真空機器
SEM･TEM･FIB 周辺機器
2010年9月 2日 21:31
ＳＥＭ／ＴＥＭ／ＦＩＢ周辺機器のご紹介です。
ﾓｼﾞｭﾗｰｺｰﾃｨﾝｸﾞｼｽﾃﾑ Q150Tseries by 英国ｴﾐﾃｯｸ社製
FE-SEM アプリケーションに適した高性能超微細コーティングシステムです。
高真空排気に70L/sec 空冷ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟを搭載し、すべてのコンポーネント
を頑丈なモールドケースの中に納めました。自動流量調整器により選択可能な
最適コーティング環境を作り出します。コーティング後の真空保持機能、膜圧計
による膜圧制御が可能です。交換可能なヘッド部をお選びいただくことで、スパ
ッタコーティング、カーボンおよびメタルエバポレーションが行えます。
高性能 Cryo-SEM 装置 PP3000T by 英国ﾎﾟﾗﾛﾝ社製
液体を含む試料や電子ビームダメージを受けやすい試料を凍結させSEM観察
を行う装置です。精密なガス流量調整機能やCryo-SEM に最も必要な温度コント
ロール機能を重要視した設計がなされています。試料をより自然の状態に保ちSEM
観察を行うPP3000T装置は動植物、医療、食材、ポリマー、塗装、温度上昇に敏感
な半導体材料などの測定に活用されています。
ｶﾞｽｲﾝｼﾞｪｸｼｮﾝｼｽﾃﾑ OmniGIS by 米国Omniprobe社製
OmniGISは、FIB装置、電子顕微鏡や真空装置の最新ガスインジェクションシス
テムです。主なアプリケーションは真空装置内でのALDアプリケーション、SAMS
アプリケーション、ガス導入による表面状態観察、Ptデポジション、Wデポジション、
SiO2デポジション、Cデポジション、ナノリソグラフィーなど。
SEM Picolndenter PI85 by 米国HYSITRON社製
SEM装置内でナノメカニカル試験の直接観察を可能にした世界初の完全独立
型深さセンシングインジケーター装置です。試料の変形や破壊といった機械特性
の過程の測定が行えます。この画期的な能力によりナノインテグレーション中の
マイクロストラクチャーのより進化した研究を可能にします。
電子検出器 Generation5 by 英国KEﾃﾞﾍﾞﾛｯﾌﾟﾒﾝﾂ社製
STEM検出器は明視野、暗視野イメージを表示します。BSD検出器では、優れた
解像度0.1Z(Z=30にて)で４分割検出器、ブロードバンドTVオペレーション、低ノイズ
スロースキャン、その他プローブカレントメーター、IRチェンバースコープなどです。
真空マイクロウェーブプロセッサー H2850 by 英国ｴﾐﾃｯｸ社製
±0.5℃の温度制御で、真空排気及びガス導入が可能な多目的真空・ガスポート
を搭載し、40通りのプログラム処理の登録が可能です。主なアプリケーションは、着
色、攪拌、脱泡、硬化です。
ﾏｸﾞﾈﾃｨｯｸﾌｨｰﾙﾄﾞｷｬﾝｾﾘﾝｸﾞｼｽﾃﾑ SYSTEM SC22 by SPICER CONSULTING社製
電子線を使用する装置周辺を安定した磁場環境に保つ磁場遮断装置です。
ACフィールドのモニター及び遮蔽、ローコスト、ハイパフォーマンス、自動化された
遮蔽条件設定、0.5Hz～5kHzのACフィールドに対応、3軸(X,Y,Z)フィールドモニター
ｸﾘｽﾀﾙ・ｺｰﾙﾄﾞｶｿｰﾄﾞｺﾝﾋﾞﾈｰｼｮﾝｹﾞｰｼﾞ CC-10 by 東京電子製
CC-10は、最新のセンサー技術を取り入れ12桁の圧力範囲（1.0x10-7Pa～
1.0x105）の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。
大気圧から1Paまでは、クリスタルゲージ、1Paから10-7まではｺｰﾙﾄﾞｶｿｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
を使用し測定します。センサー、回路部、ディスプレー一体型により、本製品のみで圧
力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。また、CC-10は、デジタル通信
RS485を標準装備し、欧州規格EN(CE)に対応しております。CC-10はRoHS規格に
準拠した環境に優しい製品です。
小型プローブカレントメーター PCM by 英国ﾃﾞﾍﾞﾛｯﾌﾟﾒﾝﾂ社製
電池駆動式でピコアンペア測定が可能です。サイズ130mm(W)x70mm(H)x115mm(D)
内蔵電池単三ｱﾙｶﾘ電池4本、1pA～2μAを5レンジ 誤差±2～5%(f.s)で3.5桁表示します。
自動ゼロ点調整（残差25℃にて5pA以内、100μA以上の過電流にも耐える入力設計です。
ガス・真空・低温を利用したオーダーメイド機器の設計、製作、改造、修理まで
川口液化ケミカル株式会社へご連絡ください。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
9月2日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝30℃、昼34℃
です。
「貧乏と、屈辱と、嘲笑と、そして明日の望みのなくなったときこそ
初めて我々は人生に触れるのだ」
「人間は調子のいいときは、自分のことしか考えないものだ。
自分に不運がまわってきて、人にも世間にも捨てられ、その日その日の
苦労をするようになると、はじめて他人のことも考え、見るもの聞くものが
身に滲みるようになる」
山本周五郎著 柳橋物語より
ｂｙ との
クランプチェーン VACOM社製真空部品
2009年11月19日 18:31
ドイツバーコム社製クイックＣＦ（QCF）コンポーネント＆クランプチェーン（VaCFix）
真空部品のご紹介です。
このＱＣＦフランジは、ＶａＣＦｉｘチェーンクランプで締め込みますので、従来のコンフ
ラットフランジ（ICF）のようなボルトナットは不要です。トルクレンチなどの締め付けトル
ク管理を行うことで、ボルト締めのウィークポイントである片締めや締めすぎなどの問
題もなく安心してご利用いただけます。
超高真空装置で要求されるリークレート≦ 1.33 x 10 -11Pa・m3/sec やベーキング
処理温３５０℃にも対応し、汎用の銅ガスケットがそのまま使用できるようＱＣＦフランジ
は規格化されております。
このＱＣＦコンポーネントを利用することで、取付が簡単になり、省スペース化が可能
です。既存の装置の中でも取外し頻度の多いポートや、ボルトナットの取付取外しに
多くの作業時間を強いられる部分には変換アダプターによりＧＣＦフランジ化することが
できます。
ＧＣＦコンポーネントは、ＩＣＦ３４、ＩＣＦ７０、ＩＣＦ１１４、ＩＣＦ１５２サイズまで用意させれ
ております。また、その他の大口径フランジでも製作可能です。
特 徴 ・ 仕 様
・取付時間 ９０％短縮できます。
・リーク量 ≦ 1.33 x １０ -11 Pa・m3/sec
・ステンレス製で３５０℃ベーキングが可能です。
・ＩＣＦ１６からＣＩＦ１５２までフランジを供給可能です。
・従来の銅ガスケットを使用できます。
・規定のトルクにより銅ガスケットが３回使用可能です。
・多種類の変換アダプターもご用意しております。
・トルク管理なので片締めなどフランジ締め付け漏れの心配ありません。
・締め付けトルク管理で、学生さんでも誰でも作業ができます。
超高真空コンポーネントから、真空ポンプ、真空測定機器、回転・直線導入器
真空チャンバー設計、製作、Ｈｅリーク試験作業まで
川口液化ケミカル株式会社まで、ご用命下さい。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
１１月１９日 木曜日
天気 雨
ボンベ庫の温度 朝７℃、昼６℃
です。
屋外に出ると、寒さが身にしみるほどの陽気でした。
「水下輪転の方」といい、人間の体は、頭を涼やかに、足元を温かく
することで血流が良くなり、頭脳が活性化され最適な状態になるそうです。
暖か過ぎる部屋で、頭がボーっとするほどの状態や
ただでさえ冷え性なのにファッションで足元を冷たくするのは
身体が不調になるきっかけを自ら造っていることになるのだそうです。
ボールバルブ（真空仕様）
2009年9月13日 19:09
真空用のストレートタイプの小口径バルブ（ＮＷ１６〜ＮＷ４０クラス）は
ボールバルブ以外なかなかありません。もちろん真空度の使用範囲が
超高真空まで使えるわけではありませんが、低真空から高真空の範囲
であれば用途により安価にご利用いただけます。
NW25真空用ボールバルブ 「開」
