シリンダーキャビネット、配管工事や低温から高温まで幅広いガスの利用をバックアップ。ガス・真空・低温機器供給のＲ＆Ｄ　川口液化ケミカル株式会社

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真空の知恵

ｽｰﾊﾟｰﾊﾞｯｸｼｰﾙ代替品のお知らせ

2012年2月 2日 20:19

　ｷｬﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ社製真空封止剤「スーパーバックシール」は、惜しまれながらも
販売終了しておりましたが、同等品のご用意が可能となりました。

2液性ｴﾎﾟｷｼ系接着剤

かつての製品は 7g 入りでしたが、今回は 2g 入りとなります。

使用方法は全く同じ、ひとつのビニールパッケージをクリップで仕切り、軽量
済みの主剤と硬化剤が充填されております。これをクリップを外すことで袋か
らしごくように揉んで色などが均一になるように混合します。最後に袋の角を
切って中身を取り出し使用します。

ﾍﾝｹﾙ製、TRA-BOND2116

１、中身と外袋
２、ｸﾗﾝﾌﾟを外し
３、手でしごくように混合し
４、内容物か均一になったら
５、容器をカットして開封し
６、中身を出して使用します！

・計量の手間がなく主剤、硬化剤のセット梱包
・少量使用の際にも無駄が少なく、数ｸﾞﾗﾑ単位のﾊﾟｯｹｰｼﾞｻｲｽﾞ
・混合時に外気に触れず、吸湿やｺﾝﾀﾐの心配なし
・常温保管でﾊﾝﾄﾞﾘﾝｸﾞが容易です

2液ﾀｲﾌﾟのｴﾎﾟｷｼ系接着剤でｱﾒﾘｶでは4種類のﾗｲﾝﾅｯﾌﾟがあり、以下のような用途で
利用されております。
・銀ﾌｨﾗｰ入り導電性接着剤
・機能性接着剤
　　熱伝導性接着剤
　　透明接着剤
　　ﾁｷｿ性、保持・固着用接着剤
　　ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ耐衝撃ﾀｲﾌﾟ
・光ﾌｧｲﾊﾞｰ用接着剤
・医療機器用接着剤

ｽｰﾊﾟｰﾊﾞｯｸｼｰﾙ同等品のご相談のことなら
川口液化ケミカル株式会社までご連絡下さい。
TEL 050-8881-7393
FAX 048-281-3987
E-mail :CutHere_info@klchem.co.jp
※ｱﾄﾞﾚｽ先頭のCutHereはｽﾊﾟﾑ対策です。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2012年2月2日　木曜日
　※トヨタ自動車小型スポーツカー「86（ハチロク）」を4月6日に発売
　　するそうです。86はかつての人気車で、車両型式AE86の「カローラレビン」　　「スプリンタートレノ」の愛称「ハチロク」にちなんでいます。
　　今回、共同開発した富士重工でも「スバルＢＲＺ」の名称で発売します。
　　後輪駆動、排気量2000cc水平対向6速マニュアルと6速オートマチックの
　　２種類を用意するそうです。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝2℃、昼4℃、夜4℃
です。

大学受験塾ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師村田明彦氏ﾌﾞﾛｸﾞより

受験生が使っていけない言葉11

「自分にはまだまだこの問題はムリですよ」

と言って

今の自分よりもハードルの高い問題を、避け続けることがあります。

勉強の最初の方は、「簡単で、できることを、毎日継続していく」

ことが大事になります。

しかし、いつまでのそのままの姿勢ではいけません。

特に、難関大学を目指している場合ならば、レベルの高い入試問題を題材

に頭を鍛えなればなりません。

最終的には難しい問題を、考えて、それを乗り越えた絶対量がものをいいます。

成績が低かろうが、やってみないうちからずっと避けていては

難関大学の壁を超えることがなかなかできないのです。

こんな言葉に変えてみよう

「今の自分でベストをつくし、考えれるところまで考えよう。」

未来に先送りばかりしないで、今の自分でできるところまで挑戦してみよう。

壁を超えるためにはその姿勢が必要なのです。

　by　との

ｽｰﾊﾟｰﾊﾞｯｸｼｰﾙ代替品のお知らせ

真空ﾌﾗﾝｼﾞ　ISO-63

2012年1月20日 20:56

装置に接続されている真空排気セットを交換する必要が出たある日のことです。

RP+MBP ｴﾄﾞﾜｰｽﾞ製排気ｾｯﾄ

交換して取り付けるべく新たな真空排気セットを接続するため同じ規格の真空
フランジを合わせようとしたところ・・・

ISO-K 63 ﾌﾗﾝｼﾞとISO-F 63 ﾌﾗﾝｼﾞ

「合わない！！」

すぐに真空排気して作業を進めるつもりが、使えない！

なんてこと、ありました。 (゜◇゜)~ガーン

ご存知の方にはお分かりのことと思いますが、「ISO 63」には2種類のタイプがあるのです。

ひとつが　　　　ISO-K　　K はｸﾛｰｸﾗﾝﾌﾟﾀｲﾌﾟのことを言います。
もうひとつが　　ISO-F　　F はﾌﾗﾝｼﾞﾀｲﾌﾟのことを言います。

ISO 63 という言葉では同じ真空ﾌﾗﾝｼﾞ規格ですが、全くことなる固定方法になります。
冒頭の接続できないというのは　ISO-K x ISO-F　な訳だから、合うわけないのです。

ISO-K63 x ISO-F63　相ﾌﾗﾝｼﾞ

已む無く接続するための異型ﾌﾗﾝｼﾞを急ごしらえしました。

MBP吸気口ISO-F63に接続した相ﾌﾗﾝｼﾞ

先ずはMBPの吸気口にISO-F63ﾌﾗﾝｼﾞをCoｼｰﾙと呼ばれるｼｰﾙ材を挟んで接続します。
※Coｼｰﾙは、ｴﾄﾞﾜｰｽﾞ製ISO-F63用ｼｰﾙ材です。

ISO-K63 ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙﾎｰｽ x ISO-F63 MBP接続

ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙﾎｰｽ側をISO-K63 用ｸﾛｰｸﾗﾝﾌﾟ4点で締め付けて接続完了です。

RP+MBP x ISO-K63ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙﾎｰｽ接続完了

それでは今回、なぜそうなったか？

真空ﾎﾟﾝﾌﾟの所有者は、ISO-63 といえば、ISO-F 63 のﾎﾞﾙﾄﾅｯﾄで締め付けるﾌﾗﾝｼﾞﾀｲﾌﾟが常識と思っていた。

ﾌﾚｷ側を用意した製作者は、ISO-63 といえば、ISOK 63 のｸﾛｰｸﾗﾝﾌﾟで締め付けるタイプが常識だと思っていた。

それをお互いに理解せず、現場で大騒ぎとなってしまったのです。 (#^.^#)

この機会では運よく実害が出ず済んだのでよかったのですが、状況によってはただですまされないことも
あります得ますので注意しましょう！

ありがちな事件簿でした。

真空ポンプの貸出機のご相談
真空フレキの製作品のご検討
真空フランジの製作品のお見積り依頼

など

川口液化ケミカル株式会社までご連絡下さい。
TEL 050-8881-7393
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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2012年1月20日　金曜日
　※低気圧の影響で、関東甲信では山沿いを中心に雪が降り、平野部でもうっすらと雪が積もりましたね。
　　午後５時の積雪は、長野県軽井沢町で21センチ、山梨県富士河口湖町で13センチ、長野県松本市で12センチ
　　埼玉県秩父市で3センチ、前橋市で2センチになりました。
　　関東甲信では21日土曜日と22日日曜日も気圧の谷などの影響で雨や雪の降りやすい状態が続き
21日の夕方までに降る雪の量は、いずれも多いところで、関東の山沿いと甲信で10センチ、関東の平野部で
3センチと予想されています。路面の凍結には十分に注意をしましょう！
　天気　雪
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝1℃、昼3℃、夜4℃
です。

北極流今日の開運ﾒｯｾｰｼﾞﾌﾞﾛｸﾞより

過去に受けた心の傷、

満たされざる愛情、

コンプレックス、

プライド...。

そういった過去の感情の鬱積を晴らそうとする

"動機"によって合成された夢や目標は、

未来の自分（本当の自分）から生まれた夢や目標ではなく、

過去への復讐にすぎません。

あなたが生きていく限り、

過去（の記憶）は無限に存在しますから、

それらを一つ一つ晴らして（復讐して）いっても

キリがありません。

過去との戦いは終わりなき戦いです。

そして、それはあなたが"真にやりたいこと"ではありません・

～書籍「ドラゴンノート」より～

　by　との

真空ﾌﾗﾝｼﾞ　ISO-63

真空機器・真空ﾁｬﾝﾊﾞｰなどの無害化処理

2012年1月19日 20:30

　実験装置や成膜装置、真空排気装置などは、その品質や機能を維持するために
機器の表面に堆積した汚れやさまざまな化学物質を除去する必要があります。

ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ、コールドトラップ、真空チャンバー無害化処理の様子

ガス機器、真空機器、ガス配管、真空配管、チャンバー本体、バルブ本体など
機器に付着した汚れを分解して洗浄し再組立を行い、除去した産業廃棄物を廃
棄物処理法により適切に処分する必要があります。

・真空機器
・各種ポンプ
・バルブ
・除害塔
・配管類
・半導体製造装置関連機器
　　CVD、MBE、ｽﾊﾟｯﾀ装置等
・排気装置の無害化

などを高圧ガス保安法に従い適切に「無害化処理」を行います。

川口液化ケミカル株式会社
埼玉県川口市赤井4-16-20
TEL 050-8881-7393
FAX 048-281-3987
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2012年1月19日　木曜日
　※米大リーグのテキサス・レンジャーズはポスティングシステム（入札制度）で
　　独占交渉権を獲得していた日本ハムのダルビッシュ有投手と６年契約で合意し
　　たことを発表しました。年俸総額は約6000万ドル（約46億2000万円）で06年
オフに入札制度でボストン・レッドソックスに入団した松坂大輔投手の６年総
額5200万ドルを上回りました。
　天気　今日も晴れ
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝4℃、昼7℃、夜6℃
です。

北極流今日の開運ﾒｯｾｰｼﾞﾌﾞﾛｸﾞより

もし、自分をバカにしたやつらを見返すために、

「社長になりたい」
「一流大学に合格したい」
「金持ちになりたい」
「有名人になりたい」

と願ったら、これは、すでに流れ去ってしまった過去の幻想（結果）
を追い求めていることになります。

過去を振り返ってばかりいては、もう目の前（現在）まで、
未来から新しいヴィジョン（結果）が流れてきているのに、
気づくことができません。

未来からのメッセージをキャッチするには、未来の自分（本当の自分）を
信頼することです。

～書籍「ドラゴンノート」より～

　by　との

真空機器・真空ﾁｬﾝﾊﾞｰなどの無害化処理

ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟのﾕｰﾃｨﾘﾃｨ

2011年12月20日 21:00

　一般的な真空ポンプはモーターを電気で駆動して正常運転となりますが、ドライ真空
ポンプの場合には電源以外に数種のユーティリティーが必要です。

ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟﾕｰﾃｨﾘﾃｨ

例えばこちらのドライポンプの場合には、電源以外に、窒素ガス、冷却水が必要です。

左側　：冷却水　　Cooling Water 4L/min ※左:Cooling N2 30L/min
中央左：窒素ガス　N2 Inlet
中央右：外部信号　Signal Connector ※下:Cooling Water Inlet / Outlet
左側　：電源　　　Power Connector

冷却水は、小型ですと空冷加熱部のポンプ本体を冷やすことができますが、型が大きくなると
発熱量も相当なものになり冷却水で冷やさなければ駆動部が焦げ付いてしまうのです。

窒素ガスは、ドライポンプ独特のものですが、ポンプシャフトがポンプ内部に貫通して
いる訳ですが、毒性ガスや反応性ガスなどをドライポンプで使用することが多いため
ポンプ内部の有毒ガスがシャフトを通じて外部に漏れ出さないよう窒素ガスでシール
するためユーティリティーとして必要になるのです。

大晃機械製ｽｸﾘｭｰ型ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ　2500L/minﾀｲﾌﾟ

ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ、油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ、ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ、ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ、ﾀﾞｲﾔﾌﾗﾑﾎﾟﾝﾌﾟ、ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｹﾞｯﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ、ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟのご相談とともに
真空ﾎﾟﾝﾌﾟ、真空ﾎﾟﾝﾌﾟﾕｰﾃｨﾘﾃｨｰ工事（電源工事、窒素ガス配管工事、冷却水配管工事）
のことなら川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年12月20日　火曜日
　※総務省の審議会「０７０」で始まる電話番号を、携帯電話でも使えるようにする答申案を
　　了承しました。スマートフォンや、カーナビ、電子書籍端末など携帯電話の番号を利用した
　　機器が増加していることに対応したものです。
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝4℃、昼5℃、夜4℃
　自然からのﾒｯｾｰｼﾞ
　今日の風景は道　己酉（つちのととり）
　道にかなう生き方とは？
　一、わざわざ
　一、さっそっく
　一、何度も
　一、丁寧に
　やり残し（宿題）をつくらず
　誠を以って、生涯を貫くこと。
です。

興味のあることばかりにエネルギーを注ぎ、

バルクアップ（好きなことばかりする）に偏って

ディフィニション（受験勉強、そぎ落とし）できなかったL君。

悪い人間関係を断ち切る機会（ディフィニション）を逃し、

受験勉強のタイミングに乗れなかったM君。

この危険性はすべての受験生にとってゼロではありません。

多くの大人にもあてはまります。

いざ、ディフィニション（受験勉強、そぎ落とし）すべきタイミングを

迎えたときに興味を振り切って、

ディフィニション（自分の心をコントロール）できなければ、

受験で結果は出ません。

大切なのは強い意志です。

～一発合格勉強法より～
　
　by　との

ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟのﾕｰﾃｨﾘﾃｨ

Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰでの漏れ検査

2011年11月12日 17:18

　主な真空機器やガス設備でも毒性ガス、可燃性ガス、半導体や液晶、LED、有機ELなどの
漏れてしまうと支障のあるガス機器本体やVCR溶接継手部、突き合わせ溶接部などの漏れ検
査 はHeリークディテクターにより行うのが一般的です。

ライボルト製Heリークディテクター　UL200

対象物の内部を真空排気して、対象物に対し外部からHeガスを吹きかけて漏れがある箇所か
らはHeが通過しますので、内部の真空側にわずかに流れてきたHeガスをHeリークディテク
ターにより検知することで漏れ箇所を特定できます。

Heリークディテクター搭載機器　RP＋TMP＋Qマス

対象物が大きい場合には、Heリークディテクターに搭載した真空ポンプで真空排気するには
負荷が大き過ぎますので、別の排気セットなどが必要です。

小さな溶接加工品やVCR継手の付いた1/4"配管（長さが短いもの）であれば装置本体ので排気
も可能です。

また、当然ですがリーク検知にはHeガスが必要です。

Heリークによる漏れ検査をご要望ございましたら承ります。
※ワークの大きさや漏れの許容値により全ての対象物が検知できるわけではありません。

Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰによる漏れ検査のほか、加圧での気密検査、耐圧検査など
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
TEL 050-8881-7393
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※ｱﾄﾞﾚｽ前のCutHereはｽﾊﾟﾑ対策ですので削除願います。

ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は？
　2011年11月12日　土曜日
　※松任谷由実さんがが大晦日のＮＨＫ紅白に出場するそうです。
　今年は東日本大震災の被災地支援と復興など、新しい一歩を踏み出すために「あしたを歌おう。」
　という趣旨に賛同し、震災後にクローズアップされた自身のヒット曲「春よ、来い」を歌うそうです。
　天気　くもり
　気温　16℃(PM5:30)
です。

受験生が使ってはいけない言葉４
（大学受験塾ﾐｽﾀーｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師村田明彦氏ﾌﾞﾛｸﾞより）

「集中できません。」

集中できない。

勉強の取り組み始めは、
なかなか集中できないこともあります。

それを自分で認めて、
口にすることで余計に集中できなくなります。

でもしばらく勉強しているうちに、
雑念が消え勉強に没入没頭している瞬間が訪れます。

そのときが来るまで淡々と勉強しましょう。

そして、できる限り集中できる環境を作る工夫をしましょう。

携帯電話、テレビ、漫画、布団etc...

勉強中は、百害あって一利なしです。

誘惑が多いと集中できなくなってしまうので、
できるだけ遠ざけて勉強するようにしましょう。

　by との

Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰでの漏れ検査

真空ﾌﾚｷ各種

2011年11月 8日 19:48

真空チャンバーと真空ポンプを繋ぐホースに欠かせないものがフレキホースです。

真空ポンプは基本的に駆動部がありますので、振動が出てしまいますし、リジット
なハード配管のように寸分の違いなく配管するのは容易ではありません。そんな理
由から除震対策に有効であり、取付角度や面間寸法をそれほど気にしなくても接続
が可能なフレキシブルホースが重宝するのです。

成形フレキ

成形フレキは真空フレキとしては最も多く利用されている汎用性の高い商品です。
カタログ商品では長さが決まってしまいますが、10mm単位でのオーダーメイド製
ふれきも製作可能です。

溶接ベローフレキ

成形フレキよりも柔軟性があり、伸び縮みができるので直線導入部などにも有効です。

テフロンコーティング製フレキ

腐食性の流体や反応性の高いデポ物などが溜まる場合、SUS316L であっても金属が
ダメージを受けることが多くあります。そのようなときには内面接ガス部に樹脂コー
ティングを施し耐薬品性、対腐食性対策を万全にすることが可能です。
※テフロンに耐えうる物質に限ります。

末端VCR継手の細径フレキシブルホース

真空排気ラインに限らずガス導入系として 1/4" 配管の途中に1/4"ﾁｭｰﾌﾞと同等のﾌﾚｷを
入れることで可動部や振動対策などに有効です。

真空フレキ、ガス配管フレキ、低温ガス用フレキ、超高圧用フレキなど
川口液化ケミカル株式会社までどうぞご相談下さい。
TEL 050-8881-7393
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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年11月8日　火曜日
　※男子テニス錦織圭選手がスイスのバーゼルで行われた「スイス室内」シングルスで準優勝し
　　決勝で元世界１位のロジャー・フェデラーにストレート負けしたものの世界ランク２４位に
　　浮上し日本人最高ランクを記録しています。
　　めざせ四大大会での優勝！
　天気　はれ
　気温　朝15℃、昼18℃、夜15℃
です。

受験生が使ってはいけない言葉２
（大学受験塾ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師村田明彦氏ﾌﾞﾛｸﾞより）

「やる気がでないんです。」

やる気がでない日は確かにあると思います。

でもやる気がないということが、勉強できない理由にはなりません。

やる気がないを言い訳にしてはいけません。

やる気がなくても勉強することはできます。

とりあえず教材を手にとってみる。

音読してみる。

一題解いてみる。

やうやって、少しでも頭を動かし、手を動かしていく中で

やる気が出てくるようになるのです。

　by との

真空ﾌﾚｷ各種

NW-KF用Oリング

2011年9月23日 21:08

　真空ﾌﾗﾝｼﾞの代表的なNW-KFﾌﾗﾝｼﾞは、Oﾘﾝｸﾞｼーﾙにより平滑な両端のﾌﾗﾝｼﾞ面に
押しつぶされて真空が保たれます。

大気圧から負圧である真空の場合は、そのｼーﾙされるOﾘﾝｸﾞが真空側に吸い込まれ
ないために、ｾﾝﾀーﾘﾝｸﾞまたはｲﾝﾅーﾘﾝｸﾞと呼ばれる金属製または樹脂製のﾘﾝｸﾞによ
り保持されます。これが真空容器側で場合によっては大気圧から陽圧側（正圧側）
になる場合には、Oﾘﾝｸﾞが大気側に膨らんで外れてしまうためｱｳﾀーﾘﾝｸﾞを付けない
と保持できません。

NW-KFﾌﾗﾝｼﾞのOﾘﾝｸﾞｼーﾙ部品
左下：ｾﾝﾀーﾘﾝｸﾞ+ｱｳﾀーﾘﾝｸﾞ付きOﾘﾝｸﾞ
右上：ｾﾝﾀーﾘﾝｸﾞ付きOﾘﾝｸﾞ

ただし、陽圧側の圧力保持範囲にも限界がありますので
内部に滞留するｶﾞｽ種とその物性によりOﾘﾝｸﾞ自体の材質にも注意したいところです。

ｲﾝﾅーﾘﾝｸﾞ＋ｱｳﾀーﾘﾝｸﾞ付きOﾘﾝｸﾞ　（NWﾌﾗﾝｼﾞ）
SUS304製＋ﾊﾞｲﾄﾝ製Oﾘﾝｸﾞ

ｲﾝﾅーﾘﾝｸﾞ付きOﾘﾝｸﾞ　（NWﾌﾗﾝｼﾞ）
SUS316L製＋ﾊﾞｲﾄﾝ製Oﾘﾝｸﾞ

真空部品、真空ﾌﾗﾝｼﾞ加工品、高温用Oﾘﾝｸﾞ（320℃）、極低温用継手など
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今日の埼玉県さいたま市のお天気は？
　2011年9月23日　金曜日秋分の日
　※ 寿命で地球に落下しつつある米国の大気観測衛星（ＵＡＲＳ）について、大気圏に
　　再突入するとみられる日本時間の２４日午前２時に北方領土付近、同３時半に愛知、
　　岐阜、福井県など中部地方付近、同５時に沖縄本島の南側の上空を通過すると見込
　　まれているそうです。
　天気　はれ　
　気温　18℃（PM9:00)
です。

（大学受験塾ﾐｽﾀーｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師村田明彦氏ﾌﾞﾛｸﾞより）

「高い感覚を維持する」

勉強していて

せっかく高まった感覚も

油断しているとすぐに忘れてしまいます。

すぐに忘れてしまわないように

毎日反復する必要があります。

高い感覚を維持するためには

反復・継続・音読・忍耐が必要不可欠です。

　by との

NW-KF用Oリング

気圧

2011年9月 5日 21:29

　地上の上であっても圧力はありますが、なかなか感じることはありません。
しかし、日本で言えば富士山など高度が上がれば気圧は下がります。それは
富士山頂でご飯を炊くと芯が残って食べられないこととも関係しています。

地上では概ね大気圧 1atm (1.01 x 10 5Pa)ですが、富士山では頂上付近で
6.12 x 10 4Pa 程の圧力に低下するため、水が 90℃になる前に沸騰してしまう
のです。

地上での高度と、そのときの圧力の関係を見てみればお分かりいただけることで
しょう。

地上高度 ( m )　　　　　　圧力 ( Pa )
　　　　0　　　　　　　　1 x 10 5
　　2,000　　　　　　　　8 x 10 4
　　3,776　　　　　　　　6.12 x 10 4 富士山頂
　　5,100　　　　　　　　5.3 x 10 4
　　9,800　　　　　　　　2.7 x 10 4 ジェット機の飛行高度
　 18,500　　　　　　　　6.7 x 10 3
　 28,500　　　　　　　　1.3 x 10 3
　 40,000　　　　　　　　2.7 x 10 2
　 50,000　　　　　　　　6.7 x 10 1
　 63,000　　　　　　　　1.3 x 10 1
　 89,000　　　　　　　　1.3 x 10 -1
　 126,000　　　　　　　　1.3 x 10 -3
　 320,000　　　　　　　　1.3 x 10 -5

※1 atm = 1.01x105Pa = 760mmHg = 1,010mbar

富士山登頂をして圧力の変化を感じてみてはいかがでしょうか？

高圧ガス・真空機器・低温機器のことなら
川口液化ケミカル株式会社までどうぞよろしくお願い致します。
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年9月5日　月曜日
　※サッカー女子のロンドン五輪アジア最終予選「なでしこジャパン」は豪州
　　と対戦し１－０で勝利を収めました。３連勝で勝ち点を９に伸ばし、五輪
　　出場権獲得が目前です。
　天気　曇りのち雨
　ボンベ庫の温度　朝25℃、昼27℃、夜28℃
　本日の東京電力最大消費率　80％(AM11:00,PM4:00,PM6:00)
です。

反復のコツテーマ：■勉強法
頭の中で思い描いたことと

実際（リアル）は違う。

自分ができるつもりになった、わかったつもりになった

けど、実際にはできないことがある。

問題集もできるようになった！

と思っていても日々確認を続ける。

忘れる前に確認。

忘れても確認。

そうすることで、不安な気持ちが消えて安心感が生まれる。

そうして、反復した知識、解法を

自由に使いこなせるようになるまで、手放さずにやりきろう！

（大学受験塾Mr.ステップアップ専任講師村田明彦氏ブログより）

　by との

気圧

平均自由行程とは？

2011年8月28日 21:15

　真空中では多くのガス分子が 500m/sec ほどの高速で無秩序に飛び回っています。
気体分子は絶えず衝突を繰り返し、はじめの衝突と次の衝突までの間に運動する距離
を自由行程といい、その平均値を平均自由行程 Mean Free Path （λ）といいます。
平均自由行程は真空における気体の性質を考える際には重要な値です。

気体分子の速度分布がマックスウウェル分布で表されるとき平均自由行程　λ　は

λ = 1 ÷ (√2 x π x n x σ2 )

n : 気体分子密度（個/cm3）
σ : 分子の直径 cm

となります。

一定の温度では、圧力P と n は比例しますので、平均自由行程は圧力に逆比例します。
平均自由行程が真空チャンバーの寸法に比べて十分に大きなときには気体分子はチャン
バーの壁面との衝突が多くなり、気体分子同士の衝突は無視できます。各種ガスの平均
自由行程の数値は以下の通りです。

　　平均自由行程(m)25℃
H2　　　1.21 x 10 -2
He　　　1.9 x 10 -2
CH4　　 0.53 x 10 -2
H2O　　0.43 x 10 -2
Ne　　　1.4 x 10 -2
Air　　　0.66 x 10 -2
O2　　　0.70 x 10 -2
Ar　　　0.69 x 10 -2
CO2　　0.43 x 10 -2
Kr　　　0.53 x 10 -2
Xe　　　0.39 x 10 -2
Hg　　　0.50 x 10 -2

真空チャンバーへ導入するガス供給系機器や供給配管・現場配管工事のことなら
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ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は？
　2011年8月28日　日曜日
　※プロ野球の楽天イーグルス球団初の８連勝なるか？
　天気　はれ
　気温　23℃（PM9:00)
　本日の東京電力最大消費率　75％(PM6:00〜7:00)
です。

吾が道、一を以って之を貫く。

（『論語』より）

「この、"一（いち）"ってなんだろう？」

と、若かりし頃はずっと思いを巡らせていました。

人生でいちばん大事なもの、なんていうと大袈裟に聞こえるけど、

今思えば、きっとそれは難しいことなんかじゃないのかもしれません。

昨日とある子がこう言っていた。

「ここにいれるだけで、幸せなんです。」

と。

思えば、僕達だってそうだった。

能力でも、技術でも、富でも、名声でもなく、

ただ、ただ、己の魂をゆさぶるような、

胸を熱くさせる何かが、あの人の中にあって、

その人と一生、ここにいたいと思って、

その思いに素直に従って生きただけなのだ。

誰と生きるのかが決まれば、万事はすべて自然と定まってゆく。

一というのは、案外そういうことなのだと、ふと思いました。

（大学受験塾Mr.ステップアップ専任講師川崎雅史氏ブログより）

　by との

平均自由行程とは？

ドライ真空ポンプで排気できるもの

2011年8月27日 17:29

　接ガス部に回転部シール用潤滑油を使用していないドライポンプでは
どんなガスを吸引できるのでしょうか？

基本的にドライポンプの中の接ガス部材質がどのような耐性を持ってい
るかどうかにより決定します。

ポンプ内部の本体（ケーシング、ローターなど）は鋳鉄製、アルミ製、ス
テンレス製などさまざまです。金属部分には表面にコーティング処理を施
すことで耐食仕様になります。軸シール部分にはOリングが使用されてお
ります。各種合成ゴムはその種類により耐性が異なります。腐食性が強い
場合にはPTFE （フッ素樹脂）製のOリングを使用することになりますが
ポンプメーカー都度仕様を確認したほうが良いでしょう。

それでは一般的なOリングの耐性について見てみましょう。

合成ゴムの耐食性

特性　　　　NBR　　FRM　　CR　　EPDM
　　　 ﾆﾄﾘﾙｺﾞﾑ　ﾌｯ素ｺﾞﾑ ｸﾛﾛﾌﾟﾚﾝ ｴﾁﾚﾝ･ﾌﾟﾛﾋﾟﾚﾝｺﾞﾑ
ｱﾝﾓﾆｱ　　　　×　　　 ○　　 　×　　　 ×
ﾊﾛｹﾞﾝ系　　　×　　　 ○　　　 ×　　　 ×
ｵｿﾞﾝ系 　 △　　　○　　　 ○　　　 ○
濃硫酸97%　 ×　　　 ○　　　 ×　　　 ×
希硫酸48%　 △　　　○　　　 △　　　△
濃硝酸61%　 ×　　　 ○　　　 ×　　　 ×
希硝酸12%　 ×　　　 ○　　　 ×　　　 ○
濃塩酸　　　 ×　　　 △　 　 ×　　　 △
濃燐酸85% 　×　　　 ○　　　 △　　　○
ﾄﾘｸﾛﾛｴﾁﾚﾝ　　×　　　 △　　　×　　　 ×
ﾒﾁﾙｱﾙｺｰﾙ　　 ○　　　 ×　　　 ○　　　 ○
ｴﾁﾙｱﾙｺｰﾙ　　 △　　　△　　　○　　　 ○
ｱｾﾄﾝ　　　　 ×　　　 ×　　　 ×　　　 ○

○：可、△：条件により可、×：不可

ご覧のように耐性は一様ではありません。
吸引する対象ガスや薬品とOリングやポンプ接ガス部金属表面の耐性を
確認することが必要です。

耐食性ガス、耐薬品性、粉・ﾃﾞﾎﾟ物に強いドライポンプのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご連絡下さい。
TEL　050-8881-7393
FAX 048-281-3987
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ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は？
　2011年8月27日　土曜日
　※ニューヨークでハリケーン「アイリーン」の米東海岸への接近を受け
　　地下鉄やバスなどが全面運休し、低地の住民約３０万人を対象に同市
　　史上初の避難命令も発令され、厳戒態勢を敷いているそうです。
　天気　くもり
　気温　24℃（PM6:00）
　本日の東京電力最大消費率　68％(AM10:00～PM4:00）
です。

「人生において大事な感覚とは、損できること」

　人はえてして

　損したことが記憶に残り

　次を得るチャンスを失う

　弱さとは

　損することを恐れて無難を選ぶこと

　強さとは

　自ら進んで損できること

　強くなると、損しなくなるのではなく

　誰（何）かのために、平気で損ができる

　人生は

　無傷では進めない

　恐れていたら変わらない

　身を切って

　バランスを崩すことで

　次に進める

　良い人生は、損して、損して...

　大きな得（徳）を得ることでつくられていく

（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）

　by との

ドライ真空ポンプで排気できるもの

真空ﾁｬﾝﾊﾞｰの排気時間

2011年8月 2日 21:58

　真空チャンバーに対して真空排気する真空ポンプの排気量や仕様を
決定するには、どれくらいの時間で例えば大気から所定の真空度まで
到達するかを知る必要があります。

例えば真空チャンバーの容量を V (L) とすると、真空ポンプの排気速
度を S (L/min) とすれば、初めの圧力 P1 (Pa) から必要な圧力 P2 (Pa)
まで排気するまで要する時間 t (min) は・・・

　t = V / S x 2.3 log P1 / P2

で計算できます。

この計算をするときの真空ポンプの排気速度 S は圧力領域により変わっ
てきますが、そのときの S の大きさにより圧力領域を分けて t1,t2,t3・・
に分けて計算し　t = t1 + t2 + t3 + ・・・　とします。

真空ポンプの排気速度の大きさを求めるときは、上の公式の t と S を入
れ替えて次の式により概略を計算することができます。

S = V / t x 2.3 log P1 / P2

例えば・・・

100L の容器を大気圧から 100 Pa まで排気するのに要する時間は？

排気速度 t =
ﾀﾝｸ容量 V (L) / ﾎﾟﾝﾌﾟ排気速度 S (L/min) x 2.303 log
x P1 初期圧力 (Pa) / P2 最終圧力 (Pa )

t0 = t1 + t2 + t3 + t4 + ････

t1 = V 100 / S1 180 x 2.3 log x P1 100,000 / P2 1,000 = 2.6 min

t2 = V 100 / S1 150 x 2.3 log x P1 1,000 / P2 100 = 1.5 min

よって

t0 = t1 + t2 = 2.6 + 1.5 = 4.1 min

となります。

真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ、真空計、真空ﾎﾟﾝﾌﾟ、真空排気ｼｽﾃﾑ、真空ﾘｰｸﾃｽﾄなど
川口液化ケミカル株式会社までどうぞご相談下さい。
TEL 050-8881-7393
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年8月2日　火曜日
　※映画の「ｶｰｽﾞ2」が封切られています。
　　ｶｰｽﾞ1はｶｰﾚｰｽに友情や絆を絡めた内容ですね。
　　ｶｰｽﾞ2は、それらに007のようなｽﾘﾘﾝｸﾞなｱｸｼｮﾝも加わり、周りの子供
　　よりも画面に見入ってしまうようです。
　天気　くもり
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝25℃、昼27℃、夜27℃
　本日の東京電力最大消費率　75% (PM4:00)　
です。

「 成長する人には、捨てる習慣がある 」

　多くの人は現状維持に必死になりがち

　その最大の原因は

　変わらない大切なモノを見失っているから

　変わらないモノがあってこそ人は変化できる

　そのためには

　不要なモノは定期的に見直し

　削ぎ落していくこと

　捨てれば捨てるほど

　何を変えたらいいのか

　何を変えてはいけないのか

　そして

　どう進んでいけばいいのか明確になっていく

（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）

　by との

真空ﾁｬﾝﾊﾞｰの排気時間

油の逆拡散（ｵｲﾙﾊﾞｯｸ）

2011年7月13日 23:40

真空ポンプのオイルバック（油の逆拡散）とはなんでしょう？

真空ポンプで潤滑油など油を使用しているロータリーポンプ
（油回転ポンプ）や油拡散ポンプなどは、真空排気している最
中に熱せられた油の蒸気が真空チャンバー側に（空気を吸い込
む方向と逆側）に進んでしまう現象のことを言います。

どんなに真空排気をしていたとしても逆戻りする油の分子を真
空ポンプ側に引き込むことは難しく、油蒸気は真空チャンバー
内に入り込んでしまう可能性があります。
　真空チャンバーの内壁（内面）などに油の付着物があるよう
な場合にはオイルバックの可能性が高いです。特に油拡散ポン
プは、ポンプの機構上油蒸気が常に真空チャンバー側へ回り込
んでしまう動きがあるため、吸気フランジ面に水冷バッフルや
液体窒素トラップ、冷凍機式のトラップなどを付けて真空チャ
ンバーを汚さない対策が不可欠です。
　水冷バッフルとは、凝縮性の油蒸気が飛んで来た場合に、直
線的に真空チャンバーに入らないよう抵抗になる部位に遮る板
を設けるものです。油拡散ポンプの吸気フランジ面に付けるこ
とでバッフル面で油蒸気を凝縮させ真空チャンバーへの逆流（
侵入）を防ぐのです。油拡散ポンプの性質上、ポンプの起動時
や停止時など定常運転以外のときに発生し易くので排気装置の
操作手順などもオペレートミスしないよう注意が必要です。
逆拡散の防止策としては、真空チャンバーと油拡散ポンプの間に
ゲートバルブやアングルバルブなどの遮断バルブを設けることで
油上がりを防ぐことができるのです。

真空ポンプのロータリーポンプ（油回転ﾎﾟﾝﾌﾟ）、油拡散ポンプ
（某メーカー名：ﾃﾞｨﾌｭｰｼﾞｮﾝﾎﾟﾝﾌﾟ）など、新規購入からオーバ
ーホール、分解修理までご相談ください。
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年7月13日　水曜日
　※ｻｯｶｰの女子W杯をめぐり、ﾄﾞｲﾂ各地で飼育されているﾀｺが
　　13日午前に行った勝敗の"予言"で、日本が準決勝でｽｳｪｰﾃﾞﾝに
　　勝つとしたのは、参加７匹のうち４匹で多数派となった。
　　準々決勝で日本が強豪ﾄﾞｲﾂに勝利すると事前に占った「ﾊﾟｳﾙⅡ世」
　　は、今回はｽｳｪｰﾃﾞﾝに軍配を挙げたそうです。
　天気　はれ
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　昼37℃、夜34℃
　本日の東京電力最大使用率　84%(PM2:00)
です。

＜成長のヒント＞

　必要に迫られている中に

　嫌いなもの、苦手なもの

　避けてきたものがあるかもしれない

　しかしそれは

　今までずっと先送りにしてきたのが

　今に現れているにすぎない

　これ以上

　先延ばしにするのは得策ではない

　向き合う最高のタイミングは

　常に今

　めんどくさい、やりたくない、楽しくない...

　という感情を乗り越えてみよう

　その先には

　思いもしない光景（可能性）が広がっている

　by との

油の逆拡散（ｵｲﾙﾊﾞｯｸ）

加速器　accelerator

2011年6月12日 21:09

　電気を持った電子や陽子、原子かどから電子を陽イオンを荷電子粒子
です。この荷電子粒子を電気の力で引き付けて運動エネルギーを与えて
速度を上げるための装置が「加速器」です。

粒子の加速には電場を用い、電荷を持った粒子は電場の中でエネルギー
を貰うと速度か上がります。この原理は、二つの電極板より電場を保ち、
負の電荷を持った電子を穴から電場に入れると、正の電極板に向かって
引き寄せられます。このとき電子は加速されて速度を上げ正の電極に向
かいます。この電子の運動エネルギーは、電場の中で位置エネルギーが
運動エネルギーに変えられ、速度を上げるのこの原理が加速器です。

加速器には、サイクロトロン(cyclotron)とシンクロトロン(synchrotron)
があります。

中心部のイオン源で作られた加速粒子を電極のギャップと呼ばれる隙間
を通過させ高周波電圧が印加されるとエネルギーを得て加速されるもの
がサイクロトロンです。粒子が半周回って再びギャップに達すると高周
波の位相が180度逆転し、粒子は再び相当電圧分だけ加速されます。こ
うして粒子エネルギーは増大し、軌道半径が大きくなるのでらせん状に
なりエネルギーの大きさは10MeVほどになります。

シンクロトロンは加速粒子を円軌道に乗せたもので、多くの偏向電磁石
と粒子を加速させるための高周波加速空洞から構成されます。円軌道の
半径を大きくすればより高いエネルギーまで加速することができます。
何段かの円形加速器でエネルギーを上げるブースター方式は1000GeV
まで、直線状並べた加速電場によってビームを加速する線形加速器では
100GeVにもなります。

真空機器の選択、真空ﾁｬﾝﾊﾞｰの製作、真空漏れの検査など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日のさいたま市のお天気は？
　2011年6月12日　日曜日
　※ｿﾌﾄﾊﾞﾝｸの孫正義社長やｻｯｶｰ日本代表の岡田武史前監督らが参加して
　　再生可能エネルギーによる全全発電量割合を2020年まで20%にする
　　自然ｴﾈﾙｷﾞｰ推進庁発足に向け動き出したそうです。
　天気　はれ
　気温　22℃（PM9:30）
です。

「本番への準備とは？」
（大学受験塾ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師村田明彦氏ﾌﾞﾛｸﾞより）

「本番のことを意識すると、焦って勉強がから回ってしまうんです。」

という受験生がいます。

確かに、本番までの残り時間を意識すると焦ってしまうことがあります。

でも逆なんです。

本番はありとあらゆることを考えることができません。

本番は時間との戦いです。

本番で考えることが多すぎると、タイムオーバーになってしまいます。

できる限りノータイムで解ける問題を増やしておく。

それは、本当に時間を割かないといけない問題

（＝合否をわけるような問題）に時間を割くためです。

できる受験生とは、本番でイチから全て考えているわけでなく、

すでに考えつくしてきた受験生だと言えるのです。

だから、本番で考えないといけないことを減らすことが大事なのです。

以前、師にこのように聞きました。

「本番への準備とは？」

「本番で考えることを減らすこと。

　だから、準備の段階では焦ってやるのではなく、一度とことん丁寧に
　
　やる必要がある。

　まずは問題を解く上で丁寧に、ありとあらゆる可能性を考えてみるんだ。

　数学ならば

　『このように式変形したらどうなるかな？』

　『違う解法で解いた場合はどのなるのかな？』

　という具合にだ。

　それを丁寧にやれば、どこが省略できるかが見えてくるんだ。

　すると解法の最短コースがわかるようになる。

　一度、丁寧に問題を見た後、今度はそれをもっと速くできるように反復する。

　時間的負荷をかけるようにするんだ。

　15分で解けた問題は10分で、10分で解けた問題は8分で...

