを利用して流量を測定
　する。」

というご説明をしたと思います。実は温度差が質量流量に比例
する関係が成立するのには、ひとつの絶対条件があるのです。
それがセンサー管内の流体の流れが「層流」であることです。

「層流」という言葉をご説明しましょう。

　この対になる言葉は「乱流」です。簡単な例えをお話しますと、
小川が流れている状態を思い浮かべていただければと思います。
ここに葉っぱ(昔は笹船というのがありましたが)を流してみると、
流れが穏やかなとき（＝流速が遅いとき）は、姿勢を乱さずまっ
すぐ流れていきます。ところが流れが激しくなると（＝流速が速い
とき）、葉っぱはクルクルと回転したり、蛇行したりしながら流れて
いってしまいます。前者の状態を「層流」、後者の状態を「乱流」と
言います。
　この状態は「レイノルズ数」で表現され、層流から流速が上がっ
て乱流になる状態を｢臨界レイノルズ数｣で表します。

　流量を測定する上で「最適な状態」である層流状態を作り出し、
なおかつセンサー管の外周に巻かれたヒーターから与える熱を確
実に流体に伝えるために、MFCのセンサー管は内径0.4?0.8mm
程度の細い筒に設計されています。この細い管を臨界レイノルズ数
以下の状態に保てる流速で流せる流量というのは、自ずと制限され
てしまい、10SCCM以下の微少流量しか流せません。これでは10
SCCM以上のMFCは作れないし、1000SLMの大流量なんて夢のま
た夢です。ここに「層流を作るための素子」の存在がクローズアップ
されてくるのでした。ここでお話は次回に続きます。それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る?マスフロー千夜一夜物語】

MFC・MFMのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞ、ご相談ください。
TEL　０５０?８８８１?７３９３

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今日の埼玉のお天気は？
　1月28日水曜日
　今日の天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝４℃、昼６℃、夜７℃
です。
　2009年の新年を迎え、会社関係の新年会や会合も
そろそろ落着きをみせています。
急激な経済情勢から生産体制や販売体制、来期の
予算編成など大きな変化がありそうですね。
「変化はチャンス！」
にできるといいですね。

「層流」を作らなくては、流量は測定できない！（ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

大流量MFCの秘密＝層流素子（バイパス）とは？ （MFC）

2009年1月21日 18:54

　ガス流量計のマスフロコントローラーを解説していただく
シリーズ第３０回目になります。専門知識の集合体である
MFCを解説できる Decoさんの親切丁寧な説明で、皆さん
プロフェッショナルになりましょう！

第30夜　大流量MFCの秘密＝層流素子（バイパス）とは？

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第30夜です。
未曾有の不況の中、第44代米国大統領にバラク・オバマ氏が
就任しましたね。彼のスピーチのうまさは有名ですが、日本で
も大統領就任演説のCDの予約がすごい勢いで増えているよう
です。確かに、かのキング牧師のスピーチに似せた、簡易な単
語を繰り返していくスピーチは、非常に人の心をつかむものでし
たね。

　さて、今晩のマスフロー千夜一夜物語は大流量MFCの構造に
関してのお話です。
　実は大流量MFCのお話をするに当たって、もう一度MFCの基礎
についてのお話を繰り返させていただきまくことになります。この
物語の「流量センサー」に関して説明している部分に戻っていただ
き、繰り返し読んでいただけるとわかりやすいかもしれません。

　MFCは 「径の細いセンサー管に2対のヒーターが設置され、同じ
温度に制御されている。そのセンサー管に気体を流すと、上流側
のヒーターの温度は奪われて下降し、逆に下流側は上流側のヒー
ターから奪われた熱が加温され上昇する。この時上流側ヒーター
と下流側のそれとの間に生じた温度差は、流れる気体の質量流量
に比例することを利用して流量を測定する。」 前に掲載しました「M
FCの構造」という図の流量センサーという部分の説明です。

　ところでこの図を見ていただくと、MFCに入ったガスは全部流量セ
ンサーに行くのではなく、分岐していることがわかると思います。この
分岐した流量センサーの真下の部分に今回は「層流素子（バイパス）」
というキャプションをつけさせていただきました。実は前回までのMFC
の基礎をご説明する上では割愛した箇所なのですが、こと話が大流量
MFCに及んでくると、この部分が非常に大きな役割を果たすことになり
ますので、この場でご説明いたします。
　実はMFCに使用される流量センサーは、MFCの中を流れる流量の
全て測っているわけではありません。どんな大きな流量のMFCでも、
センサー管の中に流れる流量は10SCCM以下の微少流量なのです。
残りの流量は分岐して「層流素子（バイパス）」に流れています。どちら
かというと流量センサー管がほんの一部の流れをサンプリング測定して
いるような構成です。　

なぜ？　このような構造なのか？

　その答えは「層流素子」という言葉がいみじくも表現しています。
このセンサー管と組んで大部分の流量を流している「層流素子（バイ
パス）」という部分は、実はそれ自身に「層流」を作るためではなく、相
棒である流量センサー管内部に「層流」を作るために、余計な流れを
「バイパス」している部品なのでした。

「えっ？層流ってそもそもなに？」
「そもそもなぜセンサー管内に層流が必要なの？」

といったご質問には、次週以降お答えしていきますね。それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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今日の埼玉のお天気は？
　１月２１日　水曜日
　天気　曇り
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝５℃、昼７℃、夜６℃
です。
　さあ！オバマ大統領の登場です。
日本もいろいろな変革を求められる大事な時代に
突入しています。意識、考え方、常識などが
ひっくり返るかもしれません。
とにかく、今の混沌とした行き止まりのような状況に
一石を投じられる出来事であることに変わりはありませんね。

大流量MFCの秘密＝層流素子（バイパス）とは？ （MFC）

僕達って何もかもがビックサイズ？　（マスフロコントローラー）

2009年1月14日 17:51

　マスフロコントローラーの解説シリーズが始まって早くも
第二十九回目となります。このコーナーをご覧の方が少な
からずいらっしゃることを巷でも耳にするようになりました。
Decoさんの経験と知識にはいつもながら驚かされるばかり
です。では、今回も宜しくお願い致します。

第29夜　僕達って何もかもがビックサイズ？

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第29夜です。
年明けおっとり構えていたら、もう成人の日も過ぎ、あわただし
い日常に戻りつつあります。お屠蘇気分からは、そろそろ醒め
ないといけませんね！
　さて、千夜一夜物語も年末年始MFCのマーケットを少し眺めて
きましたが、ここらでまたMFCの技術的な側面のお話に戻ってみ
たいと思います。

　色々とあるMFCの用途でも、大流量制御を必要とする用途が
種々あります。ここで言う大流量とは、50SLM以上の流量域の
ことです。(MFC以外の流体制御の世界では、50L/min程度は
大流量ではないという世界あるものですから・・・)
　なぜ50SLMで区切るかといいますと、MFCの構造が大きく変
わってくるのが、大体このあたりの流量だからです。

　どこが変わるといいますと、流量制御バルブ・アクチュエータ部
分と、層流素子（分流素子、バイパス部分とも言います）を搭載し
たボディサイズと、その前後に伸びる長い直管部分です。
　「へ〜そうなのか。」と思われても、実際に1000SLMレベルの
大流量MFCを見たことがない方々にはイメージが沸きにくいかと
思います。