NW25真空ボールバルブ 「閉」
手動ハンドル部を、圧空式（ｱｸﾁｭｴｰﾀｰ）や電磁式（AC100V,DC24Vなど）
自動弁に変更することも可能です。
バルブ 「閉」 状態 バルブ 「開」 状態
真空用ボールバルブのことなら川口液化ケミカ株式会社まで
どうぞ、ご相談ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
９月１３日 日曜日
天気 はれ
気温 ２７℃（PM7:30）
です。
浦和大門にある埼玉スタジアム２００２で開催された
Ｊリーグの試合を見に行きましたが、試合中にバックフロアー
観客席上に見たこともないような大きなアゲハチョウがヒラヒラ
と舞っていました。
勝敗を決する試合の最中でしたので不思議な空間になっていましたね。
真空機器 消耗品ウィンターバーゲン
2009年1月22日 19:47
英国 ITL製ほか真空汎用製品を、お求め安い価格でご提供！
※期間限定：2009年１月１３日〜2009年３月３１日
在庫が無くなり次第終了とさせていただきます。
NW-KF継手
SUS316L GBB処理
ｴﾙﾎﾞ
NW10KF \3,700-
NW16KF \4,100-
NW25KF \4,300-
ﾃｨｰ
NW16KF \5,300-
NW25KF \7,000-
NW40KF \9,000-
NW50KF \16,000-
四方クロス
NW16KF \7,000-
NW25KF \8,000-
NW40KF \12,000-
NW50KF \20,000-
ホース継手
SUS304
NW16xφ12 \3,400-
NW25xφ12 \3,900-
NW25xφ20 \3,900-
NW40xφ25 \4,600-
合成石英ビューポート
ICF34 \60,000-
ICF70 \70,000-
ICF114 \130,000-
ICF152 \220,000-
フッ化マグネシウムビューポート
ICF70 有効内径φ38 \100,000-
ご注意ください！
・在庫が無くなり次第、随時終了とさせていただきます。
・ご注文金額が、３万円未満の場合、別途送料1,000円を頂戴いたします。
・上記金額に消費税は含まれておりません。
真空機器、真空ポンプ、真空計、真空チャンバーのご相談
のことなら、川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
１月２２日 木曜日
天気 雨
ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度 朝４℃、昼５℃、夜５℃
です。
雨は夜更け過ぎに♪
雪へと変わだ〜ろ〜♪
あしたは雪景色でしょう、かね？
大型圧送ポンプ
2009年1月 9日 18:42
大型輸送船から小麦などの食物を圧力により移送する
ためのポンプがあります。
大晃機械工業製 大型圧送ポンプ
そのほかにも固形物以外に液体、気体などさまざまな
用途に応じ小型から大型まで任意のポンプをご用意する
お手伝いをさせていただきます。
特に真空ポンプは、一般的にはロータリーポンプ（油膜式）
ですが、ポンプ部とモーター部が軸シールなどがなされており
完全な密閉構造でポンプ用オイルなどに汚染されないドライ
タイプのドライポンプもご用意しております。デポ物や固形物
、生成物など吸入口から入り込んでもポンプ部構造がスクリュー
により押し出される構造のため、同じドライポンプのスクロール
タイプとは異なり、とてもタフな環境で利用することが可能です。
シリコンウエハーの引き上げ装置など、シリコン粉末を吸引し
ても逆にクリアランスが狭くなり、到達真空度が上がってしまう
ほどの耐久性を誇ります。
半導体、液晶、太陽電池など過酷な環境で使用するための
ドライ真空ポンプのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口の天気は？
１月９日 土曜日
天気 雨
ボンベ庫の温度 朝３℃、昼３℃、夜３℃
です。
年始のご挨拶で、福島県山間部に参りました。
今日は雪になるとのことでしたが、降雪はあったものの
積雪による車通行に影響がでるようなことはありませんでした。
南下して栃木県にはいるとかなり気温が下がり
夜まで降り続けると雪になりそうな雰囲気でしたね。
皆さん、風邪にご注意です！
超高真空機器 VG キャンペーンのお知らせ
2008年10月24日 15:14
VG SCIENTA Ltd 製品 20%引きキャンペーン
現在開催中のサマーキャンペーンプラスキャンペーン期間を
２００８年１２月１９日まで延長します。キャンペーン期間中は
通常定価の２０％引きでご提供させていただきます。
HV,UHVﾌﾗﾝｼﾞ、ﾌｨｯﾃｨﾝｸﾞ、電流導入端子、ﾋﾞｭｰﾎﾟｰﾄ、ｱﾝｸﾞﾙ及び
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ｵｰﾙﾒﾀﾙ及びﾘｰｸﾊﾞﾙﾌﾞ、回転導入器、直線導入器
ﾄﾗﾝｽﾌｧｰﾛｯﾄﾞ、ｳｫｰﾌﾞﾙｽﾃｨｯｸ、XYZﾏﾆﾋﾟｭﾚｰﾀｰ（3,4,5,6軸）
ﾏﾆﾋﾟｭﾚｰﾀｰ用ｻﾝﾌﾟﾙﾎﾙﾀﾞｰ、ｻﾝﾌﾟﾙﾎﾙﾀﾞｰ冷却及び加熱機構
ﾎﾟﾝﾌﾟ、ﾄﾗｯﾌﾟ、真空計、ﾋﾟﾗﾆｰ、ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ、ﾜｲﾄﾞﾚﾝｼﾞｹﾞｰｼﾞほか
超高真空機器コンポーネント、超高真空チャンバー製作など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
１０月２５日 金曜日
天気 くもりのち雨
ボンベ庫の温度 朝１７℃、昼２０℃、夜１９℃
です。
雨の日の自転車の運転で傘をさす行為が交通違反になりましたが
雨の日に雨合羽姿で部分的に濡れながら通勤するのは難しい場合
もありますよね。ハイ！
K-Cell
2008年4月28日 20:59
K-Cell のご紹介です。
有機蒸着セル
・ICF70 のコンパクト設計
・２層ヒーター構造でルツボの温度勾配設定可能
・ルツボを変更し２源蒸着セルへ変更可能
・シャッター標準装備
・± 0.1 ℃ による温度設定可能
・素材の温度村防止の熱電ボール付属
ルツボ容量 ： 8cc (1源) / 4cc (2源)
加熱制御温度 ： 100 〜 500 ℃
ルツボ材質 ： PBN/石英/高密度カーボン
取り付けﾌﾗﾝｼﾞ ： ICF70
電源ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ ： 主電源 AC100V (PID制御)
金属蒸着セル
・ルツボ容量１０ｃｃで手軽に使用可能
・均一なルツボ温度
・メンテナンスが容易
・安定性、操作性に優れています
応用蒸着材料
・Al , As , Ga , In , P , Si
仕様
常用加熱温度 ： 1200 ℃
最高加熱温度 ： 1400 ℃
ルツボ材質 ： PBN (Pure Boron Nitride)
ヒーター ： Ta ( Tantalum)
熱電対 ： W 5% / WRe 26%
熱シールド ： Ta 多層シールド法
取り付けﾌﾗﾝｼﾞ ： ICF70
オプション
・ガス導入機構２系統
・Kセル、ターゲット間コーン型シールド
・イオンフローコントロールシャッター
・外部コントロール(各種パーツ）
真空機器、真空ポンプ、真空チャンバーのご相談は
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご連絡ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
４月２８日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１４℃、夜１９℃
です。
蚊柱が立ち始めましたね。
夏の予感です。
真空装置
2008年2月15日 22:54
既設の真空装置の改造や修理、チャンバーの拡張、サンプルステージ
の低温・加熱温度調節機構の追加、試料導入プリパレーションチャンバー
の追加、真空排気系のメンテナンス・オーバーホール、クライオ、イオン
ゲッターポンプへの変更、ガス導入系、液体窒素導入系、測温抵抗体
パワー用電源の導入、直線・回転・リニアドライブの追加・改造などなど。
真空機器、真空チャンバー、低温ステージ、クライオスタットのご相談は
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご連絡ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉県川口市のお天気は？