　という具合にだ。

　そうやって時間的負荷をかけるようにしていくと

　人は瞑想（めいそう）状態になる。

　だから、焦るのでなく、落ち着いて

　どんどん没入没頭（ぼつにゅうぼっとう）できるようになる。

　それが、本当の勉強なんだよ。」

焦って空回りして、表面的な勉強をしても、勉強は深まっていきません。

これは、勉強だけに言えることではありません。

ダンス、料理、仕事etc...

本番への準備とは、本番で考えることを減らし、

力が抜けるように準備しておくこと。

焦らず、丁寧に勉強してみよう！

　by　との

加速器　accelerator

気体の電離現象に基づく真空計

2011年6月 5日 21:16

　真空中でその雰囲気にあるガス分子を電離させてイオン電流を
測定するのが電離真空計です。

その気体を電離する方法の違いから、熱陰極電離真空計、冷陰極
電離真空計、放射線電離真空計などに分離されております。

　熱陰極電離真空計は、熱陰極から放出された熱電子によって気
体を電離し生成したイオンを測定する真空計です。
　冷陰極電離真空計は、熱陰極に変えて冷陰極放電を利用して気
体を電離させ測定する真空計です。
　放射線電離真空計は、放射線源を内蔵し、これらの放射線によっ
て生成されたイオンを測定する真空計です。

　一般的には電離真空計とは熱陰極電離真空計のことをいいます。
熱陰極電離真空計は、中真空から超高真空領域を測定する真空で
は安定した特性を持ちます。熱陰極電離真空計には構造や測定範囲
から三極管形電離真空計、B-A 形電離真空計、ｼｭﾙﾂ形電離真空計に
分かれます。熱陰極電離真空計も、ﾍﾟﾆﾝｸﾞ真空計、ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝ真空計、
ｶﾞｲｽﾗｰ管（ｲﾝｼﾞｹｰﾀｰ）があります。

　電離真空計を利用する際には、先ず測定範囲を確認することが必
要で、精度を把握し、大気圧近くの低真空ではﾌｨﾗﾒﾝﾄが焼損します
ので操作方法を誤らないこと、そして測定雰囲気に影響が無い測定
子を選択することが必要です。

真空計、真空排気ﾎﾟﾝﾌﾟ、真空ﾁｬﾝﾊﾞｰの製作、真空漏れの検査など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日のさいたま市のお天気は？
　2011年6月4日　日曜日
　天気　はれのち雨
　気温　18℃（PM10:00）
です。

　何かを貫こうと思ったら

　波風が立つもの

　１０人中１０人の全員に理解してもらおうと思ったら

　進むことは不可能

　大切なモノが失われていく

　ゆずれない大切な何かを定めたら

　認められたい、好かれたい、評価されたいと思わなくなる

　後悔もしなくなる、迷わなくなる、ブレなくなる

　まずは

　今の段階で、大切にしたいモノを大切にしてみよう

　その中で離れていく人は

　今は一緒に歩む人ではないかもしれない

　でも大丈夫！

　ちゃんと誰かが見てくれていて

　いつの日かきっと

　共に歩む同志が現れる

　by との
　

気体の電離現象に基づく真空計

ｽﾊﾟｯﾀ率

2011年6月 2日 18:38

　大学実験でﾎﾟﾋﾟｭﾗｰなｽﾊﾟｯﾀ装置は、ｲｵﾝで薄膜材料の原子を弾き飛ばす
ものです。

ｲｵﾝが固体表面に衝突すると
・電子反射 e-
・中性電子、分子の放出（これがｽﾊﾟｯﾀ）
・+,- ｲｵﾝの放出（材料分析に利用）
・光の放出
・気体の放出
・気体の分解、放出
・ｽﾊﾟｯﾀされた粒子の逆戻り
・拡散
・結晶変化
・加熱
・+ｲｵﾝ
・反射
などの現象が起きて、このうちの中性原子、分子の放出を利用して薄膜を
作ります。

1個のｲｵﾝがﾀｰｹﾞｯﾄなどの突入すると何個の原子が弾き飛ばされるかを
表すｽﾊﾟｯﾀ率は、大きい場合は小さい電流、小さい電力で少ないｲｵﾝ数でた
くさんの銅原子をｽﾊﾟｯﾀし、早く薄膜を作れます。金銀銅などはｽﾊﾟｯﾀされ
やすく、ﾁﾀﾝ、ﾆｵﾌﾞ、ﾀﾝﾀﾙ、ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝの高融点金属はｽﾊﾟｯﾀされ難く、ｲｵﾝと
しては不活性ｶﾞｽのうちｱﾙｺﾞﾝｶﾞｽが多く用いられます。ﾍﾘｳﾑやｸﾘﾌﾟﾄﾝなど他
の不活性ｶﾞｽのｲｵﾝもだいたい同じ傾向を示します。酸化物のｽﾊﾟｯﾀでﾀｰｹﾞｯﾄ
上にできた酸素ﾏｲﾅｽｲｵﾝができると薄膜をｽﾊﾟｯﾀしてしまいいろいろな問題を
引き起こすので注意が必要です。

ｽﾊﾟｯﾀ装置用の導入ｶﾞｽである高純度ｱﾙｺﾞﾝ、高純度酸素ほか特殊ｶﾞｽまで
川口液化ケミカル株式会社へご相談下さい。
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年6月2日　木曜日
　天気　あめ
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝16℃、昼18℃
です。

　内閣不信任決議案は、２日午後の衆院本会議で採決が行われ
与党の反対多数で否決されましたね。

先立って行われた民主党の代議士会で菅直人首相が東日本大震災
からの復興にメドがついた段階で辞任する意向を表明したことで
想定されていた民主党内からの大量造反はかろうじて回避された
ようです。

　投票総数は４４５票で、反対２９３票、賛成１５２票。

圧倒的大差で否決されました。

ちなみに・・・

小沢一郎元代表を含む２０人近くが採決を棄権したそうです。

選挙と言われても実質的には不可能な避難民10万人のうち
小沢氏の地元岩手でも、懐疑的な声が聞こえています。

不平・不満・愚痴・泣き言、悪口・文句は置いておいて
妥協の無い、ただ今、出来る、最大限のことをしましょう！

　by との

ｽﾊﾟｯﾀ率

ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ　Turbo-molecular-pump

2011年5月31日 21:52

　真空ﾎﾟﾝﾌﾟの高真空領域で多く利用されているﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟのご紹介です。

このﾎﾟﾝﾌﾟは回転軸に取り付けられ高速回転する多段ﾀｰﾋﾞﾝ形の回転翼（rotor
brade）とその回転翼と交互にﾀｰﾋﾞﾝ形の固定翼（stator blade）を配置した構
造で、回転翼の回転（周速250～330m/sec）によりその表面に衝突した気体
分子に運動量を与え、気体輸送を行う運動輸送式真空ﾎﾟﾝﾌﾟです。その他の
溜めこみ式高真空ﾎﾟﾝﾌﾟと異なり、連続して同一状態で運転させることが可
能です。補助ﾎﾟﾝﾌﾟと組み合わせることにより１０-5 ～ １０-8 Paの超高真空
まで到達可能なﾎﾟﾝﾌﾟです。

特徴は・・・

１、一般的に吸気側に高い排気速度、排気側に高い圧縮比を持つ翼列構造で
　　翼の傾き角度が吸気口側で45度と大きく、排気口に向かって約10度と小
　　さくなっています。
２、段数を多くすることで圧縮比を上げることが出来ます。
３、回転軸受構造はﾎﾞｰﾙﾍﾞｱﾘﾝｸﾞと磁気浮上ﾍﾞｱﾘﾝｸﾞのﾀｲﾌﾟが一般的ですが
　　ｴｱﾍﾞｱﾘﾝｸﾞを使用したﾀｲﾌﾟもあります。
４、磁気浮上ﾀｲﾌﾟ＋ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟを使用することで簡単に完全ｵｲﾙﾌﾘｰ超高真空
　　真空排気ｾｯﾄを組むことが出来ます。
５、溜めこみ式ではありませんので再生の必要が無く、ﾎﾟﾝﾌﾟが稼働できない
　　時間がありません。
６、起動時間が早く、あっという間です。

ズバリ欠点は・・・

１、水素やﾍﾘｳﾑなど軽い分子の気体に対して圧縮比が小さい。
２、振動に弱い。
３、異物の混入によりﾛｰﾀｰﾌﾞﾚｰﾄﾞの破損の可能性があります。
４、ﾛｰﾀｰ破損時のｴﾈﾙｷﾞｰは膨大です。
５、補助ﾎﾟﾝﾌﾟが必須です。

1200L/sec のTMP（取付方向：水平）

ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟなど高真空ﾎﾟﾝﾌﾟ、ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟなど低真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾘｰﾝな排気特性を持つｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟなど、真空排気ｾｯﾄのことなら
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年5月31日　火曜日
　天気　はれ
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝17℃、昼23℃、夜18℃
です。

北極流今日の開運ﾒｯｾｰｼﾞﾌﾞﾛｸﾞより

ものごとの真髄は「中庸(ちゅうよう)」にある。

しかし、中庸は言葉にできない。

右に偏りすぎたら、「左へいけ」と言われ。

左に偏りすぎたら、「右へいけ」と言われる。

だから、言葉（部分）だけを捉えていては、

いつまで経っても真髄は会得(えとく)できない。

部分ではなく、

局面、状況、タイミング、空気...

すべてセットで、

全体（関係性）を掌握（しょうあく）すること。

　by との

ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ　Turbo-molecular-pump

真空容器のﾘｰｸ

2011年5月 9日 18:52

真空容器は完全ではなく微少リークが少なからず存在します。

それは・・・。

体積1L の真空容器（真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ）を排気速度 1L/sec の真空ポンプ
で排気すると、約30秒ほどで 10 -9 Pa の超高真空まで到達するはず
です。でも、実際にはそれほどの良い真空域まではいきません。

それは次の原因によるものです。

１、漏れ（リーク）
　　　容器に開いている小さな穴から、大気側より空気が入ってきて
　　しまうためです。

２、透過
　　　鉄やｽﾃﾝﾚｽ製の真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ壁面とはいえ、気体が通過します。
　　ﾍﾘｳﾑｶﾞｽはｶﾞﾗｽを透過しますし、水素は金属を極微少ながら透過
　　させます。ﾍﾘｳﾑｶﾞｽがゴム風船の膜を通過して萎んでしまうのは
　　透過によるものです。

３、容器壁面の吸蔵ガス
　　　真空ﾁｬﾝﾊﾞｰの壁面母材のなかには、いろいろな要因でｶﾞｽが吸着
　　され内蔵されています。これがダラダラと放出される傾向がありま
　　す。

４、表面の吸着ｶﾞｽ
　　　目で見て乾いているように見える真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ内面でも、その表面
　　には大量の水分が吸着しています。

　真空排気をはじめると、ﾁｬﾝﾊﾞｰ内の圧力は一気に下がり 10 -1 Pa になる
と反比例の曲線を描きながらゆっくりと下がり、10 -3 Pa で一定値に落ち
着きます。
　このときのﾁｬﾝﾊﾞｰ内の真空度の変化は、10 -1 Pa あたりからガス放出の
影響が出始めます。圧力と時間の反比例関係は吸着ｶﾞｽの離脱が排気速度を
律速している故です。また、 10 -3 Pa でガスの放出と大気からの流入が
排気速度とちょうどバランスが取れると釣り合いが取れます。このとき1L/sec
の排気速度の真空ﾎﾟﾝﾌﾟで排気していて 10 -3 Pa までしか容器の圧力が下が
らないときには、単位時間に放出するか流入するガスの量が 10 -3 pa ･L / sec
ということです。要は 1気圧（1atm）で 10 -8 L / sec （約 1cm2 /day ）と
いう微量です。真空排気の途中で容器をﾍﾞｰｷﾝｸﾞすると、吸着ｶﾞｽや吸蔵ｶﾞｽが
放出され、ﾍﾞｰｷﾝｸﾞを終えると排気特性が一気に向上するものです。
　ﾁｬﾝﾊﾞｰ内の残留ガスを分析するとﾘｰｸの原因を突き止めることができます。
残留ガス分析計のﾃﾞｰﾀｰを見ると、高真空ﾎﾟﾝﾌﾟの特性で油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟもｸﾗｲｵ
ﾎﾟﾝﾌﾟも残留ｶﾞｽのほとんどが水分です。その代わり、油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟでは炭化水
素の質量数50 以上が多く検出されますが、ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟではまたく検出されませ
ん。ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟがｸﾘｰﾝな真空を作るのに適したﾎﾟﾝﾌﾟといわれる所以です。

真空ﾎﾟﾝﾌﾟのｵｰﾊﾞｰﾎｰﾙ、定期ﾒﾝﾃﾅﾝｽ、故障の修理など
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年5月9日　月曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝21℃、昼25℃、夜28℃
です。

中部電力は菅直人首相が要請していた浜岡原発（静岡県御前崎市）のすべての
原子炉の運転停止決定しました。
地震・津波対策に２～３年かかるため、その間に発電することができなくなります。

東京電力管内だけでなく中部地区も含め、夏場の電力供給が逼迫（ひっぱく）
することになりました。

節電、省電力がこれからは必至になりそうですね。

　by との

真空容器のﾘｰｸ

ECR Plasma CVD System

2011年4月17日 17:22

　プラズマCVDは1970年代に半導体用プロセスとして発展しました。
その一種である ECR プラズマCVDは、プラズマ放電の発生方法や
プラズマ発生室と反応室を分けているところが他のプラズマCVDと
異なります。

　マイクロ波動波管と連結して周囲に磁場発生機構が設けられたプラ
ズマ室とプラズマ室で発生した高密度プラズマをイオン源として反応
性ガスが効果的に励起される反応室とに分かれ、基板は反応室側にホ
ールドされています。
　プラズマ室で発生したマイクロ波放電励起のプラズマ中の電子が設
けられた磁場によって電子サイクロトロン共鳴（Electron Cyclotron
Resonance ）状態であるため ECR プラズマ CVDと呼ばれています。

　特徴としては、マイクロ波と磁場により高密度プラズマが発生する
ため、高濃度の活性種が生成でき、基板上に低温で緻密で高品質な成
膜を形成することができます。
　欠点としては、 ECR プラズマ発生源を搭載した装置が比較的高価
で、設備自身がかなり大掛かりになるため、メンテナンス性や、改造
が難しく困難な場合があります。

真空装置の真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ製作、補修、ﾘｰｸﾃｽﾄや真空ﾎﾟﾝﾌﾟのｵｰﾊﾞｰﾎｰﾙﾒﾝﾃﾅﾝｽ
ｶﾞｽ導入系の拡張、排ｶﾞｽ除害装置の設置など
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
TEL 050-8881-7393
FAX　048-281-3987
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日のさいたま市のお天気は？
　2011年4月17日　日曜日
　天気　はれ
　気温　16℃　（PM5:30）
です。

「 キャパを超えるテーマ」

自分のキャパが100だとして、

80のことにしかやっていなければ、自分のキャパは広がりません。

自分のキャパ以上のことをやって初めてキャパが広がります。

成績を上げるのも同じです。

自分の限界に挑んでいないので「これが限界！」なんていえない。

とことんやってみることで、見えるものがあります。

早くから、とことんやっていないウチから

「どうせできないよ。」

「私なんか」

と壁を作っていても始まりません。

もちろん、最初から逃げ腰では、何も見えてはきませんが。

（大学受験塾ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ　専任講師村田明彦氏　ﾌﾞﾛｸﾞより）

　by との

ECR Plasma CVD System

金属のガス吸収・吸蔵

2011年3月 6日 18:50

　金属は、気体を吸収したり放出する性質があります。1968年頃ﾗﾝﾀﾝ
1970年 LaNi5H6 が水素を吸収する合金として報告されて以来開発が進
んでいます。最近では、食品包装の中の酸素を鉄と化合させる商品も一
般的になりました。

　ｼﾞﾙｺﾆｳﾑ（Zr）系合金はｹﾞｯﾀｰ材と呼ばれ900℃程度に加熱すると超高真
空領域までH2ガスなどを吸着します。ｼﾞﾙｺﾆｳﾑとｱﾙﾐﾆｳﾑの合金の場合には
約800℃で活性化し、いろいろなｶﾞｽに対して相当量の吸収速度を持ち、
吸収したｶﾞｽは吸蔵された状態で安定しており再放出され難く、真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
として利用されています。ｼﾞﾙｺﾆｳﾑ + ﾊﾞﾅｼﾞｳﾑ + 鉄合金は、約400℃という
低い温度で真空加熱すると活性化し、これらを不揮発性ｹﾞｯﾀｰ材と呼んで
います。
　旧来はｹﾞｯﾀｰ材としてはﾁﾀﾝが利用されてきました。超高真空のﾁｬﾝﾊﾞｰ内
でﾁﾀﾝを加熱し、その周りのｶﾞｽ分子と一緒に蒸着させ、清浄な金属粒子膜
を吸着、吸蔵させました。ところがこのﾁﾀﾝがﾁｬﾝﾊﾞｰ内にばら撒かれるため
装置の本来の目的にとって都合の悪い場合がありましたので、不揮発性ｹﾞｯﾀｰ
材真空ﾎﾟﾝﾌﾟは超高真空領域では画期的なものとなったのです。

　これらの合金により、水素を吸着させ、再度加熱して水素を放出させる
ときに酸素や一酸化炭素などの不純物を安定に合金内に閉じ込められるので
高純度水素の精製にも利用されております。ｼﾞﾙｺﾆｳﾑ + 鉄系は400℃の真空
加熱活性化処理で、窒素ｶﾞｽは吸収し難いのですが、酸素や一酸化炭素など
を吸収・吸蔵する性質を持ちますので窒素ｶﾞｽの精製用に使用されておりま
す。ｼﾞﾙｺﾆｳﾑ + ﾆｯｹﾙ系は、400℃真空加熱活性処理をすれば、水蒸気を速い
ｽﾋﾟｰﾄﾞで吸収します。合金の表面の化学的性質によりさまざまなｶﾞｽを分離
精製・除去する機能性材料になるんどえす。

ｹﾞｯﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟなど真空ﾎﾟﾝﾌﾟ、真空排気セット、水素精製器、水素加湿器なそ
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今日のさいたま市のお天気は？
　2011年3月6日　日曜日　
　天気　はれ
　気温　11℃(PM8:00)
です。

中国古典「大学」より

「其の国を治めんと欲する者は、先ず其の家齊う」

国を治めようと思うなら、先ず己の家をしっかり納めなければなりません。
しかし、しっかりとした心掛けを持って臨まなければ、自分の家庭一つ
円満に治めることはできません。そして、自分の家庭もまともに治められ
ない者に、国家や会社などの組織を立派に治めることなどできないのです。
（致知　2011年4月号　伊興田 覚氏　治国平天下の根本より）

　by との

金属のガス吸収・吸蔵

真空ポンプのオーバーホール

2011年2月27日 18:42

各種真空機器メーカー製真空ポンプのオーバーホール・修理を承ります。
※ｵｰﾊﾞｰﾎｰﾙ消耗部品をﾒｰｶｰが外販していないﾎﾟﾝﾌﾟを除きます。

ｴﾄﾞﾜｰｽﾞ製ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ　　　　　・ ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ内部（中心部消耗品：ﾁｯﾌﾟｼｰﾙ）

MBP（ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ）+RP（ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ）　　　・ MBP　2軸の瓢箪型ﾛｰﾀｰ部

ｱﾙﾊﾞｯｸ製ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ（ｹｰｼﾝｸﾞ内ﾎﾟﾝﾌﾟ部）　　　　　　　ﾗｲﾎﾞﾙﾄ製ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ

RPﾎﾟﾝﾌﾟの心臓部（ﾛｰﾀｰ+ﾍﾞｰﾝ）

ｱﾙﾊﾞｯｸ（日本真空）・ｱﾙｶﾃﾙ・ｴﾄﾞﾜｰｽﾞ・ﾗｲﾎﾞﾙﾄ・ﾌｧｲﾌｧｰ・日立・大亜真空・樫山・佐藤真空など
真空ポンプのオーバーホール・故障の修理、新規ポンプへの更新・新規購入まで
川口液化ケミカル株式会社へご連絡ください。
TEL 050-8881-7393
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今日のさいたま市のお天気は？
　2011年2月27日　日曜日
　天気　はれ
　気温　15℃（PM6:30）
です。

毎瞬毎瞬、力が入りすぎても、よくないものです。

人は力を入れるところ（頑張っている状態）に美学を感じる傾向が強いため、

どうしても、ゆるみ方がへたくそ。そして、ガソリンが切れたように、止まってしまう。

ふわっと全身がゆるんだところに、自分も相手も本当の癒しを感じます。

ゆるむきっかけはなんだっていい。

私みたいな、食いしん坊なら、

人生で最高の白パンと出逢えたら、

一瞬で、余分な力が抜けたりするものですから。

何に囲まれ、何を食べ、自分も周りもどんな表情どんな感覚で生きているのか、

離れて感じてみることも大事です。
（御食事「ゆにわ」店長 村田聡美さんﾌﾞﾛｸﾞより)

　by との

真空ポンプのオーバーホール

ﾚｰｻﾞｰｱﾌﾞﾚｰｼｮﾝ(Pulsed Laser Ablations)

2011年2月13日 18:08

　古くから真空中で加熱蒸発させて、これを基板をあて付着させるという
もっとも簡便な薄膜づくりの方法が蒸着法です。光でいえば点光源に相当
し、蒸着の当たる中心に近いところの膜厚が厚くなるので基板の配置を工
夫します。

ターゲットを板状にして、酸化物高温超電導膜や強誘電体などのように膜
の組成をきちんと保つ必要がある場合に有効とされるのがﾚｰｻﾞｰｱﾌﾞﾚｰｼｮﾝ
蒸着です。

薄膜にしたい板状の材料にパルスレーザー光を集光してあてると、プルーム
と呼ばれる発光が見られます。これが基板上の薄膜を形成させます。レーザ
ーの高密度エネルギーが1発ごとにあたったところだけを蒸発させるのでフ
ラッシュ蒸着に似ており、数 kHz のパルスで連続的に成膜できるのです。
パルスレーザーはターゲットの微小平面から蒸発しているのではなく、1点
に穴の中で蒸発が起き蒸気が集中して吹き出す特徴を持ちます。

ﾚｰｻﾞｰｱﾌﾞﾚｰｼｮﾝ:PLA のメカニズムとして

１、レーザー光吸収により試料の局所が急激に温度上昇します。

２、局所が急激に液化し、気化すると、局所の表面は放射冷却や試料の気化熱
　　によって内部よりも低い温度になります。

３、すると、表面より温度の高い内部が爆発するか、そのとき面も含めて
　　吹き上げられると考えられています。

残念ながら PLA 装置は高価ですが、レーザーの１パルスごとに爆発的に
蒸発させ、組成変化のほとんどない、ピンホール等のない薄膜を蒸着法で
作るにはレーザーアブレーションが有効です。

真空装置、蒸着装置などの実験装置に関する設計、製作、修理、改造
ガス導入系、真空排気系の変更や改造、材料ガスのご用意まで
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今日のさいたま市のお天気は？
　2011年2月13日　日曜日
　天気　はれ
　気温　6℃(PM6:30)
です。

　人はエネルギー切れになると

　食事が乱れ、家が散らかり

　周りから奪おうとして

　多くを失う悪循環となる

　食事で心のエネルギーを充電し

　掃除でパワースポットをつくり

　エネルギッシュな自分で
　周りに与えることをすれば

　自分も周りもエネルギー増大の好循環となる
（小田真嘉氏ﾌﾞﾛｸﾞ　成長のﾋﾝﾄより）

　by との

ﾚｰｻﾞｰｱﾌﾞﾚｰｼｮﾝ(Pulsed Laser Ablations)

マグデブルクの半球

2011年2月 8日 21:13

真空のはじまりのお話です。

　1957年 ゲーリテはレーゲンスブルクで皇帝のほかドイツ各地の
政治家が集まった会議で、二つの半球を合わせて真空ポンプで中を
真空にして、それを馬に引かせて離す実験をしました。
　半球の間には漏らした動物の皮をパッキンとして使用することで
半球はピッタリとくっつき、どんなに引っ張られても外れませんで
した。これは、半球の外側の大気圧によるものです。馬を増やして
いって、16頭の馬が双方から引っ張られてようやく外れたそうです。
　この実験を「マグデブルクの半球」といい、真空や大気圧のこと
を多くの人に知らしめることができました。マグデブルグとは、当
時ゲーリケがマグデブルグ市長であったことに由来しているそうで
す。

　蓋のついた味噌汁やお吸い物が、なかなか外れなくて困ってしまう
ことがあります。そんなときにはお椀を両側から軽く押さえて開ける
ことができますが、なぜ開き難くなったのでしょう？
　これは入れたての熱々の味噌汁に蓋をすると、お椀の中の空気が
膨脹しますが、しばらくして冷えてくるとお椀の中の空気が縮小しだ
し、蓋の内部にちょっとだけ真空側に振れるので、外の大気圧が蓋を
抑えてしまうからなのです。両側からお椀を押すことで開いた理由は
蓋とお椀の間に隙間ができて、空気が入り込み、真空を破壊したから
なのです。

　そのようなことから真空とは、物質がまったく存在しない空間という
意味もありますが、JIS では「大気圧よりも低い圧力の気体で満たされ
ている特定の空間の状態」としています。
　圧力の単位と同じように真空度を表すのは、Pa （パスカル）という
単位があります。SI 単位系の導入以前は Torr （トール）が使われてい
ました。

ちなみに換算値として・・・

1 気圧 = 101.3kPa = 760 Torr
133.32 Pa = 1 Torr
10 -4 Pa ≒ 10 -6 Torr

となります。

用途によりますが、一般に圧力が10 -4 Pa より低い領域から10 -6 Pa
で高真空、10‐8 Pa あたりを 超高真空と呼んでいます。

真空機器、真空ポンプ、真空測定機器、真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ、真空ﾘｰｸﾃｽﾄ
真空配管、真空二重配管まで
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年2月8日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝5℃、昼6℃、夜6℃
です。

私にはなんら優れた学問もない。
才智もない。

技能もないものではあるけれども、ただ克己堅忍の意志力を
修養した一点においては、決して人に負けないと信じている。

富山の田舎から飛び出して、一個の小僧として奉公し、商人
として身を立てて今日に至るまでの六十余年の奮闘は、これを
一言に約めれば克己堅忍の意志力を修養するための努力に他ならぬ
のである。
（意志力　安田善次郎氏より）

　by との

マグデブルクの半球

ＩＣＦﾌﾗﾝｼﾞ　再利用可能ﾊﾞｲﾄﾝｶﾞｽｹｯﾄ

2011年2月 3日 19:55

　ICFﾌﾗﾝｼﾞで、どうしても脱着を頻度多く行わなければならない。
銅ｶﾞｽｹｯﾄを毎度消耗（交換）するのは、枚数が多くなると費用が
嵩む。

でも、ﾛｰﾄﾞﾛｯｸﾄﾞｱ（約20万円）を購入するほど余裕は無い。

どうしたらよいでしょうか？

そんな相談がありました。
そんな時には、再利用可能なﾊﾞｲﾄﾝｶﾞｽｹｯﾄはいかがでしょうか？

ICF152ﾌﾞﾗﾝｸﾌﾗﾝｼﾞと銅ｶﾞｽｹｯﾄ(ICF152,ICF70)、ﾊﾞｲﾄﾝｶﾞｽｹｯﾄ(ICF152,ICF70)

銅ｶﾞｽｹｯﾄは、エッジの痕が付いてしまうと、基本的に再利用出来ず
運良く再利用できたとしても少々難があります。

そんな時には、ICFﾌﾗﾝｼﾞ用のﾊﾞｲﾄﾝｶﾞｽｹｯﾄをお使いになられてみては
いかがでしょうか？

ICF152ﾌﾞﾗﾝｸﾌﾗﾝｼﾞ、ICF152+銅ｶﾞｽｹｯﾄ、ICF152+ﾊﾞｲﾄﾝｶﾞｽｹｯﾄ

ﾊﾞｲﾄﾝｶﾞｽｹｯﾄと銅ｶﾞｽｹｯﾄのｻｰﾌｪｲｽ

ただし・・・万能ではありません。
超高真空仕様やフルベーキングなどには対応不可です。

ご利用になられる用途によって、交換不要なICFﾊﾞｲﾄﾝｶﾞｽｹｯﾄをお使いになられて
みてはいかがでしょうか？

ICF,NW真空ﾌﾗﾝｼﾞ部品(SWL,VCRｶﾞｽ継手も対応可)のことなら
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今日の川口市のお天気は？
　2011年2月3日　木曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝1℃、昼6℃、夜7℃
です。

今日は、暖かかったですね！

ずっと凍えるような寒さで、屋外の水道やバケツの水も
凍った寒さでしたので、春を感じさせるような陽気でした。

旧正月を迎え、新春が近づいているのを肌で感じます。

そろそろ春ですね！

　by との

ＩＣＦﾌﾗﾝｼﾞ　再利用可能ﾊﾞｲﾄﾝｶﾞｽｹｯﾄ

ボアスルー真空バルブ

2011年1月25日 23:22

　アングルタイプやバタフライタイプの安価なバルブはあります。
しかし、これらのバルブにはコンダクタンスの妨げになる機構に
せざるを得ません。

ところがボールバルブタイプの真空バルブであれば、流路に障害物
は何も無いため配管内径いっぱいに排気性能を発揮できます。
そうすれば真空ポンプの排気量、デポ物の付着など問題を回避する
ことも可能です。

NW50 , NW25 タイプ　真空ボールバルブ
※他にもNW16 , NW40タイプなどもございます。

ご覧のように、ボアスルー（抵抗になるものはありません）です。

真空仕様手動ﾎﾞｰﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
※圧空式（ｱｸﾁｭｴｰﾀｰ式）、電磁式も対応可能です。

日本製ですので、海外製に比べ納期に優位性があります。

真空ﾎﾞｰﾙﾊﾞﾙﾌﾞのことなら
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今日の埼玉川口市のお天気は？
　2011年1月25日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝2℃、昼5℃、夜5℃
です。

　知っているのと、できるのは違う

　できるのと、しているのはさらに違う

　知れば知るほど、知らない自分を知り

　やればやるほど、本当の自分が現れる
（成長のﾋﾝﾄ　小田真嘉氏ﾌﾞﾛｸﾞより）

　by との

ボアスルー真空バルブ

ドライポンプ

2011年1月13日 23:36

　低真空領域でオイルバックなどがなくクリーンな真空雰囲気を
作ることができるのがドライポンプ(Dry-Sealed Vacuum Pump)
です。

このタイプのポンプの構造は、ローター間またはローターとケー
シング間の隙間の漏れを少なくして真空排気効率を向上させるた
めに、油膜または水で封止するウエット型のポンプと異なり、プ
ロセスガスを排気する真空排気の内部経路内に、油や水を一切使
用しないポンプのことをドライポンプ（Dry Pomp）と言います。

半導体産業が急速に発展した1980年代後半からウエハー上の回路
微細化や薄膜作成のためのハードプロセスガスの利用が広まること
によってドライポンプの必要性が広がりました。それまでのロータ
リーポンプなどでは、油分のオイルバック（油の逆拡散）が品質の
歩留まりを悪化させる要因となり、また、プロセスガスがシール液
中に混入することで油が汚れて頻繁に交換する必要があったり、ポ
ンプの設置場所がオイル漏れなどで汚染されるなどのデメリットが
あったためとされております。

半導体産業で使用されたドライポンプは、大気から 0.1～1 Pa程度
まで排気が可能で、ポンプ内部のプロセスガスとの接触部に油を使
用しないポンプです。

　ドライポンプにもその構造により以下のタイプに分けられます。

・多段ルーツ型
・多段クロール型
・スクロール型
・スクリュー型

どの機種も直結型モーターによる軸受部やタイミングギヤ部に潤滑
油を使用していますが、この油の蒸気やミストが真空排気して吸引
したプロセスガスと接触することが無いようにN2ガスでシールする
などの工夫が凝らされております。

その中でもスクリュー型は、粉や固形物（デポ物）の混入に対して
極めて強く、また、基本的にメンテナンスフリーであり、腐食系ガス
などにも対応機種が広がっているためハードプロセスや一般産業用で
も真空排気するガスにゴミや不純物などの混入がある場合には絶対的
な信用のあるポンプです。

スクリュー型ドライポンプや他ドライポンプのオーバーホールなどの
メンテナンスなど、川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　2011年1月13日　木曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝2℃、夜4℃
です。

「世の人はわれを　
　なんともいはばいえ
　われがなすこと　
　われのみぞしる」
　（by 坂本龍馬）

これが坂本龍馬の精神です。

龍馬は、あれこれ凄いわけですが、先ずは「脱藩」という
一点においても、本当に凄い。

当時、生まれた藩を出る「脱藩」と言う行為は、死罪になる
こともある大罪です。

さらに、その罪は親類縁者までに及びます。
龍馬が脱藩することで、名家、坂本家がおとりつぶしになる
可能性だってある。

「しかし、日本を変えるためには、自由を確保するには
　脱藩しなければいかんぜよ。」

司馬良太郎さんの「竜馬がゆく」では、この場面が
次のように描かれています。

「脱藩すればもう二度とお国に戻って来れませんよ。
　権平兄さんとも、乙女姉さんとも、あなたが可愛がっている
　姪の春猪とも、生涯会えませんよ。
　むろん脱藩人にうちからお金を仕送るわけにもいきません。
　どこぞの野末でのたれ死にしてもどう仕様もないことです。
　そのことお覚悟はありますか？」

「龍馬、覚悟はあるのか？」

お姉さんからそうたずねられます。

龍馬は、答えました。

「そりァ、俺、男の子じゃんもんな。
　志のために
　野末で野垂れ死にするのは
　男子の本懐じゃと思うちょります」

日本の未来のために、この命を使えるならば
自分が不幸だろうとも、本望だ！

これが龍馬の志です。

龍馬は脱藩するとき、周りに、次のように言って出掛けたと
土佐では伝わっています。

「桜を見にいく」
（ひすいこたろう著　名言ｾﾗﾋﾟｰ幕末ｽﾍﾟｼｬﾙより）

　by との

ドライポンプ

真空ﾁｬﾝﾊﾞｰの溶接

2010年12月 5日 17:00

　真空容器や真空フランジを装置として組み立てるには金属と金属を
溶接する必要があります。

超高真空装置ではアルゴンガス雰囲気でアーク溶接をするTIG溶接が
一般的ですが、溶接部分にわずかに酸化膜が成長しガスを多く放出す
ることになりますので、電子ビーム溶接も採用されることがあります。

電子ビーム溶接は１～１００mA の電流を６０～１００ｷﾛ電子ﾎﾞﾙﾄの
ｴﾈﾙｷﾞｰになるまで加速して相手の金属に照射して溶融させるものです。
デジタル放送でブラウン管テレビが少なくなりましたが、このブラウ
ン管を大きくしたものになります。電子ビーム溶接は真空中の酸素や
ガスの無い状態で溶接を行いますので酸化膜が極めて少ないため溶接
面はぴかぴかに光っています。
　また、電子ビーム溶接はTIG溶接と比べると同一面積当たりの熱密度
が２～３桁大きいので熱の集中が良く、また溶接部のビード幅が狭い
ので溶接時に起こる母材同士の熱影響による歪みも小さい特徴があり
ます。
　真空溶接ベローズや電流導入端子などの薄肉部分の溶接に適した
加工技術です。

真空ﾁｬﾝﾊﾞｰの溶接や加工、修理、ヘリウムリーク検査（漏れ検査）等
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日のさいたま市のお天気は？
　2010年12月5日　日曜日
　天気　はれ
　気温　14℃(PM5:30)
です。

ｸﾞﾚｰﾄﾃｨｰﾁｬｰ株式会社柏村氏ブログより

As not what your country can do for you , ask what you
can do for your country .
（ｹﾈﾃﾞｨ元大統領）

国があなたに対し何をしてくれるか訪ねるな。
あなたが国に何を出来るかを訪ねなさい。

この「国」の部分を塾にしたり、会社にしたり
目の前の人することで、あたなにもあてはまる
教訓になります、とのことです。

　by との

真空ﾁｬﾝﾊﾞｰの溶接

真空中の原子・分子

2010年11月17日 21:22

　アボガドロやマックスウェルの理論では、１mol の気体は 0 ℃
1 気圧 で 22.4L になり、 6 x 10 -23 個（ｱﾎﾞｶﾞﾄﾞﾛ数）
の分子が含まれます。

　真空チャンバーの中では原子や分子が無秩序に飛び壁と衝突して
跳ね返るときに壁面を押しています。気体分子運動論では、0 ℃ で
1 気圧のもとでは窒素分子は平均 4.5 x 10 4 cm の
速さで移動し、1秒間で1 cm2 あたり 2.8 x 10 23 個
の分子が衝突して壁面を押しているのです。この力が約 76 cm の
水銀柱の重さが 1 気圧 で釣り合っているのです。
　容器内の分子が減少すると、密度や壁面への衝突する回数が比例
して減少し、分子同士の衝突距離がそれに反して増えます。気体分
子がはじめに衝突して跳ね返り次に衝突するまでの移動距離を平均
自由行程といいます。大気圧での平均自由行程は 10 -5 cm 程度
ですが、超高真空の圧力下では 10 5 cm にもなりま
す。

　1 気圧は、760 mmHg = 101,325 Pa になります。高真空は10 -1 Pa
～ 10 -5 Pa で気体同士の衝突よりも壁面と気体の衝突がﾎﾟｲﾝﾄにな
ります。超高真空は 10 -5 ～ 10 -8 Pa で
壁面に入射する分子の数をどれだけ減らせるかが重量な領域です。
　1 mol で 22.4L の気体の中にφ 3 x 10 -8 cm の酸素の分子は
10%以下になります。10 -5 Pa の高真空領域では、分子密度は
3 x 10 9 個/cm3 で、平均自由行程は 5 x 10 5 cm
にもなりますから、1cm3 に含まれる分子の体積は1/1,000,000,000
以下ですので、めったに接触することがない程希薄になるのです。

真空容器の製作やHeﾘｰｸ漏れ検査、真空加熱炉の設計、製作、温度
分布の調整など川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　2010年11月17日　水曜日
　天気　曇りのち雨
　ボンベ庫の温度　朝8℃、昼7℃、夜8℃
です。

　１．起きる全ての事は、さらに良くなる方向へ進むためと信頼する
　２．出会う全ての人は、さらに人生がひらけていくはずと信頼する
　３．相手の信頼を失うようなことはしない
　４．目の前の人に誠意を尽くし、目の前の事に最善を尽くす
　５．１に戻る

信頼関係を築く５つの要諦
（成長のヒントより）

　ｂｙ　との

真空中の原子・分子

Oﾘﾝｸﾞｼｰﾙのｶﾞｽ透過

2010年11月11日 16:30

　真空フランジやガス用フランジで、どんなに締め付けを
キツくしても漏れる場合があります。そんなときは、Oリ
ングの材料自体からの透過を疑ってみてはいかがでしょう
か？

ゴムや樹脂などのガス透過量を比較して見ましょう。

材料　　　　　　　　ｶﾞｽ透過量x10-12m2/sec
　　　　　　　　　 He　　　　　　　H2　　　　　　 N2
天然ｺﾞﾑ　　　　　　 11.o～23.7　　　37.4～39.5　　　4.8～6.7
ｽﾁﾚﾝﾌﾞﾀｼﾞｴﾝｺﾞﾑ　　　17.2～18.0　　　23.7～32.0　　　4.8～5.2
ﾌﾞﾀｼﾞｴﾝｺﾞﾑ　　　　　-　　　　　　　 32.4　　　　　　4.9～17.0
ｸﾛﾛﾌﾟﾚﾝｺﾞﾑ　　　　　2.4～9.9　　　　9.1～15.4　　　　0.77～0.93
ﾌﾞﾁﾙｺﾞﾑ　　　　　　 2.6～8.0　　　　4.6～5.6　　　　 0.20～0.35
ｴﾁﾚﾝﾌﾟﾛﾋﾟﾚﾝｼﾞｴﾝｺﾞﾑ　18.0　　　　　　-　　　　　　　　6.4
ｸﾛﾛｽﾙﾎﾝ化ﾎﾟﾘｴﾁﾚﾝｺﾞﾑ 2.5～5.5　　　　8.2～8.6　　　　 0.68～0.88
ﾆﾄﾘﾙ含量20%ﾆﾄﾘﾙｺﾞﾑ -　　　　　　　 20.0　　　　　　 2.1
ﾆﾄﾘﾙ含量27%ﾆﾄﾘﾙｺﾞﾑ 9.3　　　　　　 12.0～12.1　　　 0.81～0.86
ﾆﾄﾘﾙ含量32%ﾆﾄﾘﾙｺﾞﾑ 7.5　　　　　　 9.0～9.4　　　　 0.46～0.50
ﾆﾄﾘﾙ含量32%ﾆﾄﾘﾙｺﾞﾑ 5.2～8.0　　　　5.4～9.0　　　　 0.18～0.46
ｳﾚﾀﾝｺﾞﾑ　　　　　　 2.3　　　　　　 5.1　　　　　　　0.40～1.1
ｼﾘｺｰﾝｺﾞﾑ　　　　　　169　　　　　　 -　　　　　　 203
ﾌｯ素ｺﾞﾑ　　　　　　 7.1～16.0　　　 -　　　　　　　　0.05～0.30
四ﾌｯ化ｴﾁﾚﾝ樹脂　　　7.8　　　　　　 7.5　　　　　　　0.14～1.1

蒸気数値を見ると、ﾍﾘｳﾑ、水素ｶﾞｽの透過量は、「ｳﾚﾀﾝｺﾞﾑ」が少なく
「ｼﾘｺｰﾝｺﾞﾑ」は漏れが多いということが顕著に現れています。

ｶﾞｽ供給設備、ｶﾞｽ配管工事、真空装置、極低温実験装置（ｸﾗｲｵｽﾀｯﾄ）
のことなら川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL　050-8881-7393
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は？
　2010年11月11日　木曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝9℃、昼13℃、夜13℃
です。

「ﾊﾘｰ･ﾎﾟｯﾀｰとｱﾙｶﾊﾞﾝの囚人」からの格言
But you know, happiness can be found even in the darkest
of times when one only remembers to turn on the light.