　人間の目に訴えるのは、やはり見た目＝物のサイズだと思い
ますので、比較しますと通常のMFCが1/4インチ配管で接続され
たお弁当箱サイズなのに対して、大流量用は1/2、3/4インチ、い
やそれ以上の太く長い配管＝筒の付いた重たい金属の塊です。
それはまるで戦争映画に出てくるバズーカ砲やロケット砲と言って
も過言ではないのですよ！

　その昔、真夏にDecoはレンタカーに2台の大流量MFCを積んで
1日がかりで納品に行きました。前後の直管部分を入れると、普
通のワゴン車ではカーゴからはみ出してしまうくらいのもので、重
さも一人で2台（というかバズーカを2本）を担ぐのは若い男でも悲
鳴をあげるくらいのものでした。それを暑い中、お客様の工場の
駐車場から現場まで1ｋｍくらい持って歩いたのですが、途中から
大汗をかいて、半ば意識が朦朧とする仕事でした。それでもがん
ばったのは、実は大流量MFCは、お値段もその大きさに比例して
いい額でして若き日のDecoはそれに目がくらんでいたのですね！

　さて、そんなサイズも値段もビックサイズな大流量用MFC。次週
からは、その構造に秘められた工夫の数々と、不思議をお話ししま
しょう。それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

大流量タイプのマスフロコントローラー、マスフロメーター
圧力調整器、バルブ、圧力計、ボンベマニホールドのことなら
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今日の埼玉のお天気は？
　１月１４日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　昼３℃
です。
　夕方、夕焼けが綺麗でしたね！
空気が乾燥してい風が強いので
遥か彼方まで見通せるほど澄んで
いるのかもしれません。
時として空を見上げると、雲にしろ星にしろ
同じ景色は一度としてないです。
キャンバスは無限大ですし独創的ですよね。

僕達って何もかもがビックサイズ？　（マスフロコントローラー）

MFCは色んな用途で使われているのです

2009年1月 7日 20:07

　今年初めのマスフロコントローラー解説シリーズです。
それではDecoさんよろしくお願い致します。

第28夜　MFCは色んな用途で使われているのです

　皆さん、明けましておめでとうございます。マスフロー千夜
一夜物語　第28夜です。
　実は年明けとともにDecoのPCも新型に変わりまして、心機
一転この原稿を書いております。今年もよろしくお願いいたします。

　さて、MFCの用途に関してお話しすることになっていました。
先日お話した半導体も含めて、ざっと上げてみましょう。

・半導体製造
・液晶/PDP/有機EL製造
・LED製造
・ディスクメディア(CD、MD、DVD、HDD)製造
・環境（ガス製造、排ガス処理）
・分析（ICP-MASS、ガスクロマトグラフ）
・エネルギー（原子力発電、燃料電池、太陽電池）
・宇宙開発
・燃焼（炉、バーナー、溶接）
・真空蒸着、スパッタ
・コーティング（レンズ、ミラーの保護）
・工具（超硬工具）
・医療、製薬
・研究、実験

結構色々とあって、驚かれましたか？

　実はガスを使用する用途では、ほとんどといっていい
ほど、MFCは使用される可能性があるのです。これらの
用途に使用されるMFCの仕様は種々ありまして、流量が
F.S.1SCCMの微少流量から1000SLM以上の大流量、圧
力も高圧から低圧、大気圧、真空の領域まで、ガス種も
一般的な不活性ガスから、レアなガス、毒性や腐食性の
強いガスまで様々です。

　今までお話してきたのはMFCの一般的な構造＝基礎編
でしたが、これからはどちらかというと数は多くないが、非
常に特殊な用途用に特化したMFCのお話を増やしていき
たいと思います。

まず次回から大流量用のMFCに関してお話します。それでは。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

今年は、ＭＦＣを深く解説いただくことになりそうですね。
勉強勉強！！

マスフロコントローラーのことなら川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉のお天気は？
　１月７日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝３℃、昼７℃、夜５℃
です。
　お正月も明けて、実業界もそろそろ本格始動といったところ。
まだまだスタートながら、冬篭りをどう過ごそうかといった
話に終始する年始挨拶が多いようです。

MFCは色んな用途で使われているのです

Speedy Accuracy Maintainability SFC180 Sr

2009年1月 6日 18:39

RoHS 指令対応のスタンダードマスフロコントローラー
　Materials Magic 日立金属株式会社　

アナログ制御技術を蓄積して
　　　新しいマスフローコントローラーを開発いたしました。

真空装置から分析機器まで、多様な用途にご使用いただけます。

・新型流量センサー搭載 ＝ ゼロ点、実流量安定性向上
・精度保証　フルスケールの±１％以内 ＝ 高精度化
・応答性能　１秒以内（0-98% F.S) ＝ 高速応答化
・RoHS 指令対応（対応電源もラインナップ）
※RoHS指令対応コンパクト電源 SPS-831 を使えば
　 簡単接続、簡単制御が可能です。

マスフロコントローラーのご相談のことなら
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今日の川口のお天気は？
　１月６日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝４℃、昼７℃
です。
高校サッカーで鹿児島城西高校に逸材がいるようですね！
卒業後は鹿島アントラーズに入団が決まっているそうで
平山選手以来の得点王にもう一歩まで迫っています。
期待の星☆登場ですね！

Speedy Accuracy Maintainability SFC180 Sr

インターミッション〜大晦日は紅白？MFCは赤黒青白？

2008年12月31日 19:49

　２００８年最終日の川口液化ブログになります。そして、今年
スタートした水曜日連載のマスフロコントローラーに関する解説
シリーズがちょうど年末最後の記事になりました。これも何かの
ご縁だと思います。Decoさんと出会ってかれこれ２０年弱です。
これもなにかのご縁だと思います。
　川口液化のブログをご覧いただけている皆様とのご縁も意図
的なものではなく、風が流れる如く、川が流れる如く自然な流れ
と思います。これからもよろしくお願いいたします。ではDecoさん
締めくくりをお願い致します。

第27夜　インターミッション〜大晦日は紅白？MFCは赤黒青白？

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第27夜です。
今日は2008年の大晦日。奇しくもマスフロー千夜一夜物語がオオ
トリを務めさせていただくことになりました。今回はインターミッション
として、気楽にお話ししてみたいと思います。

　先週のクリスマスイヴや忘年会シーズン。夜、Decoが東京の街を
タクシーで走っていると、六本木ヒルズや表参道ヒルズでは青と白の
明るい照明が目につきました。近年、青色LEDの普及で夜の街のライ
ティングも数年前から鮮やかなブルーが主体になってきました。（この
LEDは、先日の川口液化さんのブログで書いておられるように、化合物
半導体＝MO-CVDで製造されています。）青は犯罪抑止効果も期待で
きるそうですね。

　所を変え、その後Decoは新宿副都心の高層ビルのラウンジで夜景を
眺めていました。眼下の東京という街は、この不景気にもかかわらず、
ライティングで彩られて不夜城を形成していました。暗闇の中にビルの
屋上に点灯する赤いライトが無数に見られ、それが時間に応じて徐々に
消えていく様はすごく綺麗でした。