2月15日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝2℃、昼6℃、夜5℃
です。
ガソリンの高騰を考慮し、高速道路に０時から4時まで
の間に利用開始か終点通過すると通常割引からさらに
３０〜４０％の通行料値引きがなされます。名古屋〜
東京間ですと約12000円の費用が約5000円ほどに
まで割引が適用されます。
運送業者さんには朗報ですね。
ﾍﾘｳﾑﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ PhoeniXL 300
2008年2月 1日 12:22
oerikon leybold vacuum 社製ヘリムリークディテクタのご紹介です。
かつて UL100,UL200 または L200,L200 plus などのベストセラー機
がありましたが、その後継機種が PhoeniXL 300 になります。
テクニカルデーター
最小検出ﾘｰｸ量 ： ≦ 5 x 10 -13 Pa.m3/sec （真空法）
≦ 1 x 10 -8 Pa.m3/sec （スニファー法）
最大検出ﾘｰｸ量 ： 1 x 10 -2 Pa.m3/sec (He)
最大測定可能圧力 ： 1500 Pa
粗引き排気速度 ： 2.5m3/h (50Hz)
He 排気速度 ： 2.5 L/s
応答速度 ： < 1 s
始動時間 ： < 2 min
消費電力 ： 420 VA
寸法 ： 495(L) x 456(H) x 314(D) mm
重量 ： 40 kg
・自動車産業関連部品
・半導体装置、各種真空設備
・冷蔵庫、エアコンの製造ライン及び関連部品
・分析機器（真空技術応用機器）
・セラミック応用製品、水晶振動子
・高真空および超高真空技術応用装置
・気密試験品質保証
・研究開発
・パワープラントなど
He ﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ PhoeniXL300の特徴
仕様説明
ヘリムリークディテクターのご用命ご相談のことなら
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご連絡ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
２月１日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２℃、昼５℃、夜４℃
です。
昨日、ＴＶで世界のカレンダーを紹介していました。
面白いところでは、北朝鮮は金日成氏の生誕が
年号のスタートになっているとか。
同じように国家元首や聡明な方の生誕日が
年号にそのままなっているそうです。
ちなみに、各国でｊ本当に様々な初めの日（日本の正月）
があり、中東地域やインドあたりなど一枚のカレンダーに
４種類くらいの暦が記されていたりして、面白いですね。
カバーガラス付きビューポート
2008年1月10日 23:08
汚れたビューポートを丸ごと交換されてませんか？
本日ご紹介するのは、ビューポートの窓材を容易に交換
できるカバーガラス付きビューポートのご紹介です。
一度膜付けされてしまうと絶対落ちないくらいの汚れが
付着し真空フランジごとビューポートを交換するのが常です。
蒸着装置などほんとに汚くなりますよね。そのような汚れを
カバーガラスに付着させ（真空封止する窓材とは違います）
そのカバーガラスだけを洗浄したり交換することが可能です。
カバーガラス自体は薄い窓料を使用していますので価格も
安価です。
特徴としては、超高真空に対応し、ベーキングは１５０℃
まで可能です。カバーガラスだけをお買い求めいただいても
構いません。取り扱いフランジは ISO100,ISO160,ISO200 の
３種類で、有効内径はそれぞれ 92mm , 130mm , 190mm
です。
真空ビューポート（人工石英からサファイヤ製まで）
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
１月１０日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝５℃、昼７℃、夜８℃
です。
ブルーラグーンをご存知でしょうか？
アイスランドにある世界最大級の温泉です。
地熱発電するために地中から排出する余った熱湯
を利用した人造温泉なのだそうです。
知らなかったです。
超高真空対応除震システム
2008年1月 9日 21:42
ターボ分子ポンプの振動にお困りではありませんでしょうか？
本日ご紹介するのは
超高真空対応除震システム VIBRATION ISOLATOR です。
表面分析装置や精密加工が必要な装置など、真空排気系の
ポンプ自ら発生する振動が問題になることがあります。そのよう
な時にご利用いただきたいのがこの商品です。
例えばターボ分子ポンプの振動を十分の一に軽減させること
が可能です。主な特徴として、超高真空仕様であり、ベーク温度
２５０℃が可能、成形ベローズを利用しているので有効内径を最
大限広げており、取り付けフランジごとに
・ISO63 x 内径 φ35 ,重量 1.4kg
・ISO100 x 内径 φ75 , 重量 1.7kg
・ISO160 x 内径 φ95 , 重量 3.2kg
・ICF114 x 内径 φ35 , 重量 3.3kg
・ICF152 x 内径 φ75 , 重量 4.5kg
・ICF203 x 内径 φ95 , 重量 6.0kg
となっております。
低真空から超高真空機器、真空チャンバー製作まで
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
１月９日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝７℃、昼９℃、夜９℃
です。
携帯電話の廃棄物から再利用される金属が
１ｋｇの廃棄物携帯から、銅が100g、鉄が10g
銀が1.5g、金が150g、パラジウムが50g、
ニッケル他が極微量改修されるのだそうです。
コンビナトリアルスパッタコーティングシステム
2007年12月27日 19:05
スパッタは、産業界で広く用いられている成膜手法の一つです。
ただし、その成膜時における制御パラメーターが非常に多いため
正確なパラメーター制御が困難となり、成膜特性の再現性や最適
化に要する時間がかかる問題がありました。
今回、物質・材料研究機構 NIMS材料信頼性センター 微小材料
工学グループの後藤真宏研究員様、土佐正弘グループリーダー様
笠原章主幹研究員様による共同研究により最適制御パラメーターの
決定が従来システムと比べて１０倍以上高速化できる成膜装置を開
発しました。
サンプル基板を一度に真空チャンバー内に導入し、同条件に保つ
ことと、到達真空度 8 x 10 -6 Pa以下とすることなどコーティングシス
テムを工夫し、成膜の結晶性と結晶背向性を再現性よく作製すること
を可能にしました。
また、それぞれのサンプルについて７つの成膜実験パラメーターを
あらかじめパラメーターレシピ表に登録して、それらをコンピューター
制御で設定して１４枚のサンプルを全自動で成膜することができるシ
ステムを実現してました。
成膜中のオペレーターが不要になり、正確な成膜実験条件でサンプ
ル作製が可能です。再現性がよく、今まで数週間かかっていた実験期
間を２〜３日で行うことができ、成膜のための実験パラメーターの最適
化を短期間で実現可能です。
同システムは、共同研究研究企業である大和機器工業株式会社が
製造・販売致します。
真空装置のご相談、改造、保守メンテナンス、ポンプのオーバーホール等
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
TEL 050-8881-7393
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
１２月２７日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２℃、昼３℃、夜７℃です。
年末のご挨拶に各社様をお伺いしておりますと
今日までフル生産している工場や、お掃除モード
で掃除機がブンブン回っているお客様、既に来年
の年明けに向け準備に入っている装置メーカー様
など様々でした。
今年も一年間多方面の方々にお世話になり
ありがとうございました。
ターボ分子ポンプ
2007年11月13日 20:01
ターボ分子ポンプは高速回転体で作られたタービン翼と