訳
だが、たとえ暗闇の中でも幸せを見つけることはできる。
明かりをともすことを忘れなければな。

「どんな時でも、自分には可能性がある」ということを忘れず
　そして、その可能性をめいっぱいに高めるためには、あきら
　めず最後まで自分を信じ続けることです。」

　ｂｙ　との

Oﾘﾝｸﾞｼｰﾙのｶﾞｽ透過

漏洩試験方法

2010年11月10日 22:39

　一般的な漏れを検査する方法は、自転車の空気漏れのように対象物の中に
圧力をかけ、水没したタイヤチューブから漏れてくる空気の気泡を確認した
り、石鹸水をかけるとカニ泡が膨らんで漏れ箇所が解るというものです。

高圧ガスの配管設備などで試験される方法は、加圧した配管の継手部や溶接
部から漏れが無いか発泡剤をかけて発泡検査するか、圧力を封じ込め、圧力
計の指示値が漏れが無ければ動かないものを、数時間放置し圧力の減少が見
られないか検査するものです。

さて、この漏れ検査方法は、他の方法とどのような差があるのでしょう？

漏れの量を　Pa･m3/sec という単位で表すリーク量で比較してみましょう。

・放置法　
　　被試験体の圧力を加圧し、圧力降下を見る方法の場合
　　検出可能なリーク量：１０-2 ～ １０-5 Pa･m3/sec

　　被試験体の圧力を真空にし、圧力上昇を見る方法の場合
　　検出可能なリーク量：１０-5 Pa･m3/sec

・水中発泡法
　　被試験体の圧力を加圧し、泡の発生または蓄積を見る方法の場合
　　検出可能なリーク量：１０-4 Pa･m3/sec

・石鹸水発泡法
　　被試験体の圧力を加圧し、泡の発生を見る方法の場合
　　検出可能なリーク量：１０-4 Pa･m3/sec

・石鹸流量計法
　　被試験体の圧力を加圧し、石鹸膜の移動でﾃﾞｨﾃｸﾀｰの変化を方法の場合
　　検出可能なリーク量：１０-4 Pa･m3/sec

・水圧テスト法
　　被試験体の圧力を加圧し、水漏れを見る方法の場合
　　検出可能なリーク量：１０-2 Pa･m3/sec

・ｱﾝﾓﾆｱｶﾞｽ法
　　被試験体の圧力をｱﾝﾓﾆｱｶﾞｽで加圧し、白煙または変色を見る方法の場合
　　検出可能なリーク量：１０-2 ～ １０-7 Pa･m3/sec

・ﾊﾛｹﾞﾝﾘｰｸ法
　　被試験体の圧力をﾊﾛｹﾞﾝｶﾞｽで加圧し、熱白金線によるｲｵﾝ化を電流計の変化を測る方法の場合
　　検出可能なリーク量：１０-7 Pa･m3/sec

・ﾍﾘｳﾑﾘｰｸ法
　　被試験体の圧力をﾍﾘｳﾑｶﾞｽで加圧し、質量分析計のﾃﾞｨﾃｸﾀｰ数値を測る方法の場合
　　検出可能なリーク量：１０-12 Pa･m3/sec

　　被試験体の圧力を真空にし、外部からﾍﾘｳﾑｶﾞｽを吹き掛け質量分析計のﾃﾞｨﾃｸﾀｰ数値
　　を測る方法の場合
　　検出可能なリーク量：１０-12 Pa･m3/sec

さまざまな方法で、それぞれ検出限界があります。
ﾍﾘﾑﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰによるﾘｰｸﾃｽﾄが最も少ない漏れを検出する漏れ検査方法ということが
解りますね。

試験体のリーク試験や、Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ漏れ検査機のご相談など
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL　050-8881-7393
E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

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今日の埼玉川口のお天気は？
　2010年11月10日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝9℃、昼13℃、夜14℃
です。

すべては準備で決まる。

しかし、試練は準備ができていないときに
訪れるというのも、また事実。

いつも雄々しく受け入れるまで。
（北極流　今日の開運ﾒｯｾｰｼﾞより）

　ｂｙ　との

漏洩試験方法

ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ+ｹﾞｯﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ All in One ﾀｲﾌﾟ　

2010年10月19日 17:31

イオンポンプとゲッターポンプがドッキングました。

新型 ｲｵﾝ+ｹﾞｯﾀｰ ﾎﾟﾝﾌﾟ

そもそも、それぞれのポンプはどんなポンプかというと？

イオンポンプ
　磁場中の冷陰極放電を起こすことにより、電離された気体分子が
陰極に埋め込まれると、また陰極との衝突の際に陰極材料（Ti）を
ｽﾊﾟｯﾀして、活性なｹﾞｯﾀｰ膜を連続的に作ることを利用して排気する
超高真空ポンプです。ただし、ポンプ本体が大きく重いことがネッ
クになります。

ゲッターポンプ
　広いｹﾞｯﾀｰ表面積を持ったｶｰﾄﾘｯｼﾞのｹﾞｯﾀｰ材をﾋｰﾀｰ加熱により活性
化させｹﾞｯﾀｰ表面に入射する気体分子を化学吸着させ、ｹﾞｯﾀｰ材内部に
拡散して排気を行う非蒸発型ｹﾞｯﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟです。ｹﾞｯﾀｰ材にはZr-Al合金
Zr-V-Fe合金を使用しH2やCOの活性なｶﾞｽを高い排気速度で排気しま
す。

以上のポンプをドッキングさせることで、ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟの早い排気75L/sec
と、ｹﾞｯﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟの超高真空へ到達能力1x10-10torrが融合する
ことにより、理想的な超高真空ﾎﾟﾝﾌﾟが出来上がりました。

各種ｶﾞｽの排気量

Pump down + Rate of rise data

最先端の電子顕微鏡容器内を超高真空の環境にする超真空ポンプとして
利用されております。

超高真空機器、ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ、ｹﾞｯﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ、ｲｵﾝ+ｹﾞｯﾀｰ複合ﾎﾟﾝﾌﾟのご用命は
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
TEL　０５０－８８８１－７３９３
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今日の埼玉川口のお天気は？
　10月19日　火曜日
　天気　くもり
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝16℃、昼19℃、夜20℃
です。

昨晩から今朝の早朝にかけ、結構冷えましたね！
毛布だけでは寒くて起きてしまい、掛け布団が必要でした。

そうなると、だんだん布団の中がヌクヌクしてきて
朝がいままで以上にキツクなってくるんですよね。

冷たい水で顔を洗って、気合を入れましょう、押忍！

　ｂｙ　との

ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ+ｹﾞｯﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ All in One ﾀｲﾌﾟ　

真空ﾎﾟﾝﾌﾟのｵｰﾊﾞｰﾎｰﾙ

2010年8月23日 23:05

真空ポンプのメンテナンスのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談ください。ご要望に応じてサービスカーでポンプをピックアッ
プ致します。※遠隔地の場合ご希望に添えない場合もございます。

ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ（油回転ﾎﾟﾝﾌﾟ）　　　　　　　　　　　　　　　ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ

油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ（ﾃﾞｨﾌｭｰｼﾞｮﾝﾎﾟﾝﾌﾟ）　 ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ

ﾗｲﾎﾞﾙﾄ製RP　　　　　　 ｴﾄﾞﾜｰｽﾞ製DRY

ｴﾄﾞﾜｰｽﾞ製排気ｾｯﾄ　　　　　 ｱﾙﾊﾞｯｸ製RP

海外・国内ﾒｰｶｰ各社の真空ﾎﾟﾝﾌﾟﾒﾝﾃﾅﾝｽが可能です。

川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　8月23日　月曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝31℃、昼36℃、夜35℃
です。

国会図書館の書庫で、虫食い防止の対策として炭酸ガス雰囲気に
数分間書籍を入れておくと、害虫がことごとく殲滅できる処理を
進めているのだそうです。大切な近代の書物などが気が付いたら
穴だらけということが実際にあるのだそうです。
あなたの書籍に炭酸ガスが必要な際にはご用命ください。

　ｂｙ　との

真空ﾎﾟﾝﾌﾟのｵｰﾊﾞｰﾎｰﾙ

薄膜作成のﾓﾆﾀﾘﾝｸﾞ

2010年7月20日 23:42

　真空蒸着やイオンプレーティング、スパッタリング、CVD、MBEなどの
薄膜を作成する際のモニタリング機器には以下のようなものが利用さ
れております。

モニタ範囲　※精度
１０-3 ～ １０4Pa　隔膜真空計（真空・全圧）

１０-1 ～ １０3Pa　ピラニ真空計（真空・全圧）
　※ ±3%

１０-5　～ １０-1Pa　三極管形電離真空計（真空・全圧）
　※　±15%

１０-8 ～ １０-2Pa　ﾍﾞﾔｰﾄﾞ・ｱﾙﾊﾟｰﾄ真空計（真空・全圧）

１０-5 ～ １０　スピニングローター真空計（真空・全圧）
　※　7% 1%以下 / 5年　

１～４００AMU / 1.3 x 10-2Pa 以下　四重極型重量分析計（真空・分圧）

Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ　　　　　　　　　　　　磁界偏向質量分析計（真空・分圧）

0.02 SCCM ～ 750 SLM　熱式質量流量制御計（ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）MFC（導入ガス量）
　※　±1%

0.5 cc/min ～ 5,000 L/min　フロート式流量計（面積式）（ガス導入量）
　※　±2%FS　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

-273 ～ +1,900℃　熱伝対（基板温度）　　　　　　　　　　　
　※　0.1℃

-50 ～ 3,000℃　赤外放射温度計（基板温度）
　※　1℃

+40 ～ 600℃　ヒートラベル（基板温度）
　※　±5℃程度

0.1 nm　水晶振動子法（成膜速度・膜圧）
　※　0 ～ 100 μm

10 μm ～ 数 μm　光干渉法（成膜速度・膜圧）
　※　±1 ～ 10 nm

0.1 nm ～ 1 μm　原子吸光法（成膜速度・膜圧）
　※　0.1 nm

０ ～ １０ μm　ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ（膜特性）
　※　n=±0.005 , d=±0.3nm

数十 nm 以下　RHEED（膜特性）

１０11　～ １０19　個・m-3　ﾌﾟﾛｰﾌﾞ計測法（プラズマ）

１０17　～ １０19　個・m-3　発光分光法（プラズマ）

真空・ガス導入量、基板温度、成膜速度・膜圧、膜特性、プラズマなど
各種計測器のお問い合わせのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご連絡ください。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　7月20日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝31℃、昼37℃、夜36℃
です。

所変われば、さまざまなやり方があるものです。

鹿児島本線つり革

　ｂｙ　との

薄膜作成のﾓﾆﾀﾘﾝｸﾞ

DLC ｺｰﾃｨﾝｸﾞ　ﾎﾞﾙﾄ・ﾅｯﾄ

2010年7月 6日 18:35

　真空機器でフランジの締め付けや真空内の取り付け、頻繁に分解する
場所や組立場所などを固定するボルト・ナットは、トルク管理をしてい
たとしても、二硫化モリブデンのような潤滑剤を塗布していたとしても
「カジリ」が発生してしまうものです。

そんな時には「ﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞ・ﾗｲｸ・ｶｰﾎﾞﾝ　ｺｰﾃｨﾝｸﾞ　ボルト・ナット」が
有効です。

DLCコーティングされたボルトナットは、摩擦係数が μ ＝ 0.1　ですので
摺動性が良く、高い潤滑特性を持ちながら、硬度がHV=3000～5000 とダイ
ヤモンド並みの硬さを持ちます。更にアモルファス構造なので表面が非常
に滑らかであり、200℃以下のコーティング処理を行いますので、母材への
悪影響が少ないことも特徴です。膜厚は１μｍで、耐酸性・耐アルカリ性も
あり、大気中 or 真空中においても500℃以下で使用可能です（母材の耐熱
温度によります）。

Screws and Nuts with DLC Coating

基本特性
・色調　　ブラック
・比重　　＞　2.0
・硬度　　3000 ～ 5000 (HV)
・比抵抗　１０6 ～ １０14
・屈折率　2.4
・材質　　SUS304,SUS316L / A2024,A6061 / ﾓﾘﾌﾞﾃﾞﾝ、ﾁﾀﾝほか

効果
・グリス無しでほぼ同等の締め付けが可能
・500℃以下であればカジリの発生が少なくなります
・パーティクルの発生も少なくなります
・ガス放出が極めて少ないため超高真空下での使用が可能です
・大気圧下、真空中ともに500℃までの耐熱性があります
　※母材の耐熱性能によります。

DLC ｺｰﾃｨﾝｸﾞ　ボルト・ナット　のご用命のほか
真空機器、真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ、真空継手、真空測定機器など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご連絡下さい。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　7月6日　火曜日
　天気　くもり
　ボンベ庫の温度　朝24℃、昼27℃、夜28℃
です。

梅雨の時期に咲く花「タチアオイ」は、茎に沿って赤や黄色い
鮮やかな大輪の花を咲かせます。

梅雨入りに、下のほうから咲き始め

梅雨が明ける頃、茎の先端まで咲きそろいます。

タチアオイの花で、梅雨明けを予想できる
季節の物差しになるのだそうです。

　ｂｙ　との

DLC ｺｰﾃｨﾝｸﾞ　ﾎﾞﾙﾄ・ﾅｯﾄ

金属表面ガス分子の真空排気

2010年4月18日 18:11

　真空ポンプで １０ -2 Pa 程度の真空度からは、単純に真空容器の
空間に存在するガス分子を排気するのではなく、真空容器の内面（内
壁）に吸着しているガス分子を排気しています。

一般的なステンレス製真空容器の金属表面に吸着しているガス分子
は、ほとんどが水分です。空気中など大気圧下では材料表面に吸着
している水分は、空間に存在する水分と平衡状態になっています。そ
こに真空ポンプにより減圧されると、金属表面の水分の蒸気圧の方が
高いので平衡状態がくずれ、表面の水分が徐々に蒸発していきます。

ところが・・・。

材料表面の水分は、材料金属としっかり結合しているので、徐々にしか
真空度が上がりません。このままの状態で高真空や超高真空などに到
達させるには、途方もない時間を必要とします。

それに・・・。

材料表面のガス放出と言ったものの、表面からの吸着ガスの他にも
材料金属の内部に溜まっているガス、材料金属を透過するガス、真空
容器の漏れ（リーク）などのガスも加わり、なかなか真空が上がらり難
くなるのです。

　真空容器（チャンバー）を真空ポンプで排気することを、単純に空間に
存在するガス分子だけを排気するだけだと思われているとすれば、上述
のように容器の材料表面に吸着しているガス分子を排気することなので
す。

真空に関する、容器（チャンバー）、ポンプ、測定、バルブ、各種部品など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL 050-8881-7393
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今日の埼玉の大天気は？
　4月18日　日曜日
　天気　はれ
　気温　14℃（PM6:30）
です。

菜の花の黄色いお花畑が、あちこちで目を楽しませてくれています。
春の新芽などを食用にすると、竹の子なども灰汁が強く苦いのですが
冬の間の毒素を解毒してくれる作用があるのだそうです。
美味しくなくとも季節通りの食材をいただくことが自然でいいようです。
　ｂｙ　との

金属表面ガス分子の真空排気

真空部品　溶接加工品

2010年4月 8日 18:58

　真空部品の溶接加工品のことなら川口液化ケミカル株式会社
まで、ご相談下さい。　
TEL 050-8881-7393
NW,ICF,ISO,JIS,ｳﾙﾄﾗﾄｰﾙ,φ15or18ｹﾞｰｼﾞﾎﾟｰﾄ,RorRc(PT)ﾈｼﾞ,VCR,SWL
各種ﾌｨｯﾃｨﾝｸﾞとの接続継手製作も承ります。

SUS,AL,Cu,Ti,Fe 等各種材質加工
TIG,MIG,ﾛｰ付け,ﾋﾞｰﾑ溶接,ﾌﾞﾚｰｼﾞﾝｸﾞ,ﾊﾝﾀﾞ付け,等各種溶接加工

NW40,NW25 x Rc3/8"(PT3/8"ﾒｽﾈｼﾞ）SUS304製,TIG溶接

真空機器、真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ、真空ﾎﾟﾝﾌﾟ、真空計、真空断熱配管、真空二重管
真空に関することなら
川口液化ケミカル株式会社　
TEL 050-8881-7393 / E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

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今日の埼玉川口のお天気は？
　4月8日　木曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝8℃
です。
　
今日を無駄にしない三ヶ条
・脱　言い訳
・脱　先延ばし
・脱　他人事

　ｂｙ　との

真空部品　溶接加工品

蒸着装置サンプルステージの改造

2010年3月 3日 19:42

　実験用蒸着装置のサンプルステージ温調機構改造のことなら
川口液化ケミカル株式会社へご相談ください。

実験用蒸着装置　LN2冷却機構追加対応機

サンプルステージへの液体窒素による冷却機構

蒸着源のルツボ加熱状態（中心部の赤熱部）

液体窒素温度から常温までの温度コントロール機構の
改造、新設、設計、製作、修理、リークテスト、立ち上げまで
ご相談ください。
※液体窒素に関する機器、供給設備、バルブ、自動供給装置まで
　　あわせてご検討ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉川口のお天気は？
　３月３日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝４℃、昼６℃、夜１０℃
です。
　かなり暖かい、というか暑いくらいの一日でした。
さすがに桃の節句（旧暦三月三日）とは言ったものの
桃の花は咲きませんね。
　ｂｙ　との

蒸着装置サンプルステージの改造

Ｌｅａｋ　Ｔｅｓｔ　Method

2010年2月18日 19:51

　真空容器の漏れを検査するリークテストにはいくつかの方法があります。
漏れを探すには、圧力容器だったり気密構造の部品だったり、真空から
加圧の範囲まで広範囲にわたります。
　部品の加工段階から漏れに繋がる検査を行い、部品を組み立てた時に
許容リーク以内に収めることが必要です。許容リークの量によっていくつか
の測定方法がありますが、真空機器の場合にはヘリウムリークディテクター
を使用して検査する方法が一般的です。

それでは、リーク（漏れ）の検査方法をご紹介していきましょう。

・加圧放置法
・真空放置法
・発泡漏れ試験方法
・プローブガス
・真空吹き付け法
・真空フード法
・ヘリウムリークディテクタ
･ハロゲンリークディテクタ

先ずは、「加圧放置法」　です。

　この方法は、大気圧１atmよりも高い加圧容器でテストする方法です。
容器など対象物の内部を一定の圧力で加圧した後、一定時間放置しま
す。漏れがある場合、放置しているはずの圧力が下がる（低下）しますの
で、漏れがどこかにあることが解ります。ただ、外気温や加圧する圧力に
よっては温度の変化により圧力の変化が出てしまうことがあるので補正
する必要がある場合もあります。
　ただし、残念ながらこの方法だけでは漏れの箇所を特定することはで
きません。また、リークの量も正確な値を求めることは出来ません。対象
物の仕様にもよりますが、漏れのある部品をまるごと水槽の中に入れて
水没させ、リーク箇所から泡が出てくるのでリーク箇所を特定できる場合
もあります。

次回は「真空放置法」をご紹介いたします。

高圧ガス、真空機器、極低温の機器、設計、製作まで
川口液化ケミカル株式会社へご相談下さい。
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今日の埼玉川口市のお天気は？
　２月１８日　木曜日
　天気　雪のち曇り
　ボンベ庫の温度　朝１℃、夜３℃
です。
　テレビの子供番組イナズマイレブンを一緒に見ていて
ぐっとくる言葉に出会いました。
サッカーでディフェンダーが、うまくプレーできず苦しく、悩んでいると
チームメイトのキーパーが言いました。

「苦しいときは、苦しいを楽しめ！」

ほ〜ぉ。
勉強になります。

　ｂｙ　との

Ｌｅａｋ　Ｔｅｓｔ　Method

Ｌｅａｋ　Ｔｅｓｔ　真空の漏れ探し

2010年2月17日 20:47

質問　
　真空チャンバーなどで発生するリーク（漏れ）とは？

答え
　「設計上、漏れてはならないところに生じるガスまたは液体の流れ」
です。

　真空容器の真空度がなかなか上がらなかったり、保持できずに落ち
ていってしまったり。これらは主にガスの流れがあることが原因です。
この漏れの量を、リーク量といって、漏れている場所でどれだけの量の
ガスが流れているかを示す単位　Pa・m3/sec ( 旧単位 Torr・L/sec )
で表します。

　圧力によって体積の変化がほとんど起こらない液体の場合は
体積　÷　時間　によって値が求められますが、気体（ガス）の場合
には圧力によって体積自体が変化しますので圧力 × 体積 ÷ 時間
によって得られます。
　また、リーク量だけでは漏れている場所の圧力の差と温度と気体の
種類が明確でないのでこれらを併記する必要があります。
　真空機器関係では大気と真空の圧力の差で、温度は常温（２０度）
気体の種類は空気が一般的なようです。

真空機器、真空チャンバー製作、真空漏れ検査など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
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今日の埼玉川口市のお天気は？
　２月１７日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１℃、昼３℃、夜３℃
です。
　オリンピックのスピードスケートとフィギアスケートで
好成績が出ているようです。
がんばれニッポン！

Ｌｅａｋ　Ｔｅｓｔ　真空の漏れ探し

スパッタリング用ガス

2010年1月21日 22:00

　スパッタリングはグロー放電を起こした際にイオンの陰極表面
への衝突により陰極材料が飛び出す現象です。

　ＰＶＤ（Physical Vapor Deposition : 物理蒸着法）に分類される
スパッタリングには、コンベンショナル・スパッタリングやマグネト
ロン・スパッタリング、イオンビーム・スパッタリング、ＥＣＲスパッ
タリングなどがあります。

　このスパッタリングには、通常アルゴンガスを使用します。スパッ
タされる材料が活性ガスと反応して、化合物とならないようにする
ために不活性ガスが使われるのです。コストとスパッタ率（効率）
が良い理由でアルゴンが使われますが、他にも He , Ne , Xe, Kr
N2 , O2を使ってスパッタすることも可能です。
　N2 , O2 など活性ガスを使用するとスパッタリングされた分子が
窒化物や酸化物になります。活性ガスの混合したスパッタを、化成
スパッタリング、反応性スパッタリング、リアクティブスパッタリング
などと呼んでおり、化合物を成膜する目的に使用されています。

スパッタリングガス　Ar,He,Ne,Xe,Kr,N2,O2 のご用命ご相談は
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご連絡ください。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　１月２１日　木曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　昼１２℃、夜１２℃
です。
　ハイチ地震でビックリするような子供の救出劇が
あったそうで、地震で下敷きになった瓦礫の下で
生後１５日の赤ちゃんが１週間生きていたり
５歳、１１歳の子供が同様に救出されています。
現地の医師は、神がかっているとしか言えないと
コメントしていました。

スパッタリング用ガス

真空ベローズ

2010年1月19日 21:12

　真空と大気を遮断し漏れの極めて少ないシール材として
ベローズ　（Bellow） が多く利用されています。

「ベローズ」とは？

答え
　金属製の筒状に波型状を設け、伸縮性、気密性、バネ性
などの機能をもったものを言いいます。

　真空では、バルブや搬送系、フレキホースなどのシール材
として利用されていますが、更なる性能向上に清浄度（クリー
ン度）、大口径化や長ストローク、超寿命、自由長からの縮側
変位（座屈性）など高性能化が求められています。

　ベローズには、主に二種類あります。一つは溶接ベローズ
（Welded Bellows） で、精密に波付プレスされたデスク状の
薄肉金属板を、内側と外側交互に溶接することで繋ぎ合わせ
て製作されています。特徴としては、コンパクトで大きい伸縮長
があり、伸縮・バネ特性を自由に設計でき、耐圧・耐熱性と耐
久性に優れています。薄肉のため外部からの衝撃などにより
リークが起きやすいデメリットもあります。
　二つ目は成形ベローズです。これは金属の素材からパイプの
ローラーに外側のローラーを押し付けて波形を出し、成形する
「ロール成形法」と、外側の金型を固定して内側から高圧の液
体を加え、膨張と座屈性により成形する液圧成形法、最後に
ベローズの内側の形状に合わせて作られる特殊材質の成形
型に、ニッケル金属を適当な厚さに鍍金後、成形型を薬剤によ
り除去して製造する電鋳ベローズがあります。
　成型ベローズは、ポンプとチャンバーなどを接続するフレキホー
スとして最も多く利用されており長さも、１０ｍ以上のものも製作
可能です。

ベローズ真空バルブ、ベローズフレキシブルホース、特注ベローズ
など川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談下さい。
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉川口市のお天気は？
　１月１９日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１℃、昼７℃、夜８℃
です。
　今日は、極寒の陽気から一転、春のように暖かかったです。
たまたま屋外の風通しの良い現場作業でしたので、助かりました。
ズボンの下に穿いたヒートテックが暑いくらいでした。

真空ベローズ

クライオポンプ

2010年1月10日 23:56

　真空ポンプの中でもちょっと変わったクライオポンプを
ご紹介しましょう。

　クライオポンプは、真空容器の中に極低温のコールドト
ラップ部分を用意して、ここに寄せられてきた容器内の気
体分子を凝縮または吸着させて捕まえ、結果として排気
を行う真空ポンプです。クライオポンプ内部には、汎用の
他のポンプのような回転運動のような動く部分が無いた
め綺麗な（クリーンな）真空を作ることが出来ます。

　クライオポンプが気体を真空排気するためには、凝縮の
場合には飽和蒸気圧が１０ -8Pa 以下でないと作用しま
せん。吸着の場合でも同様に吸着平衡圧力を１０ -8Pa
以下にする必要があります。各種気体によって低温域で
の飽和蒸気圧は異なりますが、窒素ガスより飽和蒸気圧
の低いガスは極低温のコールドトラップ部分を２０Ｋ以下
に冷却すれば、その飽和蒸気圧は１０ -8Pa 以下になり
ます。水素ガスやネオンガス、ヘリウムガスのように飽和
蒸気圧の高いガスは２０Ｋでは凝縮による真空排気はで
きません。この場合には２０Ｋ以下に冷却された吸着剤の
吸着により排気が可能になります。

　クライオポンプは、すべての気体（ガス）を排気することが
できる超高真空領域まで使用が可能な真空ポンプです。

クライオポンプや実験用クライオスタット・冷凍機など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉のお天気は？
　１月１０日　日曜日
　天気　はれ
　気温　５℃（ＰＭ１１：５０）
です。
　全国大学ラグビーで帝京大が初の大学日本一に輝きました。
１９９７年の関東学院大以来、１２大会ぶりの新たな優勝校
となります。同じく初優勝を狙った東海大学でしたが接戦でした。
ラグビー界に新風を吹き込んだ両校ですのでこれからの活躍が
期待されますね！

クライオポンプ

真空グリース

2010年1月 6日 18:44

　真空機器の駆動部には蒸気圧が低く蒸発の少ない真空専用
の潤滑剤が使用されます。

　宇宙の衛星やロケットの機器駆動部には固体潤滑剤が使用さ
れています。固体の潤滑剤は潤滑油やグリースよりも蒸気圧が
低く耐熱性が高く、真空機器の表面などに沿った拡散が無くて経
年劣化が少なく、アウトガスも少ないことが特徴的です。これらは
層状構造持つ無機系固体潤滑剤として、二硫化タングステン、高
分子PTEE、軟質金属で金、銀、銅などがあります。

　固体潤滑剤は、滑り面に固体潤滑剤粉末を結合材（接着剤）で
接着し膜状にして使用し、膜圧１０μｍ前後になります。室温では
ポリアミドイミドのような有機系結合材が利用され数千万回の繰返
し摩擦の使用に耐えられます。無機系材料では真空中５００℃で
５０万回以上の摩擦に耐え、摩擦係数は０．０３〜１とのことです。

真空機器、真空チャンバーの製作、特殊真空継手のハンドメイド
など川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉川口のお天気は？
　１月６日　水曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　昼７℃、夜６℃
です。
　夜になって猛烈な北風が吹き荒れてます。
北部の山間部などでは、相当の大雪になって
いるのではないでしょうか？

※お知らせ　
　お待たせしております 「MFC千夜一夜物語」 は、来週水曜日
　よりDecoさんに寄稿いただく予定となっております。
　もう少々お待ちくださいね！
　

真空グリース

Ultra-High Vacuum (UHV) 超高真空

2009年12月17日 23:57

　圧力範囲が１０ -5Pa 以下の真空領域のことを言います。
更には、圧力が １０ -9Pa 以下の領域を極高真空（Extremely
High Vacuum (XHV) ）と呼びます。

　超高真空領域での窒素の平均自由工程と分子密度は、それ
ぞれ 7 x １０ 2 m以上と 8 x １０ 15m-3 以下となります。低い
圧力では真空中に置かれた表面に降り注ぐ気体分子の量は減
りますが、圧力が１０ -5Pa の超高真空であっても気体分子が
すべて表面に捕らえられるとすると、その量は、表面を数十秒
で１分子層をカバーするほど積層します。１０ -9Pa以下の極高
真空では、この時間が数時間以上長くなり、清浄な固体の表面
を維持することができるのです。

真空機器、真空ポンプ、真空排気セット、真空測定子、真空バルブ
製作品の真空チャンバーなど、川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談下さい。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉川口市のお天気は？
　１２月１７日　木曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝４℃、昼６℃、夜６℃
です。
　吐く息が白く、地面も霜が降りる一歩手前だったようです。
ホントに寒くなりました。

Ultra-High Vacuum (UHV) 超高真空

真空ポンプ排気セット

2009年12月15日 19:14

　真空機器メーカー各社の真空部品コンポーネントを、お好みに合わせて
組み合わせ架台に組み込むお手伝いをさせていただきます。

RP 300L/min +TMP 300L/sec 真空排気セット

　お手持ちの真空ポンプ（ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ、ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ、ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ、ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ、ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ）などを組み合わせてアッセンブリ致します。不足品
があれば合わせてご用意させていただきますし、ロータリーポンプなどオーバ
ーホールが必要であれば、国内国外メーカー各社のメンテナンスもお請け致し
ます。

メインバルブ＋吸気フランジ製作加工品

ロータリーポンプの中古機種も何機種かご用意することも可能です。
※在庫状況は日々変化しますので、納期、金額などは都度ご相談
　ください。

真空排気セットのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談下さい。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　12月15日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝5℃、昼8℃、夜7℃
です。
　朝一番のバケツの水が、冷たく感じました。
そろそろ冬本番です。
手洗いを励行し、うがいを怠らず
頭寒足熱の体制で真冬を乗り越えましょうかね！
　

真空ポンプ排気セット

真空　Vacuum

2009年12月13日 17:05

　圧力が大気圧（1 atm）よりも低く、気体が理想的には無い状態を
「真空」と呼びます。あくまで気体分子が存在しない状態は作ること
は出来ません。現在まで、人工的に実現できる最も低い圧力は
１０ -11 Pa のレンジです。
　極高真空と呼ばれる１ｘ１０ -11 Pa の世界でも、１ｍｌの中に数千個
の気体分子が残っています。真空状態を保持することや、計測すること
すらも難しい世界なのです。

真空は次のような用途で利用されています。

・大気圧との圧力差による力を利用する掃除機
・真空チャックや真空含侵など
・空気や水蒸気などの不純物を排気して綺麗な空間や
　高純度の材料を作成
・液体を蒸発させて真空乾燥や真空蒸留させる
・断熱効果を利用した電球や魔法瓶など
・放電状態を安定させる放電管、スパッタリング装置
　イオンプレーティング装置など
・平均自由工程が長くなり、原子、分子、電子、イオンの
　衝突がなくなることを利用した真空管、ブラウン管、加速器
　真空蒸着など
・表面に飛び込む気体分子の数を出来る限り少なくして
　綺麗な固体表面を作った状態での表面分析など

数限りない世界で、「真空」は利用されております。

真空容器の製作や、真空ポンプ、真空計測器（真空計）、真空継手
真空二重配管（液体窒素用・液体ヘリウム用）、真空実験装置など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　１２月１３日　日曜日
　天気　はれ
　気温　１１℃（PM5:30）
です。
　NHKのスペシャルドラマ「坂の上の雲」をご覧になられてますか？

　近代国家として生まれ変わった明治の日本。混沌とした
なかでも、人々は子どものような純粋さで明るい未来を信じ
力強く生きていた。そして、そんな時代を駆け抜けた、四国
は伊予（現在の愛媛県）出身の若者たちがいた。
　日露戦争の日本海海戦を圧倒的勝利へと導いた秋山真之。
その兄で、のちに「日本騎兵の父」と呼ばれることになる秋山好古。
閉塞的な歌壇・俳壇に風穴を開け、日本文学に新たな地平を見出
した正岡子規。若くして亡くなった子規を最期まで手あつく看護した
妹・律。
　司馬遼太郎の同名長編小説を原作とするスペシャルドラマ
『坂の上の雲』は、そんな彼らを中心に、明治という怒とうの時代を
懸命に生きた人々を描き出しています。
　

真空　Vacuum

ＶＧ SCIENTTA LTD製品オータムキャンペーン！

2009年10月16日 19:10

　日頃の感謝の意をこめて期間限定で下記製品を通常定価の２０％引きにて
ご提供させていただきます。この機会にぜひご検討ください！

キャンペーン期間　：　2009年10月19日ご注文分より 2009年12月18日のご注文分まで

※キャンペーン期間中お買上げ金額5万円以上（税抜き）のお客さまに先着100名様まで
　 繰り返し使用可能な ICF70 用ﾊﾞｲﾄﾝｶﾞｽｹｯﾄ 2個入り1ﾊﾟｯｸをプレゼントさせていいただきます。

対象商品
・XYZﾏﾆﾋﾟｭﾚｰﾀ
　　Miniaxシリーズ　ZXYZ0570,ZXYZ1070,ZXYZ0515,ZXYZ1015

・中空型回転導入器
　　DPRFシリーズ　ZDPRF25,ZDPRF25H,ZDPRF55,ZDPRF55H

・中空型直線導入器
　　LTMシリーズ　ZLTM25,ZLTM50,ZLTM75,ZLTM100,ZLTM150

・トランスファーロッド
　　MLRMシリーズ　ZMLRM203,ZMLRM204,ZMLRM26,ZMLRM209,ZMLRM406
ZMLRM409,ZMLRM412,ZMLRM414

・ガラスビューポート
　　VPZシリーズ　ICF34 ZVPZ16,ICF70 ZVPZ38,ICF114 ZVPZ64,ICF152 ZVPZ100,ICF203 ZVPZ150

※キャンペーン期間中でも不測の為替変動もしくは原材料の変動などでキャンペーンを
　　終了させていただく場合がございます。ご了承下さい。

VG製超高真空コンポーネントのことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　10月16日　金曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝14℃、昼19℃、夜19℃
です。
　サッカーワールドカップの前哨戦キリンカップなどで
日本チームでフォワードの岡崎選手や森本選手が活躍されています。
ヨーロッパ勢常連のドイツや南米ブラジル、マラドーナ監督率いる
アルゼンチンなど続々と出場国が決定し、来年2010年の開催が
待ち遠しい限りです。

　　

ＶＧ SCIENTTA LTD製品オータムキャンペーン！

ＭＯＣＶＤ装置とは？

2009年10月15日 21:31

　真空装置のなかでも今が旬の、ＬＥＤを作るための装置としてＭＯＣＶＤ装置
（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）が広く使用されています。

ＭＯＣＶＤ装置は、熱ＣＶＤの一種ですが原料ガス状物質として、有機金属化
合物系を利用し、金属、化合物半導体、絶縁膜薄膜を形成するＣＶＤ装置です。
基本的な構成は、他の熱ＣＶＤ装置と同じだが、有機金属化合物を使用するの
で、原料ガスの供給方法に工夫が必要とされております。一般的には、水素ガ
スをキャリアガスとして利用し、液体状有機金属化合物をバブリングして、その
蒸気を含ませたガスと水素化物ガスを反応室で熱分解させています。エピタキ
シャル成長を目的としたＣＶＤ装置をのことを特に有機金属気相エピタキシャル
成長装置、ＭＯＰＰＥ装置、ＯＭＶＰＥ装置などと呼ばれております。

ＭＯＣＶＤに必要な有機金属化合物材料やキャリアガスの水素ガス、汚染されて
メンテナンスが必要な真空ポンプやチャンバーの無害化洗浄（クリーニング）まで
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談下さい。
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　１０月１５日　木曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１５℃、昼１９℃
です。
　首都高速両国線から建設途中の新東京タワーになる
「東京スカイツリー」が見えました。まだまだ基礎に近い
階層ですが、あっという間に天高くそびえることでしょうね！