　昔、Decoの幼少時、大晦日は大掃除を終えて、年越しそばを食べ、そ
の後はコタツでミカンを食べながらNHKの紅白歌合戦を見て、紅組白組の
勝敗を確認して、除夜の鐘の音を聞きながら寝たものでした。最近は紅白
も国民的な行事では無くなってしまったようですが、今年の勝者は、はたし
て紅組でしょうか？白組でしょうか？

　ところでMFCのボディカラーにも各社で特徴的な色があることをご存じで
すか？他の配管機器は基本的に本体がほとんどステンレスで構成されて
いる為、見た目が地味なシルバーのパーツが多い中、MFCは大部分を占
める電装部品を納める部分が、金属や樹脂のケースで覆われているため
自由に塗装や成型色をいじってメーカーの個性を主張できるのです。(もっと
も、ガスシステムに組み込まれた後は、ほとんど外部から見ることは出来な
くなってしまいますが・・・)その色にも特長があって、米国系のMFCメーカー
は、基本的には黒色やメタリック系が多く、逆に日本のメーカーは赤や青の
目立つ色を使っている等、色とりどりです。慣れてくると色でメーカーを見分
けることが出来るようになりますよ。

　個性豊かなMFCの世界。来年いろんな色が各々競い合って、不況にあえぐ
業界を引き上げていきたいものです。次回は、本題に戻りMFCの半導体以外
での用途に関してお話しします。

では、皆さんにとって2009年が良い年になりますように・・・

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】　

それではみなさま、今年一年間おせわになりました。
ありがとうございます。
良いお年をお迎えください。

では。

高圧ガス、真空機器、低温機器、特殊ガス配管工事のことなら
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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　１２月３１日　水曜日
　天気　はれ
　気温　８℃
です。
大晦日のさいたま市は、すっきりはっきり
澄み渡るようなお天気でした！
来年も今日のお天気のように晴々とした
気持ちを自ら発信するよう日々精進してまいります。
川口液化のホームページもぜひとも
よろしくお願い致します。

では。

インターミッション〜大晦日は紅白？MFCは赤黒青白？

ビック３経営破綻に泣かされるMFC

2008年12月24日 18:24

　マスフローの解説シリーズも年末を向かえました。
今回は、時事ネタのようですよ！今が旬の情報まで
お知らせいただける Decoさんは一体何者なんで
しょうね。それではご登場いただきましょう。

第26夜　ビック３経営破綻に泣かされるMFC

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第26夜です。
早い物でこのコーナーを始めさせていただいて半年です。暑い盛
りに書き始めた記憶がありますが、もう今日はクリスマスイブです。
今年後半からの世界的な不況でサンタさん役のお父さん＆お母
さんは渋い表情でしょうね。ご多分に漏れずMFCのメインユーザー
である半導体製造装置向けの需要はかなり冷え込んでおり、各
メーカー共にメリークリスマス！と明るい表情では祝えない状況
かもしれません。

　今回からのマスフロー千夜一夜物語では、いつもの技術談義と
趣を変え、MFCのマーケットの事に関してお話ししましょう。
MFCのメインユーザーは半導体及びその応用技術である電子部品
向けが圧倒的に多いというお話しをしました。ここでいう応用技術に
は液晶、ＬＥＤから今話題の太陽電池まで含みます。実に8割以上
のMFCがここで使用されているわけです。

　半導体といっても色々あるのですが、イメージとしては、電気製品
の中にある基板に乗っている黒くてムカデのようなたくさん銀の足が
出た部品を思い起こして下さい。この中には抵抗、トランジスタ、ダイ
オードのような回路素子が小型化されて詰め込まれています。半導
体製造工程では、MFCで制御された微少な流量のガスをチャンバー
内で化学反応させることで、膜を付ける、削る、を繰り返して、これら
の素子とそれを繋ぐ微細な配線を何層にも堆積していきます。この配
線の幅はmmではなくμm以下の世界で展開されていますから、肉眼
では見えないサイズの無数の素子と配線が、あの黒いムカデには秘
められているのですね。しかも半導体IC（集積回路）はLSI（大規模集
積回路）からVLSI（超大規模集積回路）、ULSI（超々大規模集積回路）
・・・と、どんどん1個当たりに搭載される素子数が増えて行く毎に、
MFCに求められる性能は高くなり、販売量は増えていったのが歴史
です。MFCの特性「遠隔制御、非接触流量測定、高再現性能」がマッ
チした結果です。

　こういった半導体関連部品は、パソコン、ＴＶ、ＨＤＤレコーダー、
ゲーム機、携帯電話、iPOD・・・逆に入っていない物を探すのが難し
いくらいに普及しています。また、家電以外に大きいのは自動車で、
特に最近の車種（ハイブリッド等は顕著）には必ず搭載されエンジン
コントロール全般、ナビゲーション、ETC、エアコン等の制御等に大量
に使われているのです。それは今回の世界不況でアメリカのビック３
が深刻な経営状況に陥った途端に、海を越えた日本の半導体メーカー
の業績も悪化したりするのです。

　では、半導体用途以外の約2割はどんな用途があるのでしょうか？
このお話はまた次回に。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】　

いかがでしたか？
ワールドワイドな視点でのお話が見えてくると、ガス業界のみならず
いわゆる産業界全体の流れも感じられますよね。

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今日の埼玉川口のお天気は？
　１２月２４日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２℃、昼５℃
です。
久々に寒さが戻って、冬らしいクリスマスになりましたね。
青色ＬＥＤが街を照らしていますが、心を静める効果があるようで
街燈に利用した地域で防犯件数が減ったり、自暴自棄になる
方を思いとどまらせる効果もあるのだとか。
サンタさんも青色の服は・・・要りませんね。
やっぱり赤が好きです、ハイ！

ビック３経営破綻に泣かされるMFC

新しいからといって万能ではないのです　（ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

2008年12月17日 17:48

マスフロコントローラーってなんですか？

そういうご質問なら、毎週水曜日に連載中の
「マスフロー千夜一夜」がお薦めです！
作者は、ＭＦＣ／ＭＦＭのことなら知らないことは無い Decoさん です。
では、今週はどんなお話かな？

第25夜　新しいからといって万能ではないのです

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第25夜です。
Decoの学生時代は50cc原動機付き自転車＝「原チャリ」花盛りでした。
ところが最近では免許がいらず、手軽で、エコな電動アシスト付き自転車
にその座を奪われてしまったようですね。
　新しい時代に即した新しい技術を搭載した製品が主流となる・・・
世の中では当たり前のことです。不変な物はないということですね。

　さて、今夜は一連のバルブのまとめとして少しお話しします。
MFCの制御バルブというも

「サーマルアクチュエータ」→「ソレノイドアクチュエータ」→「ピエゾアクチュエータ」

という流れで新しい技術が導入されてきました。
また、アクチュエータの推力が上がることにより、「ダイヤフラム」構造
のバルブが使用されるようになってきました。
それぞれのアクチュエータの構造に合わせて

「ノーマリオープン／ノーマリクローズ」タイプ

のバルブ構造が開発され、ガスシステムで要求される安全仕様に
沿った対応が出来るようになりました。

ですが、最新の技術が全てのアプリケーションに有効かと言われ
れば、そうでもありません。MFCの用途に応じて、流すガス種、
流量レンジはは多岐にわたります。
例えば大流量対応でしたら、ソレノイドアクチュエータのリフト量の
大きさは、ピエゾのそれに勝ります。しかも、500SLM以上の領域
ではソレノイドのだけではなく、ソレノイドをパイロットバルブにして
流体の圧力を利用してメインの空圧バルブをコントロールするような
バルブも存在します。

