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MOCVDとは?

2016年6月29日 21:56

MOCVDって何でしょう?

2016.0629MOCVD1.JPG

 有機金属気相成長法(MOCVD: Metal Organic Chemical Vapor Deposition)は
原料として有機金属やガスを用いた結晶成長方法、及びその装置です。結晶成長
という観点を重視してMOVPE (Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy) ともいいます。

2016.06.29MOCVD2.JPG

化合物半導体結晶を作製するのに用いられ、MOCVDでは原子層オーダで膜厚を
制御することができるため、半導体レーザを初めとするナノテクノロジーといった
数nmの設計が必要な分野で用いられ、代表的な半導体結晶成長装置である分子線
エピタキシー法 (MBE) と比較し、面内での膜厚の偏差が少なく、高速成長が可能
であるほか、超高真空を必要としないために装置の大型化が容易である為、大量生
産用の結晶成長装置としてLEDや半導体レーザを初めとした光デバイスの商用製品
の作製に多く用いられています。       (Wikipediaより)

2016.06.29MOCVD3.JPG

MOCVD用高純度アンモニアガス、水素ガスなど
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 皇紀2676年(西暦2016年)
 6月28日 月曜日  有明月

 仲夏 五月中 夏至(げし)次候 菖蒲華(あやめはなさく)
 ※国民投票で決まった英国の欧州連合(EU)離脱を受けて
 英北部スコットランドが独自にEU残留を図る動きが加速しています。

 天気 雨ののち曇り
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 弊社 太陽光パネル総発電量 19.1kW
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 東電83%、北陸電82%、中部電88%、関西電87%、中国電89% 
 四国電81%、九州電86%、北海道電77%、東北電79%

 *Twitter ランキング Trend Naviより
 1位:生電話、2位:チャンカパーナ、3位:テレ東
 4位:少クラ、5位:ジェロマ
です。

ミゾイキクコさん Twitterより
‏@kikutomatu
1934年生まれ 81歳。
趣味・茶道、園芸、料理、写真、 お茶大理学部卒業。
ツイッター開始2010年1月28日。
70年前から見てきた人々の生活、戦争中、敗戦後の生活、高齢者問題について呟きます。
著書:何がいいかなんて終わってみないとわかりません。


「お姉さんは甘やかされて育った跡取り息子のように何も出来ない。
 婿養子として父上のメガネにかなうような男性は姉上を相手にしない。
 それで独身で過ごした。
 父上はそれを自分の責任の様におもわないでもない。」

 by との

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