ＭＯＣＶＤ装置とは？

ガラス製真空容器

2009年9月 1日 18:54

　ガラスの中を真空状態にして試験、実験を行うことがあります。
そのような場合には、Ｏリングシールで大気と真空を保持する
方法がとられます。

　
低真空仕様 長尺ガラス容器（真空シール部）

　ガラスは見かけ以上に脆いので、熱の影響を多く受ける場所や荷重・負荷など
負担がかかる場所はちょっとしたクラックでも割れが一気に成長することもあります。
実験を行う場合の、安全管理には十分注意したいものです。

NW25x特殊製作真空ﾌﾗﾝｼﾞｼﾞｮｲﾝﾄ部

低真空から高真空、超高真空容器（チャンバー）の設計製作なら
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　９月１日　火曜日
　天気　はれ
　ぼんべ庫の温度　朝２１℃
です。
　９月に入りました。
　学校が始まり、宿題を忘れて叱られることも
小学生には楽しい思い出になることでしょう。
夏休みには会えないクラスの友達と遊ぶことが
できるのも、最高の楽しみでしょうね。

ガラス製真空容器

蒸着装置　低温ステージ（試料台）

2009年8月20日 20:44

　真空装置内で液体窒素温度や液体ヘリウム温度近くまでサンプルステージを
冷却して実験を行いたい場合のクライオスタットの設計、製作、改造などご検討の
際には　川口液化ケミカル株式会社　へご相談ください。
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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蒸着装置内部

-196℃液体窒素冷却仕様サンプルステージ

取扱い商材
低温機器、液体窒素自動供給装置、低温ガス用真空二重配管、クライオスタット

よろしくお願い致します。

毎度ありがとうございます。

今日の埼玉川口のお天気は？
　８月２０日　木曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２７℃、昼３４℃
です。
　「９秒５８」

男子１００ｍでボルド選手が世界新記録を記録したタイムです。
カールルイスが１０秒を切っても、あり得ない！と思ったものです。
いったいどこまで進化を続けることができるのでしょうか？

蒸着装置　低温ステージ（試料台）

VG製真空部品　キャンペーン！

2009年8月 4日 19:25

VG SCIENTA Ltd社製　超高真空用マニピュレーター　キャンペーンのお知らせです！

　ＶＧシエンタ社製の高性能なマニピュレーターをお手頃な価格でお求めいただけます。
キャンペーン期間中は、下記の商品を定価の２０％引きでご提供させていただきます。
是非ともこの機会にご検討ください。

キャンペーン期間　：　2009年8月3日　〜　2009年9月30日ご注文分まで

キャンペーン対象製品
・マニピュレーター　Miniax Translator
　HPT Translators
　Transax Translators
　Centiax Translators
　Omniax Translators
　※上記マニピュレーターをご購入いただけるお客様には
　　サンプルホルダーおよびその他付属品もキャンペーン
　　価格でご提供させていただきます。
　　対象製品：サンプルホルダー及び付属品　カタログ P286〜P317
　　　　　　　　 モーターコントローラー　カタログ P376〜P379
　　クライオスタットはキャンペーン対象外です。

・サンプル搬送用トランスファーロッド　
　Transfer and Transport Devices
　ZMLRM203/ZMLRM204/ZMLRM206/ZMLRM209
　ZMLRM406/ZMLRM409/ZMLRM412/ZMLRM414

※キャンペーン期間中でも突然の為替変動などにより
　キャンペーンを終了させていただくこともございますので
　ご了承ください。

真空機器、超高真空コンポーネント、真空ポンプ、真空チャンバー製作まで
川口液化ケミカル株式会社へご連絡ください。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　８月４日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２５℃、昼３０℃
です。
　日産自動車が電気自動車を世界同時発売するようです。
技術の日産が、あらたな歩みを始めることになるのでしょうか？

VG製真空部品　キャンペーン！

ゲッタポンプ　Getter Pump

2009年7月26日 18:51

　超高真空領域用のゲッタポンプのご紹介です。

　ジルコニウムやチタニウムは封止された真空中で１２００〜１３００℃
に高温加熱することで金属表面の酸化層や炭化層を内部拡散して、
綺麗な金属表面で不純物のガスを吸着して真空の劣化を防ぐことがで
きます。サエス社などは、ジルコニウム８４％＋アルミニウム１６％の
合金(ST101）で８５０℃、ジルコニウム７０％＋バナジウム２４．６％＋鉄
５．４％合金（ST707）で４５０℃の実用的な温度で活性化が可能な非蒸
発ゲッタ材を使用してガス吸着を行う真空ポンプです。
　ゲッタは不活性ガス以外のO２、N2、CO、CO2、H2Oなどを捕捉して
非可逆的に化学吸着させます。水素に対しては、合金内に固溶体を
形成して可逆的に吸着します。この水素の物理吸着はゲッタ材内部の
水素濃度が周囲の水素分圧と平行状態になるまで続き、その平衡圧は
ゲッタのタイプや温度により決まります。室温での運転だとその平衡圧は
他のポンプの排気到達が可能な範囲をかなり上回るので、超高真空領域
などを必要とする分析装置や加速器などで水素を除去した後、更に真空度
を上げるために利用されます。

真空チャンバーの製作、加工、真空ｘガス導入溶接継手など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉のお天気は？
　７月２６日　日曜日
　天気　はれ
　気温　３２℃（PM7:００）
です。
　昨日以上に良く晴れた一日でした。
夜になっても空が澄み渡り綺麗な夕焼けが見られます。

ゲッタポンプ　Getter Pump

気体の圧力　Pressure of Gas

2009年7月21日 23:16

　真空容器の真空度を示す圧力の単位は、国際単位系（SI unit）
のパスカル（Pascal　単位記号：Pa）を用います。１Pa は1平方メー
トル（ｍ2）の面積に1ニュートン（Newton 単位記号：N）の力が作用
するときの圧力をいいます。水銀計の高さで圧力を表す ｍｍHg と
トール（単位記号：Torr）という別の圧力単位が古くから用いられて
きました。１ｍｍHg とTorr　は、１３３．３２５Paのことです。１993年
の計量法改正でこれらは血圧計を除いて取引に使ってはいけない
単位になりました。日本国内では気圧の単位として広く使われてきた
ミリバール（単位記号：ｍｂaｒ）という圧力単位が、ヨーロッパを中心に
現在も併用されています。１ｍbarは、１００Paのことです。ミリバールの
使用は計量法では禁止されているわけではないのですが混乱を避ける
ために使用は控えるようしているようにしています。

真空機器、真空チャンバー、真空ポンプのメンテナンスなど
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談下さい。
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今日の埼玉のお天気は？
　7月21日　月曜日
　天気　曇りのち雨
　ボンベ庫の温度　朝22℃、昼27℃、夜23℃
です。
　時期的にクーラーの取り付け工事は最盛期です。
電源工事と冷媒配管内の真空引きをしてガスチャージ
をするとおおよそ2時間程度のようです。次のお客さんが
待っているのでしょう、足早に去って行きました。

気体の圧力　Pressure of Gas

Helicoflex （ヘリコフレックス）

2009年7月17日 22:07

　金属製のOリング状スケットでコイルスプリングを内蔵したもので
-269℃から +750℃までの使用温度と １０ -8Pa から　１００MPa
までの使用圧力に対応し、リーク量も　< １０ -11Pa・m3・s-1 (He)
の高性能がスケットです。
　構造は円形断面のリング状内部にコイルスプリングが内蔵されて
おり、これを被う一層または二層の金属被覆で構成されています。
コイルスプリングの材質は、ピアノ線からステンレス鋼、インコネル
ナイモニックなどです。コイルスプリングが各コイルに近接していて
圧縮したときにコイルが個々に独立して作用するため金属ガスケット
としては大きな弾性復元力を持ちます。
　外側被覆材は、流体によりアルミニウムや銅、銀、金、ステンレス
ニッケル、インコネル、インジウムメッキなどの金属が使用されていま
す。内側被覆材は、ニッケル、ステンレス鋼、インコネルなど硬い金属
が使用され、コイルスプリングの弾性を均一に伝える役割をしています。
　主な用途は、超高真空までの装置や半導体・原子力関係や加速器
の設備にも利用されています。

真空ポンプ、真空ポンプメンテナンス、真空チャンバー設計製作、真空リーク
検査、真空二重配管など、川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　7月17日　金曜日
　天気　あめのちはれ　
　ボンベ庫の温度　朝25℃、昼28℃、夜28℃
です。
　朝方の強い雨から、午後には昨日のような灼熱の太陽が
戻ってきました。午後はかなり暑かったですね。
ゴルフで石川亮選手とタイガーウッズ選手が同じ組みで
ラウンドしていますね。さて、日本のホープは、ゴルフ界の
スーパースターにどこまで食い下がれるか見ものですね！

Helicoflex （ヘリコフレックス）

走査型プローブ顕微鏡の種類

2009年7月12日 13:57

　除振台の上に置いた試料をμｍからサブｎｍまで探針が試料との距離を
走査することでその姿かたちを読み取るSPMにつき、主な装置の種類をご
紹介いたします。

・走査型トンネル顕微鏡　Scanning Tunneling Microscopy　　観測する相互作用　：　金属探針〜試料間トンネル電波
　　測定できる試料　　 ：　導電性表面上の原子及びその表面に吸着した分子
　　得られる情報　　　　：　表面の凹凸及び電子密度の濃淡の分布
　　おおよその空間分解能　：　０．１ｎｍ　　

・分子間トンネル顕微鏡　Intermolecular Tunneling Microscopy　　
観測する相互作用　：　分子探針〜試料間トンネル電波
　　測定できる試料　　 ：　導電性表面上の原子及びその表面に吸着した分子
　　得られる情報　　　　：　単分子内官能基・化学種の種別
　　おおよその空間分解能　：　０．１ｎｍ　

・原子間力顕微鏡　Atomic Force Microscopy　　
観測する相互作用　：　非装飾探針〜試料間 Van Der Waals 力
　　測定できる試料　　 ：　様々な表面及び表面に固定された分子など
　　得られる情報　　　　：　表面の凹凸
　　おおよその空間分解能　：　０．１ｎｍ　（超高真空下）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　> １ｎｍ（大気中・溶液中）

・化学力顕微鏡　Chemical Force Microscopy　　
　　観測する相互作用　：　装飾探針〜試料間分子間力
　　測定できる試料　　 ：　さまざまな表面及び表面に固定された細胞など
　　得られる情報　　　　：　均一領域の表面官能基
　　おおよその空間分解能　：　>１０ｎｍ　

・摩擦力顕微鏡　Ffiction Force Microscopy　　
　　観測する相互作用　：　摩擦力
　　測定できる試料　　 ：　さまざまな表面
　　得られる情報　　　　：　摩擦力の強さの分布（表面官能基などを反映）
　　おおよその空間分解能　：　>１ｎｍ　

・磁気力顕微鏡　Magnetic Force Microscopy　　
　　観測する相互作用　：　磁気力
　　測定できる試料　　 ：　磁性体表面
　　得られる情報　　　　：　磁性の強さの分布
　　おおよその空間分解能　：　>１０ｎｍ　

・ケルビンプローブ顕微鏡　Kelvin Probe Microscopy　　
　　観測する相互作用　：　接触電位差
　　測定できる試料　　 ：　さまざまな導電性表面
　　得られる情報　　　　：　表面電位の分布
　　おおよその空間分解能　：　１００ｎｍ　

・光接場光学顕微鏡　Scanning Near-field Optical Microscopy　　
　　観測する相互作用　：　エバネッセント光
　　測定できる試料　　 ：　表面に固定され、マトリックス中に保持された分子など
　　得られる情報　　　　：　蛍光・ラマン散乱・光吸収の強度分布
　　おおよその空間分解能　：　>１０ｎｍ　

・走査型電気化学顕微鏡　Scanning Electro-chemical Microscopy　　
　　観測する相互作用　：　溶液中化学種の酸化・還元に伴う電流
　　測定できる試料　　 ：　溶液中のさまざまな表面
　　得られる情報　　　　：　表面の凹凸・電気化学反応活性及び酸化還元化学種のflux
　　おおよその空間分解能　：　１００ｎｍ　

分析器の一種ですがこれほどの種類が存在します。
そこには、弊社取り扱いのガス・真空・低温の技術が
たくさんに取り入れられているのです。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　7月12日　日曜日
　天気　はれ
　気温　３０℃
です。
　７月10日に浅草寺でほおずき市がありました。
会場にはほおずきが飾ってあります。
ほおずき市は功徳日で、一度の参拝で４万６０００日分
参詣したのと同じ功徳になり、その日は、本当に観音様がおりているそうです。
そして、参詣した人が一生かけても得られないような悟りを得させてくれ、
本当なら出会えないような人と会える。
ただ、それには少し苦労が伴い、それは必ず乗り越えられるもので、
自身の成長につながり、観音様の導きは、その人が本当の意味で魅力的になれるよう、
導いてくれるのだそうです。

そして、　ほおずき＝法好き＝自分が学ぶのが好き　なんだそうです。

浅草に近い方は来年行ってみると良いですね。

走査型プローブ顕微鏡の種類

走査型プローブ顕微鏡　SPM

2009年7月10日 23:55

　分析装置で真空を利用する機器は数多くあります。その中で表面界面の分析
装置の代表格である Scanning Probe Microscopy : SPM をご紹介いたします。

　走査型プローブ顕微鏡とは、先端が尖った探針を試料表面との相互作用を検出し
ながら表面をなぞるように走査させることで、μｍからサブｎｍの空間分解能で試料
表面の観察ができる顕微鏡の総称です。複数種類の顕微鏡がありますが超高真空
や大気・溶液中の試料をほぼ非破壊で測定することができます。SPMの空間分解能
は、探針の尖鋭さと探針で検出する相互作用の種類や観測を行う環境などにより決
まってきます。
　
　先端が非常に尖った探針を試料表面に近づけると、ピエゾ素子により探針を原子的
な精度からμｍオーダーで試料表面上を三方向に走査させて、表面のイメージングを
行う方法はどの装置も同じ原理です。ちなみに探針を走査させるときに、相互作用の
大きさが一定となる探針から試料間距離を記録するモードと、探針と試料間の距離を
一定に保ち相互作用の大きさの変化を記録するモードのいずれかがとられております。

真空装置用真空ポンプのオーバーホールやメンテナンス、オイル漏れの修理など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉のお天気は？
　7月10日　金曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝26℃、昼29℃、夜28℃
です。
　中国でM6の大地震が起き死傷者が発生しているようです。
地震大国日本も人事では無いので、有事の際の供えなどについて
学ぶべきは真摯に学ぶ機会をいただいていると思います。
今の世の中、少なくとも、関係のないことではありませんね。

走査型プローブ顕微鏡　SPM

理化学機器の真空排気ポンプ

2009年7月 7日 19:41

　真空を利用している装置には、必要な真空度によってそれぞれ
さまざまな真空排気ポンプが利用されています。主だった装置と
その真空度、真空排気ポンプの組み合わせを見てみましょう。

・透過型電子顕微鏡
　　高真空領域　ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ(DP) or ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）
　　　　　　　　　　※電子源により低振動で１０-6Paが必要

・走査型電子顕微鏡
　　高真空領域　ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ(DP) or ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）
　　　　　　　　　　※電子源により低振動で１０-6Paが必要
　　　　　　　　　　※試料室のｵｲﾙﾊﾞｯｸは禁物

・Field Emisson型走査型電子顕微鏡
　　電子源：超高真空　ｽﾊﾟﾀｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ(SIP)
　　　　　　　　　　　　　　※電子源により低振動で１０-8Paが必要
　 　その他：高真空　　 ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ(DP) or ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）

・ｵｰｼﾞｪ電子分光器、光電子分光器
　　超高真空領域　ｿｰﾌﾟｼｮﾝﾎﾟﾝﾌﾟ(SP)+ｽﾊﾟｯﾀｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ(SIP)
　　　　　　　　　　　 ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）
　　 ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ(DP) +特殊ﾄﾗｯﾌﾟ
　　　　　　　　　　　 ※ﾍﾞｰｷﾝｸﾞを行う１０-9Pa超高真空ｼｽﾃﾑ

・二次ｲｵﾝ質量分析器
　　イオン源：中真空　ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）
　　その他：超高真空

・質量分析器
　　高真空領域　ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ(DP)
　　　　　　　 ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ(RP)+ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ(TMP）
　　　　　　　　　　※ｵｲﾙﾊﾞｯｸ厳禁で１０-7Paが必要

　特殊な分析装置になると独自の試料室などがあり、それぞれ
真空雰囲気はガス導入の際の水分などを嫌う場合も多いようです。

真空ポンプ、真空計、真空チャンバー製作、改修、改造など
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　7月7日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝24℃、昼32℃
です。
　埼玉は夜になり風が強くなっています。
星は見えるかな？天の川は見えますかね？
きっと一年越しのデートの約束を、果たせたのでしょう！

　　　

理化学機器の真空排気ポンプ

真空用ボールバルブ

2009年6月30日 19:43

　真空用のバルブは、ダイヤフラム構造かＯリングシール、銅ガスケットシール
などが一般的なカタログ商品です。当然ですが、バルブの内部は流路に対し
バルブシート面を押しつけるような構造のためジグザグもしくは９０度方向に
なります。
　そこでご紹介したいのが空気や水などでも使われているボールバルブタイプの
ＮＷフランジ真空仕様商品です。

ＮＷ２５ボールバルブ

　流路に対しボール状のシート面が回転するため、全開のときには入口側から出口
側が見通せる（ストレート状）ように邪魔がありません。当然ですが抵抗が少ないので
ロータリーポンプやドライポンプのような低真空ポンプの開閉バルブ（元バルブ）には
最適です。対流物が溜まりやすいようなアプリケーションでも流路がストレートなボール
バルブならばこそバルブでトラップされ憎いメリットもあります。

真空用バルブ、真空用配管、真空用容器の製作など
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今日の埼玉のお天気は？
　６月３０日　火曜日
　天気　雨のち晴れ
　ボンベ庫の温度　朝２１℃、昼２３℃、夜２３℃
です。

近所の神社で大祓いを受けてきました。
以下、神社からの説明文です。

　古くより、毎年六月と十二月の晦日に大祓いの行事が行われております。
氏神様の御神前で行うこの神事は、心身の罪（いわゆる悪行）や穢（災いや
不吉な事）を祓い清め、神々の御照覧に恥じない、明るく清く正しき心を保つ
という大切な意義を持つ日本の伝統的信仰です。
　特にこの六月の大祓いは「夏越の祓い」とも云われ、「水無月の夏越の祓い
する人は、千歳の命のぶとこそきけ」と、古くより歌われてきたように、神々の
ご加護を受け、延命長寿を祈ってきた、意義深い神事です。御多幸な日常生
活を送る為にも、有意義のことと存じますので、このお祓いをお受けになること
をお勧め致します。

延喜式内社　調神社

真空用ボールバルブ

真空断熱

2009年6月23日 19:21

　熱の伝わり方には、対流、熱伝導、輻射の三種類が知られております。
空気中では空気を介して熱が伝わりますが、空気の無い真空中では対流
起こりません。熱伝導は真空容器（チャンバー）の壁面を伝い伝わります。
チャンバー外面に冷却水が流れる熱交換コイルや二重にしたジャケット構
造などを取るのはこのためです。輻射の場合には大気中とそれほど変わら
ず熱が伝わります。その効果を利用してハロゲンヒーターなどでチャンバー
内の対象物を加熱する熱処理炉などに利用されています。
　マグカップや魔法瓶は、一般汎用品に真空断熱効果を利用した商品です。
それでも熱は伝わり、熱いコーヒーも冷めますが、それは容器の外面から内
面に輻射により伝わるものです。これを防ぐにはシールドと呼ばれる輻射を遮
る反射板を設けるのが効果的です。そこでアルミ箔を反射板に利用し、更に
熱伝導の悪い極細のガラスウール製の線を入れたもので断熱がされるものが
「スーパーインシュレーション」です。液体窒素や液体ヘリウムのクライオスタッ
トなど低温機器にはよく利用されております。

液体窒素、液体窒素用容器、液体窒素配管、液体窒素自動供給装置など
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今日の埼玉のお天気は？
　６月２３日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝23℃、昼29℃、夜28℃
です。
　午後一番からかなりの日差しとなり、弊社のボンベ庫では
お昼時間に３０℃を記録しました。
夏本番を前に、基礎体力と自然治癒力を養っておく必要がありますね。

真空断熱

真空凍結乾燥

2009年6月21日 21:49

　容器の中に水（液体）を入れておくと、そのときの温度によって容器内の
圧力は一定になります。水面から蒸発する水分子の量と、水蒸気になった
水分子が液体に戻る量とが平衡状態になるのです。
　この容器を真空ポンプに接続すると、蒸発してくる水を全部排気することに
なりますので、コップの水が自然に乾燥する状態の何万倍も速く水が無くな
る（蒸発）してしまいます。例えば２０℃の水温で真空排気すると９ｍ／ｈｒも
のスピードで水面が蒸発し、０℃では２．５ｍ／ｈｒ、-２０℃で０．４３ｍ／ｈｒ
も水分が蒸発します。このスピードを利用して熱に弱いものを乾燥させるのに
食品業界などで真空凍結乾燥などが行われています。
　ただし、理論値は以上のようなことですが、実際には簡単な話ではありま
せん。１ｃｃの水は蒸発すると液体から気体になることで体積が１２００倍以上
にもなり、真空中では（０，０１気圧）１２万倍にも膨らみます。この気体を真空
ポンプで排気するのは並大抵な大きさのポンプでないと、膨大な時間を要しま
す。また、真空中では対象物の温度が下がりやすく、また、水が表面の細か
な隙間や穴の中に入り込んでしまっていると、真空ポンプでただ排気しても、
なかなか出て来ないので、創意工夫が必要となるわけです。

真空容器、真空配管、真空ポンプ、装置としてのシステム設計、製作など
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今日の埼玉のお天気は？
　６月２１日　日曜日
　天気　雨のち曇り
　気温　２３℃（ＰＭ１０：００）
です。
　キャンドルナイトで電気のない生活を体験しましょうという
呼びかけがテレビ局でも行われています。
電気がある生活はいまや当たり前です。
「クーラーが無いと生活できない」と言う人は多いのですが
冷房機器が動いているのは当たり前ではないのです。
「あたりまえ」と思っている人は「ありがとう」（感謝）の想いが
無いのだそうです。
平気でごみを捨てる人は、ごみを本気で拾ったことがない人なのだそうです。
だからこそ電気のない生活を、当たり前でない生活を自ら実体験する
意味があるのだと、私も思います。
　by との

真空凍結乾燥

ＶＧ　ＳＣＩＥＮＴＡ超真空コンポーネント

2009年6月19日 17:29

　VG SCIENTA Ltd 社は40年に渡って培ってきた経験、専門知識をもとに、高品質、高性能
な真空コンポーネントを提供しています。　超高真空のアプリケーションや、高い性能が必要
とされるアプリケーションにお勧めいたします。

取扱い商材
・Flanges
・Feedthroufhs
・Pumps
・HV Fittings
・Gaskets
・Valves
・Drivers
・Bake out
・Viewports
・Transfer Drivers
・Manipulation
・UHV Fittings
・Pressure Gauges
・Chamber and Fabrication

ＶＧ製超高真空機器のコンポーネントをぜひご利用ください。
川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉川口氏のお天気は？
　6月19日　金曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝21℃、昼24℃、夜22℃です。
　久しぶりにお天気の気候になり、仕事をしていても蒸し暑くて
湿度が気になる陽気でした。

ＶＧ　ＳＣＩＥＮＴＡ超真空コンポーネント

NWフランジ真空用ボールバルブ

2009年5月26日 18:38

　真空用のOリングシールやメタルシールのアングルバルブ
などが一般的ですが、ストレートタイプでコンダクタンスの優れ
たボールバルブのご紹介です。

国内メーカー製NWﾌﾗﾝｼﾞﾎﾞｰﾙﾊﾞﾙﾌﾞ

NWﾌﾗﾝｼﾞ種類は、NW25,NW40,NW50の三種類です。

補助ポンプとTMPやクライオなどの高真空ポンプとのバルブに
実績がます。
※高真空雰囲気でのご利用の際には、ご相談ください。
　 １０ -5Paまで内部リークがない納入実績がございますが
　　保証値ではありません。

真空用ボールバルブのことなら
川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞ、ご相談ください。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　５月２６日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２０℃、昼２８℃、夜２５℃
です。
　千葉姉ヶ崎では石油コンビナート構内で車中に居られないほど
気温が上昇しました。まだ、風がそれほど暑くないので凌げますが
そろそろ猛暑がもうそこまで近づいてる気配がありますね。

NWフランジ真空用ボールバルブ

強磁性体材料ターゲットにおける問題及び困難が解決　GENCOA社

2009年5月10日 18:09

　磁性体材料スパッタリングでは、その磁性体材料とマグネ
トロンの磁場に起因するする多くの問題を抱えています。こ
のもっとも単純な理由は、プラズマ中の電子を閉じ込めるた
めのマグネトロンソースにより生じる磁界が強磁性体ターゲ
ットそのものにより吸収してしまうことにあります。ここの
材料の特性にもよりますが、この問題は大小に関わらず発生
します。この問題の一つは、ターゲットの厚みが制限されて
しまうことです。材料の磁性飽和特性に依存して使用できる
ターゲット厚は変化しますが、強磁性体ターゲットを透過し
てターゲット表面上に放出される磁界強度は、効果的なスパ
ッタリングプラズマを維持するのに十分な磁界強度（２００
〜２５０Gauss）でなければならないため、ターゲット厚を
制限する必要が生じます。これによりターゲットの交換頻度
が増し、アプリケーションによっては装置の生産性を低減す
ることになります。

　ターゲットの厚みを最大にするためにマグネトロンソース
から生成される磁界強度を強くすることは可能ですが、鉄
（Fe）のような材料の場合、極めて高い磁界強度を使用した
場合でもターゲット厚は制限されてしまいます。また、ター
ゲットとマグネトロンソース内の磁石の引力によりターゲッ
ト取付け取外しが困難であるということがあります。
　二つ目の問題として、強磁性体材料スパッタリングに対す
る従来のアプローチではターゲットの使用効果が、非磁性材
料スパッタリングの場合と比較して低いことがあります。こ
の理由はターゲットエロージョンによる形状の変化がターゲ
ット表面上に磁界プロファイルに影響を与えることにありま
す。ターゲットがスパッタリングレーストラックの中心部で
局部的により多くスパッタされるにつれて、その部分の磁性
材料が少なくなり、それにより局所的にさらに強い磁性が発
生します。

　これにより多くの材料がスパッタされることで、局所的に
より強い磁界を発生させ、さらにはよりエロージョンが中心
点に収束されるという悪循環を生じます。この現象は一般的
にプラズマの「pinching（圧迫）」と呼ばれており、材料に
よっては５〜１５％の消費率しか得ることができません。こ
の圧迫は磁性を帯びた板（Shunt plates）をターゲット裏側
に設置することである程度防ぐことができますが、この板の
厚みの分ターゲットの厚みはさらに制限されるだけでなく、
消費効率に関しても非磁性材料ターゲットの消費効率に近づ
くことはできません。つまり、問題は重大で、大部分のユー
ザーは強磁性体材料スパッタリングプロセスの非生産性を我
慢しなければなりません。
　この問題を解決する方法のひとつのオプションとしてマグ
ネトロンマグネットを移動（回転）するという方法がありま
す。これは従来から行われている方法で、圧迫効果を解消す
るためにプラズマをターゲット上で移動させるために使用さ
れます。良いデザインであれば、マグネトロンソースで４０
％以上の高い使用率を得ることができますが、この強磁性体
材料ターゲットによって引きつけられる磁石を駆動すること
になるためソース自体が高価になります。また、磁石を移動
してもターゲットの厚みの問題は解決されていません。
　GENCOA社ではLOOPまたはLPと呼ぶマグネトロンソースを開
発しました。この特許は、現在出願中のため詳細はお見せす
ることはできませんが、皆様にご紹介する用意は整っており、
マーケティングおよび販売を開始しております。
　LOOPマグネティックスは基本的に強磁性体材料スパッタリ
ングの従来の問題を解決しています。実際の非常に厚いター
ゲットを使用して、例えば最大で１２mmあるいは1/2インチ厚
の鉄（Fe）ターゲットを６インチ幅のマグネトロンソースを
使用することができます。しかしより重要なのは、ターゲッ
ト使用率が高い（３５〜４５％）ということです。つまり非
磁性体材料ターゲットの場合の従来型二極マグネトロンソー
スの使用率（約２５％）よりも高く、GENCOA社の高使用効率型
（High Yeild-HY）多極マグネトロンソース（４０％以上）と
並ぶ使用率まで高められています。
　性能面においては、強磁性体材料スパッタリングは他のスパ
ッタリングプロセスと同様に実利的に行うことができるように
なりました。鉄（Fe）ターゲットに対して比較を行えば、新型
の６インチ幅LOOPマグネトロンソースでは２０〜３０倍の長い
ターゲット寿命を実現することができます。またLOOPマグネト
ロンソースの価格は従来型の強磁場型（High Strength-HS）
マグネトロンソースと同様になっております。
　このLOOPソース、強磁性体材料スパッタリングを行っている
プロセス改善を課題にされているお客様はぜひご相談下さい。

GENCOA社製マグネトロンソースのほか、真空排気装置、真空チャ
ンバー、真空ガス導入系のことまで、川口液化ケミカル株式会社
へご連絡ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉のお天気は？
　５月１０日　日曜日
　天気　はれ
　気温　２８℃（PM7:00）
です。
　今日は気温が３０℃以上に上がって
さいたま市や川口市では光化学スモッグ注意報が
発令されておりました。夏のような気温が早くも
始まりますね。

強磁性体材料ターゲットにおける問題及び困難が解決　GENCOA社

マグネトロンスパッタソース

2009年4月16日 16:27

　英国ジェンコア製のマグエントロンスパッタソースのご紹介です。
ターゲットサイズ２〜１６インチまで、お客様のご要望に応じた仕様
で製作可能です。

超高真空機器、真空チャンバーの製作、真空排気セットのご依頼など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　４月１７日　金曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１７℃、昼２３℃
です。
　年度が変わり組織も新体制なって、いろいろな試みや
事業などが動き出して生きたようです。
そろそろお仕事が動き出す兆しが、僅かばかりですが
あるのかなと感じますね。

マグネトロンスパッタソース

高真空加熱昇温炉

2009年4月10日 18:35

　小型のＳＵＳ製高真空（10-5Pa）チャンバーであり、高温（Max500℃）
に加熱できる実験装置を試作致しました。

小型高真空チャンバー 到達真空度：10 -5Pa

誘導加熱のヒーターにより３００〜３５０℃で常用に加熱処理が可能です。
条件により５００℃まで昇温することもできます。

真空チャンバー内部の加熱ヒーター

　実験用の改造が可能な真空チャンバーですので
回転、直線導入機を改造し、試料を可能な範囲で
移動することもできます。

お客様の仕様により、真空度、開口部、導入機の
アレンジや加熱、冷却機構などアッセンブリできます。

高真空加熱真空炉のことなら川口液化ケミカル株式会社
まで、どうぞご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　４月１０日　金曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１８℃、昼２７℃
です。
　近所の公園の芝というか草の色が
冬の枯れ草色から、若葉の黄緑色に
変化してきています。
春から初夏の装いに変わってきましたね！

高真空加熱昇温炉

コールドトラップ（真空排気インライン型）

2009年4月 2日 19:05

　真空ポンプが装置（チャンバー）から流れてくる有機溶媒などで
汚れて困るといったお悩みはありませんでしょうか？

　一般的なオイルミストトラップ（オイルエリミネーターなど）は抵抗に
なって排気スピードが落ちたり、到達真空度に影響したり・・・。
　液体窒素トラップなどですと性能はいいのですが調子にのって使っ
ていると馬鹿にならないＬＮ２コストがかかるものです。

そんなときは、１００Ｖ電気駆動の産業用冷凍機を搭載したコールド
トラップをお使いになられてはいかがでしょうか？

コールドトラップ外観　※外装カバーを外してあります。
ＩＮ,OUT NW40フランジ継手（ｱﾝｸﾞﾙﾀｲﾌﾟ：ｽﾄﾚｰﾄﾀｲﾌﾟもあります）

電源スイッチを投入すれば、-110℃のトラップ温度に到達します。
（テスト時のデーターで保証値ではありません）
有機溶媒などはドレン溜まりトラップされますので、定期的に排出
することでロータリーポンプなど補助ポンプを保護することができ
寿命も延びます。

吸気口NW40から冷却部を覗いた部分

フランジ径は、約８０Ａほどまでなら加工可能です。
実証テストを行い特注で大口径フランジ仕様品も
製作することができます。

コールドトラップのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
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今日の埼玉川口のお天気は？
　４月２日　木曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝６℃、昼１１℃
です。
　高校野球決勝戦がおこなわれ、白熱した投手戦だったようです。
右腕、左腕それぞれ将来の野球界を担う好投手の対戦でした。
ホームランがバカスカ飛び交う打撃戦も見ごたえありますが
好投手同士の１−０の接戦も緊迫したゲーム展開が続いて
面白かったですね。
夏の甲子園、次は東北チームにがんばってもらいましょう！

ハンドメイドですので、

コールドトラップ（真空排気インライン型）

スパッタ装置

2009年3月24日 17:58

　大学研究所や研究機関などで最もメジャーな真空装置
のひとつがスパッタリング装置（通称：スパッタ装置）です。

　１０-1〜10-2 Pa のアルゴンガスの中で二つの電極間に
放電現象を発生させ、生成したアルゴンガスイオンを加速し
てターゲットに衝突させます。するとアルゴンイオンは、ター
ゲット金属の表面をたたいて金属原子（または分子）が飛び
出します。ターゲットの反対側（対向側）にある基盤に付着し
ます。このイオンの衝突により固体表面からの原子や分子
の放出をスパッタリング現象と呼びます。その現象を利用す
る薄膜作成装置のことをスパッタリング装置（スパッタ装置）
と呼ぶのです。
　スパッタ反応室である真空チャンバーの中の圧力を１０-5
〜１０-6 Pa まで真空排気し、そのあと純アルゴンガスを約
１００sccm 程度の流量でガス導入しながら同時に真空排気
しスパッタ現象に必要な圧力をバランスさせて維持するので
す。

スパッタ装置用高純度アルゴンガスやアルゴンガス導入系の
高純度ガス配管工事など、川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　３月２４日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝７℃、夜９℃
です。
　ＷＢＣサムライジャパンがみごと優勝しました！！！
前回大会に続く２連覇です。
５度の韓国との戦いは非常な緊張感につつまれていて
ちょうど昼ごはんを食べながら見ていましたが
午後の始業時間がきてもそのままテレビ釘付けでしたね。
それにしてもよく優勝したものです！
これで野球人気が復活するかな？

スパッタ装置

ゲッターポンプ

2009年3月15日 00:07

　金属のチタンやタンタルなどの一部には、ガス分子を表面に
化学吸着させる作用があります。このような材料物質をゲッター
材といいます。一旦、金属表面に付着すると化学吸着なので
容易には再放出されません。
　この作用を利用して真空ポンプとして応用しているのが、ゲッ
ターポンプです。
　ゲッター材（Al-Zr-V-Fe合金など）の温度を２８０〜４００℃近
くまで上げると表面が活性化され金属表面に気体分子が取り込
まれていきます。このとき、ガス分子が吸蔵能力いっぱいまで
吸着されるとガス排気能力がなくなります。そうした場合には
７００〜８００℃にゲッター材を加熱すると取り込んだガス分子を
放出し再活性化され、真空ポンプとしての能力が蘇生されます。
但し、ＣＯ・ＣＨ４・Ｈ２Ｏなどは著しくゲッター材の寿命を短くします
ので、これらのガス分子の蓄積により交換時期が変わってまいり
ます。

真空ポンプ、真空チャンバー、真空計、真空配管など
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今日の埼玉のお天気は？
　３月１５日　日曜日
　天気　はれ
　気温　９℃（PM10:55）
です。
　やっと受験が終わったと胸をなでおろすご家族。
ですが早くも来年の新受験生獲得に学習塾は躍起
になっているようです。
生徒が少なくなり、受け入れ側の学校の定員割れが
顕著になってくると、大学受験であっても生徒の進学
が全入時代になる時代がそこまで来ているようです。

ゲッターポンプ

Moleculor Beam Epitaxy （ＭＢＥ）

2009年3月13日 23:25

　ＭＢＥ（分子線エピタキシー装置は超高真空下で薄膜製造する
ＧａＡｓ系光デバイス用として利用されています。ＧａＡｓにＡｌをドー
ピングしたデバイスを作成されてから実用化した真空装置です。
　基本的には蒸着と同じように、蒸発する分子線の強度を小さくし
て制御することで、ターゲットに付着した分子や原子の表面に移
動する時間と熱を移動させます。
　結晶の成長速度が分子線の強度により表面を移動するため
その間に分子線以外の元素が基盤に達するのを少なくする必要
があるため、チャンバー内の真空度を 10 -9 Pa 以下にすることが
望ましいとされます。
　真空排気系にはイオンポンプやＴＳＰ（チタンサブリメーションポンプ）
を利用し、チャンバー自身も２００℃弱のベーキングを行い超高真空
を保持できる極めてリークの少ない真空チャンバーであることも必要
です。

超高真空機器・回転導入器、直線導入器、マニピュレーター
温度調整機構付きサンプルステージなど、超高真空コンポーネント
のことなら、川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
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今日の川口のお天気は？
　３月１３日　金曜日
　天気　晴れのち雨
　ボンベ庫の温度　朝５℃、昼１１℃、夜１０℃
です。
　ごくごく最近の秋葉原駅周辺をご覧になられましたでしょうか？
駅前のヨドバシカメラの壮観さもさることながら、昔、スケボーや
バスケットをしていた広場が綺麗な近代的なビルになり、飲食店
なども整備され、ぐるぐる回っていると、知らないデパートのように
どちらに向かって歩いているかわからないほど様変わりしましたね。
とにかく、ＪＲ駅東側も西側もすごい建物です。

Moleculor Beam Epitaxy （ＭＢＥ）

VG SIENTA LTD 製品年度末キャンペーン

2009年1月30日 18:39

　超高真空機器では性能の優れた点と製品完成度の高さで
圧倒的なブランド力を持つ英国 VG SCIENTA LTD 社製品が
年度末キャンペーンを行っております。

2009年1月改定になった新定価からさらに２０％引きでのご提供

キャンペーン期間
2009年2月1日〜2009年3月31日までにご注文をいただいた案件まで

キャンペーン対象真空機器
・トランスファーロッド
　　MLRMシリーズ
　　ZMLRM203
　　ZMLRM204
　　ZMLRM206
　　ZMLRM209

・リークバルブ
　　LVMシリーズ
　　ZLVM940
　　ZLVM940R

・回転導入器
　　RDシリーズ
　　ZRD93

・ガラスビューポート
　　VPZシリーズ
　　ZVPZ16
　　ZVPZ38
　　ZVPZ64
　　ZVPZ100
　　ZVPZ150

製品の詳細はカタログをご参照ください。
カタログのご請求は　「川口液化ケミカル株式会社」　TEL 050-8881-7393
までお電話下さい。
すぐにお送りいたします。

真空機器、真空チャンバー、真空ゲージ、リーク検査など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご連絡ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　1月３０日金曜日
　天気　雨
　ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度　朝7℃、昼8℃
です。
　東大前の本郷通は、心なしか緊張感に包まれてます。
とある学習塾によれば・・・

国公立大学の過去問研究のとっておきの方法とは？
　国公立大学の出願も始まり、いよいよ過去問ざんまいの時期となりました。
残り一ヵ月ラストスパートするっきゃないです。

「受験校の過去問を研究せよ！」

と、よく言われますが、どうしたらよいのでしょうか？
英語に関して言うと、国公立大学の問題はこのようなものです。

下線部１はどのようなことを言っているか？
（４０字で書きなさい）

というような種類の問題が出題されます。
受験生に求められるのは・・・

どの範囲を答えるのか？　（広さ）

どこまで詳しく答えるか？　（深さ）

これら２つです。
研究するときは、蛍光ペンを使って
解答の根拠・ヒントとなる部分にラインを引きます。
各設問ごとに色を変えると、見やすくなります。

これを続けるだけで、自然と解答を求める場所が
浮かび上がってくるようになります。
国公立の対策はまだ始まったばかり。
まずは、相手を知ることから、戦は始まります。
　by 大学受験塾ミスターステップアップ　より