また、ソレノイドは磁力でバルブをコントロールする為に、強い磁界
を発生させる機器（真空計）と近くでは併設して使用できないとか
ピエゾには湿度が大敵だとか、サーマルアクチュエータの意外な
トラブルとか、MFC黎明期からの色々な先人の経験に基づくあまり
知られていないノウハウもあります。

つまり新しいから良いではなく、各々の製品、技術の特性を理解した
上で、その得意分野で使うこと（＝使いこなすこと）が重要だとDeco
は思います。

次週以降はこういった事例（特にDecoの失敗例ですが・・・）を
紹介していきたいと思いますので、宜しくお願いします。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】　

ガス・液用のマスフロー（計測・制御・供給設備）のことなら
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今日の川口のお天気は？
　１２月１７日　水曜日
　お天気　　雨
　ボンベ庫の温度　朝６℃、昼７℃、夜７℃
です。
今日は朝から冷たい雨が降り続き、底冷えの一日でした。
国立感染症センターでは今日、インフルエンザが流行したことを
発令いたしました。
帰宅後の手洗い、うがいなど、自己管理に努めましょう。

　　

新しいからといって万能ではないのです　（ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

同じ型式でも中味は違う？　(マスフロコントローラー）

2008年12月10日 20:53

　マスフロコントローラーのことなら Deco さんに聞きましょう！
第一回から始まったシリーズも２４回目です。それは始まり始まり！

第24夜　同じ型式でも中味は違う？そりゃまずいでしょ？

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第24夜です。
「セミコンジャパン2008」が終わりました。今年は3日間で来場者
が10万人を割り込んでしまったらしく、世界的な不況の影響をもろ
に受ける形になってしまいました。そんな中、今年もDecoにとっては
懐かしい方々が多数ブースに来場いただきました。特にかってDeco
にMFCのいろはを教授いただいた「師匠」にお会いでき、「ブログ読ん
でいるよ！」と言われたのは、少し恥ずかしかったですね。師匠の教
えに恥じないようがんばります！

　さて、第24夜はノーマリオープン(NO)/ノーマリクローズ(NC)のもう
一つのお話です。
　前夜でNOとNCの用法をお話ししましたが、今回はその構造上の
相違点です。NOタイプのバルブは、非通電時「開」、NCタイプは非通
電時「閉」。ということは、これらのバルブを制御するアクチュエータは
NO用には「全開状態がデフォルトのバルブを押して閉じていくアクチュ
エータ」が必要になり、逆にNC用には「全閉状態がデフォルトのバルブ
を引っ張って開いていくアクチュエータ」が必要になるということになりま
す。

　さて、アクチュエータに関しておさらいです。「サーマルバルブ」のアク
チュエータは熱で膨張しますから「伸びる」タイプですね？「ソレノイドバ
ルブ」のアクチュエータは電磁力で「引っ張る」タイプ。「ピエゾバルブ」は
やはり「伸びる」タイプ。この特性と、NO/NCを組み合わせたときに「全開
状態がデフォルトのバルブを押して閉じていくアクチュエータ」には伸びる
系の「サーマルバルブ」と、「ピエゾバルブ」が、「全閉状態がデフォルトの
バルブを引っ張って開いていくアクチュエータ」には引っ張る系の「ソレノイ
ドバルブ」が向いていることになります。しかし、それでは「サーマルバル
ブ」と、「ピエゾバルブ」、特にNCが常態化してから復旧したピエゾは１：９
でNCが強いこの世界では売れない製品になってしまいますので、色々な
工夫をされています。

　1つの方法は、バルブの構造を「押して、開いていく」構造に転換すること
です。これはバルブを倒置することで可能になります。ただし、その構造は
複雑になりがちで、部品点数が増えることで組立＆調整が複雑になり、接
ガス面積が増え、流路も複雑になりがちです。同じ型式のMFCなのに、NO
とNCでバルブの構造が異なり、結果MFCのガス置換効率等のデータが異
なってしまうという、笑えない状況も起こります。それに対し、もう1つの方法
は、ピエゾ自体の伸びる向きを反転させる方法で「押して（引っ張って）、開
いていく」構造にすることです。これに成功したことで、NO/NCで全く同じバ
ルブ構造になる為、前述の問題点は解消されます。これが現在主流の方式
ですね。

　見えないところで色々と技術の工夫、進化があるのです。　
では、また次週・・・

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】　　

徐々に徐々に専門的になりつつありますが、わからなくなったら
復習で何回か前に戻りましょう！理解すればその先の道理は変
わりませんからね。

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今日の埼玉川口のお天気は？
　１２月１０日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝９℃、昼１２℃、夜１１．５℃
です。
紅葉の葉が、太陽に翳されると真っ赤に輝き
キレイです。
赤色を綺麗と感じるのは、目が機能しているからであって
当たり前ではないんですよね〜
見たくても見えない人もいるんですよね〜
だから、「有り難い」から変化して　「ありがとう」なんですよね。

同じ型式でも中味は違う？　(マスフロコントローラー）

本当に安全なものは？　（ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

2008年12月 3日 11:02

　ＭＦＣの伝道師 Decoさんによる解説シリーズ第二十三回目です。
幕張メッセからの実況解説？のようですよ！では、お願い致します。

第23夜　本当に安全なのは？

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第23夜です。

　今日から幕張メッセで「セミコンジャパン2008」の開催です。今朝は
暗い内に自宅を出て電車の中で日の出を見ながら、幕張までの移動
でした。今年は世界的な不況下で出展を思いとどまられた企業もある
ようですし、出展した企業も経費節減で地味なイメージのブースが多い
ですね。(経費節減はコンパニオン女性の数を見るとすぐわかります。)

　さて、第23夜は前夜の続きでMFCのバルブにノーマリオープン(NO)
/ノーマリクローズ(NC)の違いと用途のお話です。NOタイプとNCタイプの
市場での比率は、おそらく１：９ もしくはそれ以上で圧倒的にNCだと思い
ます。電源供給が遮断された場合に、MFCの制御バルブは閉止し、ガス
が止まって安全であるという考え方が一般的な為です。
　可燃性のガス、腐食性のガスを使われている場合などでは、非常に
納得のいく考え方です。ところがここには盲点があります。MFCのバルブ
というものは、実は制御を目的にしているため、手動弁や空圧弁のような
ガスを締め切る性能は持っていません。近年ではバルブ構造の改良や、
MFC本体にもう一つ閉止弁を内蔵することで、確実に閉止することが可能
な事を謳ったMFCもあります。ですが、多くの一般的なMFCはバルブが閉
止しても微妙に漏れる場合があるのです。
(特に水素やヘリウムのような軽いガスで顕著です。)
その為にMFCの前後には、ガスの流れを確実に閉止できる空圧弁が設置
されるのが常です。

「必ずNC空圧弁を付けなきゃいけないなら、別にMFCがNCである必要はない。」

という考え方の元、NOを使用されるお客様や装置もあります。これは毒性、
腐食性の強いガスを使用されるラインで見掛けられます。例えばMFC内部で
電源供給が遮断されるような電気系の故障が起きた場合、非常に危険な
ガスがMFC周辺の配管に封じられている際に、復旧には、まずそれを安全に
パージ（排除）する必要が生じます。ところがNCのMFC場合、制御バルブは
閉まったままで故障していますので、どうすることも出来なくなってしまいます。
これではMFC内部に残留する危険なガスをパージ出来なくなってしまうのです。
その場合にはNOの方が好ましいという考え方です。

