シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。特殊ガス・配管工事・ガス・真空・化学製品供給ののR&D - 川口液化ケミカル株式会社

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CHF3

2012年6月 2日 01:36

 「エッチング」は、銅版画とかガラス細工の装飾などで昔から利用されて
着た表面加工技術で、現代では絶縁膜の材料を超微細加工もエッチングにより
行われています。

そこで利用されるのがフッ素系ガスによるドライエッチングガスです。ドライ
と言うのは、薬液などによるウェットに対しガスが乾式にあたるため呼ばれて
おり、プラズマ処理によりエッチング装置と呼ばれる装置で加工されます。
CF4(四フッ化メタン)ガスなどはプラズマ中に含まれるフッ素のラジカルが
化学的に活性が高くシリコン酸化膜 SiO2 などのシリコン系材料と反応し、SiF4
四フッ化硅素など揮発性物質として取り除かれエッチング処理が完了します。

ドライエッチングの例
Si + 4F* → SiF4
SiO2 + 4F* → SiF4 + O2
Si3N4 + 12F* → 3SiF4 + 2N2

エッチング処理では、下地まで深く削りすぎないよう加工部分の形状を制御し
ます。CF3+ のイオンを利用するRIE反応性イオンエッチング手法や、フルオロ
カーボンラジカルによって生成する側壁保護幕の形成技術(形成速度制御など)
はガス種によっても異なり目的に応じて選択されたフッ素系ガスにより使用さ
れております。

主なエッチングガス
・三フッ化メタン    CHF3
・四フッ化メタン    CF4
・六フッ化ブタジエン  C4F6
・八フッ化シクロブタン c-C4F8
・六フッ化硫黄     SF6


フッ素系エッチングガスのご用命やガス供給系機器(調整器、バルブ、流量計)
真空排気系(腐食系ガス対応RP , DP , TMP など)、ガス及び真空配管工事まで
川口液化ケミカル株式会社へご連絡ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp
※アドレス先頭のCutHereはスパム対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は?
 2012年6月2日 土曜日
 ※シャープは有機ELパネルの実用化技術にめどを付け、液晶パネルの精細度を
  高める新しい技術を確立し、有機EL向けに応用するようです。
  液晶の制御に酸化物半導体IGZOを使い精細度を高めながら低コストで安定的
  に生産する技術で亀山第2工場の液晶パネルの生産ラインを年度内に改修し
  量産出荷を始めたいとしています。

 天気 はれ
 気温 16℃(PM11:40)
 今日の東電最大消費率 83%(PM7:00)

です。


 ひとつのことを伝えるのは

 本当に大変なこと


 莫大なエネルギーを注いで

 同じことを何度も伝え


 頭をフル回転させながら

 例えを変えて繰り返し伝え


 時には

 見守りながら待ち

 時には

 情熱を爆発させて伝え


 そうして

 伝えて、伝えて、伝えて...

 
 やっと

 わずか伝わっていく

(小田真嘉氏成長のヒントブログより) 
 
  by との

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2010年6月22日 18:17

「三フッ化メタン」ガスのご紹介です。

三フッ化メタン(R-23) CHF3

構造式 : CHF3
別名   : フロン23、トリフルオロメタン、フレオン23、HFC-23
分子量 : 70.1
官報公示整理番号:化審法 (2)-47
CAS 番号: No,75-46-47
NIOSH : NO.PB6900000
国連分類 : クラス 2.2 標札F
国連番号 : 1984

危険・有害性の分類
 種類  : 高圧ガス、不燃性ガス
 危険性 : 高濃度三フッ化メタン雰囲気内へ知らずに入り、呼吸すると瞬間的に窒息状態になり
        気絶、窒息死する危険性がある。
        ナトリウム、カリウム、バリウム、粉末マグネシウム、粉末アルミニウム等の活性金属および有機金属
        化合物と爆発物に反応する危険性がある。
 有害性 : ガス自体の毒性はほとんどないが、窒息性があるので注意を要する。また、高濃度の
        ガスを吸入すると全身麻酔に似た症状が現れる。加熱して分解すると、毒性のある
        F - の蒸発を発生する。
応急措置
 皮膚に付いた場合
      : 大気圧の三フッ化メタンに曝されても、特に問題なし。凍傷のときは毛布などで暖かく
        するか、温水につける。
 目に入った場合
      : 直ちに流水で15分以上洗眼し、医師の手当てを受ける。
 吸引した場合
      : 酸素欠乏により人事不肖に陥った場合は、直ちに新鮮な空気の場所に移し、安静、保温
        に努め、新鮮な空気を吸わせるか、酸素吸入を行なう。呼吸が停止している場合には
        人工呼吸を行い、速やかに医師の手当てを受ける。

火災の措置
 消火方法:不燃性ガスなので火災の危険は無い。
        容器が火炎に曝されると内圧が上がり破裂する恐れがあるので、できる限り、容器を安全な
        場所に移動する。必要に応じ散水し、容器を冷却する。
 消火剤 : 粉末消火器、炭酸ガス消火器、ハロン消火器、水散布(燃焼時使用、周囲火災に合わせる)