ほ〜〜〜

社会人の実業にも応用可能ですね！
がんばろっと！！！

VG SIENTA LTD 製品年度末キャンペーン

電流導入端子

2009年1月10日 17:40

　真空中で電気的な機器を動かしたり、計測したりする場合
大気と真空を隔てる部位が必要になります。
それが「電流導入端子」です。モーターなど動力を動かすた
ためのパワー用であったり、温度などを測るためのK種熱電
対であったり、これらをスルー（通過）させる必要があります。

多芯電流導入端子を付属した真空フランジ

　低真空であったり、電気容量が少ないものであれば手作りで
封止剤などを利用して作っても利用できないことはないかもしれ
ませんが、なかなかうまくいくものではありませんね。
　通常は、セラミックと金属の真空に耐えうる加工が施された
端子をSUS製の真空フランジに溶接加工するなどして製作する
方法がとられます。

装置用電流導入端子（フィードスルー）

JISやKF-NW,ICF,アンシなど各種真空フランジへの
電流導入端子の接続溶接加工など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　１月１０日　土曜日
　天気　はれ
　気温　５℃（PM5:40）
です。
　高校サッカーの準決勝で、鹿児島城西と前橋育英との
激闘を観戦しました。
結果は、５−３で鹿児島城西が勝利しましたが
レベルの高さと訓練された組織力、運動量など
とても高校生レベルとは思えないような素晴らしいプレーの
連続でした。
感激しましたね！！！

電流導入端子

真空の圧力単位

2008年12月 5日 19:22

　新計量法による圧力の単位には、ＳＩに係る計量単位として
Pa（パスカル）・N/m2（ニュートン毎平方メートル）・bar（バール）
が用いられます。それ以外に非SI単位としてTorr（トール）・mmHg
（水銀柱ミリメートル）が認められております。
　また、真空圧力の表記には二通りあります。真空業界では、絶対
圧力を使用していますが、他の業界ではゲージ圧が多く使われてお
り、環境によりいずれの表記で真空の値を求めるのか確認が必要で
す。

・絶対真空を　０（ゼロ）とした絶対圧単位の後に　a または abs と
　記します。

・大気圧を　０（ゼロ）としたゲージ圧単位の後に G または Gaugeと
　記します。

　数字がでるとちょっと混同しますが、今ある大気圧 1atm を
入れるか入れないかの違いです。気を付けましょう！

ガス、真空、低温のことなら
川口液化ケミカル株式会社
までご連絡ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　１２月５日　金曜日
　天気　雨
　ボンベ庫の温度　朝8℃、昼15℃、夜12.5℃
です。
テレビ番組でシアトルマリナースのイチローが語っていました。
インタビューを受ける姿は、淡々と自らの思いを語り自信が漲って
いるように見えました。
年を重ね貫禄すら感じさせるスターイチローがそこにいました。

真空の圧力単位

Digital Vacuum Gauge

2008年12月 4日 22:45

　低真空用の真空ゲージは、ブルドン管式の圧力計や
汎用計測機器メーカーの圧力センサーが一般的です。

　そのなかでも最大５桁の数値表示が可能なデジタルゲージ
は真空度の細かな挙動を把握することが可能です。

BBK社 VG-200 デジタルバキュームゲージ
\41,800-（税抜き）

仕様
使用温度　：　0〜50 ℃
使用湿度　：　0〜95 %
常用圧力　：　0.42 MPa
破壊圧力　：　2.10 MPa
作業圧力　：　大気〜0 Micron
精度　　　　：　± 10%
保管温度　：　-40 〜 85 ℃
使用電池　：　9V アルカリ電池
電池寿命　：　20 時間
重さ　　　　：　153 kg
寸法　　　　：　直径68mm x 奥行き x 高さ115mm
継手ｻｲｽﾞ　：　1/4"ﾌﾚｱ（7/16-20UNF）

真空度を表すＬＣＤディスプレイとスイッチの二つ構成です。
もう一つのスイッチは真空度の単位をミクロン（Micron）と
ミリバール（Millbar）、トール（Torr）、インチ／hg とを変換する
スイッチで真空作業中も変換可能です。

真空ゲージ、真空ポンプ、真空チャンバー、真空装置のことなら
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今日の川口のお天気は？
　１２月４日　木曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝６℃、昼10℃、夜11℃
です。
群馬県内に流れる利根川が、たくさんの水を貯え
滔々と流れておりました。
河の水がなくなることなく流れるづけることは
あたりまえでないとするなら、どこから流れつづけるのだろうか？
と思うと自然の偉大さを感じます。

Digital Vacuum Gauge

液体窒素槽　（真空槽）

2008年11月25日 20:41

　液体窒素を保存するには断熱層に覆われた容器なり
断熱加工を施した液体窒素接触面もしくは熱伝導が悪い
（保温性の良い）断熱材で作られた容器に入れなければ
たちまち蒸発してしまいます。

液体窒素槽

　尚且つ、生産のため液体窒素の液体に製品を浸けたりする
ような場合には、蒸発ロスのちいさな真空断熱層に覆われた
容器がお勧めです。

真空断熱層の真空排気ポート（オペレーターバルブ仕様）

　真空層を金属板で溶接し簡単に作っても、強度が保てなければ
潰れてしまいます。また、頑丈に作れば重たくて移動がままなりま
せん。バスタブのような簡単に見える真空槽は、とても難しい製作
加工品なのです。

液体窒素用容器、真空断熱液体窒素槽、クライオスタットなど
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　１１月２５日　火曜日
　天気　晴れのち雨
　ボンベ庫の温度　朝5.5℃、昼8℃、夜8℃
です。
今日の厚木森の里地区は、紅葉が最高に美しかったです！
紅葉の色合いが変化している様が、まさに芸術品ですね。
人間が意図的に彩りを与えるものも綺麗ですが、自然の
美しさはなにかホッとします。

液体窒素槽　（真空槽）

真空用導入器

2008年11月 9日 17:06

　１atm の大気側とそれ以下の負圧である真空側とを隔てる間を
直線方向や回転方向などの伝達運動をする真空機器を導入器と
呼びます。直線方向を直線導入器、回転方向を回転導入器、その
他傾き方向など軸シールによりシールしています。
　直線方向は、中真空から高真空領域で一重ないしは二重のOリ
ングシール方式で製作され、揩動抵抗を軸表面の面粗度を精密に
仕上げられています。超高真空領域になるとベローズシールと磁気
カップリングの二方式が使用され直線方向の移動距離もOリング
シールの１００ｍｍ程度にくらべ１０００〜１５００ｍｍまで可能で回転
運動も合わせた導入器が多用されております。

真空機器、真空用各種導入器、真空リークテストなど
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今日の埼玉のお天気は？
　11月8日　日曜日
　天気　くもり
　気温　11℃（PM5:10）
です。
プロ野球の日本一を決める天王山！
勝利の栄光を勝ち取るのは巨人か西武か？
日中から京浜東北線に応援に向かうファンの姿が
チラホラ見られました。
頑張れ選手と応援団！！！

真空用導入器

変換フランジ　（真空）

2008年10月30日 19:25

　真空装置と真空排気系との接続部で、口径の異なるフランジを
必要とする場合はございませんでしょうか？

大手真空メーカーや部品メーカーのカタログにないような変換フランジ
面間の指定がある製作もののフランジ、JISとICFなどのように規格の
違うフランジ同士を接続する場合の相フランジなど製作いたします。

JIS4ｲﾝﾁ x JIS8ｲﾝﾁ + ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞの弁体の動作を考えた相ﾌﾗﾝｼﾞ

また、真空とガス、ステンレスと石英、異種金属同士の変換フランジなど
ご相談ください。
川口液化ケミカル株式会社
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉のお天気は？
　10月30日　木曜日
　天気　くもり
　ボンベ庫の温度　昼14℃、夜13℃
です。
田口選手の活躍するフィリーズが優勝し、自身2度目の
Wシリーズ優勝となりました。出場機会こそなかったものの
優勝経験できない選手がどれだけいるかわからない中で
2回目の経験はすごいツイてますよね！

変換フランジ　（真空）

Wide Rang (Pirani + BA) Gauges

2008年10月28日 15:01

ドイツ国　VACOM社製真空ゲージ

　アプリケーションに合わせて、組み合わせができる
真空計ができました。１台で大気圧から超高真空
までを測定可能にしております。

　ATMIONシリーズはピラニーゲージとBAゲージを一体化させることにより、大気圧から
超高真空領域の測定を容易したゲージです。用途に応じKF、NWフランジの選択とカート
リッジ式などの選定が可能です。

測定範囲　　1x10 5Pa 〜 1x10 -8Pa (CFフランジ仕様）
測定精度　　10 〜 10 -6Pa : 25% , 10 〜 10 -8Pa : 10%
ｱﾅﾛｸﾞ信号　 0-10V対数　U=0.625V/lg(P/10 -8Pa)
動作電圧　　24V DC±10%
消費電力　　通常動作　最大 0.4A　ﾃﾞｶﾞｽ　最大 0.9A
表示器/ﾍｯﾄﾞ接続　15PIN D-sub コネクタ（ｵｽ型）、ｹｰﾌﾞﾙ長 3m
ｶｿｰﾄﾞ材質　　ｲｯﾄﾘｱｺｰﾃｨﾝｸﾞ　ｲﾘｼﾞｳﾑ
放出物質　　25μA・2A ﾃﾞｶﾞｽ中　20mA
ｸﾞﾘｯﾄﾞ容量　　240V / ﾃﾞｶﾞｽ　400V
ﾍﾞｰｸｱｳﾄ温度　CFﾌﾗﾝｼﾞ付　250℃（ﾌﾗﾝｼﾞ先端部）、KFﾌﾗﾝｼﾞ付　180℃（ﾌﾗﾝｼﾞ先端部）
使用環境温度　最高　40℃

真空ゲージ、真空ポンプ、真空チャンバー容器製作まで
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今日の埼玉のお天気は？
　１０月２８日　火曜日　
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝12℃、昼15℃、夜16℃
です。
お昼間に事務所に居てもブルっとするような涼しい陽気に
やっとなった感じですね！
世の中の変化が速くて季節感を感じないまま年を重ねる
自分がいます。
暑さ寒さを五感で敏感に感じ、年を重ねたいです。

Wide Rang (Pirani + BA) Gauges

バリアブルコンダクタンスバルブ

2008年10月26日 17:24

　大気圧以下の真空容器の中に大気圧以上のガスを導入する
には、真空容器内の圧力が下がりすぎないよう、または、所定
の圧力に安定させるために圧力調整する必要があります。
　コンダクタンスを変化させることのでき完全なカットオフもできる
バルブがあります。

　これはバリアブルリークバルブで超高真空環境でサファイヤと銅
ガスケットとの接触によりガスの導入量を微少にコントロールでき
完全な閉止（封止）もできるタイプです。
　このほかにもガスフローコントローラーもしくはガスドージングシス
テムなどと呼ばれ、ガスを真空容器内へ導入しながらバタフライ型
やフラップ型、ニードル型バルブンなどのバリアブルコンダクタンス
バルブでポンプの排気量やガスの導入量を真空計の圧力を制御
しながら自動制御させるシステムです。

真空中での圧力コントロール、ガスフローコントロールシステムなど
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今日の埼玉のお天気は？
　１０月２６日　土曜日
　天気　くもり
　気温　１８℃（PM5:45）
です。
浦和パルコのいわゆるデパ地下、大丸やその近隣の
食品フロアーはどこも盛況のようです。
丸広デパートでも大勢の買い物客がレジの前に列をなしてました。
レジスターの女性従業員さんが大わらわでした。

バリアブルコンダクタンスバルブ

アルミ製の真空システム

2008年10月20日 22:04

　加速器設備の真空機器には、素材が放射化し人が被ばくする
危険があるため、減衰率の大きなアルミニウム合金が利用されて
います。
　ですが、一般的なアルミニウム合金の表面は強い酸化膜のため
ガス放出速度が大きく超高真空領域での利用は難しいとされてお
りました。しかし、アルミニウム合金の表面から放出するガス発生
の原因となる多孔質をはじめに付いている酸化膜を除いた後に、
とても緻密な酸化膜処理を施すことで、ガス放出を抑えられ、ガス
の吸着も少なくなるなど、ステンレス鋼と遜色ない超高真空処理で
の利用が可能なのです。

真空チャンバー、真空フランジ、真空リークチェック、真空ポンプなど
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今日の埼玉のお天気は？
　１０月２０日　月曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　昼２１℃、夜２０℃
です。
アメリカ大リーグで、岩本選手のいるデビルレイズが
松坂選手のいるレッドソックスを退けました。
これからの岩本選手の活躍が見ものですね！

今日の環境情報は？
電力の約８割を依存するフランスで７月、原発関連施設の
放射能漏れ事故が３件発生したそうです。
・ウラン溶液が１万８７００リットル河川に流出
・廃液処理場のパイプが破損し、放射性物質数１００グラムが
　漏れた
・運転停止中の原子炉配管から放射性物質が漏れ
　従業員１００人が被爆した。
事故原因は、設備の故障と人為的なミスが重なったようです。

アルミ製の真空システム

加速器

2008年10月19日 17:30

　プロトンや重イオン、電子を高エネルギーで加速することで
さまざまな実験を行う粒子加速器は、日本では高エネルギー
物理学研究所トリスタンなどがあります。
　SOR（Synrotron Orbital Radiation）と呼ばれる放射光を作り
出す電子加速器は、光の速度に近い状態まで電子を加速させ
磁場で偏向することにより放射される電磁波を発生させるもの
です。その電磁波の波長は、可視領域からX線領域までの連続
スペクトルを持ちます。これは特に紫外線領域からX線領域まで
の連続スペクトルを発生する機器がなかったことからその用途が
注目され、SOR光の鋭い指向性と非常に強度が強いことなどを
利用し応用されております。
　この加速器は、６００MeV 程度まで電子を加速し、直線型の
加速器で電子を加速したものを、リング状の軌道に導入し、高周
波加速を行いつつ偏向磁場より放射光を偏向軌道の接続方向へ
放出する構造となっています。
　この電子蓄積リングは、電子ビームを一秒間に数千回転させた上
数時間保持する必要があるので、できる限り残留ガスを少なくする
必要があります。SOR光がビームダクト内面に照射されるときにガス
が放出されるので有効にそのガスを真空排気する必要があります。
ビームがない状態で１x１０ -8Pa 以下に真空度が保持されている状
態が必要なためイオンポンプ、チタンサブリメーションポンプなどが
メインポンプとして利用されています。

真空排気セット、真空チャンバー製作、真空継手・フランジ製作など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　１０月１９日　日曜日
　天気　はれ
　気温　２１℃
です。
今日の新大阪は、昨日の神戸同様お天気良かったです。
埼玉も秋らしい陽気で気持ちよかったですね！

今日の環境情報は？
原発はＣＯ２削減の切り札とも言われていますが
人為的なミスや大地震、コンピューターの誤動作で
大事故の可能性があり、一度起こると核兵器に匹敵する
被害が予想されています。
ドイツ、スウェーデン、デンマークなどが原発全廃を決めています。
地震大国日本では、５５基が稼働中。建設中が３基
増設計画が１０基となっています。

加速器

真空用バタフライバルブ

2008年10月 7日 14:45

　真空用のバタフライバルブは、開口部のコンダクタンスが大きい
ものの、ゲートバルブのように開口部が完全にフリーの空間になら
ないので、試料の移動などはできません。また、軸シールはＯリン
グシールのみですので、超高真空には使用できません。
　ですがバルブ構造が簡単なので故障が少なく、トラブル対応も
容易です。フランジ口径は、最大２００ｍｍ程度です。
　バタフライバルブやほかのバルブも大気圧と真空側とのＩＮ，ＯＵＴ
側を併用できますが、ゲートバルブだけは真空側と大気側の開閉
方向を確認することが大切です。ただし、逆圧がかかりますので、ポ
ンプやチャンバーなどに影響があることをあらかじめ考慮に入れましょ
う。

真空バルブ、真空ゲージ、真空チャンバーのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　10月7日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１７℃、昼２０℃、夜２０℃
です。
今日の京都は、小雨混じりで少々気温も高かったようで
しばらく歩いていると汗ばむような感じでした。
それでも大雨でなくて良かったです。

今日の環境情報は？
エネルギー資源の残余は？
（採掘可能年数：２００６年ＢＰ資料）
石油　４０年
石炭　１４７年
天然ガス　６３年
ウラン　７３年

真空用バタフライバルブ

真空用ストレートバルブ

2008年10月 5日 17:42

　真空用のストレートバルブは、ガスと異なりゲートバルブのように
バルブの中を試料が移動できるような目的で利用されることがある
ので比較的小口径に限られます。
　シールの構造はＬ型アングルバルブと同じようにバイトン製とメタル
シール製の２種類あります。用途が限られるためか、この種のバル
ブは駆動方法が手動型がほとんどです。構造としてはガス用のＹ型
ストレーナー（フィルター）のように、流路に対して斜め45度からバル
ブ軸がシート部を押しあてたり遠ざけたりする機構ですので、このタ
イプは一般高圧ガスの汎用バルブではあまり見られないようです。
価格も高価なため、実用上支障がなければＬ型アングルバルブを
お使いいただいたほうがコストメリットも大きいかと思います。
　但し、試料を通貨させる必要が無い場合には、ガス同様の流路に
対して９０度の方向からバルブステムが移動し、流路としてはＺ状の
イナズマのように流れますので真空排気など抵抗を考慮する必要が
あります。すべての真空領域に対応していませんが、ボールバルブ
タイプもありますので条件を加味して機種選定することが必要です。

真空バルブ、真空ポンプ、真空チャンバーのご用命ご相談は
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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今日のさいたま市のお天気は？
　１０月７日　日曜日
　天気　くもり
　気温　２２℃（PM6:00）
です。
ＩＰＳ細胞で損傷を受けた脊髄の神経細胞に
利用することで症状の改善がみられるかもしれない
希望が見えてきたそうです。
凄いことですね。

今日の環境情報は？
「軍隊のない国家　２７の国の人びと」（書籍紹介）
世界には軍隊を持たない国家が２７あります。
日本よりも小国といわれるこの国々は「他国が攻めてきたら」
という仮想ではなく、自ら軍隊を無くし、平和に貢献するという
一歩をすでに踏み出している国々です。
それぞれの国に歴史的経緯、平和学習、平和外交なども
紹介されており、平和憲法をもつ今の日本の状況を考える上で
大切な示唆を与えてくれる一冊です。

真空用ストレートバルブ

真空バルブ

2008年10月 4日 18:16

　真空バルブのご紹介２回目です。高圧ガスのバルブ
では、ボールバルブ、トルグバルブ、ニードルバルブ、
ベローズバルブ、ダイアフラムバルブ、バフタフライバルブ
ゲードバルブなどありますが機構自体は同様のものが多く
含まれています。
　低真空領域であれば陽圧である高圧ガス用バルブが
低真空でも用途によっては使用可能です。中真空、高真空
になりますとバルブの内部リーク、外部リークともに真空で
耐えうるものではなくなるため、真空専用のバルブを選択さ
れることをお薦め致します。

真空用のゲートバルブとは？

　バルブを開いたときコンダクタンスが大きいバルブで、開口部
にバルブＩＮ、ＯＵＴ側を通過させてサンプルやウエハーや試料
をまるごと移動できるなどの用途には最適です。
　バルブのゲート部が駆動する機構にコストのかかる複雑な構造
を取らざる得ないため他のバルブと比べて高価です。
バルブの内部でスライダーと呼ばれるバルブ弁のマウントが移動
して、逆に閉止するときは移動方向が９０度変わってシールします。
このときバルブ弁が全周に渡り均等に同じ圧力で押しあてられるか
がシールの性能や内部リーク性能などメーカーにより差が出るとこ
ろです。バルブの口径はφ１０００以上の大口径まで幅広くライン
ナップされています。シール部はバイトンとメタルシールなどあり、
手動と圧空駆動があります。
　高真空から超高真空ではＶＡＴ製（スイス）が圧倒的に信頼性と
性能、実績でメジャーなバルブとなっています。最近ではVG社など
でも取扱いを始めています。

高真空バルブ、ゲートバルブ、ＶＡＴ・VGなどお問い合わせください。
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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　１０月４日　土曜日
　天気　はれ
　気温　２３℃（PM6:40）
です。
今更ながらですが、オリックスの清原選手はプロ野球選手として
世の中に注目され、また、その期待に応え、才能を発揮したこと
を鮮明に記憶に残しました。
私の同世代で高校時代から騒がれたことのプライベート側では
さまざまな想いがあっただろうことが容易に想像されます。
感動をありがとうございました。

今日の環境情報は？
日本人の一人当たりの魚介類の消費は約６５キログラム（２００３年）
で世界平均の４倍以上を消費しています。
無駄な食べ残し、残飯など意識して減らしていくことが大切ですね。

真空バルブ

真空バルブ

2008年10月 3日 22:04

　真空用のバルブには、Ｌ型アングルバルブ、ゲートバルブ
ストレートバルブ、バタフライバルブの4種類が主に使用され
ています。

　Ｌ型アングルバルブは、ハンドルの回転する軸シール部を
Ｏリングによりシールするものと、ベローズによりシールする
ものが、それぞれ中真空用、高真空用としてタイプ分けされ
ております。
　バルブのシートはバイトン製が多く、超高真空でもバイトン
を使用していたりしますがベーキング温度２００℃まで行う際
にはバルブシートが接地しない全開状態(フルオープン）で行
えばベーキングできます。それでもバイトンは洗浄した上、十
分な脱ガスをさせないとガス放出はいつまでも収まりません。
　バルブシートを銅ガスケット製にした超高真空仕様の場合に
は約３００℃までベーキング可能です。
　汎用性の高いＬ型アングルバルブは口径の小さなものが多く
開閉を繰り返し使用する部位に使われてますので、シート部の
エラストマーが劣化した場合にはシール部またはバルブ自体の
交換が必要です。

マニュアル、圧空（アクチュエーター）製真空バルブのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日の埼玉川口市のお天気は？
　１０月３日金曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１７℃、昼２１℃、夜２０℃
です。
ぽにょの映画が大人気ですね。
今夜のテレビでハウルの動く城が放映されてましたが
子供たちはクギ付けですね。
そう。見るのは数回目ですが、子供？(大人も）の心を惹きつける
魔法がかけてあるのでしょうね。

今日の環境情報は？
世界の漁獲消費量は過去最高へ
国連食糧農業機関（ＦＡO)の世界漁業養殖白書によりますと
世界の一人当たりの魚介類消費量は過去４０年にわたり増え続け
１９６１年の９ｋｇから２００３年には約１６．５ｋｇになりました。
この間、世界人口は３０億人から約６５億人へと増加し、今後も
増え続ける見込み。
一方で世界の水産資源は約７７％持続的に漁獲できる上限ぎりぎり
の過剰の状態で獲られています。
資源の枯渇が叫ばれているのはこれを謳っているものです。

真空バルブ

マクラウド真空計

2008年9月30日 23:55

　マクラウド真空計は、Ｕ字管マノメーターの測定圧力
を １０ -1Pa まで拡大した真空計です。
　絶対圧力を重力の加速度とか比重など正確に知られた
物理量のみでもっとも低い圧力まで計測できるのだそうで
す。マクラウド真空計は前述したように実測圧力を一度圧
縮して計測しますので、その結果を圧縮比で逆算して求
める方式なので凝縮性の気体は測定できないようです。

　この真空計は、実用的な真空計ではなく、真空度の標準
に使用されることが多いようです。日本の真空圧力の国家
標準は、電子技術総合研究所の標準マクラウド真空計が
１〜１０ -2Pa の範囲で　±２％の精度をもって絶対圧を
標示する原器となっています。操作する人の技量によって
低圧部の精度が大きく異なることもあるようですので、この
計器は実用真空計ではなく、他の真空計を校正するために
用いられる場合が多いようです。

真空ポンプ、真空配管、真空リークテストなど
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　９月３０日　火曜日
　天気　あめ
　ボンベ庫の温度　朝１５℃、昼１６℃、夜１５℃
です。
テニスのプロ選手で、錦織圭選手が活躍していますね。
アメリカの有力選手を輩出させたテニスアカデミーの出身で
これから世界を舞台にひょっとしたらひょっとするかもしれない
逸材なのだそうです。
応援していきましょう！

今日の環境情報は？
ｱﾒﾘｶＣＩＡなどで、温暖化進行で「安全保障に影響」と報告しています。
ｱﾒﾘｶ中央情報局（ＣＩＡ）などで組織する国家情報会議は、地球温暖化
の進行がアフリカやアジア、中南米の途上国で民族紛争や環境難民
を拡大させ、アメリカの安全保障が重大な影響を与えるとして報告書を
まとめております。

マクラウド真空計

液柱差真空計

2008年9月29日 22:36

　水銀柱で高さが７６０ｍｍが大気圧に相当します。大気圧と
真空の圧力との差を水銀柱の高さの差で直接読み取る形式の
真空計を水銀Ｕ字管マノメーターと呼ばれます。気体を分縮して
より低圧までの領域を測定可能にしたものをマクラドウ真空計
と呼ばれております。
　Ｕ字管マノメーターは、真空圧を直接測定するものであるから
絶対圧真空計です。真空度の標準の基準圧力計としてこのＵ字
管マノメーターが使われているそうです。日本の国家標準も大気
圧から１０ 3Pa の圧力範囲では水銀柱の高さを光干渉方式で
精密測定する水銀マノメーターが標準気圧計として、計量研究所
に設置されています。実用真空計として、保存装置などの１０ 3Pa
程度の圧力表示器として利用されています。

真空チャンバー、真空溶接加工品、真空ポンプなど
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　９月２９日　月曜日
　天気　あめ
　ボンベ庫の温度　朝２２℃、昼１５℃、夜１６℃
です。
王寺駅近くの飛鳥山を周回する北本通りで、土を満載した
ダンプカーが横転していました。
ダンプが横倒しになることもあるんです。
注意一秒怪我一生。

今日の環境情報は？
信号制御や税金で渋滞を減らすことに成功した世界の街
全米で信号交差点の１／５で導入され、他にも渋滞税として
都市部に昼間に乗り入れる場合１６００円を払うロンドンの制度
や一人乗りマイカーは通行料１０００円を支払うアメリカの
ヒューストン、デンバー、ミネアポリスなどでの導入が進んでいます。

液柱差真空計

分圧計

2008年9月28日 17:01

　ご存じのとおり目には見えませんが空気中にはたくさんのガス
が存在しています。たとえ真空ポンプでガスを排気していっても
究極的に真空中にガスが残っています。
　その真空中のわずかなガスの種類とそれぞれのガス（気体）の
存在する圧力を計測する機器を「分圧計」といいます。この名称は
真空度を計測するのが「真空計」といい、真空計を「全圧計」と呼
ばれるものに対しての「分圧計」ということになります。
　分圧計は、質量分析型と発光分析型とに分かれますが、実際
に製品化されているほとんどの機種がが質量分析型で、更にその
なかでも最も多用されているのが四重極型質量分析計です。
　ですので「分圧計」と呼ばれるものは「四重極質型量分析計」が
主な機種となります。

　四重極型質量分析計は、残留ガスをイオン化して、そのイオンを
特殊な電界をかけた４本の柱状の電極の中心付近を通過させます。
そのときの電界に応じ質量のイオンのみを感知することができるの
です。一般によく知られている磁場を利用した質量分析計（ローレン
ツ力によって質量分析を行う方法）と比べても、軽量、高感度、質量
数が似通った元素が重い元素も軽い元素も同じ特徴をもっているの
で、市販されている四重極型質量分析計が分圧計のほとんどを占め
ているのです。

真空計、分圧計、Ｑマス、Ｈｅリークディテクターのお問い合わせ
ご購入のご検討などは川口液化ケミカル株式会社までご連絡
ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　９月２８日　日曜日　
　天気　くもり
　気温　１９℃（PM5:30）
です。
今日は肌寒いくらいに冷えましたね。
扇風機をしまってコタツを出す時期になってきましたね。

今日の環境情報は？
信号制御や税金で渋滞を減らすことに取り組んでいる
カナダのカルガリーでは・・・
・マイカー使用の減少
・バス一台当たり年間７５７０Ｌの燃料費削減
など環境政策としても多くの成果を上げているようです。

さて、日本は・・・？

分圧計

ヘリコフレックス

2008年9月27日 18:03

　メタルシールの真空フランジで、エラストマーとしての能力
をもつガスケットであるヘリコフレックスと中空Ｏリングが用途
により利用されております。
　「ヘリコフレックス」は、中心にスプリングがあってその周りを
アルミニウムでカバーしてあるので中空リング自体は、ステン
レス製のチューブで作られています。脱着可能ではありますが
そのシール面の傷には細心の注意が必要で、その平滑面は
それ相応の面粗度を要求します。ダイヤモンドカッターで鏡面
仕上げをした上、メタルシール自身による縦傷などはリークの
原因となります。
　ヘリコフレックスシールの最大のメリットは、フランジの形状が
ＪＩＳやＩＣＦなどのような汎用円形フランジに限らず、角型や長方
形などの変形フランジにも対応できることです。大型であり角型
のフランジが必要な超高真空仕様の装置などには適しています。

高真空、超高真空チャンバーの設計、製作、リーク試験など
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今日のさいたま市のお天気は？
　９月27日　土曜日　
　天気　はれ
　気温　２２℃（PM6:10）
です。
さいたま市内では運動会シーズン真っ盛りです。
ここ数日、雨が多かったので、関係者は今日の
晴天がとても嬉しかったようです。

今日の環境情報は？
信号制御や税金で渋滞を減らすことに成功した街があります。
バスや緊急車両が交差点に近づくと自動的に信号が青に変わり
優先的に通れるシステムがカナダの人口１００万都市カルガリー
などで導入されています。

ヘリコフレックス

コンフラットフランジ（真空）

2008年9月25日 23:54

　高真空から超高真空までのフランジ部シールに
有効なフランジ規格がコンフラットフランジです。
アメリカのバリアン社で開発された Con Flat フラン
ジを原型としております。無酸素銅のガスケットを使
用するこのフランジはベーキングにも対応でき、オス
メスの無いフランジ同士で三角形の空間を作り、そこ
に柔らかい銅ガスケットが変形し倣うことで圧縮され
気密を保ち「キャプチャーシール」と呼ばれております。
このガスケットは変形するので再利用することはでき
ないので都度使い捨てて、新品を使うことになります。
　国際規格化されたコンフラットフランジは、日本でも
１９８４年に真空協会の規格に制定されています。

真空機器、真空計、真空チャンバー製作、Heリークテ
ストのことなら川口液化ケミカル株式会社までご相談
ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　９月２５日　木曜日
　天気　晴れ
　ボンベ庫の温度　朝２０℃、昼２４℃、夜２５℃
です。
朝晩、涼しくて気持ちが良い最高の陽気ですね！
涼しい風がそよぎ、スズムシの鳴き声が季節のうつろいを
感じさせますね。

今日の環境情報は？
今という時代は、私たちの食事が更に遠くから食材を運び
肉類や果物、加工食品やお菓子など見た目はより豊かに
なっています。
しかし一方で、残留農薬や食品添加物などの食の安全性
の問題や食材を遠くから運んでくるエネルギーの問題、大量
の食品廃棄の問題など、普段私たちが見ようとしていない
問題がたくさんあります。
どちらの生活がより豊かなのでしょう？
この機会に考え直してみましょう！

コンフラットフランジ（真空）

クイックカップリング（真空フランジ）

2008年9月23日 20:51

　真空フランジでＪＩＳフランジのようにドルトナットを使用せず
簡単に着け外しできるフランジがクイックカップリング式のＮＷ
ＫＦフランジです。
　有効内径は１５〜５０ｍｍと細径の配管に適しています。テ
ーパー状のフランジをクランプで挟み込み接続させます。クラ
ンプは蝶ネジもしくはロック機構のついたレバーなどで閉じる
ことができるので短時間で作業完了できます。主に真空ポン
プの排気配管ラインなどで利用されることが多いフランジです。
径が大きくなるとクイックカップリング方式では逆に大きくなる
ため作業性が悪くなります。そのような大口径ではボルトナット
式かチェーン式のチェーンクランプが有効です。

真空機器、真空フランジ加工品、真空溶接、真空リーク検査など
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今日の埼玉のお天気は？
　9月23日　火曜日
　天気　はれ
　気温　26℃
です。
王監督が現役監督を引退するそうです。
プロに入って50年！
第一線での活躍をし続けるということは
凄いことですよね！
夢を与え続けてくれて、ありがとうございます。

今日の環境情報は？
江戸時代のおかずって何があったのでしょう？
魚方
めざしいわし、(貝の）むき身切り干し、芝えびからいり
マグロみそ汁、たたみいわし。
季節ごとに、いわしつみれ、数の子、するめ付焼き、こはだ煮浸し
どじょう鍋、酢ダコ、焼きサンマ、焼きハマグリ、サンマ干しもの
しらす干し、さわらあんかけ、などなどです。

クイックカップリング（真空フランジ）

ボルトナットの真空フランジ

2008年9月22日 22:13

　日本で一般的な真空フランジは、ＪＩＳ−２２９０にも規定される
ＪＩＳフランジです。低真空から高真空まで幅広く利用されており
ます。
　ＪＩＳフランジは、ＶＧ（Ｏリング用溝付き）フランジとＶＦ（溝無し）
フランジの組み合わせでＯリングを潰して金属面に押し付けエラ
ストマーによりシールされているのです。
　アメリカもＪＩＳ同様の溝付き・溝無しのＡＳＡフランジが規格化さ
れております。高真空側では １０ -6Pa 程度まで利用できますが
シール面のリークにより大気圧近くであっても大きく漏れることが
あります。
　ヨーロッパでは両面溝無しでＯリング断面より小さな厚さのセン
ターリング、インナーリングなどの冶具でＯリングが逃げないよう
工夫されたものです。1986年正式にＩＳＯ１６０９としてヨーロッパの
規格もＩＳＯフランジへとなっております。

真空チャンバー、真空計、真空ポンプメンテナンスなど
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今日の埼玉のお天気は？
　9月22日　月曜日
　天気　雨のち曇り
　ボンベ庫の温度　朝19℃、昼19℃、夜19℃
です。
雨は恵みの雨だとつくづく思います。
晴天の日に、植物に水をあげないとどうなると思います？
環境変化に強いゴーヤでも、葉っぱが萎びて枯れますよ！

今日の環境情報は？
江戸時代のおかずとは？
精進方
八杯豆腐（あんかけ豆腐の一種）、こぶあぶらげ、きんぴらごぼう
焼き豆腐のすまし、ひじき白和え、切干煮付け、芋がらあぶらげ
あぶらげ付焼き。
季節ごとに、けんちん、ほうれん草ひたし、木の芽田楽、冬瓜くず煮
なす揚げ出し、ふろふき大根、山掛け豆腐、湯豆腐、納豆汁など

ボルトナットの真空フランジ

真空機器製作時の接合方法

2008年9月21日 19:03

　銅と鋼、ステンレスとステンレス、コバール合金と
ステンレスの接合は、どういった方法が望ましいで
しょうか？

　当たり前すぎる質問かもしれませんが、ＴＩＧ溶接で
溶接部の酸化を防ぐアルゴンガス雰囲気にして母材
を溶かして接合します。アルミニウムとアルミニウムに
も同じようなアルゴンガス雰囲気中での溶接で接合さ
れます。
　その他の銅と銅や、鋼と他の鉄系合金との接合には
真空ロー付け処理が行われます。ペーストと呼ばれる
銀ロー材を １０ -3Pa 台の真空中で900℃程度に温度
制御され溶着されます。ロー付けは、冶具と銀ロー材が
目的とする仕上がりになるためにコントロールすることが
難しく、高温で変化しにくい冶具をどのように使用するか？
がポイントで、バッチ処理する炉を開けたとたんオシャカに
なっていたということも多々あるようで、温度コントロールも
ちょっと間違うと金属同士がドロドロに溶けあって見る影も
ないことがあるそうです。

真空部品の溶接加工、チャンバーの増設、改造、リーク検査
など川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日のさいたまのお天気は？
　9月21日　日曜日
　天気　曇りのち雨
　気温　22℃
です。
土曜日から日曜日にかけ天気予報が
ちょっとずれたようですね。
朝から晴れ間が見えたりもしましたが
夜になると雷が浦和でも見られました。

今日の環境情報は？
江戸時代のおかずはどんなものがあったのでしょう？
実はおかず番付けというもので相撲の番付表と同じように
どんなおかずに人気があったか一覧になっているようです。
このおかず番付けは、相撲と同じように東と西方とに分かれ
精進方（野菜中心の料理）と魚方（魚を使った料理）とに分かれ
ていたそうです。

真空機器製作時の接合方法

真空用のガラス封止

2008年9月20日 20:17

　真空の用途で絶縁物と金属を接合する方法がガラス封止
です。信号線などの金属製ピンとガラス管との封止は、コバ
ールガラスとコバール金属（フェルニコ系合金　Fe : Ni : Co
= 54 : 29 : 17）を加熱して熔着させるものです。お互いの母
材の熱膨張率がよく似ていることを利用した方法ですが、欠
点として外力(衝撃：収縮など）に弱いことがあげられます。
形状や封止方法に制約がないため、セラミック封止に対して
優れたものでもあります。
　電流導入端子などアルミナセラミックスとコバール合金とを
接合する場合は、セラミック表面にメタライズ処理を行った上
その面とコバール合金とを真空ロー付けで接合します。メタラ
イズ処理は、モリブデンとマンガンの入ったペーストをアルミナ
表面に塗布して、水素と窒素ガスの混合状態の雰囲気で約
1400℃、45分程度焼成して出来上がります。

真空製作品、真空ポンプ、真空ポンプオーバーホールなど
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今日の埼玉のお天気は？
　9月20日　土曜日
　天気　はれ
　気温　23℃（PM8:30）
です。
プロ野球のジャイアンツが強いですね。
今日も大差をつけてリードしています。
一頃の劣勢が嘘のようです！

今日の環境情報は？
今は昔、江戸の食生活は・・・
どのように食材を買っていたか？
当時は行商人が長屋に入ってきていろいろな食材を売り歩いたようです。
野菜は、にんじん、だいこん、里芋、きゅうり、なすなどでなかにはタンポポ
なども野菜の食材としていたようです。

真空用のガラス封止

真空フランジ　ISO-K

2008年9月19日 18:09

NW-KFフランジ、JISフランジ、ICFフランジなどが真空フランジ
としては汎用性の高いものです。

ISO-Kフランジをご存知ですか？

ISO-K真空フランジ

　ボルトナットやクランプなどで締め付けるのが通常ですが
このタイプのフランジは、フランジ側面にクロークランプと呼ば
れフランジ端面にリング状に溝がある部位を引っ掛けてボル
トによって締め付けシールしていきます。

　VAT製のゲートバルブなどではフランジ面にネジタップが切られた
ISO-Fというタイプのフランジとなります。もちろんISO-K x ISO-F など
の組み合わせもありますので、思いこみでISO-K x ISO-K or ISO-F x
ISO-F などと勘違いしないよう注意が必要です。

真空フランジｘガス系フランジの特注品や製作品のご相談
のことなら川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　9月19日　金曜日
　天気　曇りのち雨
　ボンベ庫の温度　朝22℃、昼23℃
です。
今。
世の中の過渡期と呼ばれる狭間に居るのかもしれません。
変化を嫌い、安住を求めすぎると、激動期には
判断を誤る可能性があるかもしれません。

今日の環境情報は？
今は昔、江戸の食生活は・・・
どのように食材を買っていたのでしょう？
魚介類は、しじみ、はまぐり、あさりなど貝は江戸の近海で獲れたものが
運ばれてきていましたが、イワシやサンマ、マグロなどの魚はときどき
夕食に出る程度だったようです。
その他食材では、ゆで卵、そば、おでん、大福もち、お汁粉なども
行商されていたようです。
　