固定された翼の組み合わせで構成されています。タービン
翼は回転の周速度ガス分子の運動速度とほぼ同じ領域で
傾斜したタービン翼で高真空側から低真空側にガス分子を
圧縮させます。
常温のガス分子の運動の速度はガス分子の種類によって
異なり、分子量の小さいものほど運動速度は大きいのです。
ですから水素やヘリウムなども排気できる排気速度と圧縮
比が得られるように設計されています。ゆえにターボ分子ポ
ンプは本質的にガスを圧縮する機械といえます。
タービン翼と固定翼の組み合わせで高真空側から低真空
側にガスをはじき飛ばしていきますが、結果的に圧力差が生
じます。この圧力比を圧縮比ともいいます。
ターボ分子ポンプは油拡散ポンプなどのようにガス分子を
大気側に放出するタイプです。タービン翼の回転数は1分間
あたり数万回転で、毎秒５０リットルの小型機種では９万回転
にも達するのです。
排気量 5000L/sec ! 大型TMP 大きな排気口ですね。
真空ポンプ（ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、ゲッターポンプ）
など高真空ポンプのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
１１月１３日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１２℃、昼１５℃
です。
中日のアジアチャンピオンになるまでの大躍進は
ペナントレースで優勝を逃し、力を落としていた状況
からはとても予想できませんでした。
２００７年がやっと終わって、落合監督ご苦労様でした。
HV/UHV 高真空/超高真空機器キャンペーン
2007年10月22日 18:26
VGｼｴﾝﾀ社製高真空・超高真空機器キャンペーンのお知らせです！
VG SIENTA Special Campaign
期間 ： ２００７年９月１２日 より ２００７年１２月１２日
対象製品 ： 全商品
Leak Valves リークバルブ
Wobblesticks ウォーブルスティック
Manipuletors マニピュレーター
Miniax Translator ミニアックスシリーズ
XY Table ＸＹテーブル
HPT Translator ＨＰＴシリーズ
Transax Translator トランザックシリーズ
Omniax Translator オムニアックスシリーズ
Cryostats Manipulator ヘリウム冷却マニピュレーター
CTPO Manipulator ＣＴＰＯシリーズ
Sample Holders サンプルホルダー
XL Sample Transfer Systems ＸＹサンプルトランスファーシステム
など数々の超高真空領域のコンポーネント名器を輩出した
VG シエンタ製新型製品の全商品を２０％プライスダウンで
ご提供致します。
※Leak Valves リークバルブ・Lord Lock ロードロック製品は
上記キャンペーン以降 ２００８年３月１２日まで継続して
２０％プライスダウンを致します。
何卒よろしくお願い致します。
高真空機器、超高真空機器のことなら
川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご相談下さい。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉川口のお天気は？
１０月２２日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１４℃、昼１８℃,夜１９℃
です。
レッドソックス松坂が、ア・リーグ優勝決定シリーズ第７戦
で登板し、インディアンスを下しリーグ優勝を決めました。
次のステップでライオンズの元同僚松井稼のいる
ロッキーズと対戦します。
圧倒的劣勢から奇跡の優勝といえるでしょう！！！
ドライエッチング装置 Part２
2007年7月14日 22:20
ドライエッチング装置は、ガスを導入して反応を開始する
前後でメインチャンバーやプリパレーションチャンバーを高
真空まで真空排気する必要がありますので、油拡散ポンプ
・クライオポンプ・ターボ分子ポンプなど高真空ポンプを使用
することとなります。
かたや装置の排気系で低真空ポンプ側には反応性生物や
活性なガスが直接回ってきます。油回転ポンプなどの場合
鉱物油オイルはあっという間に変質してしまいます。フッ素系
オイルのフォンブリンオイル仕様にすることも対策の一つですが
オイルフィルトレーションを利用してオイルの中の異物を取り除
いたり、活性アルミナなどで酸化したオイルを中性化したりする
ことでポンプの寿命やオイルの劣化を防ぐことも可能です。
油回転ポンプのオイル漏れ、到達真空度の劣化、故障など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
７月１４日
天気 雨
気温 ２１℃
です。
台風４号の九州上陸時の中心気圧は９４５ヘクトパスカルで
７月に上陸した台風としては１９５１年の観測開始以来最も
低く、過去最強級なのだそうです。
土曜、日曜と屋外に遊びにいけず
子供たちは親とゆっくり話ができる
良い機会になるかもしれませんね。
ドライエッチング装置
2007年7月13日 20:44
半導体デバイスの製造過程で、シリコンウエハーの上にある薄膜を
エッチング（簡単に言いますと削る）するためにドライエッチング装置を
使用します。塩素ガス系フッ素ガス系のガスを利用し１〜１０ -1Ｐａ台
の圧力で保持し、二極間で放電を発生させるとガスがイオン化され、
そのイオンの衝突でスパッタリングと活性イオンによる化学反応により
試料の表面が削られていきます。
試料表面のマスク（レジスト膜）などが付着しているその穴を利用し
エッチングすることで表面に凹凸のパターンが作られるのです。
ドライエッチング装置は化学反応装置ですので他の真空装置とは異
なります。一般的な真空機器は内部のガスを出来るだけ排出し綺麗な
雰囲気の状況を作ることを目的としていますが、ドライエッチチング装置
は、真空内部に反応生成物が生成されますので汚染され、その処理が
問題となりがちです。
導入ガスの流量は反応の進むスピードや質によって決まってきます。
そのための最高の条件を維持するために真空排気系の容量は大きめな
排気セットを必要とします。
真空装置の排気系のご相談やメンテナンス、新規のポンプの検討など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
７月１３日
天気 曇りのち雨
ボンベ庫の温度 昼２４℃、夜２４℃
です。
大リーグのオールスターゲームでランニングホームランは
イチローが初だそうです。
何ごともはじめてことをなすことは、凄いことだと思いますし
なかなかできることではありません。
イチローのやっていることは、今を生きる人に力を与えてくれる
すばらしい実践ジャーだと思います。
凄いですよね〜
ドライポンプ
2007年3月29日 23:46
シリコン単結晶引き上げ装置に使用されているドライ真空ポンプ
で圧倒的な強さを持つ、ドライポンプのご紹介です。
シリコンの粉を真空ポンプで吸引しても問題のない秘密は、小麦や
トウモロコシなどタンカーから固形物を移送ポンプを通じて搬送する技術
からスタートしているメーカーならではの特徴です。
固形物があるほうがクリアランスが狭くなることで到達真空度が向上
するなど、スクロール式や汎用ドライポンプの構造ではゴミはおろか故障
の際、新品を購入するのと変わらないメンテナンス費用がかかることもあり
ますが、このポンプは故障が少なく壊れないのでメンテナンスもする必要が
ないほどの堅牢さを供え持ちます。
スクリュー型ドライポンプカタログ
排気量も１５０L/minから数千〜数万L/min まで豊富です。
スクリュー型ドライポンプのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。
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よろしくお願い致します。
埼玉県川口市のお天気は？
３月２９日
天気 晴れ
ボンベ庫内の温度 朝１４℃、昼２１℃、夜１９℃
です。
川口の要所要所でも、桜の花びらが午後には
６〜７分咲きに一気に花開いております。
さくらはきれいですね〜
ダイアフラム型ドライポンプ
2007年2月14日 21:34
真空ポンプシリーズの低真空用途である
ダイアフラムポンプのご紹介です。
ダイアフラム（隔膜）は、真空ポンプのほか高性能な
