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エキシマレ−ザ−用混合ガス 

2015年4月29日 18:46

 産業用や研究用で実用化されている微細加工が可能な装置が
エキシマレーザーです。

そもそもエキシマレーザーとは何でしょう?

強い紫外領域のレーザーが得られ、CO2レーザーの赤外線レーザー
とは異なり、熱を発生しないため極微細な加工のできるレーザー発
振装置です。

レーザー発振用のガスとして、主に He (95%) + F2 (5%) の混合ガス
が用いられます。他にもNe+F2+Kr、Ne+F2+Ar、Ne+F2+Ar+He
He/Ne+HCL+Xe など複数種を組み合わせたものもあります。

装置にハロゲン(F2、HCl)、レア(Kr、Ar、Xe)、バッファー(Ne、
He)などの各種ガスを導入して放電を行うと電気の力で励起されて
レア・ハロゲン二量体が生成した後、紫外光に変換して放出されます。
連続して放電を繰り返してレア・ハロゲンのさまざまな組み合わせによ
りレーザー波長が変わってきます。

波長が短いほどレーザーのエネルギーは強くなり、XeCL:308nm、
KrF:248nm、ArF:193nm、F2:157nmなど微細な加工が可能になる
のです。

レーザー発振用エキシマレーザー混合ガスとは?

例えば・・・

塩化水素5%以下+水素3%以下+キセノン or アルゴン or ヘリウム or ネオン Base
HCl + H2 + / Xe + Ar + He + Ne

などがあり、2種混合の He + F2 であれば日本国内製混合ガスでも製造
されておりますが、その他複数種の混合ガスは、成分ガスに含まれる腐
食性ガスの F2 や HCl の影響などから容器内面処理、充填後の経時変化
混合成分のドリフトなど繊細微妙な充填技術の関係で海外製(Linde
Electronics and Specialty Gases 社)が多く用いられており、短期間で
の入手が困難なものです。

取扱いとしても、毒性ガス、腐食性ガスが含有しているので居室などに
ボンベのまま放置することは危険です。

MSDSを参考に安全性などをご紹介致します!

危険有害性
・最重要危険重大性  単純窒息製
・製品特性      不燃性、強い腐食性、毒性、無色、刺激臭
・健康に対する有害性 塩化水素は極めて有害で大量吸引するとめまいや
           窒息を起こします。呼吸器の粘膜が冒されて炎症を
           起こします。
・反応による危険性  高い反応性を持ち水素ガスを発生し空気とは混合
           して爆発の可能性があります。アルカリと反応し
           発熱し、腐食性を示すことがあります。エチレン
           に接すると発火します。
・環境に対する有害性 危害を引き起こします。

応急措置
・眼に入った場合   眼を開けて最低20分流水で洗浄し、その後医師の
           適切な診断を受け手当をします。
・飲み込んだ場合   水で口をすすぎ、医師の診断を受けます。
・吸入した場合    できるだけ早く、空気の新鮮な場所に移動し、必
           要に応じ心臓マッサージや人工呼吸を行います。
・皮膚に付着した場合 ガスの噴射によって凍傷が生じた場合は患部をゆ
           っくりとぬるま湯で温め(熱湯を使わない)直ち
           に医師の診断と手当を受けます。皮膚刺激が生じた
           場合には医師の診断と手当を受けます。

火災時の措置
・引火点       該当無し
・発火点       該当無し
・燃焼範囲      該当無し
・消化剤       不燃性ガスなので周辺環境を配慮して消火器を使
           います。
・使用不可な消化剤  なし
・特有の消火方法   なし
・特有の危険有害性  ガスは不燃性ですが火災時には内圧が上昇し破裂の
           危険性があります。容器の移動が可能であれば火災
           区域から容器を移動します。移動が困難な場合、容
           器及び周囲に散水して容器の破裂を防ぎます。
・消火を行う者の保護 陽圧式自給式空気呼吸器、防護服(耐熱性)を着用
           します。