真空フランジ　ISO-K

真空シール（真空継手）

2008年9月18日 23:00

　真空をシールする部分は、フランジ（継手）に限らず
バルブの弁体などのシールにまで及ぶ重要なものです。
実際のシール部分のガスケットやパッキンなどの種類に
よってその真空性能には差が出てまいります。超高真空
の場合ベーキングと低ガス放出速度という条件でガスケッ
トに無酸素銅などの金属を用います。限られた条件であれ
ばバイトンも十分に超高真空に耐えうるシール材でもありま
す。
　バイトンはエラストマーカーとして変形している状態で１５０
℃まで加熱することが可能で、無負荷の状態で２００℃まで
の耐熱性能を有しております。それ以上の耐熱性を要求され
るときはポリイミド樹脂を使用します。　
　これらの樹脂は、３５０℃までのベークに耐えられますが、バ
イトンと比べると硬くエラストマーとして使用するにはシール部位
の工夫が必要となります。中真空ではＯリングや角リングが用い
られ、ネオプレンやバイトンが汎用性があります。
　エラストマーとして利用するには、バイトンなどの性能は優秀で
繰り返しの使用にも不自由はありません。金属のガスケットの場
合原則的には毎回１回ごとに交換する必要があり、コストがかか
る要因でもあります。

真空部品、真空ポンプ、真空チャンバーの製作まで
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今日の埼玉のお天気は？
　９月１８日　木曜日
　天気　曇りのち雨
　ボンベ庫の温度　朝２３℃、昼２４℃、夜２５℃
です。
十月が近づき、人事異動の季節です。
そろそろ内示が聞こえてくるかな？
なんて気になる季節ですね。

今日の環境情報は？
今は昔、江戸の食生活は・・・
現代のような一日三食食べるようになたのは、元禄年間（１７００年ごろ）
以降のことで、それ以前は「朝菜夕菜」という言葉があるとおり、一日二食
が普通だったそうです。
　また、江戸には寺子屋が１５００教室以上あり、成人男性の識字率も
約８割といわれております。

真空シール（真空継手）

真空ベローズシール

2008年9月15日 18:45

　真空を封止（シール）する方法はさまざまあります。

　その中でもベローズシールは高真空から超高真空ま
での真空機器に採用されている汎用性の高いシール
方法です。
　
　大気側と真空側とで作動軸が分離した超高真空用の
軸シール機構で、直線・回転機構などを伝達する方法と
して利用されています。Ｏリングシールのように一つの機
構で回転と直線２方向運動をすることはベローズシールに
は不可能です。
　ベローズの材質はステンレス製であり、溶接ベローズと
成型ベローズの２種類があります。溶接ベローズは伸縮
方向のスパンが大きくとることができ柔らかな動作も可能
なので直線方向の導入機にりようされていますが、その構
造から価格が高価です。成型ベローズは溶接ベローズに比
べると伸縮スパンが小さいものの回転方向の運動には十分
なため回転導入機に利用されております。また、真空ポンプ
との接続用フレキホースとしても多用されています。

各種真空ベローズフレキホースや異形フランジタイプ、製作が
必要な特殊フレキシブルほーズなど川口液化ケミカル株式会社
までご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　９月１５日　火曜日
　天気　曇りのちはれ
　気温　２６℃（ＰＭ６：４０）
です。
日中、小学校のグラウンドに終日居りましたが
ずいぶんと過ごしやすくなりましたね！
夜になっても、まだまだ蒸し暑さを感じるものの
２０℃前半の気温も観測されるようになってきております。

今日の環境情報は？
今は昔、江戸時代の食生活は・・・
・寺子屋ではお昼には一度閉まるために子供たちは家に帰り
　昼ごはんを母親と一緒に食べるのが普通だったようです。
　お昼ごはんは、かまどの火をおこすのが手間であったため
　朝炊いたご飯をお昼と夜に食べる生活が普通でした。
　お昼ごはんは、ご飯、味噌汁、野菜の煮物程度だったようです。

真空ベローズシール

磁性流体シール　(真空）

2008年9月14日 18:28

　回転運動軸専用のシール方法で、作動軸が真空側と大気側
共通であるので高真空用ですが、ベーキングはできません。
　この機構の気密を保っているのは磁性粉末（Fe3O4）が入った
真空用溶媒の磁性流体によるもので、この機構は、作動軸と軸
ガイド（固定部）との間に溶媒による接触のため駆動抵抗が極め
て少なく、高速回転から逆に精密に制御された低速回転での適
用も可能です。
　国内メーカーではフェローテック社やリガク社、その他後発ﾒｰｶｰ
もあります。
　磁性流体シールは、真空中におけるゴミの発生が非常に少なく
Ｏリングシールが摩耗によってゴミを発生することを考えると有利で
あり、ウエハープロセスの回転導入機構に応用されています。

各社磁気シールのご用命、コストダウン機種のご相談など
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今日のさいたまのお天気は？
　９月１４日　日曜日
　天気　はれ
　気温　２７℃（PM6:50）
です。
埼玉県北部で有機栽培をしているお米の収穫をして参りました。
今年のお米は豊作です！！！
雷がたくさんあると豊作になるのだとか・・・。
不思議ですね〜〜〜。

今日の環境情報は？
今は昔、江戸時代の食生活は・・・
・朝ごはんが終わると、子どもは寺子屋へ、大工など外の仕事場がある
　父親は出かけていきます。父親のお昼ご飯は弁当を持っていくことも
　ありましたが、屋台などがたくさんあったため、外でお昼ご飯を取る人も
　多かったようです。

磁性流体シール　(真空）

真空部品の真空シール

2008年9月13日 20:16

　真空ポンプで排気した（真空引き）容器は、漏れがない限り
いつまでも真空度が良くなっていくはずですが、実際にはそう
はいきませんよね・・・。

　皆さんご存じのとおり、真空容器の漏れをゼロにすることは
不可能ですよね？

であれば、極力少なくする（ゼロに近づける）ことが必要ですし
容器以外にも回転・直線・５軸６軸などの導入器を大気側から
駆動させる部位や電気信号・電源供給のための真空封止（気
密）をいかに保つかが大きなポイントになります。

そこで代表的な真空のシールを挙げてみましょう！

先ず、固定部分のシールは
・アルゴンアーク溶接（ＴＩＧ）
・真空ブレージング（ロー付け）
・半田付け（ガスロー付け）
・ガラス熔着
・セラミック封止
などと、脱着可能なフランジ部の
・Ｏリングシール
・メタルシール
・耐熱シール
などがあります。

可動部の軸シール部では
・ウイルソンシール
・Ｏリングシール
・ベローズシール
・磁気カップリング
・磁性流体シール
などがあります。

それぞれ利点・欠点を補いながら各部位ごとに
施工方法を選定することが大切です。

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今日の埼玉のお天気は？
　９月１３日　土曜日
　天気　はれ
　気温　２７℃
です。
京都龍安寺に水戸光圀が寄進知した　「足の蹲踞（ちそくのつくばい）」
があります。蹲の上部の水が溜まる四角い部分を漢字の口として周りに
彫ってある字を、上から右、左、下に読むと「吾唯知足：われただたるをしる」
と読めます。

「幸せ」の根源とは？

ただ　いまの状態を受け入れて　満足すること。
それだけで一瞬にして「幸せ」になれる。
あれも足りない　これも足りないといっていると
決して　「幸せ」を感じることはできない。

逆に　いま　この状況を「幸せ」って思うことができれば
いま　この瞬間に一瞬にして「幸せ」になれるという仕組み。

「幸せ」とは　求めて何かを手に入れることではない。
いま目の前にある現象　起こっている現象に対して　
私が　幸せと思えば　それが「幸せ」。

今日の環境情報は？
今は昔、江戸の食生活は・・・
・夜明け(明け六つ）と同時に長屋の入口にある木戸が開けられ
　一日が始まります。母親が起き竈に火を入れご飯を炊きます。
　朝は炊きあがったご飯とみそ汁、漬物。
　生活に余裕があると納豆や煮豆などがおかずに食卓に並んだようです。

真空部品の真空シール

真空機器のベーキング

2008年9月12日 21:33

　真空には真空度が異なることで使用できる規格フランジや
ポンプ、チャンバー構造なども違ってまいります。

例えば・・・

　中真空の　１０ -5Pa 領域ですと、許容リークは １０ -7Pa m3/sec
で真空機器のベーキングがせいぜい７０℃までで十分な世界なので
使用できる素材は、金属ですと「軟鋼、電気鋼、アルミニウム、高融点
金属（Ti,Ta,W）」などになります。非金属材料では「ﾈｵﾌﾟﾚﾝｺﾞﾑ、ﾃﾌﾛﾝ
ﾊﾟｲﾚｯｸｽｶﾞﾗｽ、ｺﾊﾟｰﾙｶﾞﾗｽ、ｱﾙﾐﾅｾﾗﾐｯｸｽ、真空ｸﾞﾘｰｽ」などが使用でき
る環境です。

　これに対し、超高真空領域は　１０ -9Pa になり、許容リークの数値も
１０ -11Pa m3/sec ベーキングが２００〜２５０℃の長時間ベークが必要
です。温度が高いということは、おのずと使用できる金属もステンレス
（SUS304,316）、アルミニウム、無酸素銅、高融点金属（Ti,Ta,W）コバール
合金などで、非金属もバイトン、ポリイミド、コバールガラス、ｱﾙﾐﾅｾﾗﾐｯｸｽ
とガス放出速度を重点に選定した素材となっています。

真空機器、真空チャンバー、真空漏れなどのリーク検査など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の川口のお天気は？
　９月１２日　金曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２３℃、昼２９℃、夜３０℃
です。
九月に入ってからの夏のような陽気は、どこか夏の終わりを告げる
寂しさのような印象をごくごく僅かにですが感じさせます。
季節の変化が日本の風土の素晴らしさのひとつですしね！

今日の環境情報は？
小学３年生の子供に質問されました。
「エコ（ECO）ってなあに？＿それに何すればいいのかな？」
ギクリときますよね。
周りのすべてのものに優しいことかな？
無駄使いをなくすことかな？
などなどと答えましたが、正解は・・・。
ははは。

真空機器のベーキング

ダイヤフラム真空計

2008年9月 8日 23:00

　薄い約25μmの金属膜（稀にセラミック膜）が圧力を受けてたわむ量を
測定して圧力を算定することができ、気体の種類を問わず圧力そのもの
を直接計測できるのが特徴です。
　金属で仕切られた2室の一方を充分低い圧力にしておき他の部屋に
測定したい圧力状態を直結すると、金属膜のたわみ量は、それが低い圧
力を計測するときは特に非常に微小となります。このため電気的にその
たわみ量を測定するため金属膜と固定電極との間の静電容量変化を正確
に知る方法がとられております。
　ダイヤフラム真空計の測定可能範囲は１０ 5〜１０ -3 Pa と８桁のダイナ
ミックレンジがあるように見えるが、１種類のセンサーでは５桁のダイナミッ
クレンジに限られます。このため３種類のセンサーを組み合わせてはじめて
８桁の測定レンジを拡大できます。真空領域に応じ選択しなければなりま
せん。

真空計、真空排気セット、真空チャンバーのご用命ご相談は
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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今日の川口のお天気は？
　９月８日　月曜日　
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２４℃、昼28℃、夜30℃
です。
夜、涼しくなりましたね。
クーラーをつけずに窓を開けているご自宅が
散歩をしている公道から目につくようになりました。

今日の環境情報は？
生態系の変化を引き起こした原因は？
1950年から2000年の間に世界の経済は7倍（五兆ドル→３７兆ドル）
になり、一人ひとりの生活様式も変化しました。
・米や芋中心の食生活から、肉、野菜、果実など、より土地や水などが必要な食生活へ
・工業製品などの消費の増加は、森林や畑、自然海岸を工業地帯へ
結果として、自然、生態系を破壊しました。

ダイヤフラム真空計

冷陰極電離真空計（ペニング真空計）

2008年9月 7日 19:47

　ペニング真空計は昨日までご紹介していた電離真空計の仲間
ですが、フィラメントからの熱電子を利用せずにガスをイオン化し
ペニング放電を利用してその放電電流を計測することにより放電
電流と圧力がある圧力範囲ではほぼ比例することを利用したもの
です。
　円筒型かリング状のアノードの両側にカソードが配置され、アノー
ドの中心軸に平行方向の磁力線を発生させる永久磁石があります。
アノードとカソードの間には約２ｋＶの直流電圧が印加され、磁場の
強さは約０．１テスラ程度です。アノードの内径は、この印加電圧と
磁場の強さから決まる電子の回路運動によりイオン化効率が高まっ
てその結果として放電が持続すると１〜１０ -5Pa の間でほぼ圧力に
比例します。
　ペニング真空計は構造が簡単で丈夫です。これは熱陰極を持た
ないのでフィラメントの断線や各電極の位置のずれなどトラブルが
無いことによるものです。

ペニング真空計、電離真空計、ピラニ真空計など真空機器と
真空チャンバーの製作、増設、修理など川口液化ケミカル株式会社
までご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　９月７日　日曜日
　天気　はれのち夜になって雨
　気温　２７℃（PM8:00）
です。
オリンピックが終わり、早速サッカーワールドカップの
アジア予選がバーレーンと行われ見事勝利しました！
中村俊介のフリーキックは周知のことですが、ワールドクラスですね！！

今日の環境情報は？
生態系が変化を引き起こした原因は？
１９６０年から２０００年の間に人口は倍増（３０億→６０億）し
食料の需要増に応じて森林などを農地化し地球の陸地の
４分の１が農地になりました。
→食料の生産量２．５倍、水の使用量２倍、木材の伐採量３倍

冷陰極電離真空計（ペニング真空計）

電離真空計

2008年9月 6日 18:42

　電離真空計のガラス球内面に帯電して不安定性が発生する
現象を無くしたのが、ヌード型と呼ばれ１０ -8 〜 -9 Pa まで
測定できるものです。ゲージヘッドがチャンバー内部にまで
入り込んでいるので超高真空機器をベーキング処理する際
にはそのまま一緒にベークすることができるので便利です。
　ヌード型に２種類あり、一つ目はB-Aゲージのグリッド中に
もうひとつの針状の電極を追加して変調用電極として使用し
X線による光電子電流とイオン電流を区別する方法です。モ
ジュレーターをグリッド電位とアース電位に切り替えて、イオ
ンコレクター電流を読むとX線効果を含む残留電流（真空中の
ガスのイオン電流以外のコレクタ電流）を分離できます。二つ
目は、イオンコレクターをX線の照射がない位置まで移動させ
引き込み電極でイオンをコレクターまで導くものです。イオンは
デフレクターで偏向されイオンコレクターに入ります。このため
グリッドより発生するX線はイオンコレクターには到達しにくく、
尚且つそのＸ線がデフレクターなどより発生させる光電子はサ
プレッサーによってイオンコレクターへの入射が阻止されること
で　１０ -10 Pa 台を安定して測定できるのがエクストラクター型
と呼ばれるものです。

高真空及び超高真空用ゲージやチャンバー製作、改造、駆動系
のご相談など川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　９月６日　土曜日
　天気　はれ
　気温　２９℃（PM7:00）
です。
おもちゃの話で恐縮です。
「ヘリＱ」ってご存知ですか？
チョロＱという小型リモコンカーのヘリコプター版です。
３０００円以下で買える大人にも楽しめるおもちゃです。
部屋の中を自由自在にブンブン飛び回れる優れものです。
お試しあれ！

今日の環境情報は？
地球の生態系は今・・・
・漁獲量の低下は、途上国でのタンパク質の減少を引き起こしています。
　　→一人当たりの魚の消費量は途上国を中心に減少しています。
・砂漠化の拡大は、乾燥地に住む貧しい人々数百万人の生活に影響しています。

電離真空計

電離真空計

2008年9月 5日 22:12

　昨日に引き続き電離真空計の続きです。

　電離真空計は高真空や超高真空で計測できる真空計です。
精度や再現性を高める機能として真空計自体でアノードやイオ
ンコレクターを電子衝撃などで加熱し、ガス出しを行うことができ
ます。
　Bayard と Alpert により開発された B-Aゲージは1本の細いイ
オンコレクターが軟X線の照射される確率を 1/1000 以下にする
ことができ、このため圧力測定の下限も 1/1000 以下となり 10 -8
〜 10 -9 Pa まで計測できるのです。B-A ゲージでは、ガラス球の
外壁を絶縁されたガラス表面の電位によって電子軌道の不安定性
がみられるため導電性物質をコーティングしています。

真空計、真空排気セット、真空配管、真空チャンバー（SUS製、アルミ製
非磁性：ミューメタル製）など各種真空機器のご相談のことなら
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　9月5日　金曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝25℃、昼28℃、夜29℃
です。
今日はめずらしく天気予報が外れたようです。
夕方にかけ雨になる予報でしたが、夕方になっても
ギラギラ太陽が照りつけてましたね！

今日の環境情報は？
地球の生態系は、特に貧困地域でその影響が大きく現われており
不平等が拡大しています。
ダムの開発などで人間が利用できる水は増加しているにもかかわらず
世界全体で１０〜２０億人は、水不足による不健康状態や食糧不足など
で苦しんでいます。

電離真空計

熱陰極電離真空計

2008年9月 4日 18:51

　真空を調べるとは？

　気体中のガス分子を数えることになります。その方法として
分子をイオン化しその数を電流（パルスなど）として計測するこ
とが簡単な方法です。
　熱陰極電離真空計は、その名の通り熱せられたフィラメントに
より発生する熱電子を利用して気体分子をイオン化する真空計
です。構成部品のカソードフィラメント、アノード、イオンコレクター
など形状や配置などさまざまです。精度としては再現性が良い
とは言えず、構成部品の位置関係が微妙にずれたり変化したり
することで、それぞれの電極の表面の汚れによる電位の変化や
二次的なガスの放出が起き得ます。超高真空では真空計の表
示が５０％近く変動することも有り得るのです。

熱陰極電離真空計や真空ポンプ、真空チャンバーの
ご相談のことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご連絡ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　9月4日　木曜日
　天気　くもり
　ボンベ庫の温度　朝26℃、昼29℃、夜29℃
です。
都市部の熱が上昇気流により雷に成長し、集中豪雨を
もたらしているといわれおります。
ですが、今日、栃木の那須でお仕事をされている現場工事の
方にお聴きしたところ、異常なほど大量に雨が降り、また集中的な
雷雨のような大雨がほぼ毎日続いているのだとか・・・
関東都市部だけの話では無いようです。

今日の環境情報は？
農地の拡大と生産性の向上で食糧生産は人口増加よりも
速いペースで増加しています。
　→一人当たりの食糧生産は過去40年で増加
しかしながら、栄養不足の人は90年代よりも増加し
8億5000万人以上にのぼります。

熱陰極電離真空計

熱伝導真空計

2008年9月 2日 23:47

　気体分子が熱を運ぶ能力を計測する真空計

　真空中に発熱体を置いた場合、真空中に気体分子による
熱伝導によって発熱体により熱が奪われます。熱伝導度は
気体分子の平均自由工程が発熱体と真空壁との間隔より
大きい場合、圧力に比例するため熱伝導の度合いを測定す
れば圧力がわかるのです。

　熱伝導真空計と呼ばれる熱電対真空計とピラニ真空計は
この原理を利用しています。熱伝導真空計の圧力測定範囲
は、圧力と熱伝導度が正比例する領域が中心ですがこの種
の真空計の場合、発熱体と真空壁との距離は５〜１０ｍｍで
すが、発熱体のフィラメント径が非常に細いため熱伝導にあず
かる気体分子に関しては、その距離は１ｍｍ以下になります。
さらに熱伝導と圧力とが正比例でなくても圧力によって熱伝導
が変化する領域も利用しています。
　このため熱伝導型真空計の圧力上昇は１００〜１０００Ｐａの
間にセットしてあり、この圧力以上は熱伝対率は圧力に依存す
ることなく、対流の効果が大きくなります。

ピラニ真空計、熱伝導真空計など真空部品に関わる
ことは川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日の埼玉川口のお天気は？
　９月２日　火曜日　
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２６℃、昼３０℃、夜３１℃
です。
現実社会の現実を受け入れるかどうかは
自分自身の裁量に関わります。
アメリカにいまだかつてないハリケーンが上陸しようが
鳩ヶ谷に竜巻がおきようが受け入れなければただの自然現象。

今日の自然形態系から受ける恩恵はどんどん減少
・マングローブ林が減少したため高潮や津波などの被害が
激しくなったり、揚子江など上流域での森林伐採により下流域での
洪水が増加するなどの、自然は破壊による自然災害に対する
抵抗力が弱くなっています。

熱伝導真空計

ピラニ真空計

2008年9月 1日 21:22

　真空を計測する代表的なものが「ピラニ真空計」です。

発熱体（タングステンフィラメント）のヒーター温度（約400℃）
が熱伝導によって低下してくると電気抵抗が低くなる現象を
ホィートストーンブリッジ回路で検出するものです。
　
このフィラメントの温度は、圧力とともに変化します。フィラメント
の温度が変化すると、フィラメントの電気抵抗が変化しますので
ブリッジ回路の平衡がくずれる様子を測定するのです。

測定法には、発熱体の温度を上昇させ再平衡させたとき印加し
た電力を計測する定温法と、供給電圧（印加電流）を一定にし
非平衡電流を測定する定電圧法（定圧流法）があります。

定温法は直流電源の電力を制御して平衡電流をゼロにするので
正確で圧力範囲が広く優れいています。定電圧法は、厳密な意
味ではゲージ球の両端の電圧は一定にはならないが近似値的に
使用でき、扱いやすさに優れています。

真空ポンプ、真空ゲージ、真空チャンバーのご相談は
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今日の埼玉のお天気は？
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝25℃、昼27℃、夜29℃
です。
おっと！
今（ＰＭ１０：００）、福田首相が辞任したようですね！
9月は変化の月になりそうです。

今日の環境情報は？
自然（生態系）から受ける恩恵はどんどん減少
世界で利用している淡水のうち２５％は人工的に輸送したり
地下水を過剰に組み上げるなど永続可能ではない方法で利用
され、長期的に供給可能な限界を超えています。

ピラニ真空計

真空容器（チャンバー）の製作

2008年8月30日 20:19

　真空の容器は高圧ガス容器の製作と合い通じる
ものがあります。ただし、製作上の仕様や注意する
ポイントは微妙に異なります。閉止するシール部の
構造や内面処理や強度などがまったく違うのです。

高真空仕様チャンバー　10 -4Pa

弊社では高圧から高真空まで幅広い圧力レンジの
容器（チャンバー）の製作からガス導入系、真空排気
系、それぞれの配管工事までワイドレンジでご相談に
応じます。

高圧ガス、高真空、極低温の機器製作、配管施行の
ことなら川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　天気　曇りのち晴れ、夕方より雨
　気温　２５℃（PM8:30）
です。
先日の雷雨で鷲宮方面の友人の田んぼが
脇の用水路（一般的には小川）が氾濫し
水没したそうです。
お米がフヤケてしまいそうだとか・・・

今日の環境情報は？
地球の生態系は今、数百年にわたり、地球の生物種の
平均的絶滅速度の１０００倍の速度で絶滅しており、哺乳類
鳥類、両生類の１０〜３０％が絶滅の危機にあるそうです。
また、世界のさんご礁の２割が消失し、２割が劣化し、マングローブ林
の３５％が消失しています。

真空容器（チャンバー）の製作

真空溶接ベロー製作品

2008年8月 2日 21:49

　真空フランジの振動除去や面間の収縮対策に、伸縮自在な
溶接ベローが有効です。

　
JIS、NW,ISO-K,ISO-F,ICFフランジなど各種真空加工製作品の
ご相談は川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　8月2日　土曜日
　天気　晴れ
　気温　29℃（PM9:50）
です。
田んぼの稲には、稲穂が実りつつあります。
今月中旬から下旬には刈り取りが始まりそうです。

今日の環境情報は？
日本の国は、巨大公共事業や経済発展に拍車をかけ
その誘惑からも脱皮できず、道路や飛行場やゴルフ場
をあきらめてまで生物多様性を守ろうという議論に至らない
悲しい過去があります。
この過去を返上すべく、市民の話し合いも含め、マスコミの
情報発信もどんどん進めていかなければなりません。
自然を大事にして人間の摂理に従って生きてみよう、生物多様性
を日々の生活のなかで守っていこう、実現していこう。
生物多様性を意識するエコシフト。
by 地球村通信　マエキタミヤコの「エコシフト」より

真空溶接ベロー製作品

VG SCIENTA LTD製品　サマーキャンペーン

2008年7月22日 15:42

VG SCIENTA LTD 製品サマーキャンペーンのお知らせです。
　
　超高真空をお使いの研究機関の皆様におかれましては平素より
たいへんお世話になっております。

　この度、日頃の感謝の意を込めて期間限定で下記製品を通常
定価の２０％引きにてご提供させていただきます。
この機会に是非御検討ください。

キャンペーン期間
2008年8月1日の御注文分〜2008年10月31日の御注文分まで

対象商品
・XYZマニピュレータ　
　Miniaxシリーズ
　ZXYZ0570
　ZXYZ1070
　ZXYZ0515
　ZXYZ1015

・トランスファーロッド
　MLRMシリーズ
　ZMLRM203
　ZMLRM204
　ZMLRM206
　ZMLRM209

・中空型直線導入器
　LTMシリーズ
　ZLTM25
　ZLTM50
　ZLTM75
　ZLTM100
　ZLTM150

・中空型回転導入器
　DPRFシリーズ
　ZDPRF25
　ZDPRF25H
　ZDPRF55
　ZDPRF55H

・回転導入器
　RDシリーズ
　ZRD91
　ZRD93

・リークバルブ
　LVMシリーズ
　ZLVM940
　ZLVM940R
　ZLVM263
　ZLVM263R

・オールメタルアングルバルブ
　CR/CRDシリーズ
　ZCR20R
　ZCRD20R
　ZCR40R
　ZCRD40R

＊キャンペーン期間中でも不測の為替の変動もしくは原材料の変動
　などでキャンペーンを終了させていただく場合がありますのでご了承
　ください。

超高真空機器、バキュームジェネレーター製品（VG）、真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ製作品
など川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます

今日の埼玉のお天気は？
　７月２２日　火曜日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２８℃、昼３２℃、夜３３℃
です。
会社の屋上にあるグリーンカーテンが見事に成長し
灼熱の太陽から遮光してくれるおかげで、屋内の
断熱効率化を期待できそうです。

今日の環境情報は？
KOBE 子ども環境メッセージより
でも、子ども達だけでは地球を救うことはできません。
お金だけでなく、食料や衣料、マンパワーを提供する
システムを大人たちで作ってください。
十分なテクノロジーがないので地球に優しいモノづくりを
してください。
皆さんに質問です。
あなた方が（地球に対して）したことに責任は取れるでしょうか？
皆さんに質問です
私たちは地球環境を守る為にあなた方の助けが必要です。
環境にやさしく持続可能な発展を導入することで地球の
エコシステムのバランスを取り戻すことをお手伝いしてください。
学校で環境問題について教え、実行に移すような国際的な
法律を施行して、安全な環境づくりをすすめてください。

2008年5月24日
子ども環境サミット　in KOBE サミット代表者一同

VG SCIENTA LTD製品　サマーキャンペーン

ガス配管の自動溶接施工

2008年6月21日 22:18

　
　スウェージロックやファインロックなどのネジ接合とは異なり
自動溶接機（ケイジョン・アークマシンなど）によるパイプ接合
は、極めて漏れの可能性が少ないものです。
　ＴＩＧ溶接でパイプ同士を溶融し強固に結合できるため、最近
の大型地震でも塩ビダクトや真空配管、水配管などが破断する
なか、サポートから外れていはいるものの、ガス漏えいが極めて
少ないこともありました。

　特殊材料ガスや毒性ガス、可燃性ガスの配管施工は、自動溶接
がお勧めです。

ガス配管工事、現場確認後の早急な施工など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。

今日の埼玉のお天気は？
　６月２１日　土曜日
　天気　はれ
　気温　２２℃
です。
雨が降り、植物には最高のお天気でしたね！

今日の環境情報は？
今から３０億年前、大気中のさまざまなガス（二酸化炭素、メタン
アンモニアなど）が海中に溶けることで、温室効果が減少して
気温が下がり始めます。同時に大気の濃度が減少して空が晴れ
光が海中にも届くようになります。海中では、光合成で二酸化炭素
を吸収して酸素を放出するシアノバクテリアが出現します。
炭素はカルシウムと結合して石炭として海底に沈殿しました。
世界的に膨大な石炭層はこうして作られます。二酸化炭素が減ることで
更に温室効果が下がります。放出された酸素は、海中の鉄イオンと
結合して鉄鉱床を作りました。現在、人類が採掘しているのは
こうして作られた鉄鋼床です。
海中の鉄イオンがなくなると、酸素濃度が上昇し、大気中にも酸素が
放出されました。酸素は酸化作用で生物を分解する（殺す）危険な物質
ですから、生物は実を守るために細胞を発達させ、遺伝子を核膜で保護
したのです（真核生物）。

ガス配管の自動溶接施工

製作品真空チャンバー

2008年5月29日 23:19

　低真空から高真空、果ては超高真空チャンバーまで
複数の弊社協力工場での設計、製作、真空立ち上げから
現場据付作業、真空排気系、真空配管施行までお手伝い
いたします。

横型低真空仕様チャンバー

内面バフ研磨仕様

ＪＩＳフランジＯリング仕様 with NW/ISO フランジポート

製作後、Heリークディテクターによるリークチェックや
溶接部のカラーチェックなど検査対応可能です。

到達真空度を計測する必要があれば、プリベークから
フルベーキングまでお手伝いいたします。

真空チャンバーのご相談、改造、修理、漏れ検査のことなら
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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ありがとうございます。

今日の埼玉川口市赤井地区のお天気は？
　天気　雨
　ボンベ庫の温度　朝１５℃、昼１４℃、夜１５℃
です。
結構、雨が強かったですね！！

今日の環境情報は？
２００６年環境省による「COOLBIZ実態調査」の1200名のうち
就業していると答えた548名（会社員・公務員・商工自営業者
等）に対して、勤務先がエアコンの温度を高く設定しているか
否かを質問し、昨年又は今年から高く設定していると回答した
者の割合
・エアコンの温度を昨年から高く設定している 29.9％
・エアコンの温度を今年から高く設定している 13.3％
　　　　　　　　　　　　　　　　　　合計 43.2％

製作品真空チャンバー

真空度測定

2008年5月 1日 22:18

　対象物を真空に曝し、どのような到達真空度になるか？

　そんなご相談に応じたのが写真の様子です。左側のアン
グルバルブ下部に小型の容器を製作して中に対象物を入れ
真空排気セットで真空引きしながら、配管ライン上部にある
電離真空計で真空度を計測しています。
　もちろん同様の方法で、真空用の機器や容器の漏れを計
測することもできます。

　そのとき真空の知識がない場合、油脂類や水分などが多
量に付着した状態で検査を始めるご要望をいただきますが
これはナンセンスなことです。真空中では物質に付着した脂
や水はガス化しやすいため真空中に放出され、また、いつま
でもダラダラと放出し続けます。そうなると計測テストどころで
なく、洗浄や乾燥工程などやり直さないと何を測っているのか
何を目的とした実験なのか不明確な多くの要素を残し、無意
味なを続けることになっしまいます。

　そんなときは、実験用の真空容器（真空チャンバー）の製作
からリークレートの測定や到達真空度の計測までご相談ください。

川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます。

今日の埼玉のお天気は？
　５月１日　
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　昼２５℃、夜２４℃
です。

川口を中心としたクラブサッカーチーム「フツーロ」を
川口液化は応援しております。

真空度測定

真空リークテスト

2008年4月18日 21:12

　弊社では真空テストにヘリウムリークディテクターを使用しております。
ヘリウムリークディテクターはヘリウム分析器を内蔵した真空排気装置で
残留ガス中の4 He 分圧を非常に高い感度で測定することが可能です。

　試験方法は検体をリークディテクターに接続し真空排気しながら検体に
4 He ガスを吹き付けます。リークがあった場合にはヘリウムリークディテ
クターが反応しリーク箇所を特定することができます。

　また、リークディテクターは測定感度が極めて高いために、ある程度の
バックグラウンドとして高真空領域に保持する必要があります。弊社では
高真空排気装置とリークディテクターを並列で配置し、測定可能な真空度
まで並列排気を行うことが可能です。真空度が確保できましたらヘリウム
リークディテクターによる単独排気状態によりリークテストを行います。

使用リークディテクター　：　アネルバ製　HELEN A-210M-LD
最小検出リーク量　　　：　１０ -12 Pa・m3/sec

ヘリウムリークテストのご相談は川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。

TEL　０５０−８８８１−７３９３

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ありががとうございます。

今日の埼玉のお天気は？
　天気　雨
　ボンベ庫の温度　朝１２℃、昼１３℃、夜１２℃
です。
神奈川の伊勢崎では、雲の流れがとても速く
尚且つ雲の切れ目が見える場所は日が当たり
それでいながら山間に目を向けると霧のような
大雨が降っているようなそんな雰囲気が目の前
で現象として起こっていました。
それでいてパッと晴れ渡って快晴になるのかな？
と思いきや数分後にはまた大雨と、予想不可能でした。

真空リークテスト

チャンバー洗浄

2008年3月31日 21:00

　ＭＯＣＶＤなどの化合物で反応させたチャンバー内面に
付着した重金属などが積層すると、最終的には洗浄する
しか除去することができなくなります。

　大口径のＩＣＦフランジにＶＣＲタイプのガスフィッティング
継手が相当数設置されている洗浄なども必要になります。

　真空チャンバーの洗浄からフランジ、導入器、などなど
分解洗浄し、装置の真空度立ち上げまでお手伝い致します。

川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。

今日の埼玉のお天気は？
　3月31日
　天気　雨のち曇り
　ボンベ庫の温度　昼7℃
です。
昼食でファミリーレストランなどにはいると
中学生や高校生が大勢集まって、春休みを
謳歌してます。
お金さえあれば、食べ物が幾らでも出てきて
飲み物もアイスなどのお菓子も事欠かない
憩いの場所なのでしょうね。

チャンバー洗浄

ベーキング

2008年3月10日 23:53

　真空チャンバーをポンプで排気しても超高真空に
到達するためには長時間をかけてもなかなか達し
ません。一般的にベーキングと呼ばれるか加熱脱
ガス処理を行います。
　ベーキングは、真空排気しながら真空チャンバー
全体をヒーターなどで１００〜４００℃に加熱し材料
表面に吸着している水分などのガス分子のエネル
ギーが吸着の結合エネルギーに近づいたり、または
大きくなることで蒸発します。ベーキングしているとき
は、水分などの蒸発が進み圧力が一時的に上昇しま
すが、徐々に減少していきます。
　ベーキング温度はステンレスの場合２００〜４００℃
で、アルミの場合は１５０℃です、
　ベーキング時間は、高真空の場合数時間で、超高真
空では１〜２日間かかり、ベーキングを終了すると真空
チャンバーが徐々に常温に戻るにつれて圧力が急激に
減少し超高真空に到達するのです。

真空チャンバーの製作や修理、改造、真空ポンプの
更新など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご
相談ください。

ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。

今日の埼玉のお天気は？
　３月１０日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝６℃、昼９℃
です。
そろそろ国際宇宙ステーションの日本の
実験棟「きぼう」がさまざまな宇宙での
ミッションを行うた地球から放たれます。
最高の成果が出ることを希望します。

ベーキング

真空フレキ

2008年3月 5日 18:52

　ＮＷ２５やＮＷ４０など汎用の真空フレキホースは、成形ベローズ
構造で、溶接によりリングに接合され、波状の部分が延び縮みし、
左右、上下に曲げることができるのです。

　ホース部を輪切りにしますと・・・

　こんな断面になっております。

　通常はここにＮＷ２5などの真空フランジを溶接し、フレキホース
の完成です。お客様の用途や様々な機器との接続継手によっては
Ｒ or Ｒｃ　などのネジ継手仕様として使う場合もあります。

　ＳＷＬ（スウェージロック）タイプやＵＪＲ継手などのガス
継手で製作することも可能です。

真空フレキのことなら川口液化ケミカル株式会社
までお気軽にご相談ください。

ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます。

今日の埼玉のお天気は？
　3月5日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝5℃、昼8℃
です。
4月に入ると、素形材や副資材などあらゆる
材料という材料が値上げ基調です。
高圧ガスもメーカーより値上げの要請が
あることが新聞発表されております。
製造業様は戦々恐々とされております。

真空フレキ

容器などのリーク検査

2008年2月24日 17:46

　自動車産業や時計、食品、飛行機、金属製品から
電気、航空宇宙、医薬品、電子部品、研究分野まで
対象物の漏れを検査する産業や用途は幅広いもの
です。
　それでも漏れの大きさにより測定方法は異なります。
例えば最も大きな漏れは、「水没法」と呼ばれ加圧した
試験体を水槽に沈め、気泡で漏れを確認します。漏れ
の量としては １０ 2〜１０ -3Pa.m3/sec 程度でしょうか。
　次が「加圧放置法」で、限られた容積の中に陽圧の
状態を保持し圧力降下を確認するものです。この方法
は １０ 2〜１０ -4Pa.m3/sec の範囲で測定可能です。
　加圧放置法の外部に漏れた水素やヘリウムなどのガ
スを検知して漏れを見つける方法が「スニファー法」と呼
ばれるもので ハロゲン冷媒なら１０ -6Pa.m3/sec まで
水素なら １０ -7Pa.m3/sec まで測定範囲が拡がります。
　最も微少な漏れを測定する方法が、対象物を真空排気
して分子量の小さなヘリウムガスがどれだけ漏れの部位
を通過するかを測定するヘリウムリークディテクターによる
「真空法」や「吹き付け法」などがあり １０〜１０ -9Pa.m3
/sec まで測定可能です。

　対象物の形状や大きさによっては上記のような方法が適
切でない場合も多々有ります。また、試験環境や計測機器
の準備、冶具の製作などが必要なことも多く、漏れ検査を必
要となった場合には準備を長めに確保されることをお勧めい
たします。

川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます。

今日の埼玉のお天気は？
　２月２４日
　天気　はれ
　気温　３℃
です。
瀬戸内海の海温が上昇して亜熱帯の
魚やエイなどの回遊魚が大量に捕獲され
地場産業のアサリなどを餌にして凄い勢いで
増殖しているそうです。
その温度差、たったの１℃だそうです。
何って？
温暖化が大きな要因だそうです。

容器などのリーク検査

真空機器　製作品

2008年2月16日 22:51

　試料室のサンプルステージを微妙に移動させる機構は
その実験によりカタログ商品では対処できないこともあり
ます。そのようなときは、一品一様で設計製作するしかあ
りません。

低真空から超高真空まで新規製作から改造、修理まで
お気軽に川口液化ケミカル株式会社へご相談ください。

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

本日の埼玉のお天気は？
　2月16日
　天気　はれ
　気温　2℃
です。
フィギアスケートの浅田真央さんが韓国での
世界大会でトリプルアクセルを決め優勝されました。
安藤美姫さんはジャンプ失敗で3位です。
世界での日本選手の活躍はエネルギーをいただけますね。

真空機器　製作品

水没漏れ試験

2008年2月 9日 22:49

　容器の漏れを検査する一番簡単な方法は、自転車の
ゴムタイヤを水没させて気泡が出てくるの様子を確認
する水没漏れテストがあります。これは漏れの大きさか
らいって大きめの漏れになります。
　真空チャンバーや精密機器など漏れを限りなく少ない
状態で確認するためにはヘリウムリークディテクターなど
のように微小リークを検出する漏れ検査機器が必要です。
それでは水没試験での気泡の量と精密漏れ検査の漏れ
の量はどのような関係なのでしょう？