ガス用バルブでも使用されていいます。薄い一枚の膜の
反り返り作用を利用して空間を作ったり無くしたりすることで
ガスバルブであれば開閉を調整します。
真空ポンプの場合には、コネクティングロッドと呼ばれる
回転ローターからの上下運動を利用し、ポンプヘッドとダイア
フラム間の隙間（空間）を拡張圧縮して気体流体を移送し
吸気排気を行う容積移送式の真空ポンプです。
最大の特徴は、ロータリーポンプのような潤滑油が真空側へ
回り込むことは隔壁（ダイアフラム）で遮られているため構造上
起こりません。よってクリーンな真空環境での利用が可能です。
また、金魚ポンプのような数リットル毎分クラスの小型排気量の
タイプからＴＭＰなどの補助ポンプとして利用できる数百リットル
クラスまでバリエーションが豊富です。更には、一般産業用で
汎用性が高く数多く生産されているため安価な点でもメリットが
あります。極端に危険なガスや流体など隔壁で真空側と大気側が
遮られているので利用されているケースもあります。
機種によっては、排気口と吸気口をそのまま、エアーコンプレッサー
のように利用したり、真空ポンプとして使用したりと両用できるのも
面白い特徴です。
ただし、ポンプの構造上低真空領域のみで、高真空まで広帯域
での利用は不可能です。また、ハードプロセスなど隔膜が化学的
にダメージを受けるような場合には耐久性など問題があります。
用途的には、真空排気用や吸着搬送と固定用途。真空乾燥
真空圧縮、ろ過、脱ガス脱泡などにも利用されます。
ダイアフラムポンプや低真空継手、真空チューブ、圧力計など
真空システム全般のご相談まで川口液化ケミカル株式会社
までお気軽にご連絡ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
２月１４日
天気 雨
ボンベ庫内の温度 朝５℃、昼８℃、夜８℃
です。
数日前からデパートの一階フロアーでは
大きなスペースを割いたチョコレート売り場が
占有していました。
１９８５年から日本で始まったそうですが
今では巨大イベントのひとつで、なくてはならない産業ですね。
樹脂製ボルト・セラミック製ボルト
2007年1月 6日 22:21
昨日に引き続き特殊ボルトのご紹介です。
非磁性である樹脂製ボルトが必要な場合はありませんか。
熱伝導、導通の無いセラミック製ボルトの用途はありませんか。
特殊な材質のボルト、ナット、平ワッシャーを製作いたします。
お問い合わせやご相談などございましたらお気軽に
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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今日の埼玉のお天気は？
１月６日
天気 雨
気温 ４℃
です。
高校サッカー準決勝で、八千代高キーパーや
盛岡商監督の病気を乗り越えて活躍する姿に
感動してました。
スクリュー式ドライポンプ
2007年1月 3日 09:20
スクリュー式ドライポンプ
ドライポンプには、数種類のタイプがあります。
・ ルーツ式
・ クロー式
・ ダイアフラム式
・ スクリュー式
・ サイドチャンネル式
・ ベーン式
・ ドライロータリーベーン式
などなど。
ＴＭＰやクライオなどの補助ポンプとしてＲＰ（ロータリーポンプ）の
代替機としてスクロール式やスクリュー式などが多用されています。
それぞれ特徴はあります。
その中のスクリュー式ドライポンプのご紹介です。
このタイプは、平行する２つのスクリューローターがケーシングの内壁
とスクリューローターすれぞれの僅かなクリアランス（隙間）を回転しながら
ドライな密閉された空間を連続的に排気します。ローター形状には、炬式
スパイラキシャル式、リショルム式などがあります。
スクリュー式では、排気から吸気まで非接触状態で単段圧縮されて
いますので、凝縮性ガスやパウダー状の雰囲気でも効率よく排気する
ことが出来ます。雰囲気も大気圧から数Ｐａの到達真空度まで広範囲で
使用可能です。ただし、内部温度が上昇しすぎるような吸気ガスの場合
には制約を受けますので都度確認してください。
用途としては、半導体ＦＰＤ製造プロセス装置や真空蒸着、真空乾燥
溶剤回収、樹脂脱泡、真空成形、真空炉などに使用されております。
スクリュー式ドライポンプに関するお問い合わせは
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今日の埼玉川口のお天気は？
１月３日
天気 くもり
気温 ９℃
です。
お正月三箇日目です。
御餅を食べすぎ太り気味？です。
１５０L新型ドライポンプ
2006年11月11日 23:34
小型のドライ型真空ポンプは、なかなか無いものです。
この度、大晃機械工業?より新型ドライポンプが発表されます。
新型ドライポンプ諸元表 （外観、仕様、排気特性）
１５０L/min 空冷タイプ
到達圧力 6.5 Pa
２軸スクリュー式
AC100V、200V 仕様
モーター容量 0.75kw
冷却水不要
540x250x397 (LxWxH)
このポンプは、多少のゴミや水分など影響は少ないため
ポンプの中でもとてもタフなことが特徴です。
基本的には定期メンテナンスも不要ですのでメンテフリーです。
１５０L以外にも３００L、５００Lの空冷ポンプもご用意してます。
ぜひともご検討いただけますよう、お願い致します。
ドライポンプのご相談は、川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。
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ヘリウムリークディテクター 最新機種
2006年11月 9日 22:34
ライボルトバキューム製 Ｌ３００
１台 \2,007,000-（消費税抜き）
※梱包輸送費、取扱説明費含む
ﾃｸﾆｶﾙﾃﾞｰﾀー
最小検出リーク量
≦ ５ｘ１０ -12mbar l/s （真空モード）
※ 5.0 x 10 -13Pa.m3/sec
≦ １ｘ１０ -7mbar l/s (スニファーモード）
最大検出リーク量
＞ ０．１ mbar l/s （真空モード）
最大測定可能圧力
１５ mbar
排気速度
２．５ｍ３／ｈ
Ｈｅ排気速度
＞ ２．５ ｌ／ｓ
応答速度
＞ １ ｓ
始動時間
＜ ２ min
消費電力
４２０ VA
寸法L495 x H456 x D314
重量
４０ kg
・感度が 10 -13Pa台です。
・フォラメントの寿命を３年間保証。
・ＴＭＰ（ターボ分子ポンプ）の排気容量が 70L/sec とクラス最高。
ということは立ち上がりが早く、バックグラウンドも入りやすい。
※他社製ex:50L/sec
・立上げ時間が２分です。
・真空法とスニファー法の２種類が対応可能です。
ガス配管工事やキャビネットのリーク検査にいかがでしょうか。
ヘリウムリークディテクターのことなら、川口液化ケミカル株式会社
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コールドトラップ
2006年10月 3日 14:39
液体窒素のいらない真空排気ライン用コールドトラップのご紹介です。
電気式冷凍機（AC100V 90W 空冷）により真空排気ラインの水分やオイルミストを
除去できる「粗引きライン用低温トラップ」です。
従来のシリカゲル＋ヒーター式と比較してクリーンな真空雰囲気をつくれます。
コールドトラップにありがちな液体窒素供給の手間が無く、従来の冷凍機
システムに比べ省電力ですので利便性が向上しております。
用途としては
・粗引きライン（ＤＰ、ＲＰの上段）に接続するトラップとして
水分排気速度向上として
・クライオポンプ再生時の粗引き時間短縮
・ロードロックチャンバーの排気時間短縮
オイルバックの防止として
・真空チャンバーへのオイル拡散防止
・ロータリーポンプのオイルバック防止
ドライポンプ排気性能の維持を目的として
・ドライポンプに与える水分によるダメージ保護
・ドライポンプパージ窒素の低減
・ポンプ運転時間の短縮やポンプの小型化
・ドライポンプ電力の低減
・ポンプオーバーホール頻度の低減
など
真空とラップのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
よろしくお願い致します。
ありがとうございます。
今日の格言
男として生まれた、その人生観とは？
ひとり徒歩で旅したときほどゆたかに考え
ゆたかに存在し、ゆたかに生き、あえて言うならば
私自身であったことはない。徒歩は私の思想を活気づけ
生き生きさせるなにものかをもっている。じっと止まって
