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超小型マスフロー・圧力メーター及びコントローラー

2013年5月29日 14:58

超小型のMFC(マスフローコントローラー)のご紹介です。

2013.05.29MFC1.JPG
コンパクト型マスフローコントローラー
ガス仕様 : W 40mm x D 20mm x H 60mm
液体仕様 : W W40mm x D 20mm x H 60mm

フットプリント : 0.75インチ ※汎用機種 1.5インチ

流量範囲 : 0.2 ~ 5000 sccm ( ml / min )

プレッシャーコントローラー : 2.1 kPa ~ 1.05 MPa 
                       ※欧州規格で国内申請品ではありません。

2013.05.29MFC2.jpeg
IQ + FLOW マスフローメーター/コントローラー

性能仕様
・精度(流量センサー)    標準±0.8% RD + ±0.2% FS (実校正ベース:その他ご要求に応じます)
・精度(圧力センサー)    < 0.5% FS
・繰り返し性         < 0.2% RD
・セトリング時間(調節計)  200msec まで可能
・温度影響          < ±0.1% FS / ℃
・リークレート           流量 1 x 10e-8 mbar ・ L/sec He
                 圧力 1 x 10e-6 mbar ・ L/sec He
・取付け姿勢        ネグリジブル

メカニカル仕様
・構成材料          アルミ、Si、SiOx、エポキシ (接ガス部材質:オプションステンレスボディ)
・プロセス接続         10-32 UNF メスネジ ※オプション仕様あり
・シール              Viton、その他
・重量             約 0.2 kg (200g)

電気仕様
・リードアウトサンプル時間   15 msec
・リードアウト分解能      15 bit (0.003%FS )
・電源             +15 ~ +24Vdc、50mA(メーター)
・出力、設定信号      1-channel : 0~5(10)Vdc , 0(4)~20mA (souring output)及びRS232C
                 multipchannel : RC232C or RS485
・電気接続          RJ45モジュラージャック
・ケース等級          IP40

運転条件
・流量レンジ          最小 0.2~10sccm / 最大 0.1~5 slm
                 (8キャリブレーションカーブ貯蔵可能)
・圧力レンジ          最小 2.1kPa ~ 105 kPa
                 最大 0.021 MPa ~ 1.05 MPa
・測定可能ガス種      ドライ、清浄、不燃及び非腐食性ガス
・運転温度          5~50 ℃
・最大運転圧力       1.05 MPa
・流量計圧力損失     20 hPad (20 mbard)@1 slm Air & 0 MPa(g)


超高圧仕様MFC/MFM、超高温MFC/MFM、液体MFC/MFM、超小型MFC/MFMのことなら
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FAX 048-281-3987
E-mail : info★klchem.co.jp
※★を@に変えてお知らせ下さい。

ありがとうございます

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 2013年5月29日 水曜日
 暑さ指数 20.6℃(ほぼ安全)PM1:00 ※環境省HP
 ※国連食糧農業機関(FAO)が認定する「世界農業遺産」に熊本、大分、静岡の3地域が認定
  されることが決まりました。
  認定されるのは、熊本県阿蘇地域の野焼きなどで草原を守りながら受け継がれてきた「阿蘇
  の草原と持続的農業」、大分県国東くにさき半島宇佐地域のクヌギ林やため池を活用した
  「国東半島宇佐の農林漁業循環システム」、静岡県掛川市など5市町の「静岡の茶草場農法」
  以上の3件になります。

 天気 雨のち曇り
です。

過去の蓄積が今、今の積み重ねが未来

 努力しても

 それが結果に現れるまでに時差がある


 どれぐらいの時差かは

 人によっても

 状況によっても違う


 もし今、いい結果が出ているからと言って

 油断して手を抜いていたら


 近いうちに

 そのツケが確実にやって来る


 逆に

 今、なかなか思うような結果が出ていなくても

 ちゃんとやり続けていたら

 いつか収穫のときがやって来る

(小田真嘉氏成長のヒントブログより)

 by との 

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