漏えい
・漏えい時の対応手順 安全にガスが止められる状況である場合には止めます。
           直ちに適切な保安距離を取って漏えい区域を隔離しま
           す。再び立ち入る前に、酸素濃度が安全範囲にあるこ
           とを計測します。ガス供給会社に連絡をします。
・緊急対応者への注意 漏えい区域に立ち入るときは自給式呼吸器を使用しま
           す。酸素濃度を計測します。漏えいの疑いがある高圧
           ガス容器を処理する場合には、バルブの損傷や急激な
           ガスの噴射に十分注意をします。漏えい区域に入る前
           にメインバルブを閉めます。漏えい中のガス容器元弁
           を閉めます。漏えいガスを防げない場合はその場で、
           可能な場合は安全な場所に移動させ、残ガスをそのま
           ま放出させます。漏えいガスが機器内で発生した場合
           修理を行う前に容器元弁を閉止して高圧部の残ガスを
           パージするなど安全に排出します。漏えい地区にはソ
           ーダ灰か石灰水で洗い流します。

取扱い及び保管状の注意点
・保管        容器は固定し転倒防止の措置を行うこと。40℃以下の
           風通しの良い場所に保管すること。塩分や腐食させる
           ものを混在しないこと。保管は人が密集する地域を避
           けて容器が損傷するような場所を避けます。長期間の
           保管を避け空瓶は充瓶と分けて保管すること。容器の
           所有者自身、又は所有者の同意無しに再充填しないこ
           と。保管場所には酸欠検知器などのガス検知警報器を
           設置することを考慮する。
・取扱い       容器を引きずったり横倒しで転がしたり落としたりし
           ないこと。容器保護キャップを持って持ち上げないこ
           と。使用中は容器を必ず固定すること。容器バルブに
           異常がないか定期的に検査すること。バルブ操作に不
           具合がある場合はバルブを閉め購入元に連絡をします。
           使用する度に又は空になった場合はバルブを閉めるこ
           と。バルブや容器は不正に改造させないこと。容器か
           らのガス放出量を増加させるために容器を温めないこ
           と。推奨パッキンはテフロン製です。
・特別防止策     地域によっては特定の使用設備が必要となるため確認
           すること。

暴露防止及び保護措置
・換気設備と予防措置 密閉したり換気の悪い場所では使用してはいけません。
           局所排気装置、換気装置の設置、容器置場 
           シリンダーキャビネットには漏洩検知器を設置すること。
・許容濃度      TWA 5ppm、TLV-C 2ppm
・呼吸の保護     空気呼吸器、酸素吸入器、送気マスク
・眼の保護      安全ゴーグル、安全メガネ
・皮膚の保護     革手袋、ゴム手袋
・他の保護具     安全靴、皮膚の露出を避けた保護具


エキシマレーザー用ガスボンベおよびエキシマレーザーガス供給設備
及びエキシマレーザー用シリンダーキャビネット、特殊ガス配管工事まで
川口液化ケミカル株式会社へご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-amil : info★klchem.co.jp
※★を@に代えてお知らせください。

ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は?
 2015年4月29日 水曜日(昭和の日)
 ※東北新幹線の新白河--福島間で停電が発生し、東京--新青森間の全線
 で運転を見合わせました。この影響で、秋田新幹線と山形新幹線も運転
 を見合わせましたがいずれも午後4時すぎに全線で運転を再開しました。
 JR東日本によると、福島県郡山市のJR郡山駅で架線が切れ、停電が
 起き午後5時時点で新幹線34本が運休、63本が遅れ、約3万人に影響し
 ました。

 天気 はれ
 気温 17℃(PM8:00)
 花粉指数 10個未満 少ない
 本日の電力最大消費率は?
 東電80%、北陸電87%、中部電82%、関西電84%、中国電86%、四国電87%、九州電84%
 北海道電74%、東北電85%

 *Twitter ランキング
 1位:銀魂、2位:ダイヤ、3位:GW、4位:テラシ−、5位:石田
です。

親切の押しつけには要注意 

 「相手のために」と
 良かれと思ってやったことが
 逆に、迷惑をかけてしまうことが多々ある。

 その前に大事なことは
 ちゃんと相手を知ること。

 もし、分からないことは
 憶測で動くのではなく
 相手に聞いて、確認してみる。

 もしくは

 相手の言動に
 心を尽くして
 ちゃんと見る。

 さらに
 相手の立場になって
 逆に考えてみる。
(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との

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