　　　　　　　　　　　　　漏れ量の換算
１気泡が出てくる時間　　　ﾍﾘｳﾑﾘｰｸ換算
１．６ ｓｅｃ　　　　　　　　2.6x10-4 Pa・m3/sec
５．０ sec　　　　　　　　8.8x10-5 Pa・m3/sec
１６．０ sec　　　　　　　　2.6x10-5 Pa・m3/sec
４８．０ sec　　　　　　　　8.8x10-6 Pa・m3/sec
９６．０ sec　　　　　　　　4.4x10-6 Pa・m3/sec
１６．０ min　　　　　　　　4.4x10-7 Pa・m3/sec
１１６．０ hr　　　　　　　　 1.0x10-9 Pa・m3/sec

　５秒で１０ -5 Pa・m3/sec ですから、ブクブク出ていたら相当な
漏れの量ということになります。逆によく見ていて１分以上じっと
凝視して１０ -6 Pa・m3/sec 台ですので、１０-8 や 10-9 Pa・m3
/secなどの量は極めて少ない漏れの量だということが解りますよ
ね。

　ヘリウムリークディテクターや検出用ヘリウムガス、スプレーガン
ヘリウムガス用調整器など川口液化ケミカル株式会社までお気軽
にご相談ください。

ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉県のお天気は？
　２月９日
　天気　くもりのち雪
　気温　１℃
です。
今年２度目の大雪になりましたね。
明日が日曜、祝日と連休ですので平日の
仕事に支障なく済みそうで良かったですよね。

水没漏れ試験

平衡蒸気圧

2008年2月 2日 11:41

　大気圧１ａｔｍ（１０ 5Pa）には多くのガス分子が存在します。
真空ポンプによりチャンバー内の気体を排気することで真空
（まさにカラ）の状態を作るわけです。
　超高真空領域まで行くと、真空排気し難いガス分子が出て
きます。高真空対応の機械的なポンプでは排気できなくなり
低温を利用してガス分子を吸着させる方法が取られます。
液体窒素トラップや電気的に液体ヘリウム温度のコールドステ
ージをつくりガス分子を捕まえるわけです。
　それでは、低温で各種ガスがどれだけ排気できるかの目安を
飽和蒸気圧で見てみましょう。

先ず、２０Ｋの液体水素温度では・・・

ＣＯ　　：　4 x 10 -12Pa
Ａｒ　　 ：　6.3 x 10 -12Pa
Ｎ２　　：　1.3 x 10 -9Pa
Ｎｅ　　：　4 x 10 3Pa
Ｈ２　　：　9 x 10 4Pa

です。
ヘリウム、水素、ネオン以外は１０ -9Pa 以下の超高真空領域
になり、排気が可能です。

液体ヘリウム温度の４．２Ｋではどうでしょう？

ＣＯ　　：　<　１０ -12Pa
Ａｒ　　 ：　<　１０ -12Pa
Ｎ２　　：　<　１０ -12Pa
Ｎｅ　　：　<　１０ -12Pa
Ｄ２　　：　4.6 x 10 -9Pa
Ｈ２　　：　5.6 x 10 -5Pa
Ｈｅ　　：　１０ 5Pa

　水素、ヘリウム以外は超高真空領域ですので、この低温
面を真空雰囲気に晒せば真空ポンプとして排気することが
できるわけです。これがクライオポンプですね。

クライオスタット、クライオポンプ、真空二重配管など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　２月２日
　天気　くもり
　気温　６℃
です。
中国の寒波で、広州駅前に移動できない人が２０万人
いて、身動きとれず、飲食もままならず亡くなる方が
いらっしゃるそうです。
昔から、旧正月に帰省する大勢の人並みの映像が
流されていましたが、これも広州駅でしたよね。

平衡蒸気圧

残留ガスの分析

2008年1月30日 22:29

　真空装置の中に残っている残留ガスを調べる方法は
マスフィルターと呼ばれる質量分析器が一般的に利用さ
れています。
　この分析器で、ガス毎のマスナンバーを、水素は１、ヘ
リウムは４、水は１８、COは２８など質量によって元素や分
子を固定して特定するのです。
　マスフィルターの構成は、残留ガスを電離するイオン源、
イオンを効率よく分析電極に導入するための静電レンズ、
分析電極としての四重極電極、イオン電流を検出するファラ
デーカップからなります。このファラデーカップは、イオン電流
が微弱な超高真空に適した二次電子倍増管に変わっていま
す。
　その仕組みは難解ですが、高電圧と高周波を四重極に加え
適当な質量数のイオンだけが共振して電極を通過してフィルタ
ーのように所定の質量だけを通過させ残留ガスのスペクトルに
表わし成分比までピークであらわされます。同じピークの近くに
は同位元素や水や油の検出の邪魔をするものの有無まで判断
できます。
　半導体や核融合、加速器などクリーンな真空を確認するために
は残留ガス分析は欠かせないものです。

ガスマス、Qマスなどの残留ガス分析器は川口液化ケミカル株式
会社までお気軽にご相談ください。

TEL ０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　１月３０日
　天気　４℃
　ボンベ庫の温度　朝４℃、昼７℃、夜７℃
です。
ホッとするような暖かい一日でしたね。
直射日光の日差しが強いお昼間は乗用車の
社内が厚着の冬仕様では暑いくらいでしたね。

残留ガスの分析

真空中の水分

2008年1月29日 21:31

　真空チャンバーでいくら真空排気してもなかなか真空度が上が
らず、なぜか？なぜか？といった五里霧中のようなあてのないリ
ーク探しになってしまう現場を経験されたことはないでしょうか。

　実際にリークが見付ったとしても、以外に見落としがちなのが
水分です。特に高真空になってくると水分が悪さをして思うに任
せない状況になる場合も多々あります。
　たとえば常温の真空チャンバーで真空排気しながらチャンバー
ベーキングすることで金属表面に水分がどれだけ残留しているか
その挙動を見てみましょう。

真空度　１．０６ x １０ -4Pa
ベーキング前　
各種ガス分圧
H2 : ８６０
H2O : ６１００
CH4 : ３００
CO : ２５８０
CO2 : ７９０
Hg : １２８０(水銀拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ）

真空度　５．３ x １０ -5Pa
１２７℃ベーキング
分圧
H2 : ２４０
H2O : ４３０
CH4 : ３３
CO : ５７０
CO2 : ６９
Hg : ５３０

真空度　６．６ x １０ -7Pa
２２７℃ベーキング
分圧
H2 : ６４
H2O : ３６
CH4 : ７
CO : １５２
CO2 : ２４
Hg : -

真空度　２．７ x １０ -8Pa
４２７℃ベーキング
分圧
H2 : -
H2O : １
CH4 : -
CO : ２
CO2 : -
Hg : -

ベーキング前の主成分がH2Oであったのが、ベーキングにより
最も減少しているのもH2Oなのです。常温で排気を行うにはとて
も厄介なガスであることが解りますね。

真空チャンバーの製作、真空排気、真空計など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談
ください。

TEL　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉川口のお天気は？
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝４℃、昼５℃、夜５℃
です。
年賀はがきの当選番号発表がありましたね。
宝くじと違い景品は知れたものですが、何かあたらないかな？
などとウキウキするものですよね。

真空中の水分

ダイヤモンド・ライク・カーボン　DLC

2008年1月23日 15:11

　DLC膜は、機械摺動部の摩擦係数を大幅に下げられる
製膜技術です。ただし、従来の方法では曲面加工に難点
がありひび割れなどにより広い範囲が面で剝がれてしまう
課題がありました。
　これをアイモット社が名古屋大学大竹尚登准教授と共同
で、DLC膜の４５倍の強度を持つ成膜技術を開発しました。
強度試験の結果では、金属球の表面に従来のDLC膜と、新
たに開発した膜付けした状態で、３０ニュートンの荷重をかけ
高速回転させたところ、従来には膜が剥がれが起きましたが
新たな膜は、計測限界地まで膜が残る結果が出たそうです。
　加工方法は、プラズマ化学気相成長法（CVD）により、装置
内基材に開けた微細な穴から高電圧直流パルス波を高速で
かけることにより、効率的に基材表面に堆積させることに成功
したものです。
　産業用部品の摩耗など起きやすい摺動部への利用が進みそ
うです。

真空チャンバーの製作、拡張、改造、真空排気系の
更新・ドライ化など川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。

TEL ０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　１月２３日
　天気　ゆきのち雨
　ボンベ庫の温度　朝２℃、昼２℃、夜２℃
です。
横浜でも午後１時過ぎ外気温が２℃のところに
風が吹き、体感温度は氷点下にに感じました。
ホント冷えましたね〜

ダイヤモンド・ライク・カーボン　DLC

スペースデブリ

2007年12月30日 22:59

　宇宙では日本の宇宙実験棟「きぼう」の建設計画が
着々と進んでいます。
　来年から国際宇宙ステーション（ISS）での日本人飛行
士による組立作業がはじまるそうです。

ですが・・・。

　宇宙空間には地上から観測されているスペースデブリ
（宇宙ゴミ）の数が９０００個以上確認されており、人工衛
星などの中型衛星が５００年に１回は１ｃｍ以上のデブリに
衝突する可能性があるのだそうです。
　当然ながら次々に打ち上げられている衛星の残骸や爆発
やデブリ同士の衝突などにより多くの小デブリが発生するた
め加速度的にデブリが増加しております。近年、宇宙開発の
発展が目覚しい中国が、宇宙空間での衛星爆発実験を成功
させたニュースがありましたが、これにより相当なデブリが発
生してしまったことは宇宙開発関係者の間では周知の事実
なのだそうです。
　このため特に大型の宇宙ゴミを除去する宇宙版廃棄物処理
の実施を行うための有効な対策が求められています。日本の
宇宙研究機関JAXAでは、ロボットアームでデブリを捕獲し導電
性テザー（EDT）を取り付け、地球の磁場の作用を利用しブレー
キ力を発生させデブリの軌道を降下させ処分する方法などさま
ざまな方法が研究されております。
　ゴミの問題は、自治体や国などの枠を越えて宇宙にまで影響
が出ているようです。

真空機器、真空ポンプ、真空溶接継手製作、チャンバー製作まで
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

TEL　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　１２月３０日
　天気　晴れのち曇り、ときどき雨
　気温　４℃です。
日中、ヒョウ（氷の玉）が降りました。
昔、大玉のヒョウが降り乗用車のボンネットなど
保険で直す要望が多く出たそうですが、自然の
現象に当るため保険適用がされず物議をかもし
たこともあったことを思い出しました。

スペースデブリ

リアクティブイオンエッチング

2007年12月16日 23:38

　エッチングの一つであるRIE（リアクティブイオン
エッチング）はイオンを引きつけて大きな面積に
当てることでエッチングする方法です。
　二極スパッタのターゲット面積に制限はなく大
面積を一度にエッチングすることができることが
特徴です。また、アルゴンガスを利用すればス
パッタによるエッチングが可能です。
　フロン等化学的に活性なフロン・塩素・水素な
どの化合物を利用するとアルゴンガスだけのとき
の数十倍の反応速度にもなります。
　大量生産や安定したエッチング処理を行うため
に連続装置として微細加工を行うためにこの装置
が用いられております。

真空装置のガス導入系MFC（マスフロコントローラー）
やレギュレーター・バルブ・ガス供給パネルユニットの
製作など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご
相談ください。

TEL 050-8881-7393

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　12月16日
　天気　はれ
　気温　3℃
です。
朝八時、公園を散歩すると息が白く寒さが身に沁みました。
青空には雲ひとつなく太陽がキラキラとしスキッとした空気
はとても気持ちが良かったです。

リアクティブイオンエッチング

エッチング

2007年12月15日 21:49

　半導体製造工程などで超微細加工の技術が年々進歩
しています。つい先日も、携帯型メモリの容量が数倍に増
える技術を某社が開発し、これまでＤＶＤ映画が１本分しか
記録できなかった容量がなんと７本近く記録できる商品とな
り出てくるそうです。これは限られたスペースにどれだけ多く
の機能を盛り込むかを追求した結果です。
　高集積化と超微細加工を実現するためにさまざまな技術が
注ぎ込まれておりますが、エッチング（削る技術）もその一つ
です。
　エッチングの身近な使用例では、ガラス窓に会社名など刻み
込んである文字に「エッチング」処理を薬品で施したものがあり
ます。薬品を使用しない方法はドライエッチングと呼ばれ薬液が
微細な隙間に残らない清浄な方法です。
　たとえば木材に穴を彫るのにノミを使うとすると、そのノミの刃
の大きさ以下の小さな穴を彫ることは不可能です。ドライエッチ
ングの場合にはこのノミの大きさを、気体の分子程度（０．５ｎｍ
：百万分の０．５mm）まで小さくすることができるのです。
　エッチング法には他にも、イオンビームエッチング・リアクティブ
（反応性）イオンエッチング、プラズマエッチングなどがあります。

エッチング装置の真空排気系ポンプのメンテナンスや
ハロゲンガス供給設備、耐腐食性ガス機器など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　１２月１５日
　天気　はれ
　気温　６℃
です。
地球温暖化対策の「バリ・ロードマップ」が
採択され２００９年までアメリカの参加を促す工程表
が数値目標なしで進められることになりました。
自国、他国の利害が絡み合うこととはいえ
「今」できることを、小さなことでも実践することが
とても大切であると思います。

エッチング

ガラス加工品（製作品）

2007年12月10日 22:02

　金属では容器の中で何が起こっているかわからない。
中を見たいけど温度や耐薬品性が問われるようなとき
石英ガラスなどの加工品（製作品）で対応が可能なこと
もあります。

ガラス製熱交換

　液体窒素温度でも真空でもステンレスとガラス（石英）など
との溶着（接続）による変換ジョイントとしても利用が可能です。

　真空ベルジャーやアニール炉の反応炉や薬品実験用バルブ
までガラス製品の製作品を承ります。

川口液化ケミカル株式会社
TEL 050-8881-7393

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉県川口市のお天気は？
　12月10日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝6℃、昼8℃、夜9℃
です。
サッカートヨタカップでレッズが見事勝利を収めました。
清水、鹿島、愛媛FC、横浜FCと引き分けから負け試合
が続きましたが見事、イランのセパハンを３−１で退け
次の試合、親善試合でもテストマッチでもなく「ACミラン」
とのクラブワールドカップ公式戦準決勝です！
イランに行ったら URAWA のことを知っている人が間違い
なくいることになりましたね。

ガラス加工品（製作品）

大型真空チャンバー

2007年11月26日 20:03

　近年、燃料電池や大型ディスプレイ関連の製造ラインでは
大型のチャンバーが使用されてきております。一般産業用や
研究機関向けでも大気中で使用していた機器を丸ごと真空
チャンバーの中へ入れてしまうようなこともあります。

上部ﾌﾗﾝｼﾞ規格 JIS1000A

チャンバー内に相当大きな駆動系ステージも入る大きさです。

真空チャンバー、真空排気セット、真空度計測機器、ガス導入機器
のことなら川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談さい。

TEL　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　11月26日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝7℃、昼10℃
です。
八王子から秋川にかけ山間の紅葉がとてもキレイでした。
赤、緑、橙、茶、黄などなど・・・。
銀杏並木など両脇が黄色いベールに包まれ幻想的な
雰囲気にも感じられました。
寒いかもしれませんが、見頃です！

大型真空チャンバー

Vacuum technology

2007年11月16日 12:06

　超高真空機器における蓄積された真空技術を生かし
お客様の研究・開発向け特注真空装置を製造しており
ます。構想および仕様作成の段階からお手伝いさせて
いただきます。

真空装置・製作品
・イオン加速器関連設計製作
・質量分析計差動排気システム製作
・真空加熱システム設計・製作
・超高真空システム設計・製作
・各種高真空システム設計・製作
・真空加工品設計・製作

真空コンポーネント・真空部品販売
・各種マグネトロンカソード、反応ガスコントローラーの販売
　GENCOA Magnetron Sputtering Cathodes
・各種真空部品、マニピュレータ、ミューメタルチャンバーの販売
　Vaccum Generators The Vacuum Company
・D-sub 型電流導入端子、真空ケーブル、光ファイバー導入端子の販売
　Accu Glass Products Inc.
・各種真空バルブの販売
　VAT The leader in vacuum valves
その他、各種真空ポンプ、真空計、真空圧力制御システム、真空配管
継手類、電源、レアメタル加工品の販売も致しております。

カーボンナノチューブ製造装置
・サーマルCVD 装置
・高周波誘導加熱装置

さまざまな真空機器に関するご提案をさせていただきます。

提供は・・・

ジェンテック株式会社
横浜市港南区港南台5-23-35
代表取締役　石田 俊之さま

真空機器、真空コンポーネント、真空チャンバーの製作に関するご相談は
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　１１月１７日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１１℃、昼１２℃、夜１２℃
です。
だんだんと、弊社の毎日の温度計測の値が
１０℃を切る数値まで下がってきたようです。
もうすぐ冬が訪れる予感を気温でも感じられますね。

Vacuum technology

真空排気の実際

2007年10月28日 21:10

　完全な容器、完全な真空排気系、完全な真空はありえない。
そんな話を昨日は致しましたが、なぜか？

その事由についての解説です。

　真空容器（真空チャンバー）は、大気と隔てた境目が完全に
遮断されていて、どんなに小さな漏れも無いように製作し検査
しますが、容器には必ずといっても良いくらい小さな穴から大気
側のガスが流れ込んできます。真空度のレベルにもよりますが
ものによってはジャジャ漏れに近いような音がすることも多々あ
ります。ヘリウムリークディテクターなどによる厳密な検査方法
でテストをしたとしても、漏れは存在するのです。
　また、漏れとは間隔が異なりますが、金属の真空容器（チャン
バー）を気体が透過して容器内にじわじわと湧き出てくることも
あります。この量は極めてすくないものの、染み出してくる気体
を排気しうる真空ポンプが必要です。例えばガラス質はヘリウム
を透過しやすく、ゴムなども同様に透過します。金属でも水素など
僅かに透過します。
　透過とは別に、真空容器の内壁からガスがじわじわと染み出て
くるものもあります。たとえば水分などは顕著です。湿気が多い
季節やわざわざ加湿している実験場などで容器を開放していよう
ものなら容器内面からいつまでも水分が抜けきらず、真空度も
上がらないこととなります。もちろん製造工程の内面処理方法に
よってもガスが抜けにくい小さな凹凸があるような場合も同様に
ガスが出続けることとなります。
　真空ポンプとて完全なものはありえません。理論値や設計値は
相当の排気量・到達真空度の性能を発揮したとしても、限界近く
での性能は、排気量も少なくなり、到達も落ちます。

　これらの要因を考えると、計算上の容器容量に対する真空排気
するポンプで真空排気時間や到達真空度を保証することは極めて
難しいことが経験的にわかります。

真空チャンバーのご検討、ご予算確保、設計、製作、漏れ検査まで
お気軽に川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。

ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　１０月２８日　
　天気　はれ
　気温　１８℃
です。
日中のポカポカ陽気でしたので、子供など
駆け回っていると、Ｔシャツに短パンでも大汗
をかいていました。
寒暖の差にご注意を！！

真空排気の実際

真空排気

2007年10月27日 21:20

　１Ｌ/secの真空ポンプで１Ｌの真空容器を排気
すると、１秒で真空になるのでしょうか？

　水などの場合、１秒で水を他の場所に移動させれば
容器の中は空になります。水は圧力が変化しても体積
はほとんど変化しないからです。気体は圧力が変化しま
すと体積がほぼ倍になりますので、水のようにはいかな
いことがわかります。

　１Ｌの容器に対して、１Ｌの真空に引かれている同じ容量
の容器があるとします。それぞれの容器間を遮断している
バルブがあり、このバルブをあけると空気が両方の部屋に
広がりますが、得られる圧力は１／２気圧になりこれをくり
かえしていったとしても空気を完全に除くことは出来ません。
気体の場合は真空排気で引いても引いても、水のように無く
なることは無く無限に薄くなるだけなのです。

　この薄くなるスピードは・・・

　もし、真空にしたい容器の容積が１Ｌとして、１Ｌ／ｓｅｃの
真空ポンプで排気すれば、１秒ごとに圧力は約１／２．７
（およそ１／３）になります。１０Ｌの容器を１Ｌ／ｓｅｃで排気
すれば、１０秒ごとに圧力が約１／３となりますが、決して
時間をかけても圧力がゼロ（絶対真空）になることは無いの
です。

　真空容器がリークゼロ、真空ポンプも完璧な理論性能を持
っていたとして、１Ｌ容器を１Ｌ／ｓｅｃの真空ポンプで約３０秒
で　１０-9Pa （１０-11Torr）の超高真空になるわけですが。

　真空をご存知の方ならお分かりの通り、そのようなことはあり
えませんよね。

真空チャンバー、真空ポンプ、真空配管、真空継手、真空断熱
などの設計・製作・ご予算取りや具体的な検討などお気軽に
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。

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今日の埼玉のお天気は？
　１０月２７日
　天気　大雨
　気温　１３℃
です。
日本ハムのダルビッシュ投手が１３Ｋ（奪三振数）で
初戦勝利を挙げました。
明日は、大リーグ松坂が当番予定です。
野球が楽しめる週末ですね！

真空排気

真空フランジ加工品

2007年10月13日 23:12

写真はICF１１４真空フランジです。
※以下の仕様を全て満たすものではありません。

ご希望の真空容器を製作いたします。
材質　　　：ステンレス、アルミほか
フランジ　：NW-KF、ICF、JIS、ISOほか
継手　　　：SWL,VCR(UJR),R(Rc),G,UNF,CGAほか
圧力　　　：40MPa 〜 1x10 -9Pa　（超高圧から超高真空まで）
温度　　　：1500 〜 -269℃　（高温から極低温まで）
※価格・納期はご相談ください。

製作品例
ICF114ﾌﾗﾝｼﾞ容器 x SWL 10mmﾕﾆｵﾝ
リークレート　3.4x10 -8 Pam3/sec
内面処理：研磨無し
価格：\48,000-
納期：御下命後約２週間

真空チャンバー、真空容器、真空部品、真空用バルブ、真空ポンプ
リークテスト、チャンバー改造、装置改造、ポンプオーバーホール
チャンバー洗浄（無害化処理）など川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。

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今日の埼玉のお天気は？
　１０月１３日
　天気　くもり
　気温　１７℃
です。
幼稚園の運動会を見ていますと
小さな天使たちを周りの大人が
とても和やかな雰囲気の笑顔で
応援していることに気付きました。
by 交通整理していた警備員のおじさんコメント

真空フランジ加工品

Etching エッチング

2007年9月26日 22:57

　レジストなどで作られたパターンを保護マスクにして、その
下にある SiO2 や Si3N4 、ポリシリコン、配線金属などに同じ
パターンを触刻する技術で、ドライエッチングではガスを利用し
化学反応させることで処理しています。

　エッチング物質とエッチングガスの相関関係は、以下のとおり
です。

エッチング物質　　　　　　エッチングガス
Si CF4,SF6,NF3,SiF4,BF3,XeF2,ClF3,SiCl4
PCl3,BCl3,Cl2,HCl,HBr,Br2,HI,I2
SiO CHF3,CF4+H2,C2F6,C3F8,c-C4F8
Al BCl3,SiCl4,Br2,BBr3,HBr
Si3N4 CF4,SiF4,NF3,C2F6,CHF3,c-C4F8
レジスト O2,CF4+O2
Mo CF4
MoSi2 SF&+O2
W CF4,SF6+O2,SF6+Cl2+O2
Ti CF4,O2,SF6+O2,Cl2+He
Ta CF4,O2,SF6+O2
Cr Cl2
a-Si CF4+O2,Cl2+SF6
SnO2 CH3OH,C2H5OH,Cl2+O2
GaAs CF4,BCl3+Cl2

特殊ガス供給系のガス設備、シリンダーキャビネット、マニホールド
現地特殊ガス配管工事などお気軽にご相談ください。

TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉のお天気は？
　９月２６日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　夜２５℃
です。
厚木の郊外にある田圃。
コンバイン（耕作機械）で実った稲穂の刈り取り作業
が進められていました。刈り取られて残った藁は束ね
られ、ピョンピョンと装置後部から次々飛び出す様は、
一種異様でした。
いまの農業は機械で成されていると再確認しました。

Etching エッチング

チャンバーベーキング

2007年8月 5日 20:47

　昨日までの真空チャンバー内面処理の項でご説明して
参りました通り、その表面からの脱ガスの作用により真空
中に飛散するガスが真空度に大きな影響を与えます。

　たとえば真空チャンバーの材料で最も多く利用されている
ステンレス製からはどのようなガスが出てくるのでしょうか？

　排気してすぐの状態では、大気組成に近いガス成分が放出
してきます。その後、水分（Ｈ２Ｏ）が多量に出てきます。さらに
ＣＯ、Ｏ２、Ｎ２、ＣＯ２、ＣＨ４などといったガスが徐々に排気され
てまいります。一般的に超高真空仕様の装置などの場合、真空
チャンバー自身を加熱して脱ガスを促進させる「ベーキング処理」
を行います。当然のことながら常温で排気している状態から加熱
したと途端に大量のガスが放出されチャンバー内の真空度が一気
に低下します。当然のことながら内面処理の方法によって脱ガス
する早さや量などは変化します。約一日程度ベーキングをしながら
真空排気を続けると脱ガス作用はだいぶ落ち着いてきます。更に
続けていきますと、最後に残るのはほとんどが水素ガスということに
なります。

真空装置、真空チャンバーのご検討、ご相談のことなら
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にどうぞ。

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今日の埼玉のお天気は？
　８月５日
　天気　はれ
　気温　２７℃
です。
夕方、たくさんの蝉の声にまぎれてまだ慣れていない
蜩の鳴き声聞こえてきました。
日本の夏を象徴する風物詩のひとつですね。
昔から、この鳴き声を聞くと心が落ち着く感じがします。

チャンバーベーキング

金属表面のガス放出

2007年8月 4日 21:32

　真空チャンバーの表面処理は、ガス放出を抑えるために
必要な手段です。真空中の金属表面に酸化膜で覆われた
吸着分子が大量に吸蔵されており、無処理の場合には多量
の放出ガスが発生します。
　また、表面に油などが付着していると、その蒸気がやはり
真空チャンバー内に放出されなかなか高真空に入らない原因
になります。
　こうした真空チャンバー内面や真空に触れる構造物の表面
処理はガス放出対策として重要な課題です。基本的な金属
材料として、ステンレス鋼、無酸素銅、アルミニウムが利用され
ております。

以上のことから、表面層の厚い酸化膜を除去する目的で機械
研磨や酸による洗浄、放電処理などが必要です。また、同じく
表面層の油を除去するために、有機洗浄など脱脂処理を行う
ことが大切です。

真空製作品、真空チャンバー、真空配管、真空排気セットなど
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

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今日の埼玉のお天気は？
　８月４日　
　天気　晴れ
　気温　３１℃
です。
川口市のオートレース場をメイン会場に「第２９回たたら祭り」が
開催されております。

「たたら」とは？
鋳物の街川口を象徴する鋳造の「たたら製鉄」のことです。
アニメ映画「もののけ姫」に「たたら」で鉄を吹いている場面
が出ていたのをご記憶でしょうか。
原料となる鉄を含む鉱石と、燃料として木炭や薪（まき）など
を使って、金属鉄（人間が使える鉄）をつくる方法です。

金属表面のガス放出

リークの有無

2007年8月 3日 17:45

リークを検査したいのですが？

　そのようなご質問を頂戴することがあります。
まず基本的なことですが、真空容器なのか
加圧容器なのかによって対応が異なります。
また、真空容器の場合でもそのリークの大きさに
より検出用法も異なります。

　一般的に真空チャンバーを排気してなかなか真空が出ない
場合の値が　１０-1 Pa あたりでもたもたしているとリークの
可能性が大きいです。そのような場合、真空チャンバーを排気
しているメインバルブを閉じて、チャンバー内の真空の値がどの
ような挙動を示すか観察すると判断できます。

　１０-3 Pa 以下の圧力ですと四重極質量分析計を利用してリーク
の有無を判定できます。残留ガススペクトルで空気成分のＮ+(14,28)
Ｏ2+(32)が多いときはリークの可能性が大きいです。CH+(14)やＣＯ+
(28) は通常の残留ガスですが、異常に多い場合にはＮ+である可能性
が高いです。
　ただし、排気システムのリークがなく、また正常なスペクトルを良く
知らないと何がおかしいのか判断が付きません。酸素や窒素に注目
して判断する以外にもアルゴンガスの挙動もひとつの目安です。
また、１０-8 Pa のリークでは、酸素窒素のスペクトルが見られなくても
リークがある可能性があります。

このためにも、りーくのない場合の残留ガススペクトルを知っておくことは
大切です。

ヘリウムリークディテクターに関するご質問ご検討など
川口液化ケミカル株式会社にお気軽にご相談ください。

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今日の埼玉のお天気は？
　８月３日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２９℃、昼３３℃、夜３２℃
です。
首都高速、外環自動車道の渋滞が激しい一日でしたね。
時間を気にした仕事をしている人には難しい状況でした。

リークの有無

真空を利用している分野は広い

2007年8月 2日 22:11

身の回りを見わたしてみても真空を利用して出来ている
製品や産業は数知れません。

蛍光灯、ランプ、電球、魔法瓶、眼鏡の表面コーティング
などなど。

産業分野は・・・

電子工学
蒸着、イオン注入、結晶成長、焼結、スパッタ、ドライエッチング
イオンプレーティング、真空含侵、排気、電子ビーム溶接、漏れ探し

医薬医療
殺菌、濃縮、乾燥、蒸留、保存

理学機器
加速器、原子炉、Ｘ線、電子回路、質量分析、電顕、表面分析

宇宙工学
環境試験室、材料、蒸留、イオンプレーティング、計測、スパッタ
熱絶縁、研究装置、各種メカニズム

光工学
蒸着、スパッタ、ドライエッチング、イオンプレーティング、分析機器

電子工業
蒸着、排気、漏れ探し、乾燥、脱ガス、真空成形、含侵

金属加工
焼結、精密鋳造、熱処理、ロウ付け溶接、焼入れ、窒化、圧延

金属材料
還元、蒸留、溶解鋳造、脱ガス、熱処理、焼結、単結晶、精錬
試料試験、乾燥

土木工業
吸引、乾燥

輸送
吸引、吸着

車両、航空機
溶解、焼き入れ、焼結、精密鋳造、蒸着、窒化、ロウ付け、溶接
漏れ探し、蒸着

機械工業
精密鋳造、焼結、含侵、ダイカスト、溶接ビーム加工、焼入れ窒化

事務機械
真空溶接、真空成形、蒸着、焼入れ窒化、スパッタ、ドライエッチング
材料

公害
無害化プロセス、鍍金焼入れ、脱水、廃棄物処理、イオンプレーティング
分析機器

化学工業
蒸留、分留、繊維染染料精製、紙乾燥、精留、濃縮、蒸発、結晶化
石油精製、乾燥、凍結乾燥、昇華、ろ過、含侵

食品工業
包装、農産物保存、脱水濃縮、保存、冷却、含侵、乾燥、凍結乾燥

原子力工業
蒸着、スパッタ、材料冶金、ポンプ、断熱、加速器、漏れ検査

関連学術分野
核物理、電子工学、宇宙工学、システムエンジニアリング、電気工学
原子物理学、オートメーション、精密工学、機械工学、流体力学、極低温
工学、化学工業、界面化学、界面物理学、生化学、生物理学、材料化学

などなど。

身の回りのものほとんどですね。

真空チャンバー、真空ポンプ、真空測定、真空リーク、真空バルブ
などお気軽に川口液化ケミカル株式会社までご質問ください。

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よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　８月２日
　天気　晴れ
　ボンベ庫の温度　朝２７℃、昼３０℃、夜３０℃
です。
近所の森の近くを朝散歩しますと・・・
夜、街頭の光に昆虫が寄せられて、何かの拍子に
地面に落ちて絶命しているカナブンが増えてきました。
そのうちメスのカブトムシなんかが加わって来るんですよね。

真空を利用している分野は広い

真空の漏れ検査（リークテスト）

2007年8月 1日 22:52

　真空容器（チャンバー）などの漏れを測定する方法は
数種類ありますのでご紹介いたします。

・真空装置法
　被試験物内部　：　真空
　被試験物外部　：　大気圧
　検出原理　　　　：　圧力上昇
　プローブ　　　　　：　　−
　検知可能流量　：　１０-6 〜　１０-8 Pa･m3/sec
　※ビルドアップ法とも言います。

・加圧発泡法
　被試験物内部　：　加圧
　被試験物外部　：　大気圧
　検出原理　　　　：　気泡
　プローブ　　　　　：　加圧大気（石鹸水）
　検知可能流量　：　１０-2 〜　１０-3 Pa･m3/sec
　※リーク検知液を塗布する検知剤商品もあります。

・水中発泡法
　被試験物内部　：　加圧
　被試験物外部　：　大気圧
　検出原理　　　　：　水槽中に発生する気泡
　プローブ　　　　　：　大気加圧
　検知可能流量　：　１０-4 〜　１０-5 Pa･m3/sec
　※水槽の液体に石鹸水を使用すると感度が上がります。

・ハロゲンリークディテクター法
　被試験物内部　：　真空
　被試験物外部　：　大気圧または加圧
　検出原理　　　　：　ハロゲンガスの電離
　プローブ　　　　　：　ハロゲンガス
　検知可能流量　：　１０-5 〜　１０-9 Pa･m3/sec
　※測定機器があります。スニファー法によるものです。

・ヘリウムリークテスト法
　被試験物内部　：　真空
　被試験物外部　：　大気圧または加圧
　検出原理　　　　：　質量分析によるヘリウム検知
　プローブ　　　　　：　ヘリウムガス
　検知可能流量　：　１０-11 〜　１０-13 Pa･m3/sec
　※外覆法、吹き付け法など。

・真空計法
　被試験物内部　：　真空
　被試験物外部　：　大気圧
　検出原理　　　　：　大気とプローブガスの感度差
　プローブ　　　　　：　アルコール、ヘリウム、ブタンガスなど
　検知可能流量　：　１０-1 〜　１０-9 Pa･m3/sec
　※ピラニ真空計、電離真空計などを使用します。

・残留ガス分析法
　被試験物内部　：　真空
　被試験物外部　：　大気圧
　検出原理　　　　：　プローブ物質のピーク検知
　プローブ　　　　　：　アルコール、ヘリウムガスなど
　検知可能流量　：　１０-10 Pa･m3/sec
　※残留ｶﾞｽ分析計（Ｑマス）を使用しての検出方法です。

・イオンポンプ法
　被試験物内部　：　真空
　被試験物外部　：　大気圧
　検出原理　　　　：　イオンポンプの放電電流の変化計測
　プローブ　　　　　：　ヘリウムガス
　検知可能流量　：　１０-3 〜　１０-9 Pa･m3/sec
　※スパッタイオンポンプを使用します。

・ガイスラー管法
　被試験物内部　：　真空
　被試験物外部　：　大気圧または加圧
　検出原理　　　　：　放電色の変化
　プローブ　　　　　：　ヘリウムガスやアルコールなど
　検知可能流量　：　１０-2 Pa･m3/sec
　※積分法で見ることも出来ます。有機色は青色で
　　　赤紫は空気です。

・カラーチェック　被試験物内部　：　大気圧
　被試験物外部　：　大気圧
　検出原理　　　　：　赤浸透液、白現像液の吹き付け
　プローブ　　　　　：　　−
　検知可能流量　：　１０-5 Pa･m3/sec
　※カラーチェック液など商品があります。穴の詰まり現象
　　　に注意が必要です。

・フロンポンピング法
　被試験物内部　：　大気圧
　被試験物外部　：　大気圧・加圧
　検出原理　　　　：　フロンＦＣ７８液のＦＣ４３液中での気化と発泡
　プローブ　　　　　：　フロン液
　検知可能流量　：　１０-6 Pa･m3/sec
　※ポンピングおよび加熱装置が必要です。

　それぞれ一長一短で、また、対象物から脱ガスする成分や
リーク検査を行う目的などにより上記以外の方法も検討する
必要があります。

リーク検査のことなら、川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。

TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉のお天気は？　
　８月１日　
　天気　晴れ
　ボンベ庫の温度　朝２５℃、昼３０℃、夜３０℃
です。
８月は葉月（はづき）と呼びます。
木の葉が紅葉して落ちる月とか、稲の穂が張る月とか
雁が初めて来る月の意や南方からの台風が多く来る月
の意などあるようです。

真空の漏れ検査（リークテスト）

アルミ製真空チャンバー

2007年7月11日 22:56

アルミ製真空チャンバーのご相談なら
川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。

ステンレスチャンバーの１/３の重量は、装置の移設やちょっとした
移動も簡単です。

外径寸法が W1600xD800xH800 のチャンバー本体重量が
ステンレス製で約９００ｋｇに対し、アルミ製チャンバー
の場合、３５０ｋｇです！

床の強度をそれほど気にせず大型真空チャンバーを
簡単に搬入、搬出が出来ることは見えない最高の
メリットです。

真空チャンバーの製作のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談ください。

TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉県川口市のお天気は？
　７月１１日
　天気　雨
　ボンベ庫の温度　朝２３℃、昼２３℃、夜２４℃
です。
宝島社　「ご当地バカ百景」より

埼玉県人は・・・、終電が早く、都内で１１時を過ぎたら一泊します。

とか

「うまい、うますぎる」と言われれば・・・、「十万石饅頭」と即答できる。

と解説。
面白いですね！！

アルミ製真空チャンバー

許容リーク量

2007年7月 1日 22:28

　真空装置や製品の漏れ検査を行うのに「リーク量」と
呼ばれる漏れ量で管理しています。

以下に各装置、各アプリケーションでの許容リーク量を
お知らせいたします。

簡単な減圧装置、ろ過装置、真空成型装置
１０ 〜 10 2 Pa･m3/s

減圧乾燥装置、含侵装置、真空輸送装置
１ 〜 １０ Pa･m3/s

減圧蒸留装置、真空脱気装置、真空濃縮装置
１０ -2 〜１０ -1 Pa･m3/s

分子蒸留装置、冷凍乾燥装置
１０ -4 〜　１０ -3 Pa･m3/s

真空冶金装置、簡単な蒸着装置、スパッタ装置
１０ -7 　〜　１０ -6 Pa･m3/s

加速器、高級な薄膜作成装置
１０ -9 〜 １０ -8 Pa･m3/s

大型の超高真空装置、表面分析研究装置
１０ -11 〜 １０ -9 Pa･m3/s

小型の超高真空装置
１０ -12 〜 １０ -11 Pa･m3/s

封じ切りの電子管
１０ -13 Pa･m3/s 以下

値を定めても、実務上では漏れを止める作業や
実際の漏れている箇所、部位を特定することが
とても骨の折れる作業です。

真空漏れの検査や検査冶具、検査装置の
ご相談は、川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご連絡ください。

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今日の埼玉のお天気は？
　７月１日　
　天気　曇りのち晴れ
　気温　２４℃
です。
昨日は、ひと月に二度の満月になる
「ブルームーン」だったそうです。
数多くあることでない自然現象を、神秘的な
表現で表している、とても人間的な言葉ですね。

許容リーク量

リーク量の単位

2007年6月30日 21:14

　装置や商品の容器が漏れのない構造かどうかを調べる際
リーク量という単位でその漏れの量を厳密に管理することが
行われております。

当然ながらその漏れの量は、自転車パンクの補修した後の
チューブを水没させ、出てきた気泡でチェックするなどという
レベルではなく、非常に少ない漏れの量をヘリウムリーク
ディテクターなどで検査します。

そのときの単位は・・・

Ｐａ・ｍ3／sec （パスカルリューベパーセカンド）

※旧単位
　Ｔｏｒｒ・Ｌ／sec（トールリッターパーセカンド）

などを利用します。

ほか単位換算値は以下の通りです。
１Pa･m3/s = 7.501 Torr･L/s = 9.87atm･cc/s
(同一温度にて）
１Torr･L/s = 1.316 atm･cc/s = 1 x 10 3 lusec
（同一温度にて）
１ std･cc/s　(0℃) = 1.073 atm･cc/s (20℃)

