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第4508号 MFC/MFMのリーディング(RD)とフルスケール(FS)

2018年4月18日 23:16

高純度高圧ガスや真空装置へのガス導入系で、高い精度の流量測定
流量制御を必要とする場合には、カタログなどに掲載されているマ
スフローメーターやマスフローコントローラーの精度をご確認頂く
必要があります。

2018.04.18MFC1.jpg
Bronkhorst社製MFC

上記の標準的なマスフローコントローラー「EL-FLOW Select」 は
校正条件における精度は ± 0.5% RD プラス ± 0.1% FS です。

低価格OEM仕様のマスフローコントローラー「ELFLOW Base」 の校
正条件における精度は ±1% FS です。

FS はフルスケールの意味で、流量計のレンジ上限のことであり、
RD は読み値の意味です

例えば・・・

FS = 100sccm の場合には、FS に対するエラー( ±0.1% FS, ±1% FS)
は流量に関わりなく一定であり、RD に対するエラー(±0.5% RD)は
流量に比例します。FS 100 sccm、読み値(RD)10 sccm においては、
1% FS は 1 sccmであり、これは読み値の 10%です。また、0.5% RD
プラス0.1% FS は 0.05 sccm + 0.1 sccm = 0.15 sccmで、読み値の
1.5%のことになります。

2018.04.18MFC2.jpg

これを流量で割ると、読み値に対するエラーとなります。

FS に対するエラーは流量が小さくなると急激に大きくなりますが、RD
に対するエラーは一定です。故に小流量域での精度を重視する場合に
は、EL-FLOW Select をご選定頂くことをお薦め致します。

他方、高精度を要求しない場合には、EL-FLOW Base がコスト削減に有効
です。


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 皇紀2678年(西暦2018年)
 4月18日 水曜日  三日月

 五節気 清明(せいめい)   十五候 虹始見(にじ はじめて あらわる)
 ※財務次官が引責辞任し、1998年の旧大蔵省時代の接待汚職事件以来
  20年ぶりのこととなりました。
  森友学園との国有地取引に関する決裁文書の改ざんで理財局長の佐川宣寿
  前国税庁長官が引責辞任したばかりでの辞任劇です。

 天気 雨のち曇り
 ボンベ庫の温度 朝12℃、昼12℃、14℃
 花粉指数 東京10個未満(少ない)
 本日のPM2.5 6.46μg/m 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
 本日の電力最大消費率は? 
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより)
 東電84%、北陸電90%、中部電88%、関西80%、中国電89%
 四国電79%、九州電89%、北海道電78%、東北電85%

 利根川上流域の関東8ダム貯水率は? 
 04/18 23:00 424,909千m3 92.0% 133.37m3/sec (利根川ダム管理管理事務所河川情報より)
 (藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
  *Twitter ランキング ついっぷるトレンドより
 1位:ハッピーメール、2位:麻生財務相、3位:#チューバッカイベントご招待
 4位:福田次官、5位:野党側の反対

ミゾイキクコさん Twitterより
@kikutomatu 1934年生まれ 83歳 埼玉県在住。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。70年前から見てきた人々の
生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。

「空気も綺麗でないなんて、、、そのうちに綺麗な空気を吸うには
 おかねがかかるようになるかも、、、まさかね」


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