漏洩時の措置
       容器のバルブを締めて漏れを止める。漏れが止まらないときには、開放された危険性のない
       場所 に運び放出する。

取扱い及び貯蔵上の注意
 取扱い : 高圧ガス保安法に準拠して作業すること。
        換気の良い場所で使用すること。また、火気の近くでは絶対に使用しない。
        容器の粗暴な取扱いをしないこと。また、容器を移動させる場合には必ずバルブ保護キャップ
        を装着する。
        ガスを容器から取り出す場合には必ず減圧弁(圧力調整器)を用います。
        容器は圧力を若干残した状態で使用を止め、絶対に大気圧以下(負圧)としない。
        容器は、ガス漏れのないことを確認した後、バルブのキャップを取り付け返却する。
        万一容器が転倒したり、強くぶつけたりした場合は、漏れ検査を行う。
 貯 蔵 : 高圧ガス保安法に準拠して貯蔵する。
        充填容器、残ガス容器であっても貯蔵所に保管する。貯蔵所の周囲には火気、引火性、
        発火性物質は置かない。
        容器は40℃以下の温度に保ち直射日光の当たらない換気の良好な乾燥した場所に
        保管する。容器はロープ又は鎖などで、転倒を防止、保管する。

暴露防止措置
 許容濃度 : OSHA PEL 規定なし 、 ACGIH 勧告値 規定なし
 設備対策 : 屋内作業場で使用の場合には、換気設備を設けること。
 保護具  : 保護手袋、保護めがね

物理・化学的性質
 外 観 : 無色の気体
 臭 気 : 無し
 比 重 : 2.417 (0.1MPa,25℃)
 沸 点 : -82.05℃
 融 点 : -155.2℃
 蒸気圧: 2.502MPa (臨界温度 25.65℃、臨界圧力 4.841MPa)
 溶解度: 0.10 g/10gH20 (25℃) 水に対し安定

危険性情報
 引火点: 無し
 発火点: 無し
 燃焼範囲 :    空気中:不燃性、酸素中:39.9~70.0%
 安定性: 反応性: 非常に安定で通常の条件下では、ほとんどの化学物質と反応しない。
        炎に触れたり高温になると分解し、フッ化水素。
        フッ化カルボニルを生成する。

有害性情報
 人体影響: 吸引毒性はきわめて低く、通常の使用状態においては窒息、麻酔、肝臓障害などを
         を起こすことはほとんどありません。j高濃度を吸引すると、心拍数が不規則になり
         心臓が止まるとこともある。また、全身麻酔と似た症状になる。被爆の程度が更に進むと
         陶酔感(思考力減衰)、協調運動失調、意識喪失といった症状が現れる。重症のときは
         死亡する恐れもある。高濃度になると酸素欠乏により窒息を起こす可能性があるので
         ガス漏れに注意し、室内の換気は十分に行なう。低温ガスに接触すると凍傷になります。
 毒性データー
       : ULグループ 6 (最も低毒性)

輸送上の注意
 ・高圧ガス保安法に準拠して輸送する。
 ・容器には転倒、転落等による損傷を防止する措置を講じる。
 ・容器の輸送は専用の車両により行なう。
 ・使用済み容器(空容器)を積荷するときは、容器全般について弁保護キャップ及びガス取出口
  金具を完全に装着する。

廃棄上の注意
 ・毒性がないので特に問題はないが、単純窒息性があるので、屋外等換気の良い場所で少量
  ずつ放出、または廃棄設備を利用し放出する。
 ・エッチングプロセスの排ガスは分解してフッ酸等になるのでアルカリ溶液で処理する。
 ・廃棄した後は、容器弁を閉じ、容器の転倒及び容器弁の損傷を防止する措置を講じる。
 ・容器返却は容器所有者が法規に従って行なうものであり、使用者が勝手に行なってはならない。

適用法令
 ・高圧ガス保安法 第二条液化ガス
 ・危規則 第三条危険物告示別第二高圧ガス
 ・航空法 施行規則第百九十四条危険物告示別表第二高圧ガス
 ・港則法 施行規則第十二条危険物(高圧ガス)
 ・輸送関連法規 IMDG 分類 2.2 標札F
 ・化審法 NO,(2)-47

その他
 使用材質: 金属腐食性はないので、ほとんどの金属が使用できる。
         プラスチックやゴムを侵さないので、ほとんどの材質ができる。


特殊ガス、特殊ガス機器、特殊ガス配管工事のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
TEL 050-8881-7393
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 6月22日 火曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝25℃、昼26℃、夜29℃

です。

昨日は二十四節気の「夏至」でした。
一年で最も昼間の時間が長い日です。

あちこちでお祭りがあっているようですね。
日照時間が一番長く「植物のエネルギーが一番高い日」でもあるそうです。

 by との

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