いると、私はほとんどのものが考えられない。私の精神を
動かすためには、私の肉体は動いていなければならないのだ。
田園の眺め、快い景色の連続、大気、旺盛な食欲、歩いて得られる
優れた健康、田舎の料亭の自由さ、私の奴隷を思い起こさせる一切の
ものから遠ざかることが、私の魂を開放し、思想にいっそうの大胆さを与える。
（ルソー）
続きを読む "コールドトラップ" »
漏水検知システム
2006年9月25日 15:50
実験装置で冷却水を利用する機器は雑多になりますが
いざ、このユーティリティー冷却水が継手部や溶接部
スケールの堆積による閉塞（圧力上昇）、ホースの劣化
装置内の経年劣化などにより、実験室が水浸しなど
よくあっては困るのですが、ありがちです。
漏水したフロアーのみならず、下のフロアーが雨が降った
ようになれば数千万、数億円の装置に水が被ってなど
考えたくもありません。
そんなときの転ばぬ先の杖。
水を感知するセンサーはあります。
計装システムを組めばできることも分かってます。
水が漏れた時のバケット（水受け水槽）も用意すれば
なんでもないものです。
ですが・・・
用意するのは面倒なもの。
そんなときはシステムとして確立した商品をお薦めします。
警報信号を取り出し、本体システムとの連動も可能。
水漏れバケットもどんな大きさ形にも対応します。
「漏水検知ユニットは、半導体製造装置の冷却水を検知するために
開発され、半導体工場で本体装置のインターロックの一部として
５年以上の実績をもっております。
本装置は、汎用の漏水および渇水検査装置としても使用できます。
高抵抗（アルコール・薬液・純水）から低抵抗（水道水）まで対応
可能です。 」
実験機器、真空装置、機器装置、半導体製造装置などの漏水対策の
ご相談は、川口液化ケミカル株式会社まで,どうぞご相談ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
今日の格言
男と生まれた、その人生観とは？
「熟練した船長は、暴風雨にあえば、いたずらに暴力に対抗するの
愚はしないが、しかもまた、いたずらに絶望して波風のほんろうに
船を委せはしない。常に確固たる自信と成算をもって、最後の瞬
間まで全知全能を尽くして活路を開くことにつとめつのである。
人生の困難突破の要諦である。」
（マクドナルド）
エジェクターポンプ
2006年8月 2日 22:16
三方向の配管からなる単純な構造で真空を作るポンプがあります。
一方向は、水、エアー、スチームなどの注入口になるインレット。
次の一方向は、上記インレットから入った流体がストレート方向に出て行く
排出口（アウトレット）です。
最後に、インレット、アウトレットに対して垂直に接続している吸気口。
これがいわゆる真空ポンプの吸気口で、流体の流れに引っ張られて
真空を作るというエジェクターポンプです。
水封ポンプに、付属して使用されるほか、真空脱気、蒸留装置、重合装置
吸引ろ過、減圧脱臭、減圧脱泡、各種機械装置の真空源として利用されます。
可動部が無く、構造が簡単で、ゴミや固形物など吸引してもそれほど影響がない
故障が少ない、単純構造のポンプです。
故に、性能は若干劣り真空到達１０Ｐａ程度で、ユーティリティーが無ければ
真空を作れないため、水の場合には水の循環装置が必要となります。
真空装置、真空実験設備、真空配管など
真空のことなら「川口液化ケミカル株式会社」まで
どうぞご相談ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
今日の格言
理想への挑戦とは？
「なにごとにつけても、希望するものは絶望するものより
よい。希望なものの限界をはかることは、誰にもできな
いのだから。」
（ゲーテ）
ＮＥＧ 非蒸発型ゲッターポンプ
2006年8月 1日 23:40
Non-evaporable getter Pump
ＮＥＧ 非蒸発型ゲッターポンプは、真空中の気体分子を
金属の清浄な表面が持っている強い化学反応性を利用することで
化学結合し、固定化するいわゆる「ゲッタ作用」を働かせます。
ゲッタ材であるジルコニウムなどゲッタ合金を加熱・昇温させ
活性化させます。水素に対しては固溶体をなして吸着されますが
使用合金の特別に低い水素平衡圧により、超高真空で水素吸着
を可能にしています。
ポンプ稼動時には無電力で使用ができるため、輸送途中や辺境地での
実験設備などには最適です。また、振動もありません。更には他の
超高真空タイプの真空ポンプと比較してもポンプの大きさが小型であることや
軽量であり、オイルフリーのドライな真空排気が可能であり、室温での
超高真空排気を行うことができます。
ただし、溜め込み式なため、活性化などの際に排気する別のポンプが
必要不可欠です。更には、吸着剤が吸着容量を超えてしまった場合
交換が必要となります。
以下は、サエス社製ゲッターポンプのコントローラーユニットです。
超高真空機器、チャンバー、排気セットなどのご相談は
川口液化ケミカル株式会社まで,どうぞご連絡ください。
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
ありがとうございます。
今日の格言
理想への挑戦とは？
「人間は希望的動物なり。彼にありては
前を望むは自然にして、後ろを顧みるは
不自然なり。希望は健全にして、回顧は
不健全なり。「後にあるものを忘れ、前に
あるものを望む」と罪を忘れ、疾病を忘れ
失敗を忘れ、怨恨を忘れ、神と生命、成功と
愛に向って進まんのみ。」
（内村鑑三）
超高真空配管
2006年7月31日 19:08
真空配管は一般的には、真空排気系の溶接配管であったり
ヘリウム回収ラインのバキュームラインのことだと思います。
弊社では、超高真空配管を施行いたします。
真空度は 最高スペック ２．４ ｘ １０ -8Pa です。
上記、外径１／２インチ超高真空配管は、ビルドアップ状態（スタティック・真空
排気系完全遮断）で５分間後に保持している真空度は １．６ ｘ １０ -6Pa です。
高精度の分析装置への分析用ガス抽出・導入ラインなど
特殊ガス配管工事のことなら ｢川口液化ケミカル株式会社」
まで、どうぞご相談ください。
TEL ０５０−８８８１−７３９３
以上よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。
今日の格言
理想への挑戦とは？
「希望は強い勇気であり、新たな意志である。」
（ルター）
アルミチャンバー
2006年6月 8日 17:39
真空容器を製作する際、一般的にはステンレス製や鉄製の
チャンバーが使用されております。
加工性も良いですし、値段も汎用ステンレス・鉄であれば
真空容器(真空チャンバー）として利用する他金属と比較
すれば安価です。
但し、重量が重いため装置として一度設置したらなかなか
動かせるものではありません。というより、「動かせない」です。
当然ですが、機器設置の搬入時にも影響があります。
真空チャンバーが座る架台の上に、大人二人の手での移動できるなど
夢のまた夢。通常は重機を使い架台にようやくのせるのが
精一杯です。
動かすだけでなく、大きな装置になればなるほど重量が半端で
なくなりますので、地上階であれば問題なくとも、建屋の３階や
４階に重量物を載せるには、強度的に限界があります。
場合によっては、装置は欲しいけれども、重さが耐えられないので
検討が出来ないということも。
そんな時。
アルミ製真空チャンバーがお勧めです。
ステンレスの場合、比重７．９３ですので １ｍ X １ｍ ｔ＝１０ｍｍ で ７９．３ｋｇ。
アルミの場合は、比重２．７とすれば １ｍ X １ｍ ｔ＝１０ｍｍ で ２７ｋｇ。
角形チャンバーのヒンジ扉が、ステンレスですと大人二人でようやっと。
かたやアルミなら大人一人で取り付け可能です。
チャンバー本体の胴体部などであれば、なおさらのこと。
ステンレスチャンバーでは考えられませんが、架台の上に大人二人でチャンバー本体を
載せ替えるなどという芸当も可能なのです。
また、真空も超高真空どころか極高真空をアルミ製チャンバーで出すほうが
ステンレスよりも容易であることが母材の特性によりあります。
ただし、真空チャンバーに必要なアルミ溶接はピンホールがあれば
極高真空など夢のまた夢。真空対応相当の溶接技術を要します。
弊社では、大型アルミチャンバーから、極薄アルミ溶接まで真空対応で
製作いたします。
アルミ製真空チャンバー、超高真空機器の製作ことなら
川口液化ケミカル株式会社
TEL ０５０−８８８１−７３９３
まで、どうぞご相談ください。
よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。
今日の格言
志を立てるとは？
「改革すべきは単に世界だけでなく、人間である。
その新しい人間は、どこから現れるのか？
それは外部からではけっしてない。
友よ。それを君自身の内に見出すことを知れ。
しかも鉱石から純粋な金属をとるように
この待望の新しい人間に君自らなろうとせよ。
各人は、驚くべき可能性を内蔵している。
君の力と若さを信ぜよ。
たえず言い続けることを忘れるな。
「ぼくしだいでどうにでもなるものだ」と。」
（ジード）
真空機器・装置
2006年3月25日 10:58
「真空」 にかかわる製品は
半導体・FPD、電子部品産業・光学・記録材料関連産業
機械・金属材料・加工業・理化学機器・宇宙開発
食品・化学・薬品産業分析・試験機 などで使用されています。
実際に使用されている真空機器がどのようなものか？
展示会などで分類されている 真空機器・装置 につき
機器名をご紹介してまいります。
真空装置
・真空蒸着装置
・真空重合装置
・有機デバイス作製、評価装置
・有機EL、太陽電池蒸着装置
・光学式蒸着装置
・有機EL用製造装置
・スパッタリング装置
・ECRスパッタリング装置
・光学薄多層膜用スパタリング装置
・ディスク用スパタリング装置
・ハードディスク用スパッタリング装置
・CVD装置
・太陽電池用プラズマCVD装置
・DLC薄膜形成装置
・エッチング装置
・MEMS用接合装置
・真空熱処理炉
・真空加熱炉
・真空ベーキング炉
・陽極接合装置
・真空乾燥、凍結装置
・真空蒸留、濃縮装置
・真空分析、試験装置
・IMAS質量分析装置
・トライポロジー試験装置
・電子顕微鏡（SEM,TEM）
・真空装置用冷却装置
・コールドトラップ
・大気圧マイクロ波プラズマ装置
・ECRプラズマ成膜装置
・真空排気装置
・イオンプレーティング装置
・グローブボックス
・ガス循環精製装置
・真空ヒータープレス
真空ポンプ
・ドライポンプ
・ダイヤフラムポンプ
・ターボ分子ポンプ
・クライオポンプ
計測器
・真空計
・リークディテクタ
・ガス分析計
・膜圧測定器、表面形状測定器
・質量ガス分析計
・真空中パーティクルモニタ
・ゲージ
・四重極ガス分析計
・計測器
・ズームマイクロスコープ
真空機器、装置関連機器、部材
・MFC、流量計
・バルブ
・継手
・超高真空バルブ
・ベローズ、ゲートバルブ
・真空バルブ
・真空バタフライバルブ
・RF,DC電源
・RF,DC、EB電源
・プラズマ用高周波電源
・注入装置用電源
・高周波電源
・スパッタ用電源
・真空蒸着源
・電子、イオンビーム源、電子銃
・磁性流体真空シール
・バルブ、配管ヒーター
・シール材
・蒸着フィラメントボード
・真空対応位置決めステージ
・真空ロウ付け製品
・真空蒸着膜厚制御装置
・パルスチューブ冷凍機
・真空対応エンコーダー
・真空シール
・電子、イオンビーム、プラズマ解析ソフト
・プラズマ材料プロセス、希薄気体統合シュミレーションツール
※製品として世の中に販売されている名称を掲載しております。
全ての種類を網羅しているわけではありませんのでご理解ください。
特殊ガス・真空・低温に係るご質問ご相談など川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「朝寝は時間の浪費である。
これほど高価な出費は他にない。」
（デール・カーネギー）
トリチェリーの真空
2006年3月20日 20:55
「トリチェリーの真空」で、水銀柱の高さは1気圧（１ａｔｍ）のとき
７６０ｍｍです。（＝１０．１３万Ｐａ ＝７６０Ｔｏｒｒ）
水銀柱の重さは、１ｍｌ あたり１３．６ｇですので、底面が１ｃｍ２で
高さが７６ｃｍの水銀柱の重さは １０３３．６ｇ となります。
つまり １ｃｍ２ あたり １ｋｇ 強の強力な圧力なのです。
人間の身体にボールが当たると力を感じますよね。
この力は、ボールが重いほど、スピードが速いほど
その数が多ければ多いほど、強くなります。
大気圧もこの力で、ボールに相当するのが「気体の分子」
なのです。
たとえば、大気の約８割を占める窒素ガスの場合には
分子一個の重さが ４．７ｘ１０ -23 ｇ（直径０．３８ｎｍ
＝３．８Å）だと考えるますと、とても軽いし小さな力です。
平均速度はなんと！ １６３４ｋｍ／ｈｒ 。
プロ野球選手の投げる球速とか新幹線の１０倍の速さ。
人の身体に１ｃｍ２あたり ３ｘ１０ 23 個飛んでくるので
この力が集まると、１ｃｍ２ について 約１ｋｇ にもなるという
大きな力になるのです。
今、目の前には １ｍｌ（１ｃｃ）あたり ２．７ｘ１０ 19 個
＝２７００京、１兆の２７００倍 の空気組成のガス分子があるのです。
参考まで
数の単位
一、十、百、千、万、億、兆、京（けい）、垓（がい）、秭（し）、穰（じょう）
溝（こう）、澗（かん）、正（せい）、戴（たい）、極（ごく）、恒河沙（こうがしゃ）
阿僧祇（あそうぎ）、那由他（なゆた）、不可思議、無量大数
ガス・真空・低温のことなら川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「明日しなければならないことがあったなら
今日のうちになせ。」
（フランクリン）
真空の単位
2006年3月19日 22:19
先日の計量法には圧力の単位として
Ｐａ（パスカル）が該当する説明を致しました。
高圧ガスのＭＰａ（メガパスカル）同様に、真空の度合いを
「Ｐａ ：パスカル」で表します。
この Ｐａ という単位は、初めて気体の圧力の概念を
確立し、流体圧力に関する「パスカルの原理」を発見した
Ｐａｓｃａｌ からとったものです。
つい先頃まで Ｔｏｒｒｉｃｅｌｌｉ の真空からとった Ｔｏｒｒ （トール）
が用いられてきました。トリチェリーの真空は、1気圧が水銀柱
７６０ｍｍであることから、1気圧を７６０Ｔｏｒｒ として表したものです。
さて、Ｐａ （パスカル）の １Ｐａ とは？
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核融合
2006年3月18日 20:59
石油の次のエネルギー源は、ウランを燃料とする濃縮ウラン炉による
原子力発電が取って代わりつつありますが、その次に「究極のエネルギー」
として考えられているのが核融合です。
核融合の燃料は海水中に含まれる、三重水素（重水素と海水中や地上に
あるリチウムからできている）なので、四方を海に囲まれている日本にとって
資源問題が解決されると期待されています。
この燃料１グラムを核融合させると、８トン積み大型石油タンクローリー１台分
のエネルギーが得られます。
ただし、まだまだ実現するには時間がかかるそうです。
特に難しい技術は、核融合の炉に約一億℃の超高温で、なおかつ、１ｍｌ
あたり３０兆個以上の高密度プラズマを作って一秒以上保持させなければ
ならないのです。
そのためにあらゆる最先端の科学技術を結集させてはじめて実現できるのです。
実はここで真空が重要な役割を果たすために登場します。
前述の核融合装置は、大きな真空装置なのです。
プラズマ中の不純物を極限まで無くすため、超高真空状態に維持することや
容器（真空チャンバー）の材質も、不純物をゼロに近いほど発生させない
材料を探すことなど解決すべき難問がたくさんあるそうです。
こうしたところでも真空技術は活用されています。
ガス・真空・低温に関するお問い合わせは
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
まで、どうぞお問い合わせください。
ありがとうございます。
今日の格言
人生にとって時間とは？
「われらはつねに命の短さを嘆じながら
あたかも命の尽くる時期なきごとくふるまう。」
（セネカ）
気体はどんなふうに流れ排気されるか
2006年3月17日 23:46
真空ポンプなどで真空排気すると
例えば配管の中を流れる気体の量である流量は
配管系が太ければ太いほど流れやすいものです。
大気圧下の状態では気体（ガス分子）が満たされていますので
真空ポンプで排気し始めますと、初めは充満している気体同士が
衝突しあって流れていきます。
この状態を 「粘性流」 といいます。
さらに排気を続けていくと、圧力が降下して平均自由工程
が配管の計より大きくなります。
先ほどの粘性流の状態は、隣り合ったガス分子どうして
すぐに衝突する状態ですが、ガス分子が少なくなりますので
初めにぶつかるのが配管の壁面ということです。
これを 「分子流」 といいます。
※その中間を「中間流」といいいます。
分子流にしても、粘性流にしても流れを起こしている原動力は
