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第4560号 DP:油拡散ポンプヒーター暴走

2018年6月 9日 23:57

真空ポンプの油拡散ポンプとは?

ポンプ下部のヒーターで熱せられたジェット状の拡散オイル蒸気が
超音速に到達して分子を捕獲し10-3から10-7 Pa程度の真空まで作り
出すことができる高真空ポンプです。拡散オイルを循環させて使用
し、使用状況にもよるが半年から数年に一度くらいは交換が必要で
少なすぎると焦げつくので、注入する量には注意が必要です。

背圧と動作圧力に圧力制限があり、ロータリーポンプなど補助ポンプ
が必須で排気側の背圧が高く臨界背圧を超えると、真空チャンバー側
に拡散オイル蒸気が漏れ出すオイルバックが起こります。吸気側も、
最大動作圧力を超えないように先にチャンバーを大気圧から粗引き
しておかないと正常に動作しません。

2018.06.09dp1.jpg
空冷式小型油拡散ポンプ

ユーティリティーとして冷却水が必須ですが、万が一、なんらかの
理由で流量が不足したり、流れていなかった場合には、オイルを加
熱しているヒーターが異常昇温し暴走します。

2018.06.09dp2.jpg 2018.06.09dp3.jpg

また真空引きの炉内が大気に近い状態のまま油拡散ポンプの吸気側
メインバルブを解放すると拡散ポンプオイルが消耗し枯れてしまい
同様にヒーターを損耗されます。

2018.06.09dp4.jpg
溶けたDP下部ヒーター及び溶損したヒータブロック

2018.06.09dp5.jpg 2018.06.09dp6.jpg

ヒーターの暴走は過昇温となり事故の原因となるため最大限の注意
が必要です。


高圧ガス、低温機器、真空機器
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今日の埼玉県川口市のお天気は?
 皇紀2678年(西暦2018年)
 6月9日 土曜日 有明月
 
 九節気 芒種(ぼうしゅ) 二十五侯 蟷螂生(かまきりしょうず)
 ※8チームで争われるノックアウトステージでは、ACL組の川崎、鹿島
  C大阪、柏と、プレーオフステージを突破した横浜、G大阪、湘南、
  甲府が対戦します。
  2018.6.09urawa.jpg
  本日の浦和vs甲府は2-1で浦和勝利するも得失点差で甲府が
  勝ち上がった。残念。。。
 天気 晴れ
 気温 21度(PM23:50)
 本日のPM2.5 μg/m 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
 本日の電力最大消費率は? 
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより)
 東電80%、北陸電79%、中部電65%、関西77%、中国電74%
 四国電58%、九州電69%、北海道電65%、東北電77%

 利根川上流域の関東8ダム貯水率は? 
 6/09 23:00 156,929 59.3 24.76m3/sec (利根川ダム管理管理事務所河川情報より)
 (藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
  *Twitter ランキング ついっぷるトレンドより
 1位:東海道新幹線.、2位:小田原駅、3位:新幹線
 4位:海街diary、5位:車内
です。


ミゾイキクコさん Twitter
@kikutomatu 1934年生まれ 83歳 埼玉県在住。
22018.05.25home1趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。70年前から見てきた人々の
生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。


「昔の高齢者は、無収入が殆ど。
 とくに女性は。
 そして、女の子はこういうのが良い
 女はこうあるべき、という中で生きてきた。
 常に品定めするのは男の目なのだ。
 それに合わせているのが幸せだとしつけられた
 結果自分で考えるより社会通念に実を任せてきた。」

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