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スパッタリング装置

2013年9月28日 18:41

放電を伴った製膜技術の代表的なものとしてスパッタリング装置があります。

そもそも「薄膜」は世の中で何に使われているか?

・自動車のバックミラーなどアルミやクロム膜
・カメラレンズやメガネの反射防止膜
・CDやDVDの反射膜
・お菓子のアルミニウム膜

などです。

スパッタリング装置(俗称:スパッタ装置)は、真空容器の中で膜になる材料の
ターゲットを備えたスパッタ源を上蓋中央、その下に基板をおいて高真空に排気
してアルゴンガスを導入し、高電圧電源を作動させることで、ターゲットと真空
容器の間で真空放電が起こりプラズマが発生します。そのプラズマにアルゴンイ
オンが引き寄せられてターゲットに衝突し、ターゲット材料表面をたたくことで
飛び出て基板に膜として付着する、このことを「スパッタリング」と呼びます。

付着した膜は時間が経つに従って厚さが増して必要な膜圧になったら放電を止め
ます。ターゲットから飛び出す膜材料は原子状で音速を超えるスピードでアルゴ
ンガス雰囲気中を飛んで行って付着するそうです。基板表面が奇麗であれば膜は
強固に付着し、前述のような製品として利用価値のある薄膜になるのです。


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ありがとうございます

今日の埼玉県さいたま市のお天気は?
 2013年9月28日 土曜日
 暑さ指数 20.8℃(ほぼ安全)PM1:00 ※環境省HP
 ※ももいろクローバーZが、きょう28日に開幕する全国ツアーのライブBGMを
 収録したサウンドトラックを10月14日に発売するそうです。
 「ライブBGM集」とあって、ももクロの歌は一切収録されず、関係者いわく
 「売上を度外視」したコアファン向けアイテムなのだそうです。

 天気 はれ
 気温 20℃(PM7:00)
 本日の電力最大消費率は?
 東電81%、北陸電64%、中部電76%、関西電76%、中国電65%、四国電65%、九州電90%
 北海道電81%、東北電84%

です。


判断をミスるのは、心が乱れているから


 何を決めるのかよりも


 どんな気持ちで決めるのかが

 はるかに大事。

  
 悩み、迷うのは

 あれも、これも

 全部やろうとするから。


 
 欲張らず、焦らず

 気持ちを静めれば


 何をやらないべきか

 何をすべきか


 直感的に見えてくる。

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との

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