気体の圧力であることははっきりしています。
こうして気体（ガス分子）は、真空容器（チャンバー）の圧力が
低いほうへと流れてきい、いずれ気体が限りなく少なくなることで
（理想はゼロ）真空がつくられていくのです。
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真空の用途
2006年2月23日 11:54
「真空」は、どのような用途で利用されているのでしょうか？
弊社では、お客様が必要とされるご要望に応じて
真空が保てるような機器、設備、製作品などお作りしております。
ですが世の中は日々進歩・変化しており、どのようなことを
世の中で始められ、必要とされているか気付かないことも多いです。
正直なところ、ビックリするような真空の使い方を
されている場合もございます。
以下、真空工業の世界で知られている用途をお知らせいたします。
※古い資料（１９８０年頃）からあえてご紹介します。
今の時代からすると、新鮮な感覚を味わえると思います。
真空工業
・真空蒸着
・真空冶金
・真空乾燥
・真空浸炭
・真空蒸留
・真空排気
・雑
詳細は次葉へ
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真空製作加工品
2006年2月16日 23:40
真空紫外分光器装置の組み立て過程の様子です。
・TMP ターボ分子ポンプ
・実験用冷凍機
・クライオスタット
・サンプルステージ
・タッチパネル（ｼｰｹﾝｽ制御部）
・ICFフランジ高真空仕様真空チャンバー
・光軸調整用直線導入器＋スリット開閉機構
・エアー駆動式ゲートバルブ
これらを組み込み真空装置として動作するまで組み上げます。
各構成部品、製作加工品を Heリークチェックして漏れを確認します。
最終的には、シーケンス制御により全自動で装置のスタート、停止など
ボタンひとつで真空排気系の立ち上げから、立ち下げまで行い
目的とする作業を開始するまでの自動化を行い、研究員の方の
時間、手間を効率化しています。
真空チャンバーの製作は川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
までお問い合わせください。
ありがとうございます
今日の格言
人生の目的とは？
「どんなときでも人間のなさねばならないことは
［たとえ世界の終末が明日であっても、自分は
今日リンゴの木を植える］
ことだ。」
（ゲオルギー）
常温接合装置
2006年2月 3日 09:32
常温接合装置 カタログ
真空の世界は、地球上にある空気（ガス分子）をすべてなくし
人工衛星が宇宙遊泳している宇宙空間と同じ環境を
地球上で人工的に作るものです。
それに伴う産業も、多くの特殊な技術を必要とします。
超高真空技術
極低温技術
高温技術
光学技術
こうした技術を駆使し
・地球環境
・情報、通信
・輸送
・化学
・バイオ
・医薬
・薬品
・宇宙
・航空
・半導体
・薄膜
・電子部品
・加速器
・放射光
・イオンビーム
・レーザー
・電子ビーム
・原子力
・新エネルギー
などの分野で新しい機器装置も創出されております。
・重力測定装置
・原子泉型標準器
・常温接合装置
・RHEED内臓 表面分析装置
・真空環境試験装置
・電子顕微鏡マニピュレーター
・極低温ステージ
・レーザー用マニピュレーター
・アルミニウム合金製チャンバー
・銅合金製チャンバー
・ステンレス合金製チャンバー
・FED評価装置
すべてーダーメイド製品でございます。
冒頭の「常温接合装置」とは？
概要
ウエハ常温接合装置は異種材料のウエハ直接接合や
ウエハ上に作成された微小デバイスの一括接合を行う
装置です。
真空チャンバー内で、２枚のウエハ表面をイオンガンにより
クリーニングすることにより、常温での接合を行います。
４インチまでのウエハに対応し、高精度の位置決め機能を備えています。
マイクロアセンブリ用超高真空多軸ステージは微小デバイスの
チップごとの組立・実装に使用します。
試料は２つの高精度の位置決めステージに装着され、任意の位置と
姿勢で高精度の接合が可能です。（製作ﾒｰｶｰ：?ﾑｻｼﾉｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ様）
装置のご相談、ご質問等は川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ ０５０?８８８１?７３９３
まで、ご相談ください。
ありがとうございます
今日の格言
人生の目的は？
「かれの考えによると、人間はある目的をもって生れたもの
ではなかった。これと反対に、生まれた人間に、はじめて
ある目的ができてくるのであった。
最初から客観的にある目的をこしらえて、それを人間に
付着するのは、その人間の自由な活動を、すでに生まれたときに
奪ったとおなじことになる。
だから人間の目的は、生まれた本人が、本人自身につくったもの
でなければならない。」
（夏目漱石）
真空ポンプ
2006年1月31日 20:21
弊社では、高圧ガス販売・高圧ガス機器装置販売、高圧ガス用配管工事など
生業としながら、真空機器の販売、真空チャンバーの製作、真空ポンプのメンテナンスまで
請け負っております。
本日は、真空ポンプをご紹介します。
真空ポンプと総称しますが、低真空から超高真空領域まで
さまざまな真空ポンプがあります。
１、輸送式真空ポンプ
１） 容積移送式真空ポンプ
A) 復動式ポンプ
ピストン真空ポンプ
B) 回転式ポンプ
液封真空ポンプ
油回転(真空）ポンプ
回転翼形油回転ポンプ
カム形回転ポンプ
移動ピストン形回転ポンプ
ルーツ真空ポンプ
２） 運動量輸送式真空ポンプ
A) 機械的ポンプ
ターボ（形）真空ポンプ
分子ポンプ
ターボ分子ポンプ
B) 流体作業式ポンプ
エジェクタ(真空）ポンプ
液体ジェット(真空)ポンプ
気体ジェット(真空）ポンプ
蒸気ジェット(真空)ポンプ
拡散ポンプ
拡散エジェクタポンプ
分留形油拡散ポンプ
自己洗浄形油拡散ポンプ
２、気体溜め込み式真空ポンプ
ソープションポンプ
ゲッタポンプ
サブリメーションポンプ
ゲッタイオンポンプ
蒸着イオンポンプ
スパッタイオンポンプ
クライオポンプ
クライオソープションポンプ
ありとあらゆるポンプが列記されてます。
（オーム社 真空ハンドブックより）
以上のポンプは
低真空→中真空→高真空→超高真空→極高真空
各領域で使用するポンプはおのずと分類されてまいります。
とは申しましても、一般的には
低真空
ロータリーポンプ
ダイアフラムポンプ
ドライポンプ
高真空
油拡散ポンプ
ターボ分子ポンプ
クライオポンプ
ゲッタポンプ
などに分類されてまいります。
各真空領域用の用途に即した、それぞれご予算なりのポンプを
お勧めさせていただきます。
また、ポンプのアフターメンテナンス対応いたします。
ロータリーポンプなどの油漏れ、故障などオーバーホール品の引取りから
完成品の納入まで対応いたします。
真空ポンプのことでご質問ございましたら
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ ０５０−８８８１−７３９３
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ありがとうございます
今日の格言
人生とはなにか？
「貧乏人とは少ししか持たない者のことではなく
たくさん欲しがる者のことである。」
（スウェーデン）
読んで字の如く。
VGシエンタ社
2006年1月26日 19:42
弊社では、ガス（特殊ガス、高純度ガスから工業用燃料ガスまで）を生業としております。
更に、真空機器の海外メーカー、国内メーカの正規代理店として
主に研究機関様に喜んでいただけるよう取り扱いいたしております。
本日は、VGシエンタ社のアナライザーと測定装置をご紹介いたします。
1, 電子エネルギー分析器（GAMMADATA-SCIENTA SES200
2, Micro Channel Plate
3, CCDカメラ
4, 電子レンズ
5, He放電管
6, モノクロメーター
7, マニピュレーター
8, クライオポンプ
9. ターボ分子ポンプ
上記の装置は、「超高分解能角度分解光電子分光装置」という超高真空装置です。
物質に光（紫外線やX線）を当てて飛び出してきた電子を、超高真空の
エネルギー分析器（大きな半球型ドーム）の中を通って、蛍光板に当たった
光をCCDカメラで検出し、電子の数（光電子スペクトル）をパソコン上でグラフ化します。
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