　ただ、この考え方はMFC単体を見た場合で、ガス供給システムとして考えた
場合は、NCのMFCでもバイパス、パージ配管と真空引きを適切に配置・利用
することでこの問題は解決できます。要はガスシステムトータルでの安全を考
えた場合、組み合わされるパーツの本質をよく理解いただき、足らないところを
補っていただくことが、何より大切な安全性をより向上させるということです。
さて、次回はもう一つのNO/NCにまつわるお話しです。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】　　

毎度のことながら、とても勉強になる濃い内容です。
ガスコントロールは、トータルコーディネイトが大切ですね。

ＭＦＣ・ＭＦＭのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
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今日の川口のお天気は？
　１２月３日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝5℃、昼8℃
です。
夜明けの時間、遥か彼方まで澄み渡った空に
とっても透明度の高い、それでいて濃いオレンジ色の
空に染まりました！！！
自然は綺麗だな〜とつくづく感じました。

本当に安全なものは？　（ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

ＮＯ、ＮＣって？　（ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

2008年11月26日 21:39

MFC/MFM について Decoさんに解説いただいているシリーズ
第二十二回目はどんな情報でしょう？
Decoさん教えてください。　よろしくお願い致します。

第22夜　ＮＯ、ＮＣって？

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第22夜です。MFCの
メイン需要先である半導体製造装置向けサプライヤーが一堂に会した
展示会「セミコン ジャパン2008」が来週12/3〜5　幕張メッセで開催され
ます。幕張メッセ全館を使用して年末を飾る恒例の大イベントなのですが
Decoは毎年その準備やなんやで師走より一足早く走り回るのが恒例に
なっています。お時間があれば、ぜひ会場でMFCメーカーさんの展示、
提案内容を見ていただければ幸いです。

　さて、MFCの流量制御バルブを御説明して参りましたが、いざMFCを
購入しよう！とすると、必ず代理店の川口液化ケミカルさんに聞かれる
事があります。

「ノーマリオープンですか？ノーマリクローズですか？」

これってどういう意味でしょうか？はい、これが本日のお題です。

　ノーマリオープンは英語のNormally Open 略してNO、ノーマリ
クローズはNormally Close略してNCです。
実はMFC特有の言葉ではなく、電気回路のスイッチの特性や、
配管関係でしたら電磁弁や空圧弁の特性を表すのに使用され
る言葉です。
　MFCの場合「非通電時にMFCの流量制御バルブがどうなるか？」
を表しています。オープンなら「全開」、クローズなら「全閉」ですね。
その他のバルブも同じで「電力に限らず、動力となる力を遮断したとき
どうなるか？」を表しています。

　ただ、MFCの場合は結構誤解されている事がありまして、例えば
「NOのMFCは待機しているときは常に全開だからガスが一気に流れて
危険ですよね？」という質問をいただくことがあります。これは誤解です。
NO/NCの前提は「非通電時」ですから、MFCに電源が投入されていな
ければ、確かにNOのMFCは全開ですが、電源が投入されていれば、
NOもNCも実は同じ動作をします。MFCは「常に設定信号で与えられた
流量値と流量センサーの出力する値を一致させるように動作する」という
基本原理を思い出して下さい。MFCは常にそのルールに従っているだけ
なので、通電してご使用いただく上ではNO/NCは全く同じだとお考え
下さい。

　では、なぜNO？NC？と聞かれるのかと言えば、MFCを含むガス供給
システムの電源にトラブルが生じ、給電がストップした際に、MFCの流量
制御バルブは全開？全閉？どちらに動いた方がいいですか？という質問
なのです。「そりゃDecoさん！閉める方が安全でしょう？」とおっしゃるかも
しれませんが、実はどちらを安全と考えるかは、そのシステムの用途と設計
により異なります。そのお話はまた次週に・・・

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】　

さらっと読んでしまえる文章量ですが、結構意味深な内容です。
細かな記述を見逃さないでくださいね！

ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ・ﾏｽﾌﾛﾒｰﾀｰのことなら
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今日の埼玉のお天気は？
　１１月２６日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝７℃、昼９℃、夜８℃
です。
今日は暖かい初冬の陽気でしたね。
自転車で手袋なしでもいけちゃう程でした。
熱い寒いはその時々の変化を感じさせる
大切なものですよね！

ＮＯ、ＮＣって？　（ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）

ダイヤフラムとは何ですか？ (MFC)

2008年11月19日 23:23

　マスフロコントローラーの解説シリーズも第二十一回目を
数えます。ここまで教えをいただいたら実践に移したいところ
です。さて、今夜はどんな話でしょうね？

では、Decoさんよろしくお願い致します。

第21夜　ダイヤフラムとは何ですか？

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第21夜です。
朝夕本格的に寒くなってきましたね。昨夜、出張先から帰宅し
ようと、新幹線のホームに立ったら、あまりの寒さに震えてしま
いました。インフルエンザも早々に流行りそうですし、体調は要
注意ですね。

「力持ちなピエゾを使うことが、MFCのバルブ構成でメリットにな
　るのは、「金属ダイヤフラム」型のバルブを形成できることです」

と前夜お話ししましたが、「ダイヤフラム」って何？？とおっしゃる
向きもあると思います。「ダイヤフラム」（「ダイアフラム」とも表記
されます）は「あるものと別のあるものを分離する為の薄膜」とい
う意味です。
　ＭＦＣが関係する配管関係では、ポンプ、閉止弁、圧力センサー
等に幅広く使用されています。これは「分離する」という特性が、
特に腐食性ガスや毒性ガスを使用する際に、「空気、水分との
反応を防ぎ機器を長持ちさせる」「接ガス面積を少なくして外部
への漏れを無くす」「容積を小さくして、ガスパージ（ガス排出、
不活性ガスへの置換）を速くする」という非常に安全な方向へ活
用できるからです。

　「ダイヤフラム」は、その役割で大きく2つに分けられるとDeco
は考えます。１つは「分離目的のみで固定した状態で使用され
るもの」と、もう1つは「分離目的とともに、可動しある役割をはた
すもの」です。MFCでピエゾアクチュエーターと組み合わせて使う
場合は、後者の役割になります。図を見て頂けると「ダイヤフラム」
が、紫色のガス部と白色の大気の部分を分離するとともに、アク
チュエータの伸縮で開閉（可動）しガスの流れる量を制御する役割
をはたしているのがおわかり頂けるかとお思います。

　ところでMFCのバルブは流量センサーの出力と、設定流量信号
入力が一致するように、バルブの開度を制御するわけですから、
常にバルブは動いています。動くと言うことは柔軟でなくてはいけ
ないのですが、腐食性と耐久性などを考慮すると、ゴムなどの樹脂
製は使用できず、やはり金属製、それもステンレス等の材料を使用
したいところです。
　しかし、そういった金属ダイヤフラムは一概に堅いものです。これを
押して、変形させ、更にソレを維持し続ける、更に開度を変えるため
高速で動かなくてはいけない・・・
　これにはかなり力持ちで。しかも瞬発力もないとだめですね。そこで
活きてくるのがピエゾの「力持ち」特性です。まさに適役であったと言
えますね。「ダイヤフラム」を活かすのはピエゾであり、逆に言えばピ
エゾの能力を最大限に生かしたバルブを作るには「ダイヤフラム」が
かかせないわけですね。　