ヘリウムリークディテクターのご相談、漏れ検査などの
ご質問などお気軽にお電話ください。

川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉のお天気は？
　６月３０日
　天気　くもり
　温度　２２℃
です。
今日、日中さいたま市の小学校の校庭に
居りましたが、風がソヨソヨ、陽気も夏前
にしては涼しくとても気持ち良く過ごせました。
夜にはＴシャツ一枚で外を歩くのが寒いくらい
になっております。

リーク量の単位

真空フランジ

2007年6月22日 21:55

　真空フランジには幾種類かのタイプが存在します。
もちろん、その真空度によっては Ｒ や Ｒc （旧PTネジ）
のようなシールテープによるネジ込み継手で十分な
のものもありますが、一般産業用真空装置でもっとも
ポピュラーなのがＪＩＳ規格のＯリングシールフランジです。
　フランジ両面にＯリングを押しつぶして真空をシールします。
このときフランジの片面は、フラット（平滑）なＶＦフランジ。
もう片面はＯリング溝のあるＶＧフランジです。管理が行き
届いていれば高真空や場合によっては超高真空まで入れる
ことも可能です。
　ＪＩＳフランジと同じようにＯリングによりシールさせますが
フランジ間にセンターリングと呼ばれるリングを座金としＯリング
がそのセンターリングとフランジに押し当てられてシールする
ＮＷ（ＫＦ）フランジ（クイックカップリング）があります。主に
小口径の排気系やポートなどに利用される最も汎用性のある
真空継手といえます。低真空ポンプの吸気フランジに多く
利用されております。
　高真空領域ではおもに銅ガスケットをステンレスのフランジ側
から鋭利に突き出たエッジで噛み込ませてシールするＩＣＦ
（コンラットフランジ）が一般的です。２００℃程度の高温ベーキング
まで対応可能で超高真空には欠かせない真空フランジです。

真空フランジのご質問、製作品のご依頼までお気軽にご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
　６月２２日
　天気　くもりのち雨
　ボンベ庫の温度　朝２４℃、昼２４℃
です。
突然の電車架線事故で在来線が不通となり
ＪＲと並行して南北に走る幹線道路は軒並み
大渋滞を起こしていたようです。
災害時にはもっとすごいんだろうな〜
などとイメージしてみていました。

真空フランジ

トラブルシューティング　真空編

2007年6月 9日 21:57

「さっきまで何の異常も無く動いてたターボ分子ポンプが
　一度メンテナンスで停止させた後、正常に起動しなくなりました。
　何故でしょう？」

作業現場でそのようなことが実際ありました。

環境は・・・
・まったく同じ真空排気システム４セットのうち１セットだけ再起動しない。
・吸気している雰囲気は、空気でほぼ腐食系や反応性の汚れはなし。
・ＴＭＰ停止の際、大気突入した可能性はなし。
・機器購入約１年で、起動停止はほぼ無く連続運転で使用していた。
・電源、入出力制御機器は、正常に起動した排気セットと交換しクロス
　チェックしたが問題なし。
・真空排気セットの吸引側がチャンバー側（負荷側）より高真空で引かれて
　いることは無く、吸気メインバルブを閉じ補助ポンプから起動している。
・ＴＭＰはフィンがローテーションスタートするが、定常運転１００００Ｈｚに
　到達する遥か前の４０Ｈｚで頭打ちになってしまう。
・ＴＭＰコントローラーの、定常運転８０％運転に１５分以内に起動できず
　インターロックでエラーメッセージが出てしまう。
・ＴＭＰコントローラーの自己診断機能、過去１０回のエラー履歴には
　なにも問題と思われる記録は無し。
　
大前提の、電源コード、信号コード、配線間違いなど無いことを確認。

何故だ何故だ？

ＴＭＰ本体の故障と見て、メーカーサービスに現品確認を
してもらうしかない。そんな時、一点の基礎的な確認を
してみました。

ちゃんとＴＭＰを補助ポンプ（このときはＲＰ）で吸引しているか？

本来、真空であるはずのＲＰ直上のカットオフバルブＴＭＰ側
クイッククランプを外してみると・・・

大気でセンターリングＯリングが、ポロリと脱落。

結論：カットオフバルブの動作が不良でＴＭＰを補助引きして
　　　いませんでした。そのためＴＭＰは補助圧不足で起動で
　　　きませんでした。

　ＴＭＰメーカーサービスさんの説明でＴＭＰは補助引きなし
でも起動可能な機種であり、その場合の周波数が８０〜１００Ｈｚ
であると聞いてＲＰが補助引きされていないとは思いませんでした。

　動かない原因を、動かない機器自体に求めがちですが
外部要因、常識的な確認要素を改めてチックすることが
トラブル時の原則であると勉強しました。

真空排気セットのご相談、ＴＭＰ、ＣＲＹＯ、ＤＲＹ、ＲＰなど
各種真空ポンプご購入の機種選定など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご連絡ください。

ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願いいたします。

今日の埼玉のお天気は？
　６月９日
　天気　曇りのち雨
　気温　２１℃
です。
本日、夜に突如、突き上げるような揺れを感じるような
地震がありました。
そのとき、電話をしていた人間やテレビを見ていた者は
まったく気づいていませんでした。
逆に地震を肌で感じた者は、揺れが突き上げで大きく
感じたので、また来ないか心配していました。
認知したかどうかで、物事の見方、受け止め方は
まったく異なるものですね。
ともかく、大事が無いからこそ言えることです。

トラブルシューティング　真空編

乾式除害の中和反応

　毒性ガスの除害反応には以下のような除害剤による
化学反応を利用して無害化してます。

2AsH3+6CuO→2Cu3As+2H2O+H2
2PH3+6CuO→2Cu3P+3H2O+3/2O2
SiH4+2uO→SiH2O+Cu2O+H2
B2H6+3CuO→B2O33H2+3Cu
H2Se+CuO2→CuSe+H2O
GeH4+2CuO→GeO2+2H2+2Cu
Si2H6+3CuO→2SiH2O+Cu2O+Cu+H2
SiH2Cl2+2FeO→FeCl2+Fe+SiO2+H2
2HCl+CuO→CuCl2+H2O
2BCl3+3CuO→3CuCl2+B2O3
Cl2+CuO→CuCl2+1/2O2
2HBr+CuO→CuCBr+H2O
SiF4+2FeO→2FeF2+SiO2
2BF3+3CuO→3CuF2+B2O3
WF6+3FeO→3FeF2+WO2+1/2O2
F2+FeO→FeF2+1/2O2
3CO+Fe2O3→2Fe+3CO2
SO2+Fe2O3→2FeS+3O2

日々技術革新は進んでいます。
最新情報は各社除害剤メーカー様に
ご確認ください。

特殊ガス除害装置のご相談は
川口液化ケミカル株式会社まで
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よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　６月８日
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝２４℃、昼２７℃
です。
日々、ボンベ庫内の温度を社内で計測してます。
ここのところ、毎日の気温が徐々に上昇しているのが
わかります。

乾式除害の中和反応

真空容器の排気

2007年6月 6日 22:52

　真空容器（真空チャンバー）にどの程度の真空排気システム
を使用するか、どのように真空容器を製作するかで、到達真空度
到達時間などに差が出てきます。

簡単な計算では・・・

　容積 １Ｌ の真空容器（真空チャンバー）を １Ｌ/sec の真空ポンプで
排気すると、１秒ごとに圧力は、 1/3 となります。１０Ｌ の真空容器
を １L/sec のポンプで排気すれば、１０秒ごとに圧力は 1/3 となります。
そしてこの値は、決してゼロ（絶対真空）になることはありません。
　理論計算でいくと、１Ｌの容器を１L/sec の真空ポンプで３０秒も真空
排気すれば 10 -9Pa (10 -11 Torr) という超高真空に到達することが
できることになりますが、これは真空容器が完全無欠であって、真空
ポンプも完璧な場合ですが、実際に真空装置を動かしてみればわかる
ことですが、このようなことは有り得ません。
　完全無欠な真空容器（真空チャンバー）である要素を阻害する要因は

・漏れ（リーク
・透過
・真空容器内壁の吸着ガス
・表面の吸着ガス

などです。

　真空ポンプも到達真空度近くになりますと排気速度が小さくなります。
故に真空度が上がり難くなるのです。

　そうしたことから真空装置の排気時間は低真空（あら引き）まで数分から
１０〜２０分程度。メインポンプへ切り替えて高真空（本引き）に到達させる
には短ければ数分、長いと数時間かかります。

　「真空チャンバーと排気セットとの兼ね合いは、時間をかければリークが
なければいずれは高真空には到達します。」

真空チャンバーの製作、真空排気設備のご検討など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

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今日の埼玉のお天気は？
　６月６日
　天気　晴れ
　ボンベ庫の温度　朝２３℃、昼２７℃
です。
昨晩、午後六時より埼玉県が主催する社会人対象の
技能講習に参加してまいりました。
費用は数回の講習で数千円。
割安なこともありますが、仕事終わりに多くの方が参加され
募集人員を大幅に上回り抽選での参加でした。
参加された方の年齢は、３０代から６０代の方まで幅広く
また、一生懸命技能をスキルをあげようとされる参加者の方
の熱意を感じました。
講座内容も多種多様、ご興味あれば参加されてみてはいかがでしょう！

真空容器の排気

真空継手（ネジ部）

2007年5月18日 16:52

　真空機器や真空部品の継手部で、ネジ接合している場合があります。
低真空領域の配管部やベルト式（キニー式）ロータリーポンプなどは
竹の子（ホース継手）などになっており、その接続部はシールテープ
を巻いたR（旧PT)ネジなどの場合があります。
　ネジ接合の場合、低真空領域でも外部からの漏れが止まらない
場合があります。そんな時は、Oリングシールによる漏れ防止措置を
とらないとネジだけでは止まらないです。

特に写真のような太い径の場合は、ネジ＋シールテープでは
恐らくは止まりません。

Oリングの溝に当たり面を平滑にし、シールするのが正解です。

真空継手や真空部品の製作品など
川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。

TEL　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉のお天気は？
　５月１８日　
　天気　はれ
　ボンベ庫の温度　朝１９℃、昼２２℃
です。
川口そごうで新潟物産展が開催されております。
和ろうそく店の小池ろうそく店で、「絵ろうそく」を
販売しております。
昔から雪深い冬の時期、仏壇にお祭する花がないため
ろうそくに花の絵柄を手書きし生花の代わりにお供えした
ものです。
仏様の好きな花の図柄ろうそくに、火を灯すと溶けてなく
なるとき、煙が仏様のもとに届くと信じられているそうです。　

真空継手（ネジ部）

安全増防爆仕様電動機

2007年3月28日 20:58

　ガスの排気ダクト用ブロアーや真空ポンプなど電動機が付属する
機器を、危険な環境（爆発性ガスや引火性蒸気などが発生する恐れ
のある場所）で使用できる「安全増防爆型モーター」などを搭載した
特別仕様品があります。
　周囲温度の上昇による危険、損傷などに対して絶縁性能などの
安全性を高め、絶縁充電部分が外部から接触できず、埃も入らない
全閉構造です。

そもそも、防爆構造とは？

「電気機器を可燃性ガスや引火性蒸気などの危険雰囲気中で使用
しても、その機器が引火、発火、爆発などの事故の原因とならない
構造をいいます。 モーターの防爆構造には「耐圧防爆構造」、「内圧
防爆構造」、「安全増防爆構造」の３種類があって、「安全増防爆型
モーター」はこのうちの安全増防爆構造です。 （通称：あんまし）
　安全増防爆構造とは、電気機器が正常に運転している場合に火花
、アークまたは過熱を生じてはならない部分にこれらの発生を防止する
ため、温度上昇について特に安全度を増した構造のことをいいます。

尚、爆電気設備に関する詳細につきましては、独立行政法人産業安全
研究所発行の「工場電気設備防爆指針」をご参照ください。

　特別仕様品ですので、ものすごく高価なものですし、規格商品も限られた
種類のみです。あまり小型のモーターなどは真空ポンプ用ではございません。

　安全増防爆仕様の排気ダクト・ブロアー工事や、反応性の高いガスなどの
排気用真空ポンプなど川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。

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よろしくお願い致します。

今日の埼玉川口のお天気は？
　３月２８日
　天気　晴れ
　ボンベ庫の温度　朝１１℃、昼１７℃、夜１６℃
です。
首都高神奈川１号横羽線高架上から見下ろせる位置で
大規模な道路工事が進められてます。
詳細は分かりませんが便利な道路が出来るのでしょうね。

安全増防爆仕様電動機

真空機器のヘリウムリークテスト

2007年3月22日 22:10

　真空機器や真空チャンバー、溶接加工品の漏れ検査は
ヘリウムリークディテクターによるリークチェックが確実です。

　ディテクターだけでは大型のチャンバーなどは所定の計測真空度
に達することが出来ません。
　そのような場合には、別途排気セットが必要です。弊社協力工場
ではヘリウムリークディテクターから真空排気セットまでご用意し
漏れ検査を行うことが出来ます。

真空、溶接製作品、チャンバーの漏れ検査などのご相談は
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

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今日の埼玉のお天気は？
　３月２２日
　天気　はれ
　ボンベ庫内の温度　朝８℃、昼１３℃、夜１２℃
です。
気温が二桁台になってきましたね。

お彼岸のお墓参りは、総合墓地などでは
車は渋滞、休憩所も満席と行楽地並ですね。

真空機器のヘリウムリークテスト

軸動式ドライポンプ

2007年2月20日 23:08

　小型真空ドライポンプ（４０Ｌ／ｍｉｎ）タイプのご紹介です。
小型で持ち運びが容易。構造が単純ですので用途もさまざまな環境で
お試しいただけます。

価格　　　　１台　￥６０，０００−（税込み）
型式　　　　ＤＰ−４０Ｖ
排気量　　　３７／４０ L/min
到達圧力　−６８０ｍｍＨｇ
電源　　　　１００ ｏｒ ２００Ｖ
出力　　　　２００Ｗ
寸法　　　　W140 x D202 x H192
重量　　　　６．５ｋｇ
吸排気口　Rc１／４

他にも
排気量で　77/90,95/105 L/min ( 50/60Hz ) などのラインナップがございます。

小型軸動式ドライポンプのお問い合わせのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談
ください。

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今日の埼玉のお天気は？
　2007年2月20日
　天気　くもり時々雨
　ボンベ庫内の温度　朝６℃、昼６℃、夜６℃
です。

朝昼晩のボンベ庫内温度が初めて同じでした。

ビンゴです！

人生の格言
大自然の教えとは？
「動物はほんとうに気持ちのいい友達である。
　彼等はいかなる質問もしないし
　いかなる批評もしない。」
（ジョージ・エリオット）

軸動式ドライポンプ

真空ポンプシリーズ　ソープションポンプ

2007年2月19日 22:13

真空ポンプシリーズのソープションポンプを紹介いたします。

　構造はいたって単純です。吸気するためのフランジから袋小路の
容器中にガスを吸着する材料を入れて低温に冷やすことでガス体を
真空排気します。
　容器内の材料は、主に活性炭やモレキュラシーブス（ゼオライト）
などの多孔質物質を−１９７℃まで低温にすることで物理吸着させ
ています。構造が非常に単純な容器と吸着剤だけですので、大気圧
雰囲気から排気することが可能です。また、駆動部が無くオイルも使用
していないので広帯域でドライな真空が確保できます。
　その反面、水素やヘリウム、ネオンなど排気能力は望めません。また
溜め込み式ポンプの宿命である吸着剤の再生が必要ですので、大気圧
で常温以上に一度戻す必要があります。
　主なアプリケーションは、油の蒸気を嫌う環境や、分析装置などで使用
されております。

液体窒素や電気式の冷凍機などを利用したコールドトラップなど
オリジナルの設計製作もご相談ください。

川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ　０５０−８８８１−７３９３

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今日の埼玉のお天気は？
　2007年2月19日
　天気　晴れ
　ボンベ庫内の温度　朝５℃、昼８℃、夜８℃
です。

日向の屋外より、日陰の屋内が冷え込むようです。

風邪にご注意ください。

人生の格言
大自然の教えとは？
「木は神聖なものである。
　木と話し、木に耳を傾けることを知るものは
　真理を知る。
　木は教義も処方も説かない。
　木は個々のことにとらわれず
　生の根本法則を説く。」
（ヘッセ）

真空ポンプシリーズ　ソープションポンプ

フィッティング

2007年2月13日 22:50

　昨日ご紹介した真空用ブルドン管式圧力計の接続継手（フィッティング）は
Ｒ１／４"（ＰＴ１／４"）です。

参考写真：真空用圧力計のオリフィスは極めて小さなものです。
　　　　　　　φ０．１くらいでしょうか？

　これを真空容器なり真空配管と接続するためには真空フランジとの
接続継手を介して繋げる必要があります。

そのためには真空フランジｘＲ１／４"の異形継手が必要です。

ＮＷ（ＫＦ）、ＪＩＳ、ＩＳＯ−Ｋ、ＩＣＦ、Ｃリングシールなど真空継手と
一般的なガス用継手である　Ｒ、Ｒｃ、Ｇ、ＵＮＦ、ＳＷＬ、ＶＣＲ、ＵＪＲ
などのガス用継手との変換継手の製作のことならご相談ください。

Ｂｓ、ＳＵＳ、Ａｌ、Ｃｕなど各種金属製継手を１個から製作いたします。

川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉のお天気は？
　2007年2月13日
　天気　晴れ
　ボンベ庫内の温度　朝５℃、昼８℃、夜８℃
です。

日中、屋外は直射日光で体を動かすと暑いくらいですが

屋内はじっとしていると思った以上に寒いものです。

やはり真冬ですね。

インフルエンザなど風邪に注意しましょう！

人生の格言
大自然の教えとは？
「雑草とは何か？
　その美点がまだ発見されていない植物である。」
（エマーソン）

フィッティング

圧力計（負圧・真空領域）

2007年2月12日 21:51

　上の写真に表示されている状態（数値）は、何の負荷もかかっていない
大気圧状態の表示値　０．１ＭＰａ　です。

おかしいと思いますか？

おかしいと思われた方は、ゲージ圧の圧力計換算で考えられたからです。
写真は、絶対圧の圧力計での大気圧　１ａｔｍ　を　０．１ＭＰａ　と表しているのです。

ちなみに、絶対圧でのほかの単位のとの換算値は？
１ａｔｍ　＝　０．１０１３２５ＭＰａ　＝　１．０３３２ｋｇｆ／ｃｍ２　
　＝　７６０Ｔｏｒｒ（ｍｍＨｇ）　＝　１４．２２ｐｓｉ
です。

　ゲージ圧での圧力換算は？
１ａｔｍ　＝　０ＭＰａ　＝　０ｋｇｆ／ｃｍ２　＝　０Ｔｏｒｒ（ｍｍＨｇ）
です。

　あたまがコンガラガッチャいそうですが、落ち着いて考えれば分かります。
まとめて換算すると難しかったりしますが、１対１の単位だと分かりやすいです。

真空、ガス、低温機器のご相談は
川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談ください。

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　2007年2月12日
　天気　晴れ
　気温　５℃です。

　スポーツをするには、最高の天気でした。

近所を自転車で走りましたが、それぞれの小学校の校庭では

少年サッカーの試合が盛んに行われていました。

人生の格言
大自然の教えとは？
「蟻の共和国と蜜蜂の王国に学がよい。
　蟻は富のすべてを共同に分け合い
　政府はなくとも混乱を知らない。
　蜜蜂は君主の支配はあっても
　つねに個々の家と財産を保持する。」
（ホープ）

圧力計（負圧・真空領域）

水封式真空ポンプ

2007年2月10日 22:07

真空ポンプのご紹介です。

真空ポンプ　名称
「水封式真空ポンプ」

機構原理
　円形ケーシングと羽根車とで構成されるポンプです。
羽根車はケーシングと偏心した位置に取り付けられて
います。
　ケーシング内に封水を入れては羽根車を回転させると
封水はケーシング内壁に沿ってリング状となり、羽根車
の羽根によって囲まれた空間は回転することにより吸入
・圧縮・排気の作用が連続て行われるものです。

　長所としては水蒸気や水滴を含んだ期待の廃棄に最適
で、オイルによる汚染の心配がありません。その反面水の
蒸気圧分しか到達圧力が確保できないため真空排気アプリ
ケーションは限定されます。
また、水温によって排気量や排気速度の違いがでます。

　水を排気する必要のある「真空脱水脱気」「真空乾燥濃縮」
「真空移送」「工場のユーティリティーとしての真空源」などに
使用されております。

真空ポンプ、真空排気装置、真空配管などのご相談は
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。

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今日の埼玉のお天気は？
　2007年2月10日
　天気　曇りのち雨
　気温　９℃
です。

夜、雷の大きな音が鳴り響きました。

梅雨や夏のような雷鳴です。

人生の格言
大自然の教えとは？
「われわれすべて自然を鑑賞することばかり多く
　自然と共に生きることがあまりにも少ないうよに
　思われる。｝
（ワイルド）

水封式真空ポンプ

真空部品　溶接加工

2007年1月28日 23:07

　ステンレスやアルミの真空部品の溶接加工のことならお任せください。
用途を考え溶接方法や溶接後の洗浄処理・脱脂処理・リークテストまで
行ったうえで製品を出荷いたします。

※NW16センターリングにステンレスメッシュを溶接した部品です。

真空チャンバー、真空フランジ加工、真空溶接加工など
溶接加工品のことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談ください。

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よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は？
　2007年1月28日
　天気　晴れ
　気温　５℃
です。

JR浦和駅の再開発が着々と進んでいます。

京浜東北線の高架化や東口駅前にパルコデパートの

大きな建屋が姿を現しつつあります。

人生の格言
大自然の教えとは？
「自然はやさしい案内者である。
　賢明で、公正で、しかもやさしい。」
（モンテーニュ）

真空部品　溶接加工

ＣＥマーキング

2007年1月 2日 19:15

「ＣＥマーキング」をご存知でしょうか？

　特に真空機器などでＣＥ規格に準拠しているかどうかの問い合わせ
をいただく機会が多くなってきております。

ＣＥマーキングとは・・・
　製造者や輸出者が製品に表示することでその製品がＥＵ（欧州連合）
ＥＣ指令（EC Directive）に適合していることを表すもので、ＥＵ地域内で
販売される指定製品に貼り付けが義務づけられています。欧州共同体
フランス語読みの「Communatue Europeenne」 に由来しているそうです。
　
　ＣＥマークは、欧州共同体閣議理事会からＥＣ指令が出されるもので
産業機械、圧力容器、医療機器などなど人間が使用する安全であるべき
製品に対して、その第三者機関である公認適合照明機関が認めたことを
示すものです。
　ちなみにＣＥ指令は、玩具指令、ＥＭＣ指令、低電圧指令、機械指令
医療器機指令、防爆器機指令など、必要とされる技術指令としてＥＮ
（欧州規格）のリストとして明記されています。細かくは 日本輸出機械組合
JETRO などのサイトを参照ください。

ある日突然、輸出業務に関わることになりましたら困りますよね。

ガス機器・真空器機のお問い合わせは
川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談ください。

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ありがとうございます。

よろしくお願い致します。

今日のお天気は？
　2007年1月2日
　天候　くもり　
　気温　１１℃
です。

新潟地方に出掛けましたが

雪が非常に少ないです。

ちなみに新潟は本日、雨でした・・・

人生の格言
人間の哀しさとは？
「人間の本能は「善」である。
　なぜなら人間は忘れっぽく、怠け者で軽々しく信じ
　浅薄であるからである。」
（ヴァレリー）

ＣＥマーキング

Ｇａｓ　Ａｎａｌｙｓｉｓ　Ｍｅｔｈｏｄ

2006年12月29日 20:58

真空中の微量なガスを分析する方法のご紹介です。

　四重極型質量分析計＝分圧真空計　と呼ばれるものです。
この分析計は、イオン電源部、フィルター部、検出部から構成
されております。

　まず気体の分子を電離させて、次のフィルター部へと効率良く
導いてゆくイオン源部。受け取った質量を質量÷電荷比に従い
分離させるフィルター部。更にはフィルタ部を通過してくるイオンを
測定する検出部の３部構成です。
　細かくは、フィルター部分で平行に配置されている円柱状の
電極から出来ていて（これが四重極の由来）、入射してきたイオンの
中で必要のないものを振るい落としてしまう働きをするので、この種の
質量分析計をマスフィルターなどと呼んでいます。

分析値として質量スペクトルが図式化され、水素、窒素、一酸化炭素
アルゴンなど一般的に多いガスは現れやすいものです。

真空技術の応用例の一つですが、ここの辺りは分析技術自体を
研究する部署や部隊があるほど最先端の分析方法を競い合っている
そうです。

真空排気系や真空測定機器、真空チャンバーの製作についての
ご相談は、川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。

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今日の埼玉県川口市の朝８時３０分のお天気は？
　2006年12月29日
　天気　晴れ（強風）
　ボンベ庫内温度　５℃
でした。

今日で仕事終わりとなりました。
今年一年間お世話になりました。
ありがとうございました。

来年もよろしくお願い致します。

人生の格言
人間のすばらしさとは？

「人間は自由であり
　つねに自分自身の選択によって行動すべきものである。」
（サルトル）

Ｇａｓ　Ａｎａｌｙｓｉｓ　Ｍｅｔｈｏｄ

オイル漏れ

2006年11月18日 22:39

真空ポンプの代表格である「ロータリーポンプ」は
その構造上駆動部が劣化し、オイル漏れを起こします。
使用頻度にもよりますが、数年するとオイルの劣化とともに
真空を作るためにポンプ内壁に押し付けられているベーン
といわれる消耗部品がこすれてくると、真空度、排気スピード
などに影響が現れます。
そしてケーシングシール部分が劣化すると、ポンプからオイル
漏れが起こり床が油でベタベタになる症状現れるのです。

この写真は、アルカテル製２０２０AC型のオイル漏れした内部の様子です。

次の写真は、ライボルト製ＥＤＭ６型のオイル漏れ状態です。
ねずみ色にオイルが汚れているところから、かなり磨耗部品が
擦れるなりして褐色のオイルがここまでの色になったと思われます。

最後に、エドワーズ製Ｅ２Ｍ４０型ポンプの症状です。
見た目、かなりヤバソウです！
（エイリアンが出てきそうです・・・。）
かなりケミカルアタックの強いガスなり反応性の強い材料を
吸引しているポンプのようです。
このオイルの色も、ポンプの故障がダメージ大きいことが
容易に想像できます。

修理部品をメーカーが供給していただけるだいたいの機種
メーカー品は、オイル漏れ、オーバーホール対応いたします。
（例：アルカテル、エドワーズ、ライボルト、大亜、島津、アルバックなどなど）

オーバーホールの詳細説明は、以下のページをご参照ください。
http://www.klchem.co.jp/vacuum/vac_6_3.html

ロータリーポンプオイル漏れの修理・オーバーホールは
川口液化ケミカル株式会社までお問い合わせください。
油まみれのポンプを引き取り、修理して性能試験表と伴に
納品いたします。
（クリーンルームなどでも可能です）

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よろしくお願い致します。
ありがとうございます。

人生の格言
運命を切り開く言葉とは？

「山に近ければ山を食い
　　　海に近ければ海を食う」
（中国のことわざ）

　現在自分が置かれている状況を知り
その中で得られる最良の条件を活用して生きていくのが
幸福への近道といった意味でしょうか。

オイル漏れ

絶対圧とゲージ圧

2006年11月15日 23:58

　真空の単位には絶対圧とゲージ圧と呼ばれる単位があります。
ゲージ圧は大気圧を中心（ゼロ）として正（プラス）側の圧力
（大気圧以上の圧力）と負圧側（マイナス）の圧力（大気圧以下
の圧力）とに分けて使います。
　正の圧力は無限大に広がりますが、負の圧力は真空から
大気圧までの間の圧力を示します。ゲージ圧は主に圧空の分野で
使われています。
　もうひとつの絶対圧はゲージ圧の基本値である大気圧が場所や
時間によって変動するため、正確な比較はできませんが、大気圧が
標準大気圧の時には、換算できます。
この二つの単位系を比較すると現実的な数値の比較が可能となります。

　要は、圧力計の数値は、大気圧　1atm（アトム）を考慮せず、ゼロと読む
ことが実態とそぐわないことから誤解を生じているのです。
　大気中は、現に圧力がかかっており、１atm=760Torr なのです。
ご注意ください。

真空、ガス機器のご相談は川口液化ケミカル株式会社まで
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人生の格言
運命を切り開く言葉とは？

「人の運命を決定するものは、その人が
　自分自身をいかに理解しているかということである」
（ソロー）

絶対圧とゲージ圧

真空計の構造　Part１５

2006年11月 7日 22:01

真空計シリーズの最終回です。
高真空領域のゲージのご紹介です。

高真空ゲージ
・裸真空計
　Nude gauge
・軸対称透過型電離真空計
　Axial-symmtetric transmission gauge
A-T gauge
Hot cathoude ionization gauge

先ずは、「裸真空計」　からのご紹介です。
ヌードゲージと呼ばれる接続フランジからチャンバー側へ
フィラメント、イオンコレクタ、グリッドなどが裸の状態で
挿入されていることからそう呼ばれています。
　ガラス球やコレクタシールドなど存在しないため
感度が優れています。その反面、真空装置系側で発生する
電子やイオン、ゲージ自体から発する電子、イオン、熱影響など
受けやすい真空計です。センサー部が露出しているので
取り扱いに注意を要するゲージです。

次は、「軸対称透過型電離真空計」　です。
名称自体の軸対称形のエネルギーフィルターをイオン化室と
集イオン電極との間に配置しており、気体のイオン電流を電子
励起脱離イオン電流から区別して、測定可能な圧力限界を
低減化し、極高真空の測定を可能にしています。
電子励起脱離イオンは、集電子電極に電子が入射したとき
表面に吸着していた原子、分子がイオン化し、中性子として
脱離する現象です。
集イオン電極に入射したイオンは、本来の気体イオンと
区別できず限定下限をきめる要素となっています。

以上、真空計シリーズ最終回でした。
いろいろな真空計があり、低真空から高真空、果ては極高真空まで
数種類の真空計を複合的に切り替えながら真空状態を測定する
ことが必要なことは、これまでの各種のゲージの紹介内容で
ご理解いただけるのではないかと思います。

更に、製品の改良や精度の向上など目に見えない
進歩も目覚しいものがあります。
最近では、非常に安価な残留ガス分析計も登場し
ディテクタ代わりに使用するなどといったことも可能になりつつあります。

真空計でチャンバー内の真空度を計測する際には
適した真空ヘッドを選択することが必要です。

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運命を切り開く言葉とは？

「運命に向かい喚き、罵しりてなんの利益ありや
　運命はつんぼなり。」
（エウリピデス）

真空計の構造　Part１５

真空計の構造　Part１４

2006年11月 6日 22:16

高真空領域のホットカソードイオンゲージのご紹介です。

ペニングゲージの冷陰極電離真空計に対する、ホットカソード
熱陰極電離真空計です。
前述のB-A（ベアード・アルパート）真空計と同類です。

Hot cathode ionization gauge ２種類
・三極管形電離真空計
　Trode Gauge
・シュルツ真空計　
　Shulz Gauge

先ずは　「三極管形電離真空計」　です。
ガラス球ゲージヘッド内にイオンコレクタシールドが巻かれており
その内部にグリッドをフィラメントが周回してます。
その熱陰極から放出された電子によって気体を電離して
生成されたイオン電流を測定して圧力を求めます。
通常、測定球は三極管構造となっていることから
真空計の名称にもなっております。
　高真空領域ではポピュラーなタイプではありますが
・気体の種類により感度が変化すること
・ガスの吸着などによりフィラメントが消耗し感度が落ちる
・電極と管壁の脱ガス（デガス）操作が必至である
・フィラメントの断線に注意する
など操作方法には注意が必要です。

次に　「シュルツ真空計」　です。　
　構造は三極関係、B-Aと同様ですが、圧力測定範囲を
上限側 １００Paまで広げたワイドレンジタイプです。
ガラス球内に、陽極（集電子電極）とイオンコレクタ（集イオン電極）
の薄板が２〜３ｍｍの間隔で置かれており、その間にフィラメントを
走らせています。
イオン化空間を狭くしているので、感度自体は他の熱陰極に譲りますが
測定範囲が １００〜 １０ -4Pa と広いので、スパッタプロセスなど
モニタリング用として適当です。

次回は真空計最終回です。

真空機器、真空チャンバー、ステンレス・アルミチャンバーなど
どうぞご相談ください。

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運を切り開く格言とは？

「運命は神の考えるものだ。
　人間は人間らしく働けばそれで結構である。」
（夏目漱石）

真空計の構造　Part１４

真空計の構造　Part１２

2006年11月 4日 21:48

真空計の構造をご紹介するシリーズ１２回目。
本日は、低真空領域最後のゲージです。

「熱伝対真空計」　です。

ピラニ真空計と同じように、通電加熱した金属細線の
熱伝導変位を測定し真空度を測定するものです。
外観上は、T字状のガラス管です。
一方向は真空装置側へ接続し、対になっている直線方向に
抵抗の温度変化が少ないニクロム線や白金などを使用しています。
この細線の真ん中あたりに熱伝対を溶接し一定電流で
加熱し温度変化の様子を観察するのです。

この真空計は、低真空から中真空領域での用途に適し
壊れにくく安定性もあります。
ただし、数値は正確ではなく圧力の目安となる程度の
ものとお考えください。

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「運命の中には偶然はない。
　人間はある運命に出あう以前に
　自分がそれを作っているのだ。」
（T･W・ｳｨﾙｿﾝ）

真空計の構造　Part１２

真空計の構造　Part１１

2006年11月 3日 21:43

クリスタル真空計をご存知でしょうか？

音叉形の水晶振動子の共振状態における
交流インピーダンスが圧力に応じて変化するという
現象を利用している真空計です。
電極は、Au・Crが利用されています。
英文名：Crystal gauge (Viscosity gauge)

ピラニゲージと比較して、大気圧から １０ -2Pa までの
広範囲な測定が可能です。また、その値は直線的に
測定されます。熱伝導真空計のような発熱部（熱源）を
持たないので真空排気系との影響が少ないので、大気圧
近辺の真空度で対流などの影響を受けにくい構造です。
更には、再現性に優れ、温度変化やガス（気体）の流れに
対しても安定しています。

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「われわれの運命は、前進することにある。
　それぞれの社会においては、その一つ上のものへと
　進歩せずにはおかない。」
（フーリエ）

真空計の構造　Part１１

真空計の構造　Part１０

2006年11月 1日 22:48

真空計のご紹介も１０種類目です。
本日は、「スピニングローター真空計」です。

スピニングローター真空計
またの名を、粘性真空計といいます。
英文名 Spinning Rotor Garuge(Viscosity gauge)

真空計測するチャンバーに接続するフランジ中心部から
直線方向に空間があり、その周りを水平位置コイル
磁化ベクトル検出コイル、駆動コイル、垂直位置補正コイル
などに囲まれており、鋼製ローターが回転します。
この回転体が気体中で粘性抵抗による回転減衰を測るものです。
鋼管パイプ内の鋼球を磁気浮上させ高速回転して、停止させ
回転数の減衰時間から圧力を求めるのです。

鋼球の表面状態が安定であれば、基本物理量の測定から
圧力を決定できる真空計ですので、真空二次標準器としても
利用されているようです。
ただし、いいことづくめでもなく、温度、振動には弱く、価格も
割高なため通常の真空計としての利用は一般的には難しいようです。

真空計のご用命は、川口液化ケミカル株式会社まで
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「汝の運命の星は汝の胸中にあり」
（シラー）

真空計の構造　Part１０

真空計の構造　Part９

2006年10月30日 22:32

　真空計のご紹介も9種類目です。
かなり汎用性の低い特殊な真空計のご紹介となりますが
大変恐縮ですが、私自身の勉強を兼ねてお知らせさせて
いただきます。

本日は「マクラウド真空計」のご説明です。

マクラウド真空計は、またの総称を圧縮真空計といいます。
英文名では McLeod gauge (Compression gauge) です。

外観上は、最下部にガラス球が位置し、その上へガラス細管が
２系統立ち上がっています。ガラス管途中で直線部の水銀が
上下する差異を測定し真空度を計測します。

実際の原理は、気体が正確な倍率で水銀により圧縮され
液面の差から圧力を測定します。ボイルの法則で元の圧力を
求める真空計で、圧縮比を高めると 10 -3Pa まで測定可能です。

特徴としては、基本物理量の測定から全圧測定できますので
他の真空計の校正基準器として利用されます。
ただし、凝縮性のガス体は計算不可能ですし、構造が複雑なため
測定には経験が必要です。
測定自体も連続的に行えないため現場作業には向きません。

真空計シリーズはこのあと高真空計対応機種へ移っていきます。

真空計のご相談ご検討の際の機種選定など
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人生の格言
運命を切り開く言葉とは？

みんなが「不景気だ不景気だ」というときは、まだ不景気
ではない。みんなが「もうダメだ」と思ったときが、本当の
不景気なんだ。
（松下幸之助）

真空計の構造　Part９

真空計の構造　Part８

2006年10月29日 22:05

　真空計の構造で、最も単純明快、簡単なもので
マノスターゲージのご紹介です。

Ｕ字管真空計（液柱差真空計）
U-tube manometer(Liquid level manometer)

ガラス製のＵ字管の一方の端を真空に排気して
封じた差圧計です。
液柱の高さを実測して真空度を測ります。
作動液は通常比重の大きな水銀を用います。

この方法も、構造が単純なためガス種による差異はなく
圧力が絶対測定できます。その反面、温度や重力の影響を
受けますので補正が必要です。更には毛管現象で作動液面が
曲面なので液柱差の読み方に測定する個人差がでないよう
注意したいものです。

この真空度圧力計も大気圧に近い低真空計であることから
プラス圧のガスでも燃料ガスなどの気密テストなどに多用され
ております。

真空計・ガス圧力計のお問い合わせは
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運命を切り開く言葉とは？

「人間は毅然として現実の運命に耐えていくべきだ。
　そこにはいっさいの真理がひそんでいる。
（ゴッホ）

真空計の構造　Part８

真空計の構造　Part７

2006年10月28日 22:53

　真空計でもあり、正圧の圧力計でもある
ブルドン管真空計のご紹介です。
皆さんがよくご覧になられる圧力計ですと
タイヤの空気圧を確かめるゲージなどありますが
それと真空用途用でも構造は同じです。

ブルドン管真空計（弾性真空計）
英文名：Bourdon gauge(Elestic element gauge)

楕円断面の中空管（これをブルドン管といいます）を
コイル状に曲げて（240度くらい）末端は行き止まりに
なっています。
圧力が変化することで、ブルドン管が伸び縮みしますので
それを機械的に増幅して圧力計の指示する針に表して
いるのです。
このときご注意ください。ブルドン管式圧力計は、正圧用
（大気圧以上のプラス圧力）は真空用に使用しますと壊れます。
また、真空用を正圧に使用しても壊れます。
特に真空用のブルドン管は壊れやすいので注意してください。
また、正圧用の場合装置側などで正圧のガス圧以下で真空引き
されることなどあります。そうした場合は、プラス圧だけでなく
真空領域まで使用できるマイナス表記がある連成計付きを
選択するようにしてください。

この真空計は、他の真空ゲージと異なり頑丈ですので生産工程でも
多く利用されています。また、ガス種による指示値の違いはありません
ので、ゼロ点あわせの圧力校正（トレーサビリティ）さえ取れていれば
汎用性の高い真空計として使用できます。
ただ、振動に弱く、運転操作を誤って一気に大気突入したり、真空引きも
急激に行うと指示値が狂う可能性もあります。ご注意ください。

圧力計（真空用・ガス圧用ともに）のご用命は
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
多種多様なブルドン管式圧力計が世の中には存在しますので
お客様のご希望とする圧力計を機種選定しお薦めさせていただきます。
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