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第4350号 マスフローのバルブラインナップ

マスフローコントローラにはさまざまなバルブがあります。

一般的なのは直動電磁弁、機械式併用のパイロットバルブです。

・直動電磁弁
 最も一般的なマスフローのコントロールバルブは、差圧の縛りが
0.3 MPa までですが、Bronkhorst社製低圧側は、流量により高差圧
側は最大で 4 MPa までの差圧でも動作します。最大運転圧力 10MPa
までのアプリケーションに対応できる機種が豊富で

入口圧力 10MPa ~ 出口圧力 6MPa

と動作圧力範囲が非常に広く、安定性があるのが特徴です。

2017.11.11MFC1.jpg
IP65 防塵防滴仕様

・機械式併用大流量のパイロットバルブ

このバルブは機械式動作バルブと直動バルブの組合せです!

2017.11.11MFC4.jpg

機械式バルブが主にガスを流しますが、ある一定の差圧条件で
バネの押し戻す力とバランスを取って、ガスが流れます。

その前後の圧力バランスを、直動弁で制御することで、流量を
コントロールしています。

大流量の場合、実際に流し始めると、供給側の圧力が急激に低下し
もしくは不安定になり、どの程度継続してしまうのかは、装置側
の供給キャパシティーによりますが、実際圧力変動は、正直なか
なか避けることはできません。

当然、マスフローも影響を受け、コントロールが不安定になります。
さらに総流量を稼ぐためにマスフローが複数台並列に取り付けてあ
る場合には、しばらくバランスが取れない現象が起こることがあり
ます。

そうした欠点をBronkhorst社製大流量用バルブは、この圧力変動に
対して、圧力変動を補正し、より早く制御を安定させる機構が附属
しているので、供給側が不安定でもより早くマスフロー側が安定し
てしまうのです。

2017.11.11MFC5.jpg
大流量の領域では非常に特徴的なメリットある
一体型のマスフローコントローラ

次に特殊タイプで、高圧用および高差圧バルブです。

当然ながら、流量やガス種条件により変わる場合がありますが
最大差圧 40MPa から 0.6MPa までひとつの
バルブで対応できます!

2017.11.11MFC9.jpg

高圧ガスボンベから流れる供給圧力が変動して下がったとしても
流量制御に影響しない特徴があります。

流量制御用の直動弁前後は 0.3MPa 程度に保って、40MPa から 0.6MPa
の圧力変動は、に圧力補正機構により機械的に補正してしますので
0.6 MPa の圧力補正機構が動作するのに必要な最低圧力です。

2017.11.11MFC10.jpg

更には、超低圧力損失バルブです。

高圧ガスや、液体の材料などで、圧力をを上げると液化してしまう
場合には低圧損仕様が必要になります。

マスフローメーターだけでは、圧力損失はそれほど気になりませんが
マスフローコントローラーではバルブにオリフィスがあり、その部分
が圧力損失を起こしますが・・・

そうした圧損を制御でき、オリフィス径は流体種や圧力条件などから
Cv値まで算出して、適切なサイズが選択され流量を制御できるのです。

圧力制御をするには圧力損失が必要ですが、流量は制御には圧損を
できるだけ少なくしたいといったジレンマを無理やりオリフィス径を
大きくしたり、バルブの動作不良を抑え込むためバルブスプリングを
改造したり、職人技で対応するしかありませんでしたが

2017.11.11MFC6.jpg
Bronkhorst社製超低圧力損失バルブ

このバルブにより解決されてしまいました。

2017.11.11MFC7.jpg
低圧損タイプMFC

2017.11.11MFC8.jpg
低圧損タイプ圧力コントローラ

4MPa高差圧MFC、圧力変動補正大流量MFC、高圧高差圧MFC
超低圧損MFCまで

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 (藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
  *Twitter ランキング ついっぷるトレンドより
 1位:斐紹、2位:三笠、3位:火龍
 4位:山下斐紹、5位:ジャンダルム
です。

ミゾイキクコさん Twitterより
@kikutomatu 1934年生まれ 83歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
70年前から見てきた人々の生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。

「トランプさんが、孫娘が中国語で歌を歌う様子をタブレットで再生して
 中国の習近平国家主席に見せている映像をテレビで見た。
 これからはタブレットやスマホは誰もが使えて当たり前になる時代。
 身動きの重い高齢者こそ必要。」

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