では、また来週。　　　

　【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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今日の埼玉川口のお天気は？
　１１月１９日　水曜日　
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝８℃、昼10℃、夜8.5℃
です。
今日は冷えましたね！
インフルエンザが関西で流行し始めたようです。
手荒い、うがいの励行を習慣にしたいですね。

ダイヤフラムとは何ですか？ (MFC)

スピードよりもパワーです。　（MFC）

2008年11月12日 19:37

　MFC/MFM は、圧力、流量、ガスの物性によりさまざまな仕様があり
詳細仕様を決断するにはMFC/MFMのことをよく勉強する必要があります。
MFC/MFM の伝道師、Decoさんに解説いただくシリーズ第二十回目の
はじまりです！！

第20夜　スピードよりもパワーです！

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第20夜です。一世を風靡
したミュージシャンが転落の末、詐欺事件を起こしてしまいましたね。彼の関
わった曲は当面公共の電波に乗ることはないようです。こういった場合、創造
物とそれを創造した人間は切り離せない物なのでしょうか？
　さて、今夜はMFCの技術で一世を風靡しているピエゾアクチュエーターを使
用した「ピエゾバルブ」の優位性に関してお話します。

　「ピエゾバルブ搭載のMFCは性能が良い」というのは一時期MFCに関して
少し知識のある方の定説になっていました。「どこが良いのですか？」とお聞き
すると、「ソレノイドタイプより応答が速いのです。」という返答が返ってくる事が
多かったです。でも、MFCという製品パッケージの性能からすれば、この答えは
必ずしも正解ではありません。
　なぜならアクチュエーター単品の性能では、ピエゾの方がソレノイドよりも応答
は若干速いかもしれませんが、MFCが「熱式流量センサーと流量制御バルブの
組み合わせにより流量を制御するもの」である限り、その応答性能はバルブアク
チュエーターのそれだけでは決まらないからです。バルブの応答性能は、その制
御の起点になる熱式センサーの流量信号出力の速さを超えるものでは決してあ
りません。そして熱移動を計る流量センサーの速さは・・・原理から考えてもバル
ブの応答性より遙かに遅いのは事実です。
これではせっかくの特性もあまり活かす事が出来なさそうですね。

では、ピエゾアクチュエーターの優れた特性は何か？

　それは「力」です。そう、スピードよりもパワーなのですね。ピエゾとソレノイドを
比較しますと、ピエゾは前夜お話ししたとおり、「ある電圧をかけることでで、結晶
構造体が変位する（伸びる）」のが性質ですから、「固体の変形」により「伸び縮み」
します。それに対してソレノイドは、電磁石の「磁界の強弱」でバルブを「動かす」
のであり、しかもMFCの制御バルブの場合、開閉のどちらでもない中間点で「止め」
なくてはいけません。どこまで伸ばしても、あくまで固体であるピエゾと、磁界の中で
浮かせて移動しているソレノイドでは、当然押さえる力には差が出ますね。（もちろん
ソレノイドバルブが磁界の中で浮遊しているわけではなく、磁界の反力となる方向に
バネで押さえつけられているのですが・・・）

　力持ちなピエゾを使うことが、MFCのバルブ構成でメリットになるのは、「金属ダイヤ
フラム」型のバルブを形成できることです。そのお話はまた次回。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

早いばかりが性能ではないんですね！勉強になりますね！！
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今日の埼玉のお天気は？
　11月12日　水曜日
　天気　曇りのち雨
　ボンベ庫の温度　朝9℃、昼11℃
です。
ここ数日雨が降ってませんでしたが
今日は夜半になって降り出しましたね。
寒い季節の雨は、体にこたえますね！！！

スピードよりもパワーです。　（MFC）

大流量ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

2008年11月11日 19:47

　○SCCM もしくは ○○SLM のマスフロコントローラーは
良く見受けられます。

ですが・・・　１００ＳＬＭ オーバーのマスフロコントローラーは
あまりないですよね！　

Brooks Instrument 製の Mass Flow　なら　100SLM から 2500SLM
まで対応できます。

例えば BROOKS S SERIES ならば・・・

フルスケールレンジ　100 〜 2500 L/min(S)
コントロールレンジ　　５０：１
バルブシート　　　　　エラストマ製
精度　　　　　　　　　 ±0.7% of R.D.& ±0.2% F.S
リピータビリティ　　　 0.25 % RD
セトリングタイム　　　< 1sec
リークレート　　　　　　1 x 10 -10Pa
設定入力信号　　　　 ｱﾅﾛｸﾞ：0〜20mA or 4〜20mA / 0〜5V DC
　　　　　　　　　　　　　端子：RS232C or RS485 or PROFIBUS-DP
出力信号　　　　　　　ｱﾅﾛｸﾞ：0〜20mA or 4〜20mA / 0〜5V DC
　　　　　　　　　　　　　端子：RS232C or RS485 or PROFIBUS-DP
所要電源電圧　　　　15〜24Vdc
耐圧力　　　　　　　　 ６．８９ＭＰa
作動差圧　　　　　　　81〜204 kPa / 205〜2000kPa
周囲温度範囲　　　　０〜７０℃

大流量タイプの質量流量計のことなら川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉川口のお天気は？
　11月11日　火曜日
　天気　くもり
　ボンベ庫の温度　朝9℃、昼11℃、夜10℃
です。
昨日、アフターファイブ（ふるっ！）に公営野球グランドで
練習してましたら、外野の芝生に夜露が付いていて
体を動かしていないと寒かったです・・・。
ほんとここ数日の陽気は冬ですね。

大流量ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

一つ一つは小さいが・・・　（MFC/MFM）

2008年11月 5日 22:20

　マスフロコントローラーの伝道師 Decoさんによる毎週水曜日
お知らせしているMFC解説シリーズの第十九回目です。
ではいってみましょうか！

第19夜　一つ、一つは小さいが・・・

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第19夜です。

　アメリカに初の黒人大統領が誕生しましたね。これはなかなか
エポックメイキングな出来事です。ＭＦＣのような製品でも「初の
・・・」という技術は色々とあるのですが、今夜紹介する技術は
その中でも大きなエポックになったものです。

　前夜お話ししたソレノイドバルブは、電磁石で動くわけですから
暖めて伸びるのを待たなくてはいけないサーマル方式に対し、数
段早い応答特性と、大きなストローク（＝流量をたくさん流せる）を
持っていたので、ＭＦＣにとっては非常に使いやすいバルブとして
多くのベストセラーＭＦＣを産みました。有名なのはTylan社、Brooks
社、Unit社製品ですね。これらの会社はほとんど米国系企業で、
今でも色んな事情で社名を変えながらも、第一線のMFCサプライ
ヤーとして存在しています。

　これに対して、日本をベースにしたMFCメーカーが多く採用して
いるのが、第三の方式になるピエゾバルブです。「ピエゾ」という
言葉自体が、あまり馴染みのないものかと思いますので、今晩は
このピエゾバルブの中核である「ピエゾアクチュエータ」に関して
御説明しましょう。

