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第4232号 磁気シール(磁性流体)

2017年7月16日 20:47

真空チャンバー内や液槽、クリーンスペース、活性ガス雰囲気中に
回転運動を、回転軸の完全密封する機器です。
※1~2MPa加圧シールにも対応機種あり

1960年代、NASAにより宇宙空間での無重力状態の中で宇宙船
内部の液体燃料を送る方法として、磁力で移動できる液体燃料を解決
するため燃料に鉄の微粉炭を混ぜることで開発されました。
 原料は、磁性微粒子+界面活性剤+キャリアベース液から構成され
直径100Åの極小微粒子マグネタイト Fe3O4 のまわりを凝集を防ぐ
界面活性剤が被膜し、ベース液の中に安定的に分布したコロイド状液
体となっています。ベース液の中で磁性微粒子が凝集や沈殿、分離す
ることなく安定分散し、無重力、強磁場でも影響をうけません。

用途としては・・・

・CVD装置
・イオン注入装置
・酸化拡散炉
・イオンエッチング装置
・エピタキシャル成長装置
・プラズマエッチング装置
・ステッパー露光装置
・電子ビーム描画マスク製造装置
・シリコン引き上げ炉
・インライン液晶製造装置搬送部
・ロボットなど

など、あります。


製品使用上の注意事項は?

・溶剤(アセトン、アルコール、フレオン、油、水など)が磁気シールに入れないこと
・リークテストはHeリークディテクタを使用すること
・規定以上の圧力をかけず、真空使用は0.1MPa、加圧仕様は仕様範囲内までとすること
・シャフトを停止したままチャンバー内を大気圧より真空に引いた後、または真空中で
 長時間停止した後にシャフトを回転させると始動時に圧力が上昇することがあります。
 回転始動のタイミングを早めにとるなど対策が必要です。
・水冷機種は、常温の水温で1~3L/minの流量が必要で、塩素イオン200mg/L、鉄分
 0.3mg/L以下など混入物が水道水基準を下回る水を使用し、結露により錆びの影響で
 回転不良起こす可能性がありますので注意が必要です。


磁気シール使用環境で、以下のような場合には特殊仕様となりますので
別途ご相談下さい。

・高温、高速回転での使用
・ラジアル荷重、スラスト荷重など高負荷での使用
・電流を流しての使用
・高周波をかけての使用
・強磁場中での使用
・粉体浮遊雰囲気中での使用
・特殊仕様での使用


真空機器、真空磁気シール、真空溶接加工容器製作、真空リーク試験など
川口液化ケミカル株式会社へご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mai : info★klchem.co.jp
※★を@に代えてお知らせください。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 皇紀2677年(西暦2017年)
 7月16日 日曜日 

  十一節気 小暑(しょうしょ)  蓮始開(はすはじめてひらく)
 ※内閣支持率は過去最低35・8% 不支持53・1% 
  安倍政権下の憲法改正「反対」54・8%
 
 今日の天気 はれ
 気温 31℃(PM8:30)
 本日のPM2.5 28.83μg/m3 環境省そらまめ君より(さいたま市城南)
 本日の電力最大消費率は? 
(エレクトリカル・ジャパンElectrical Japanより)
 東電71%、北陸電70%、中部電78%、関西電75%、中国電85%
 四国電73%、九州電85%、北海道電65%、東北66%

 利根川上流域の関東8ダム貯水率は? 
 07/16 21:00 306,974m3 89.3% (国土交通省関東地方整備局HPより)
 (藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯水池)
  *Twitter ランキング ついっぷるトレンドより
 1位:七つの大罪、2位:寿桂尼、3位:ニゴイ
 4位:カーズ2、5位:ヲタ芸
です。

ミゾイキクコさん Twitterより
@kikutomatu 1934年生まれ 82歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。
70年前から見てきた人々の生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。

「自分に何ができるか、どんな能力があるかなど考えない人の方が
 簡単に助け合いましょうねなんて言うもの。
 人をたすける力の無さすら認識してないのです。
 だから言えてしまうのです、軽口が。」

klchem blogs by との


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