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安価に種々の実験に使える小型スパッタ装置

2015年9月11日 22:40

本日は卓上小型スパッタ装置の御紹介です。

1台のスパッタ装置ですが、成膜室を上下逆転と側転させることで
さまざまな成膜が可能な菅井製作所製「キュービックスパッタ装置」
です。

キュービックスパッタ装置.pdf

スパッタ装置 仕様

・真空性能
  到達圧力  ≦ 9 x 10e-5 Pa
・成膜性能
  膜圧分布  回転スパッタ  ≦ ± 5% at φ100mm
        静止対向   ≦ ± 10% at φ40mm

・スパッタ方向
  スパッタUP、SIDE、DOWNの選択が可能
・カソード
  φ2" PMC x 1基
・ターゲット
  非磁性材料 φ50.8mm x 13mm(磁性材料も可能)
・基板ホルダー
  ホルダーサイズ φ120mm
  基板サイズ   Max φ100 または不定形基板(取付板付)
  回転機構    自動 5rpm または カソード直上静止
・カソードシャッター
  手動シャッター
・ターゲット基板間距離
  55 〜 70 mm 手動調整
・真空排気系
  メインポンプ TMP
  補助ポンプ   RP or DRY
・プロセスガス
  Ar MFC x 1系統(1系統増設可能)
・流量調整
  ニードルバルブ
・大気ベント
  自動大気ベントバルブ
・スパッタ電源
  高周波電源  300W RF電源(パルス発振設定可能)
  整合器    手動マッチングボックス
・排気制御
  操作スイッチで自動排気
・重量
  本体 31kg、電源 51kg、RP 10kg
・その他
  チャンバーベーク機構
  冷却水循環機器
  Arガスボンベ1式
  装置用テーブル

多様性
 装置本体はサイコロ状の外観としていますので、設置面を変える
 ことにより、スパッタ方向を任意にお選び頂けます。
 オプションのカソードマグネット交換により磁性体ターゲットにも
 対応可能です。
 プロセスガスはガス流量メーターを備え、オプションとして安価に
 1系統の追加が可能です。

性能
 基板φ100mmエリアで膜厚分布 ± 5% 以下を実現します。
 パルス機構付きRF電源を標準採用しているため、異常放電を起こす
 絶縁ターゲットも成膜可能です。
 基板自動回転成膜、ターゲット直上基板静止成膜の選択が可能です。

使い易さ
 小型な装置となっていますので卓上設置が可能です。
 チャンバー内部防着シールド板と覗き窓(シャッター、シールドガラス付き)
 を装備しています。
 プレスパッタ時に基板表面の汚れを防ぐ、カソードシャッターを
 搭載しています。
 カソードシャッターと連動したスパッタタイマーを装備しているため
 成膜管理が可能です。

真空機器、低温機器、高圧機器のことなら
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ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2015年9月11日 金曜日
 ※台風18号の影響による記録的な豪雨に伴う河川の氾濫などの被害は
 鬼怒川の堤防が決壊した茨城県常総市では22人が行方不明、栃木県と
 宮城県で男女計3人が死亡しました。

 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝20℃、昼25℃、夜20℃
 弊社 太陽光パネル総発電量 39.8KW
 本日の電力最大消費率は?
 東電88%、北陸電88%、中部電85%、関西電77%、中国電88%
 四国電84%、九州電91%、北海道電85%、東北電80%

 *Twitter ランキング
 1位:高校生クイズ、2位:休校、3位:太一くん結婚、4位:トリセツ、5位:しんちゃん
です。


眠っている魂を目覚めさせるには、人→場所→モノの順番 

 「魂が燃えている」のと
 「欲望に火がついている」のでは
 まったく違う。

 欲望に火がつく中心には
 「自分が満足するために」がある。

 魂が燃える中心には
 「誰かの役に立つために」がある。

 魂を燃やすには

 1.理想や抽象度が高い人と出会う。
 2.成長できる環境をつくる(飛び込む)
 3.命を込めて作られたモノ(商品、本、ごはん、漫画...)に触れる。

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との

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