　ピエゾとは圧電素子の一種で、「ある結晶構造体に機械的圧力
を加え変位させると、この圧力の大きさに比例して電圧を発生する」
原理を応用しています。実際にはこの逆原理を使っており、「ある
電圧をかけることでで、結晶構造体が変位する（伸びる）」事を利用
しています。伸びる長さはナノからミクロンメータの微小な単位です。
これが単体ではバルブは少ししか開かないので、図にあるように積
層スタックすることで、一つ、一つの伸びは小さくても、みんなが集ま
れば・・・という形で使用されます。　　
　　　　　　　　　　　　　　

　それでもミクロンオーダーしか伸びはしないのですが、MFCが流す
流量ならば十分なのです。ピエゾアクチュエータは、実は色んな産業
用途で使われています。MFCに組み込んで実用化したのは、日本の
エステック社でした。非常に小さなギャップを高い分解能で精密に制
御できる・・・いかにも日本人が好みそうな機構です。技術の指向性
には、国民性、民族性が大きく関わってくるのだなぁ〜と思わされる
傾向です。そしてピエゾがソレノイドを決定的に上回る能力があります。
実は一つ一つは小さなピエゾですが、すごい力持ちなのです。
そのお話はまた来週・・・

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】
※文中にある特定企業を指す「社名」は、極力当時の社名で
　表記しております。現在の社名とは異なる企業があることを
　お断りします。

マスフロコントローラーで一つの物語ができるストーリーを
もっています。MFC・MFM のことなら川口液化ケミカル株式
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今日の川口市のお天気は？
　１１月５日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１０℃、昼１３℃、夜１２．５℃
です。
今日、お昼の南アルプスは快晴でした。
涼しさはあるものの、寒さを感じる前の段階で
行楽には最適の陽気でしたね。
（私はお仕事ですので、あしからず。）

一つ一つは小さいが・・・　（MFC/MFM）

磁石の力だ！ソレノイドバルブ！

2008年10月29日 19:37

マスフロコントローラーとは？

　毎週水曜日のMFC解説シリーズをお読みになられた方であれば
それなりに説明できますよね！まだまだ深掘りしていきますよ！
それではDeco先生よろしくお願い致します。

第18夜　磁石の力だ！ソレノイドバルブ！

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第18夜です。
すっかり寒くなりました。出張先の寒さと大雨ですっかり風邪
を引き込んでしまいました。秋は短く、そうそうに冬支度ですね。

　MFCでも一番ホットなサーマル方式のバルブを前夜ご紹介
しましたが、今晩は2番手としてソレノイドバルブをご紹介します。
おそらく今、世界で稼働しているＭＦＣに使われているバルブ方
式としては、一番多い方式ではないかとDecoは思っています。
それくらいメジャーなこのバルブ方式ですが、ソレノイドバルブは
和訳すれば電磁弁です。
　それだったら知っているよ！とおっしゃる向きもあるかと思いま
す。なにせ遠隔操作できる閉止用バルブとしては、色んな企業
から製品化されていますからね。

　ＭＦＣに使用されるソレノイドバルブの一般的な構造を図にして
みました。あくまで一般的なバルブの説明図で、特定の企業の
技術を指す物では無いことをお断りしておきます。

　ソレノイド式でバルブを動かすのは、コイルを巻いて作った電磁石
の発する磁力です。原理は簡単で、コイルにかける電圧で電磁力
を調整することで、バルブを引き上げています。当然、バルブを下に
引っ張る力がないと、すぐにガバッと開いてしまうので、板状のスプ
リングなどで電磁力と反対方向へ反力を形成しています。一般の電
磁弁とＭＦＣ用ソレノイドバルブの基本構造は同じです。ただ、電磁弁
は、ある電圧かければ全開（もしくは全閉）という動作をすればいいの
ですが、ＭＦＣは流量を細かく制御するために、じわじわ開き始めて、
できるだけ徐々に全開に至る特性で、全開〜全閉の間の部分が制御
しやすく使えるように調整されているという特性の違いがあります。

　第16夜で勘違いされたお客様も、実はこのソレノイド＝電磁弁という
連想からのものでした。電磁弁は開閉しかできないから、何回も開け閉
めしてガスを少ずつ流しているという発想ですね。まさかその途中の状
態で、MFCがバルブを止めて、がんばって制御しているとは、お客様も
思わなかったようですね。

来週はまた別方式のバルブ話です。では、また来週。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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今日の埼玉のお天気は？
　10月29日　水曜日
　天気　くもり
　ボンベ庫の温度　朝13℃、昼18℃、夜16℃
です。
昨日の朝方もそうでしたが、朝焼けの赤というかオレンジというか
朝の霞が鮮やかでした。
気温が下がり空気が締まった感じも見た目に影響しているかもしれませんね。

磁石の力だ！ソレノイドバルブ！

サーマルで動くのはセンサーだけではない？

2008年10月22日 19:23

ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰの伝道師 DecoさんによるＭＦＣ解説シリーズ
第一七回目です。それではお勉強致しましょう！

第17夜　サーマルで動くのはセンサーだけではない？

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第17夜です。
先週に引き続きDecoはハイテンションなＭＦＣお仕事人生を
送っています。歳を取ると徹夜仕事や、移動距離の長い出張
を続けると、へたるのも早いようで、メンテナンスフリーとは行き
ませんね。ＭＦＣも定期的なメンテナンスを受けていただくと、
長生きできます。川口液化ケミカルさんへ気軽に相談してみ
てくださいね。

　さて、今晩はＭＦＣに搭載されている一風変わった「バルブ」
のお話です。
　ＭＦＣのバルブが変わっているポイントとして、以下が挙げられ
ると思います。

１）　閉めきる性能より、途中の開度を微妙に調整できる性能を求められる
２）　手動や空圧ではなく、電気的に制御できる必要がある
３）　高速応答性能も求められる
４）　禁油処理でなければいけない
５）　ゴミを出さない構造でないといけない
６）　1SCCMから100SLM、もしくはそれより大きな流量への対応が必要になる

こんなところです。

　なかなかこうの要求を満たしてくれる便利な構造のバルブは
見つからないものですが、世の中にはアイデアマンがいて、四半
世紀前の黎明期第1世代ＭＦＣに搭載されていたバルブには、既
にこの用件をかなり満たしたバルブの傑作がありました。
　その名も「サーマルバルブ」・・・　えっ、和訳して「熱式バルブ」！
センサーも熱式だし、よっぽどＭＦＣを作り上げた方達は熱いハート
の持ち主だったのかもしれませんね。
　このバルブの構造をDecoの記憶から絵にして貰ったのが、この図です。

※あくまで一般的なバルブの説明図で、特定の企業の技術を
　指すものでは無いことをお断りしておきます。

　このバルブは中央のニードル部を熱膨張係数の高い材料で
構成しており、それにヒーター線が巻き付けてあります。このヒー
ター線の温度を電気的にコントロールすれば、その温度の高低
により、バルブが膨張して延びたり、縮んだりするわけです。
これなら １） ２） の要求をクリアできた訳です。

ただし、このバルブには特性上どうしても苦手とするところが
ありまして、特に3)高速応答は苦手でした。「熱して延びる」の、
「醒まして縮む」という動作をイメージしてもらえば、確かにそん
なに高速で動ける筈はないですよね。
そこで次の構造のバルブが考案されてくることになります。人間
は工夫を続けるもので、機械の進歩・進化の歴史をたどるのは
楽しい物です。

では、その楽しいお話はまた次週。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

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ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は？
　１０月２２日　水曜日
　天気　はれ
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝１５℃、昼２０℃、夜２１℃
です。
今日、朝に気が付きましたがモミジが
赤く色づき始めましたね。
寒暖の差が徐々に木々の彩りを見せて
くれつつあるようです。
目を楽しませてくれる、季節感を感じられる、いい時期ですね！

今日の環境情報は？
国連ＷＨＯは、スウェーデンとアフガニスタンでは出産時に命を
落とす妊婦の割合が２０００倍以上、日本人とアフリカのレソトの
平均寿命の差が４２年あることなどが示されております。

サーマルで動くのはセンサーだけではない？

流量制御バルブの正体は？

2008年10月15日 23:53

マスフローとは？　そんな問いにマスフローマイスター
Dedoさんがお答えいただくシリーズ第１６回目です。
さらにさらに内容が深くなってきますよ！ではでは。

第16夜　流量制御バルブの正体は？

　皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第16夜です。
　秋も深まり、柿やミカンが美味しい季節になりましたね。株価
の暴落、不景気、就職難等暗い話が増えそうですが、予想して
いた人も、予想してなかった人も楽しんでいきましょう。かくいう
Decoは、このブログを書いている時点で徹夜明け連続稼働時間
38時間目に突入。不思議な物で、あれほど迫ってきた眠気も落ち
着き、テンションが上がってきています。でも、本音はベッドで休み
たいな〜〜

　さて、最近、ちらほらとＭＦＣのバルブの話が出てきましたが、今
日からは、そのお話にしましょうか？流量センサーと流量制御バル
ブが同居しているのがＭＦＣなのですが、そのバルブはどういった
ものか？あまり知られていないようです。

　これは15年前ほんとうにあった笑い話なのですが、あるお客様から
「Decoさん、ＭＦＣのバルブって面白いよね。すごいスピードで連続
開閉して、少しずつガスを流しているのでしょ？」と聞かれました。
「ええっ〜！！」と驚きましたが、お客様は真剣そのものの表情。
確かに一部で圧電素子を使って、ビート板のように連続振動させて
流量制御しようとしていたＭＦＣの亜流的な製品はありましたが・・・

これには一般に「バルブ」と言われるもののイメージが影響している
ようです。

　一般的なバルブは、空圧弁、電磁弁と言われるような、全開／全閉
動作に特化した閉止目的のバルブが一般的です。ですが、MFCは絶
えず流量センサーが測定する「今の流量」に対して、設定信号ライン
からくる「目標とする流量」に向かって、その差を「近づけよう」として
制御しています。ですから、全開全閉でいる時間よりも、その途中で
止まって、微調整している方が多いのです。しかも気体で10CC／分
程度の流量なんて小さなギャップさえあればすぐ流れてしまうので、
微調整もいいところの、ミクロンオーダーでの調整をしているのです。
水道の蛇口を、細い線みたいに水が連続して流れ出るように調整する
のって難しいですよね？どっと流れたり、閉めすぎて出なくなってしまっ
たり・・・MFCのバルブは流量センサーの信号を頼りに「ちょい開け！」
「いや、一ひねり締めて！」とやっている訳なので、全開全閉用のバル
ブではつとまりません。しかも、自動制御されるので、手動で開閉では
なく、何らかの遠隔操作で動いてくれる必要があるのです。そんな一風
変わったバルブのお話を、次週からいたしましょう。では、また来週。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】

かなりハイテンションのＤｅｃｏさんでしたが、またまた勉強になるお話を
授けていただきました。
毎週水曜日はマスフローの日ですね！！！

マスフロコントローラー、マスフロメーターなど川口液化ケミカル株式会社
までご相談ください。
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　１０月１５日水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１６℃、昼１９℃、夜１９．５℃
です。
そろそろ初雪の便りがきこえるころでしょうか？
だんだんと朝の涼しさが、寒さにまで感じるようになってきましたね。
お体ご自愛下さい。

流量制御バルブの正体は？

マスフロー千夜一夜物語　第15夜

2008年10月 8日 13:11

マスフロコントローラーの解説シリーズ第１５回目。Decoさんに
教わりながら皆で専門知識を習得してしまいましょう！
それではよろしくお願い致します。

皆さん、こんばんは。マスフロー千夜一夜物語　第15夜です。

　前夜のお話はＭＦＣの内部にある流量センサーと流量制御
バルブのお話でした。「文章だけではイメージが掴みづらいよ！」
というお声もありましたので、下図にその構成を描いてみました。
あくまで一般的な構造と言うことでご理解下さい。

　H2 と N2 は流量センサーのCFは似通っていますが、ガスとして
の性質は大きく異なります。
（詳しくは川口液化ケミカルさんのブログでご確認下さい。）
H2　は非常に流れやすいガスで小さな隙間でもあれば大量にガス
が流れる性質があります。これがＭＦＣの流量制御バルブにとっては
厄介なところで、少しバルブを開くとガスがどっと流れてしまうので、
できるだけバルブを小さくしか開かないバルブの設定をして恐る恐る
流します。ところが N2用で作られたＭＦＣは H2 を流すことを想定して
バルブを小さく開くようには設定していません。ですから、 N2用で作ら
れたＭＦＣに H2 を流すと想定したより多くガスが流れてしまいます。
当然ＭＦＣですから、流量センサーが流れすぎを関知したらバルブを
閉めて制御をすることで最終的には安定するのですが、一気に水素の
ようなガスが流れ込むのは大変危険ですよね？また、圧力が高い場合
や、設定流量が小さい場合は、安定せずにすっと制御がバタついたまま
になってしまうこともあります。これでは代用になりません。
　ＭＦＣに仕様と異なったガスを流す場合、メーカーは「保証外」とするの
が一般です。あくまで知識の裏付けを前提にした「自己責任」での対応
をお願いします。

【あなたにマスフローの夜が来る〜マスフロー千夜一夜物語】　

ＭＦＣ、ＭＦＭの世界もかなりな深堀が必要な専門知識です。
日々、これ勉強ですね。

マスフロコントローラーのことなら川口液化ケミカル株式会社
までご相談ください。
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E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　１０月８日　水曜日
　天気　雨のちくもり
　ボンベ庫の温度　朝１７℃、昼１８℃、夜１８℃
です。
ノーベル賞に日本人３名の方がいっぺんに受賞されましたね！
これは相当に凄いことです！
日本の研究者に夢を見ていただく大きな目標となりますよね。

今日の環境情報は？
エネルギー枯渇時代を迎えて
全てを掘りつくすことはできるのか？
最後の石油の一滴、最後の石炭のひとかけを
採掘するのは、最初の石油や石炭よりもだんだんと
掘り難くなります。
このため、油田や鉱区の半分の採掘を過ぎると
だんだんと採掘量が減り始めます。

マスフロー千夜一夜物語　第15夜

流量センサー VS 流量制御バルブ

2008年10月 1日 15:41

　マスフロコントローラーの専門家 Decoさんによる解説シリーズ
第１４回目です。だんだんと内容が深くなてきましたね。
付いていけてますか